CN218200986U - 基板的传送设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种基板的传送设备。该传送设备的固定框架固定设置以用于承载升降旋转机构；传送机构固定设置于固定框架的上方；升降旋转机构的支撑杆组件容置于传送机构中，多个支撑单元均设置于支撑杆组件上，用于采用点接触的方式承载基板，并且能使基板与支撑杆组件之间具有传动间隙，以供机械手伸入传输基板；驱动装置设置于固定框架上，用于带动支撑杆组件上升至第一位置，并且能带动支撑杆组件旋转；以及带动支撑杆组件下降至第二位置，以使支撑单元的顶面低于传送机构的顶面。本申请实施例能够搭配机械手来使用，从而大幅扩展了适用范围，并且还降低基板的脏污、划伤造成的不良率。

Description

基板的传送设备

技术领域

本申请涉及液晶显示面板加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种基板的传送设备。

背景技术

目前，随着科技的快速发展，使得液晶显示面板的应用场景越来越广泛，为了满足人们快速增长、各式各样的工作、生活娱乐等需求，液晶显示面板的种类也需要快速的丰富起来，进而使得液晶显示面板的生产工艺越来越复杂，对生产效率的要求也更高。玻璃材质的基板是液晶显示面板的核心部件，在液晶显示面板的生产工艺中，需要在基板送入工艺设备前，先旋转换向的动作需求。

现有技术中的支撑架通过缓冲垫与基板接触，造成支撑架与基板的接触面积较大，并且缓冲垫上的积尘会脏污基板；若生产过程中发生基板的碎片，在缓冲垫上面极易残留基板的细小碎片，易划伤基板，从而造成基板的不良。

实用新型内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种基板的传送设备，用以解决现有技术存在缓冲垫会污染基板，以及残留碎片造成的基板不良的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种基板的传送设备，包括：固定框架、传送机构及升降旋转机构；所述固定框架固定设置以用于承载所述升降旋转机构；所述传送机构固定设置于所述固定框架的上方，用于带动所述基板沿一预设方向传送；所述升降旋转机构包括支撑杆组件、支撑单元及驱动装置，所述支撑杆组件容置于所述传送机构中，多个所述支撑单元均设置于所述支撑杆组件上，用于采用点接触的方式承载所述基板，并且能使所述基板与所述支撑杆组件之间具有传动间隙，以供机械手伸入传输所述基板；所述驱动装置设置于所述固定框架上，用于带动支撑杆组件上升至第一位置，以使所述支撑杆组件的底面高于所述传送机构的顶面一预设间距，并且能带动所述支撑杆组件旋转；以及带动所述支撑杆组件下降至第二位置，以使所述支撑单元的顶面低于所述传送机构的顶面。

于本申请的一实施例中，所述传送机构内形成有容置缺口，所述容置缺口与所述支撑杆组件的形状对应设置，并且能容置所述支撑杆组件，所述容置缺口还能在所述支撑杆组件旋转预设角度后容置所述支撑杆组件，所述预设角度为90度的整数倍。

于本申请的一实施例中，所述支撑杆组件包括第一支撑杆及第二支撑杆，两个所述第一支撑杆与两个所述第二支撑杆构成呈中心对称的井字形结构。

于本申请的一实施例中，所述支撑杆组件还包括有第三支撑杆及第四支撑杆，所述第三支撑杆及所述第四支撑杆呈十字交叉结构，并且位于所述井字形结构的四个缺口处；所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的一端分别与所述第一支撑杆及所述第二支撑杆连接，所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的另一端悬空设置。

于本申请的一实施例中，所述支撑杆组件还包括有第五支撑杆及第六支撑杆，所述第五支撑杆及所述第六支撑杆的一端分别与所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的另一端连接，并且所述第五支撑杆及所述第六支撑杆的另一端悬空设置。

于本申请的一实施例中，所述传送机构包括传送框架及设置于所述传送框架内的主动传动件及辅助传动件，多个所述主动传动件设置于所述支撑杆组件的外周及所述第一支撑杆至所述第六支撑杆形成的间隙内，多个所述辅助传动件位于所述第一支撑杆至所述第六支撑杆形成的间隙内，所述主动传动件及所述辅助传动件合围成所述容置缺口。

于本申请的一实施例中，所述支撑单元包括自上至下依次设置的支撑头、支撑部及压环部，所述支撑头的顶面形成有支撑平面，所述支撑平面的直径小于所述支撑头的直径，用于与所述基板接触；所述压环部设置于所述支撑部的底端，用于在所述支撑部与所述支撑杆组件连接时，压抵于所述支撑杆组件的表面。

于本申请的一实施例中，所述支撑单元为导电材质制成，用于通过所述支撑杆组件将所述基板上的静电导出，并且所述支撑头为具有自润滑性的材质制成。

于本申请的一实施例中，所述驱动装置包括底板、同步升降器及第一驱动器，所述底板设置于所述固定框架的顶部，所述同步升降器的顶端与所述支撑杆组件连接，所述第一驱动器的输出轴与所述同步升降器的输入轴连接，所述同步升降器用于将所述第一驱动器的旋转动作转化为升降动作。

于本申请的一实施例中，所述驱动装置还包括第二驱动器、连接板及支撑板，所述第二驱动器通过所述连接板设置于所述同步升降器的顶端，并且通过所述支撑板与所述支撑杆组件的底面连接，所述第二驱动器用于带动所述支撑杆组件旋转。

于本申请的一实施例中，所述第一驱动器为伺服电机或步进电机，并且所述第一驱动器与所述同步升降器之间设置有联轴器；所述第二驱动器为直接驱动电机。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例通过将支撑杆组件容置于传送机构，并且通过驱动装置带动支撑杆组件及支撑单元升降及旋转，从而实现了基板在进入工艺设备前即可旋转及换向。由于多个支撑单元与基板之间采用多点接触，在保证支撑基板的前提下，尽量减少支撑单元对基板造成的不良影响，并且支撑单元还可以使传送设备搭配机械手来使用，从而大幅扩展了适用范围。进一步的，支撑单元还可以大幅降低积尘、残存基板碎片的概率，从而大幅降低基板的脏污、划伤造成的不良率。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的一种基板的传送设备的主视示意图；

图2为本申请实施例提供的一种基板的传送设备的俯视示意图；

图3为本申请实施例提供的一种升降旋转机构的主视示意图；

图4为本申请实施例提供的一种升降旋转机构的俯视示意图；

图5为本申请实施例提供的一种支撑单元的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

本申请实施例提供了一种基板的传送设备，该传送设备的结构示意图如图1所示，包括：固定框架1、传送机构2及升降旋转机构3；固定框架1固定设置以用于承载升降旋转机构3；传送机构2固定设置于固定框架1的上方，用于带动基板沿一预设方向传送；升降旋转机构3包括支撑杆组件31、支撑单元32及驱动装置33，支撑杆组件31容置于传送机构2中，多个支撑单元32均设置于支撑杆组件31上，用于采用点接触的方式承载基板，并且能使基板与支撑杆组件31之间具有传动间隙，以供机械手伸入传输基板；驱动装置33设置于固定框架1上，用于带动支撑杆组件31上升至第一位置，以使支撑杆组件31的底面高于传送机构2的顶面一预设间距，并且能带动支撑杆组件31旋转；以及带动支撑杆组件31下降至第二位置，以使支撑单元32的顶面低于传送机构2的顶面。

如图1所示，该传送设备可以应用于液晶显示面板生产线的机架中，并且传送设备可以适用于多种材质的基板，基板的材质可以为玻璃材质、聚氯乙烯材质或其它类玻璃材质等，但是本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。固定框架1可以采用金属材质制成的长方体结构，固定框架1可以设置于机架当中，以用于承载升降旋转机构3。传送机构2可以设置于机架当中，并且固定于固定框架1的上方，以用于将基板沿一预设方向进行传送，该预设方向例如为图中示出的前后方向，但是本申请实施例并不以此为限。支撑杆组件31的整体形状与基板的形状设置，例如其可以设置为矩形结构。支撑杆组件31可以容置于传送机构2中，以用于在传送基板时避免与其发生机械干涉。支撑单元32可以采用圆柱形结构，多个支撑单元32设置于支撑杆组件31上，并且支撑单元32的底端与支撑杆组件31连接，顶端用于支撑基板，使得支撑单元32与基板之间实现多点接触，并且能使得基板与支撑杆组件31表面之间具有传动间隙。在实际应用时，机械手可以伸入传动间隙内，以实现与机械手配合传输基板。驱动装置33可以设置于固定框架1的顶面上，并且驱动装置33的顶端可以与支撑杆组件31的底部连接，用于带动支撑杆组件31旋转及升降。具体来说，驱动装置33可以带动支撑杆组件31上升至第一位置，以使支撑杆组件31的底面高于传送机构2的顶面一预设间距，然后再带动支撑杆组件31旋转，从而避免支撑杆组件31与传送机构2发生机械干涉。驱动装置33还能带动支撑杆组件31下降至第二位置，以使支撑单元32的顶面低于传送机构2的顶面，即支撑杆组件31可以容置于传送机构2中，以避免支撑杆组件31在传送基板时磨损基板。

本申请实施例通过将支撑杆组件容置于传送机构，并且通过驱动装置带动支撑杆组件及支撑单元升降及旋转，从而实现了基板在进入工艺设备前即可旋转及换向。由于多个支撑单元与基板之间采用多点接触，在保证支撑基板的前提下，尽量减少支撑单元对基板造成的不良影响，并且支撑单元还可以使传送设备搭配机械手来使用，从而大幅扩展了适用范围。进一步的，支撑单元还可以大幅降低积尘、残存基板碎片的概率，从而大幅降低基板的脏污、划伤造成的不良率。

进一步的，现有技术中需要多个传送设备设置在一条直线上，并且多个传送设备均采用滚轮传送基板。在液晶显示面板实际生产中，生产线的起始端设置有机械手，机械手从卡匣里将基板取出，然后再经过传送设备进行传输，以使基板在工艺设备内依次完成生产工艺。由于本申请实施例中的传送设备可以搭配机械手来使用，传送设备不仅可以应用于生产线的直线段，而且还可以应用在生产线的拐角段、开头段及结束段中，从而大幅提高应用本申请实施例的生产线的灵活性及适用性，并且还能进一步提高实用性。

于本申请的一实施例中，如图1及图2所示，传送机构2内形成有容置缺口21，容置缺口21与支撑杆组件31的形状对应设置，并且能容置支撑杆组件31，容置缺口21还能在支撑杆组件31旋转预设角度后容置支撑杆组件31，预设角度为90度的整数倍。具体来说，传送机构2整体可矩形框架结构，传送机构2内可以贯穿有容置缺口21，并且该容置缺口21可以设置为矩形，以对应于支撑杆组件31的形状设置，但是本申请实施例并不以此为限，只要容置缺口21与支撑杆组件31的形状对应设置即可，并且容置缺口21能容置支撑杆31组件即可。该容置缺口21能对支撑杆组件31整体进行收纳，支撑杆组件31能在该容置缺口21内升降，并且使得支撑杆组件31在旋转预设角度后，还能再次下降以容置于该容置缺口21内。在实际应用时，支撑杆组件31旋转的预设角度可以为90度、180度、270度及360度，即支撑杆组件31旋转的预设角度为90度的整数倍。采用上述设计，使得本申请实施例的应用更加灵活，从而大幅提高适用性及适用范围。

需要说明的是，本申请实施例并不限定支撑杆组件31的旋转方向，例如旋转方向可以为顺时针和/或逆时针方向。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，支撑杆组件31包括第一支撑杆311及第二支撑杆312，两个第一支撑杆311与两个第二支撑杆312构成呈中心对称的井字形结构。具体来说，第一支撑杆311及第二支撑杆312均可以采用铝合金材质制成的杆状结构，并且两个支撑杆的长度相等。两个第一支撑杆311及两个第二支撑杆312可以相互交叉，如图3所示，两个第一支撑杆311可以沿横向延伸设置，两上第二支撑杆312可以沿竖向延伸设置，以使支撑杆组件31形成呈中心对称的井字形结构。采用上述设计，使得支撑杆组件31的结构简单及轻量化程度较高，对驱动装置33的要求相对较低，不仅能节省成本，而且还便于对基板的升降及旋转实现精确控制，从而提高本申请实施例的稳定性。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，支撑杆组件31还包括有第三支撑杆313及第四支撑杆314，第三支撑杆313及第四支撑杆314呈十字交叉结构，并且位于井字形结构的四个缺口处；第三支撑杆313及第四支撑杆314的一端分别与第一支撑杆311及第二支撑杆312连接，第三支撑杆313及第四支撑杆314的另一端悬空设置。具体来说，第三支撑杆313及第四支撑杆314均可以采用铝合金材质制成的杆状结构，并且相对于第一支撑杆311及第二支撑杆312较短。第三支撑杆313与第四支撑杆314呈十字交叉结构，并且四个十字交叉结构分别设置于井字形结构的四个缺口处。进一步的，第三支撑杆313与第一支撑杆311平行设置，其一端与第二支撑杆312连接，另一端悬空设置且与第一支撑杆311的端部平齐，或者相较于第一支撑杆311略长或略短；第四支撑杆314与第二支撑杆312平行设置，其一端与第一支撑杆311连接，另一端悬空设置且与第二支撑杆312端部平齐，或者相较于第二支撑杆312略长或略短。采用上述设计，第三支撑杆313及第四支撑杆314可以提高支撑基板的平整度，避免基板弯折较大而造成损坏，从而进一步提高基板的良率。另外，还使得支撑杆组件31的结构轻量化程度较高，从而进一步降低成本及提高稳定性。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，支撑杆组件31还包括有第五支撑杆315及第六支撑杆316，第五支撑杆315及第六支撑杆316的一端分别与第三支撑杆313及第四支撑杆314的另一端连接，并且第五支撑杆315及第六支撑杆316的另一端悬空设置。具体来说，第五支撑杆315及第六支撑杆316均可以采用铝合金材质制成的杆状结构，并且相对于第三支撑杆313及第四支撑杆314较短，第五支撑杆315及第六支撑杆316均设置于十字交叉结构远离支撑杆组件31中心的缺口内。进一步的，第五支撑杆315与第一支撑杆311平行设置，其一端与第四支撑杆314悬空的一端连接，另一端悬空设置且略短于第一支撑杆311的长度；第六支撑杆316与第二支撑杆312平行设置，其一端与第三支撑杆313悬空的一端连接，另一端悬空设置且略短于第二支撑杆312的长度。采用上述设计，第五支撑杆315及第六支撑杆316可以进一步提高支撑基板的平整度，避免基板弯折较大而造成损坏，从而进一步提高基板的良率。另外，还使得支撑杆组件31的结构轻量化程度较高，从而进一步降低成本及提高稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定支撑杆组件31必须采用铝合金材质制成，只要能满足结构轻量化的需求即可。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，传送机构2包括传送框架22及设置于传送框架22内的主动传动件23及辅助传动件24，多个主动传动件23设置于支撑杆组件31的外周及第一支撑杆311至第六支撑杆316形成的间隙内，多个辅助传动件24位于第一支撑杆311至第六支撑杆316形成的间隙内，主动传动件23及辅助传动件24合围成容置缺口21。

如图1至图4所示，传送框架22例如采用金属材质制成的矩形框架，多个主动传动件23及辅助传动件24均设置于传送框架22内部，传送框架22可以与生产线中的机架连接，以使传送机构2能固定于固定框架1的上方，但是本申请实施例并不以此为限。多个主动传动件23可以围绕支撑杆组件31外周设置，并且部分可以伸入第一支撑杆311及第二支撑杆312形成的间隙内，以及还可以位于第一支撑杆311与第三支撑杆313形成间隙内。多个辅助传动件24可以位于第二支撑杆312、第四支撑杆314及第六支撑杆316形成的间隙内。但是本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。多个主动传动件23及辅助传动件24共同构成容置缺口21，以为支撑杆组件31的升降预留了足够的安全间隙，可保证支撑杆组件31在升降过程中不会发生机械干涉，从而进一步提高了本申请实施例的稳定性。进一步的，由主动传动件23及辅助传动件24负责基板的直线传送，其中若干数量的主动传动件23是由电机驱动作为基板的传送动力来源，若干数量的辅助传动件24作为从动传送，以为基板提供足够的支撑，防止基板在传送过程中受力不均而引起变形，从而进一步提高本申请实例的良率。

于本申请的一实施例中，如图3及图5所示，支撑单元32包括自上至下依次设置的支撑头321、支撑部322及压环部323，支撑头321的顶面形成有支撑平面324，支撑平面324的直径小于支撑头321的直径，用于与基板接触；压环部323设置于支撑部322的底端，用于在支撑部322与支撑杆组件31连接时，压抵于支撑杆组件31的表面。

可选地，支撑单元32为导电材质制成，用于通过支撑杆组件31将基板上的静电导出，并且支撑头321为具有自润滑性的材质制成。

如图3及图5所示，支撑单元32整体为采用导电材质制成的圆柱形结构，并且包括自上至下依次设置的支撑头321、支撑部322及压环部323，其中支撑头321的顶部形成用于与基板接触的支撑平面324，该支撑平面324的直径小于支撑头321的平面，以进一减少与基板的接触面积，并且提高摩擦力，防止基板旋转时与支撑单元32发生较大的相对滑动。支撑头321的顶部也可以设置为球面，通过提高支撑单元32的数量的作法，可以进一步避免污染或划伤基板，并且还能保证两者之间的相对摩擦力。支撑头321还可以采用具有自滑化性的材质制成，例如采用超高分子聚乙烯或聚醚醚酮材质制成，避免支撑单元32与基板之间产生静电，从而进一步提高产品良率。支撑部322及压环部323均采用不锈钢材质，这样支撑单元32就成为一个导电的整体，支撑单元32在与基板接触时，就可将基板上的静电通过传送设备的地线导入大地中，避免基板有被静电击穿的风险，从而进一步提高产品良率。支撑部322为杆状结构，支撑部322的底端套设有压环部323，以用于与支撑杆组件31连接，例如上述实施例中支撑杆组件31上开设有卡槽，卡槽内设置有螺母，支撑部322的底端与螺母连接，并且通过压环部323压抵于支撑杆组件31的表面上，从而提高支撑单元32与支撑杆组件31连接的稳定性。

于本申请的一实施例中，如图1至图3所示，驱动装置33包括底板331、同步升降器332及第一驱动器333，底板331设置于固定框架1的顶部，同步升降器332的顶端与支撑杆组件31连接，第一驱动器333的输出轴与同步升降器332的输入轴连接，同步升降器332用于将第一驱动器333的旋转动作转化为升降动作。具体来说，底板331可以是矩形板状结构，其盖合于固定框架1的顶部，并且底板331靠近四个边角处设置均设置有通孔。同步升降器332包括丝杠结构3321、传动杆3322及传动结构3323，四个丝杠结构3321分别设置于四个通孔内，并且与底板331固定，丝杠结构3321的顶端与支撑杆组件31的底部连接。任意两个丝杠结构3321之间均设置有传动杆3322，并且其中一个传动杆3322上设置有传动结构3323。第一驱动器333的输出轴与传动结构3323的输入轴连接，传动结构3323通过传动杆3322带动四个丝杠结构3321同步升降，即同步升降器332用于将第一驱动器333的旋转动作转化为升降动作，以带动支撑杆组件31进行升降。采用上述设计，使得本申请实施例结构简单，并且还大幅提高本申请实施例的稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定同步升降器332的具体结构，同步升降器332也可以采用滚珠丝杠搭配滑块导轨来实现升降功能。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，驱动装置33还包括第二驱动器334、连接板335及支撑板336，第二驱动器334通过连接板335设置于同步升降器332的顶端，并且通过支撑板336与支撑杆组件31的底面连接，第二驱动器334用于带动支撑杆组件31旋转。具体来说，连接板335可以设置于四个丝杠结构3321的顶端，以用于安装第二驱动器334，即第二驱动器334可以通过连接板335设置于同步升降器332的顶端。支撑板336可以设置于第二驱动器334的顶部，用于安装支撑杆组件31，使得支撑杆组件31能在第二驱动器334的驱动下实现旋转。进一步的，支撑板336的四周还可以设置有四个加强筋337，加强筋337的一端与支撑板336的边角连接，另一端与第三支撑杆313及第四支撑杆314的交叉点连接，从而提高支撑杆组件31的强度，但是本申请实施例并不限定加强筋337的具体实施方式，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。采用上述设计，使得本申请实施例采用较为简单的结构，即可以实现支撑杆组件31的升降及旋转动作，从而大幅降低应用及维护成本。

于本申请的一实施例中，如图1至图4所示，第一驱动器333为伺服电机或步进电机，并且第一驱动器333与同步升降器332之间设置有联轴器；第二驱动器334为直接驱动电机。具体来说，第一驱动器333可以采用伺服电机或步进电机，第一驱动器333与同步升降器332之间采用联轴器连接，联轴器可以吸收第一驱动器333的震动，从而使得本申请实施例不仅可以大幅提高控制的精确性，而且还能大幅提高升降过程中的稳定性，进而大幅提高产品良率。第二驱动器334采用直接驱动电机，由于其具有集成度高、驱动力矩大及控制方便等特点，能大幅提高本申请实施例的适用范围，并且还能大幅降低故障率以延长使用寿命。需要说明的是，本申请实施例并不限定第二驱动器334的具体类型，例如第二驱动器334也可以采用伺服电机配合旋转平台的方式来实现。因此本申请实施例并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

本申请实施例通过将支撑杆组件容置于传送机构，并且通过驱动装置带动支撑杆组件及支撑单元升降及旋转，从而实现了基板在进入工艺设备前即可旋转及换向。由于多个支撑单元与基板之间采用多点接触，在保证支撑基板的前提下，尽量减少支撑单元对基板造成的不良影响，并且支撑单元还可以使传送设备搭配机械手来使用，从而大幅扩展了适用范围。进一步的，支撑单元还可以大幅降低积尘、残存基板碎片的概率，从而大幅降低基板的脏污、划伤造成的不良率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (11)

1.一种基板的传送设备，其特征在于，包括：固定框架、传送机构及升降旋转机构；

所述固定框架固定设置以用于承载所述升降旋转机构；所述传送机构固定设置于所述固定框架的上方，用于带动所述基板沿一预设方向传送；

所述升降旋转机构包括支撑杆组件、支撑单元及驱动装置，所述支撑杆组件容置于所述传送机构中，多个所述支撑单元均设置于所述支撑杆组件上，用于采用点接触的方式承载所述基板，并且能使所述基板与所述支撑杆组件之间具有传动间隙，以供机械手伸入传输所述基板；

所述驱动装置设置于所述固定框架上，用于带动支撑杆组件上升至第一位置，以使所述支撑杆组件的底面高于所述传送机构的顶面一预设间距，并且能带动所述支撑杆组件旋转；以及带动所述支撑杆组件下降至第二位置，以使所述支撑单元的顶面低于所述传送机构的顶面。

2.如权利要求1所述的传送设备，其特征在于，所述传送机构内形成有容置缺口，所述容置缺口与所述支撑杆组件的形状对应设置，并且能容置所述支撑杆组件，所述容置缺口还能在所述支撑杆组件旋转预设角度后容置所述支撑杆组件，所述预设角度为90度的整数倍。

3.如权利要求2所述的传送设备，其特征在于，所述支撑杆组件包括第一支撑杆及第二支撑杆，两个所述第一支撑杆与两个所述第二支撑杆构成呈中心对称的井字形结构。

4.如权利要求3所述的传送设备，其特征在于，所述支撑杆组件还包括有第三支撑杆及第四支撑杆，所述第三支撑杆及所述第四支撑杆呈十字交叉结构，并且位于所述井字形结构的四个缺口处；所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的一端分别与所述第一支撑杆及所述第二支撑杆连接，所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的另一端悬空设置。

5.如权利要求4所述的传送设备，其特征在于，所述支撑杆组件还包括有第五支撑杆及第六支撑杆，所述第五支撑杆及所述第六支撑杆的一端分别与所述第三支撑杆及所述第四支撑杆的另一端连接，并且所述第五支撑杆及所述第六支撑杆的另一端悬空设置。

6.如权利要求5所述的传送设备，其特征在于，所述传送机构包括传送框架及设置于所述传送框架内的主动传动件及辅助传动件，多个所述主动传动件设置于所述支撑杆组件的外周及所述第一支撑杆至所述第六支撑杆形成的间隙内，多个所述辅助传动件位于所述第一支撑杆至所述第六支撑杆形成的间隙内，所述主动传动件及所述辅助传动件合围成所述容置缺口。

7.如权利要求1所述的传送设备，其特征在于，所述支撑单元包括自上至下依次设置的支撑头、支撑部及压环部，所述支撑头的顶面形成有支撑平面，所述支撑平面的直径小于所述支撑头的直径，用于与所述基板接触；所述压环部设置于所述支撑部的底端，用于在所述支撑部与所述支撑杆组件连接时，压抵于所述支撑杆组件的表面。

8.如权利要求7所述的传送设备，其特征在于，所述支撑单元为导电材质制成，用于通过所述支撑杆组件将所述基板上的静电导出，并且所述支撑头为具有自润滑性的材质制成。

9.如权利要求1所述的传送设备，其特征在于，所述驱动装置包括底板、同步升降器及第一驱动器，所述底板设置于所述固定框架的顶部，所述同步升降器的顶端与所述支撑杆组件连接，所述第一驱动器的输出轴与所述同步升降器的输入轴连接，所述同步升降器用于将所述第一驱动器的旋转动作转化为升降动作。

10.如权利要求9所述的传送设备，其特征在于，所述驱动装置还包括第二驱动器、连接板及支撑板，所述第二驱动器通过所述连接板设置于所述同步升降器的顶端，并且通过所述支撑板与所述支撑杆组件的底面连接，所述第二驱动器用于带动所述支撑杆组件旋转。

11.如权利要求10所述的传送设备，其特征在于，所述第一驱动器为伺服电机或步进电机，并且所述第一驱动器与所述同步升降器之间设置有联轴器；所述第二驱动器为直接驱动电机。

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