CN218213780U - 一种全自动单面数字光刻装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种全自动单面数字光刻装置，包括机架、第一进料搬运组件、输送组件、第二进料搬运组件、第一平台、第二平台、光刻主体、传动组件、第一出料搬运组件及第二出料搬运组件；所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述输送组件位于所述第一平台、所述第二平台及所述光刻主体的一侧，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述机架固定于所述第一平台、所述第二平台及所述输送组件上，所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件悬挂于所述机架上，所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件悬挂于所述机架上。本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置，提高了光刻效率，提高了光刻的数字化程度。

Description

一种全自动单面数字光刻装置

【技术领域】

本实用新型涉及PCB板光刻技术领域，尤其涉及一种PCB板全自动单面数字光刻装置。

【背景技术】

光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术。其主要过程通常为：首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面，引起曝光区域的光刻胶发生化学反应，再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶(前者称正性光刻胶，后者称负性光刻胶)，使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上，最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。集成电路制造中，会使用光刻技术将电路图形传递到单晶表面或介质层上，以形成有效图形窗口或功能图形的线路板。

光刻装置在对线路板进行光刻时，通常在光刻装置的一侧进行上料，前一块线路板光刻完成后，需要等待下一块线路板上料，以实现下一块线路板进行光刻。现有的光刻装置的结构单一，进行线路板上料、光刻及线路板下料的时间不能重叠利用，光刻效率低下。

鉴于此，实有必要提供一种新型的全自动单面数字光刻装置以克服上述缺陷。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是提供一种全自动单面数字光刻装置，光刻主体能够对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率，提高了光刻的自动化程度。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种全自动单面数字光刻装置，包括机架、第一进料搬运组件、输送组件、第二进料搬运组件、第一平台、第二平台、光刻主体、传动组件、第一出料搬运组件及第二出料搬运组件；所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述输送组件位于所述第一平台、所述第二平台及所述光刻主体的一侧，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述机架固定于所述第一平台、所述第二平台及所述输送组件上，所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件悬挂于所述机架上，且所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件分别位于所述第一平台及所述第二平台的上方，所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件悬挂于所述机架上，且所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件位于所述输送组件上方。

在一个优选实施方式中，所述第一平台的远离所述光刻主体的一侧设置有第一拍板组件，所述第二平台的远离所述光刻主体的一侧设置有第二拍板组件。

在一个优选实施方式中，所述输送组件的靠近所述第一平台的一端设置有第一分板组件，所述输送组件的靠近所述第二平台的一端设置有第二分板组件。

在一个优选实施方式中，所述输送组件与所述第一分板组件之间设置有第一汇流组件，所述输送组件与所述第二分板组件之间设置有第二汇流组件。

在一个优选实施方式中，所述机架上固定有多个滑轨，所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件在所述滑轨上移动。

在一个优选实施方式中，所述光刻主体包括曝光镜筒及曝光光源，所述曝光镜筒连接所述曝光光源，所述曝光光源用于为数字光刻处理提供曝光光线。

在一个优选实施方式中，所述曝光光源连接有液冷管道组件。

在一个优选实施方式中，还包括支撑台，所述支撑台用于承载所述第一平台、第二平台、光刻主体、输送组件及传动组件。

相比于现有技术，本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置，所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述机架固定于所述第一平台、所述第二平台及所述输送组件上，所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件、所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件均悬挂于所述机架上，在进行数字光刻处理时，所述第一进料搬运组件能够将部分待光刻线路板搬运至第一平台上，且剩余部分待光刻线路板经过输送组件且由所述第二进料搬运组件搬运至第二平台上，实现了对第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台通过输送组件进行待光刻线路板上料，而对第二平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率，提高了光刻的自动化程度。

为使实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举本实用新型较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置的立体结构图；

图2为本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置的正视结构图；

图3为本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置的俯视结构图。

【具体实施方式】

下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请一并参阅图1至图3，本实用新型提供一种全自动单面数字光刻装置100，主要应用于PCB板的光刻；其包括机架10、第一进料搬运组件21、输送组件30、第二进料搬运组件22、第一平台40、第二平台50、光刻主体60、传动组件70、第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82。

所述光刻主体60位于所述第一平台40及所述第二平台50之间，所述输送组件30位于所述第一平台40、所述第二平台50及所述光刻主体60的一侧，所述传动组件70承载所述第一平台40及所述第二平台50。所述机架10固定于所述第一平台40、所述第二平台50及所述输送组件30上，所述第一进料搬运组件21及所述第二进料搬运组件22悬挂于所述机架10上，且所述第一进料搬运组件21及所述第二进料搬运组件22分别位于所述第一平台40及所述第二平台50的上方，所述第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82悬挂于所述机架10上，且所述第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82位于所述输送组件30上方。

可以理解地，全自动单面数字光刻装置100用于对待光刻线路板进行数字光刻处理，所述待光刻线路板包括一待光刻表面，在进行数字光刻处理时，所述第一进料搬运组件21能够将部分待光刻线路板搬运至第一平台40上，且剩余部分待光刻线路板经过输送组件30且由所述第二进料搬运组件22搬运至第二平台50上，也即部分待光刻线路板先搬运至第一平台40上，而剩余部分待光刻线路板后搬运至第二平台50上。部分待光刻线路板先搬运至第一平台40上后，所述传动组件70带动所述第一平台40向靠近所述光刻主体60的方向移动，以实现所述光刻主体60对所述第一平台40上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。而在第一平台40上的待光刻线路板进行数字光刻的过程中，剩余部分待光刻线路板经过输送组件30且由所述第二进料搬运组件22搬运至第二平台50上，当第一平台10上的待光刻线路板数字光刻完成后，第一平台40上进行数字光刻处理后的光刻线路板由第一出料搬运组件81进行出料，而传动组件70带动第二平台60及其上的待光刻线路板移动至光刻主体60的下方，以实现所述光刻主体60对所述第二平台50上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理，如此，实现对所述第一平台40及所述第二平台50上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理，完成两个平台上的待光刻线路板的单面光刻。也即，对第一平台40上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台50通过输送组件30进行待光刻线路板上料，而对第二平台50上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台40上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体60对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率。

因此，本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置100，所述光刻主体60位于所述第一平台40及所述第二平台50之间，所述机架10固定于所述第一平台40、所述第二平台50及所述输送组件30上，所述第一进料搬运组件21及所述第二进料搬运组件22、所述第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82均悬挂于所述机架10上，在进行数字光刻处理时，所述第一进料搬运组件21能够将部分待光刻线路板搬运至第一平台40上，且剩余部分待光刻线路板经过输送组件30且由所述第二进料搬运组件22搬运至第二平台50上，实现了对第一平台40上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台50通过输送组件30进行待光刻线路板上料，而对第二平台50上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台40上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体60对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率，提高了光刻的自动化程度。

进一步地，所述第一平台40的远离所述光刻主体60的一侧设置有第一拍板组件41，所述第二平台50的远离所述光刻主体60的一侧设置有第二拍板组件42。可以理解地，在所述第一进料搬运组件21将待光刻线路板搬运至第一平台40上之前，待光刻线路板先被放置于第一拍板组件41上，第一拍板组件41进行拍板，以摆正待光刻线路板的位置；在所述第二进料搬运组件22将待光刻线路板搬运至第二平台50上之前，待光刻线路板先被放置于第二拍板组件42上，第二拍板组件42进行拍板，以摆正待光刻线路板的位置。通过设置第一拍板组件组件41及第二拍板组件42，能够提高待光刻线路板的位置精度，进而提高光刻精度。

进一步地，所述输送组件30的靠近所述第一平台40的一端设置有第一分板组件31，所述输送组件30的靠近所述第二平台50的一端设置有第二分板组件32。可以理解地，第一分板组件31用于将搬运至第一平台40及第二平台50的待光刻线路板分流，第二分板组件32用于将搬运至第二平台50的待光刻线路板及出料的光刻完成的光刻线路板进行分流，防止不同平台的进料、进料与出料发生混乱。

本实施方式中，所述输送组件30与所述第一分板组件31之间设置有第一汇流组件33，所述输送组件30与所述第二分板组件32之间设置有第二汇流组件34。第一汇流组件33用于将第一平台40上的光刻完成的光刻线路板进行汇流，并由第一出料搬运组件81进行出料；第二汇流组件34用于将第二平台50上的光刻完成的光刻线路板进行汇流，并由第二出料搬运组件82进行出料。具体的，所述机架10上固定有多个滑轨11，所述第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82能够在所述滑轨11上移动，以实现对光刻完成的光刻线路板进行搬运出料。

可以理解地，所述传动组件70还能够带动所述第一平台40及所述第二平台50向远离所述光刻主体60的方向移动，以实现进行数字光刻处理后的光刻线路板出料。传动组件70例如可以为传送带，能够带动第一平台40及第二平台50运动。

具体的，所述第一平台40及所述第二平台50的表面可以设置有吸附件，吸附件用于吸附所述待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面。可以理解地，待光刻线路板搬运至第一平台40或第二平台50上时，待光刻线路板的与待光刻表面的相对的表面（即此次不进行光刻的表面）通过吸附件能够固定于第一平台40或第二平台50上，吸附件能够将待光刻线路板稳定地固定于第一平台40或第二平台50上，防止待光刻线路板在第一平台40或第二平台50上的位置发生偏移，避免影响光刻的精度。

进一步地，所述第一平台40及所述第二平台50上还可以设置有压板组件，所述压板组件用于将所述待光刻线路板的边缘压平，压板组件能够防止所述待光刻线路板的边缘翘起，提高待光刻线路板的位置精度，进而能够提高光刻精度。

光刻主体60包括曝光镜筒61，所述曝光镜筒61连接有曝光光源62，所述曝光光源62用于为数字光刻处理提供曝光光线。可以理解地，曝光光源62的光线经过曝光镜筒61后，能够实现对待光刻线路板的曝光处理。具体的，所述光刻主体60还包括曝光头控制单元63，所述曝光头控制单元63用于控制所述曝光光源62进行曝光，曝光光源62具体可以为LED光源或激光光源。

进一步地，所述曝光光源62连接有液冷管道组件64，液冷管道组件可以包括多个并排分布的液冷管，液冷管内填充有冷却液，冷却液在液冷管内流动，能够带走所述曝光光源62、所述曝光头控制单元63工作产生的热量，防止温度过高。

具体的，光刻主体60的两侧还可以设置有靶点相机，靶点相机位于第一平台40及第二平台50的上方，靶点相机能够对第一平台40及第二平台50上的待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，使得光刻主体60能够根据该图像信息对线路板进行数字光刻处理。具体的，所述靶点相机的数量可以为多个，光刻主体60的两侧可以设置有相机平移组件，多个靶点相机固定于所述相机平移组件上，所述相机平移组件用于驱动所述靶点相机进行平移，以获取待光刻线路板的不同位置的图像信息。通过设置靶点相机，能够在待光刻线路板进行数字光刻处理之前，对待光刻线路板进行拍照，以获取待光刻线路板的图像信息，以实现待光刻线路板的靶点定位，进而提高光刻的精度。

本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置100还包括支撑台90，所述支撑台90用于承载所述第一平台40、第二平台50、光刻主体60、输送组件30及传动组件70。支撑台90可以为大理石平台，以保证装置的结构稳定性。

综上，本实用新型提供的全自动单面数字光刻装置100，所述光刻主体60位于所述第一平台40及所述第二平台50之间，所述机架10固定于所述第一平台40、所述第二平台50及所述输送组件30上，所述第一进料搬运组件21及所述第二进料搬运组件22、所述第一出料搬运组件81及第二出料搬运组件82均悬挂于所述机架10上，在进行数字光刻处理时，所述第一进料搬运组件21能够将部分待光刻线路板搬运至第一平台40上，且剩余部分待光刻线路板经过输送组件30且由所述第二进料搬运组件22搬运至第二平台50上，实现了对第一平台40上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第二平台50通过输送组件30进行待光刻线路板上料，而对第二平台50上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时，第一平台40上的待光刻线路板进行上料，实现了在其中一个平台进行数字光刻处理的期间内，另一个平台同时进行上料，总体上节省了时间，光刻主体60对两个平台上的待光刻线路板交替进行数字光刻处理，提高了光刻效率，提高了光刻的自动化程度。

以上所述仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (8)

1.一种全自动单面数字光刻装置，其特征在于，包括机架、第一进料搬运组件、输送组件、第二进料搬运组件、第一平台、第二平台、光刻主体、传动组件、第一出料搬运组件及第二出料搬运组件；

所述光刻主体位于所述第一平台及所述第二平台之间，所述输送组件位于所述第一平台、所述第二平台及所述光刻主体的一侧，所述传动组件承载所述第一平台及所述第二平台；所述机架固定于所述第一平台、所述第二平台及所述输送组件上，所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件悬挂于所述机架上，且所述第一进料搬运组件及所述第二进料搬运组件分别位于所述第一平台及所述第二平台的上方，所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件悬挂于所述机架上，且所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件位于所述输送组件上方。

2.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述第一平台的远离所述光刻主体的一侧设置有第一拍板组件，所述第二平台的远离所述光刻主体的一侧设置有第二拍板组件。

3.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述输送组件的靠近所述第一平台的一端设置有第一分板组件，所述输送组件的靠近所述第二平台的一端设置有第二分板组件。

4.如权利要求3所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述输送组件与所述第一分板组件之间设置有第一汇流组件，所述输送组件与所述第二分板组件之间设置有第二汇流组件。

5.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述机架上固定有多个滑轨，所述第一出料搬运组件及第二出料搬运组件在所述滑轨上移动。

6.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述光刻主体包括曝光镜筒及曝光光源，所述曝光镜筒连接所述曝光光源，所述曝光光源用于为数字光刻处理提供曝光光线。

7.如权利要求6所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，所述曝光光源连接有液冷管道组件。

8.如权利要求1所述的全自动单面数字光刻装置，其特征在于，还包括支撑台，所述支撑台用于承载所述第一平台、第二平台、光刻主体、输送组件及传动组件。

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