CN218138450U - 全自动晶圆切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆切割技术领域，具体涉及全自动晶圆切割机，包括用于对晶圆的进行自动切割工作的切割机，用于在切割机的中部进行打扫工作台并且保持工作台干净整洁的清洁组件用于将晶圆切割留下来的垃圾与废料进行统一回收的回收组件，本实用新型的有益效果是：在切割机的中部设置有两个除尘组件，在进行切割的过程中，切割头两侧的除尘组件会对切割的位置进行除尘，而在切割完毕后，夹紧组件的上方会设置有专门的第二除尘组件进行除尘，从而可以保证夹紧工作台的干净整洁，从而达到更好的除尘效果，从而提高产品的合格率，并且在切割机的下端中部还设置有回收组件，方便对切割的废料进行统一回收与处理，方便快捷。

Description

全自动晶圆切割机

技术领域

本实用新型涉及晶圆切割技术领域，具体涉及全自动晶圆切割机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。

大体上，晶圆的工艺流程在产业界一般被分为前段制程和后段制程。前段制程主要指在晶圆上形成晶体以及为实现晶体形成所采取的一些工艺流程；后段制程主要指的是将已经生成电路的晶圆通过一系列后工艺流程，将晶圆处理成为可以扮演电路功能期间的工艺制程，这些制程包括：晶圆背面研磨亦称为晶圆减薄、晶圆划片、晶圆挑粒等过程将品质良好的裸芯片从晶圆上分离出来进行芯片封装；封装完后就成为能使用的集成电路。其中，晶圆划片是指将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片，在晶圆划片行业，主要有两种切割工艺，一个是传统的刀片切割，另一个新型的现代工艺激光划片。

但无论哪一种切割工艺，切割时都会产生粉尘附着在操作平台上，而且操作平台若长时间不使用也会有大量粉尘堆积，产品可能会被操作平台上的粉尘污染，进入光学检测设备中进行检测容易影响检测结果，被系统判为不合格品，现有技术通常都是在切割进行时对晶圆进行除尘处理，而缺乏一个设置在操作平台上，能够对操作平台本身进行除尘的装置，来辅以现有的除尘装置，达到更佳的除尘防尘效果，来提高产品的合格率。

因此，设计全自动晶圆切割机很有必要。

实用新型内容

为此，本实用新型提供全自动晶圆切割机，通过清洁组件与回收组件，以解决目前无论哪一种切割工艺，切割时都会产生粉尘附着在操作平台上，而且操作平台若长时间不使用也会有大量粉尘堆积，产品可能会被操作平台上的粉尘污染，进入光学检测设备中进行检测容易影响检测结果，被系统判为不合格品，现有技术通常都是在切割进行时对晶圆进行除尘处理，而缺乏一个设置在操作平台上，能够对操作平台本身进行除尘的装置，来辅以现有的除尘装置，达到更佳的除尘防尘效果，来提高产品的合格率等问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：全自动晶圆切割机，包括：

用于对晶圆的进行自动切割工作的切割机；

用于在切割机的中部进行打扫工作台并且保持工作台干净整洁的清洁组件；

用于将晶圆切割留下来的垃圾与废料进行统一回收的回收组件。

优选的，所述切割机的下端四周均固定连接有万向轮，所述切割机的侧壁固定连接有固定杆，所述固定杆的上端转动连接有显示屏，所述切割机的上端通过合页转动连接有防护盖，所述防护盖的侧壁贯穿固定连接有玻璃板，所述防护盖的侧壁固定连接有第二握把，所述切割机的侧壁固定连接有支撑板。

优选的，所述清洁组件包括切割头，所述切割头安装在切割机的中部，所述切割机的下端中部固定连接有第一风机，所述第一风机的侧壁安装有第一进气管，所述第一进气管贯穿固定连接在切割机的下端。

优选的，所述第一风机的两侧均安装有第一出气管，所述第一出气管的中部固定连接有第一波纹管，所述切割头的两侧均固定连接有固定环，两个所述第一出气管均安装在固定环的中部，所述切割机的下端中部固定连接有第二风机。

优选的，所述第二风机的侧壁安装有第二进气管，所述第二进气管贯穿固定连接在切割机的下端，所述第二风机的两侧均安装有第二出气管，所述切割机的内壁两侧中部均匀固定连接有第二气压缸，所述第二气压缸的一端滑动连接有第二气压柱。

优选的，所述第二气压柱的一端固定连接有固定盒，所述第二出气管的中间固定连接有第二波纹管，所述第二出气管的一端贯穿固定连接在固定盒的中部，所述第二出气管的侧壁均匀安装有喷气管，所述喷气管的一端安装在固定盒的侧壁中部。

优选的，所述回收组件包括连接柱，所述连接柱均匀固定连接在切割机的内壁两侧，所述连接柱的一端固定连接有底板，所述底板的上端四周中部均匀固定连接有第一气压缸。

优选的，所述第一气压缸的一端滑动连接有第一气压柱，所述第一气压柱的一端固定连接有夹紧组件，所述切割机的侧壁贯穿滑动连接有废料盒，所述废料盒的侧壁均匀固定连接有第一握把。

本实用新型的有益效果是：在切割机的中部设置有两个除尘组件，在进行切割的过程中，切割头两侧的除尘组件会对切割的位置进行除尘，而在切割完毕后，夹紧组件的上方会设置有专门的第二除尘组件进行除尘，从而可以保证夹紧工作台的干净整洁，从而达到更好的除尘效果，从而提高产品的合格率，并且在切割机的下端中部还设置有回收组件，方便对切割的废料进行统一回收与处理，方便快捷。

附图说明

图1为本实用新型提供的全自动晶圆切割机的正视图；

图2为本实用新型提供的全自动晶圆切割机的剖视图；

图3为本实用新型提供的全自动晶圆切割机的升降过程剖视图；

图4为本实用新型提供的全自动晶圆切割机的喷气管示意图；

图5为本实用新型提供的图2中A区域结构的放大图；

图中：1、防护盖；2、切割机；3、废料盒；4、万向轮；5、支撑板；6、第一握把；7、固定杆；8、显示屏；9、第二握把；10、玻璃板；11、第一出气管；12、连接柱；13、第二风机；14、底板；15、第一气压缸；16、第一气压柱；17、夹紧组件；18、第二出气管；19、第二气压缸；20、固定环；21、切割头；22、第一波纹管；23、第二进气管；24、第二波纹管；25、第一进气管；26、第一风机；27、第二气压柱；28、固定盒；29、喷气管。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参照附图1-5，本实用新型提供的全自动晶圆切割机，包括用于对晶圆的进行自动切割工作的切割机2，用于在切割机2的中部进行打扫工作台并且保持工作台干净整洁的清洁组件，用于将晶圆切割留下来的垃圾与废料进行统一回收的回收组件，切割机2的下端四周均固定连接有万向轮4，通过万向轮4方便带动切割机2进行移动，并且还能进行限位与固定，切割机2的侧壁固定连接有固定杆7，固定杆7能够期待连接与固定的作用，是由金属制成，固定杆7的上端转动连接有显示屏8，显示屏8是一种将一定的电子文件通过特定的传输设备显示到屏幕上的显示工具，切割机2的上端通过合页转动连接有防护盖1，防护盖1能够起到转动与防护的作用，是由金属制成，防护盖1的侧壁贯穿固定连接有玻璃板10，通过玻璃板10能够观察到内部切割的情况，是由玻璃制成，防护盖1的侧壁固定连接有第二握把9，使用第二握把9可以将防护盖1转动打开，是由金属制成，切割机2的侧壁固定连接有支撑板5，支撑板5能够进行支撑与固定的作用，是由金属制成，清洁组件包括切割头21，切割头21为切割机2自带的切割组件，方便对晶圆进行自动切割，并且切割机2的型号JQM400，切割头21安装在切割机2的中部，切割机2的下端中部固定连接有第一风机26，第一风机26是依靠输入的机械能，提高气体压力并排送气体的机械，它是一种从动的流体机械，第一风机26的侧壁安装有第一进气管25，第一进气管25方便气体的进入，是由塑料制成，第一进气管25贯穿固定连接在切割机2的下端，第一风机26的两侧均安装有第一出气管11，第一出气管11方便气体的排出，是由塑料制成，第一出气管11的中部固定连接有第一波纹管22，第一波纹管22能够起到连接与防护的作用，是由橡胶制成，切割头21的两侧均固定连接有固定环20，固定环20能够起到连接与固定的作用，是由金属制成，两个第一出气管11均安装在固定环20的中部，切割机2的下端中部固定连接有第二风机13，第二风机13是依靠输入的机械能，提高气体压力并排送气体的机械，它是一种从动的流体机械，第二风机13的侧壁安装有第二进气管23，第二进气管23方便空气的进入，是由塑料制成，第二进气管23贯穿固定连接在切割机2的下端，第二风机13的两侧均安装有第二出气管18，第二出气管18方便空气的排出，是由塑料制成，切割机2的内壁两侧中部均匀固定连接有第二气压缸19，第二气压缸19是将气压能转变为机械能地做直线往复运动的气压执行元件，从而使第二气压柱27进行滑动，第二气压缸19的一端滑动连接有第二气压柱27，第二气压柱27能够起到滑动与连接的作用，是由金属制成，第二气压柱27的一端固定连接有固定盒28，固定盒28能够起到连接与固定的作用，是由金属制成，第二出气管18的中间固定连接有第二波纹管24，第二波纹管24能够起到连接与固定的作用，是由橡胶制成，第二出气管18的一端贯穿固定连接在固定盒28的中部，第二出气管18的侧壁均匀安装有喷气管29，喷气管29方便空气的导向喷出，是由金属制成，喷气管29的一端安装在固定盒28的侧壁中部，回收组件包括连接柱12，连接柱12能够起到连接与固定的作用，是由金属制成，连接柱12均匀固定连接在切割机2的内壁两侧，连接柱12的一端固定连接有底板14，底板14能够起到支撑与固定的作用，是由金属制成，底板14的上端四周中部均匀固定连接有第一气压缸15，第一气压缸15是将气压能转变为机械能地做直线往复运动的气压执行元件，从而使第一气压柱16进行滑动，第一气压缸15的一端滑动连接有第一气压柱16，第一气压柱16能够起到滑动与连接的作用，是由金属制成，第一气压柱16的一端固定连接有夹紧组件17，夹紧组件17的中部设置有液压组件可以通过两个夹板对原材料进行夹紧固定，切割机2的侧壁贯穿滑动连接有废料盒3，废料盒3方便对废料进行回收，方便统一处理，是由金属制成，废料盒3的侧壁均匀固定连接有第一握把6，使用第一握把6可以使废料盒3进行前后滑动，是由金属制成；

本实用新型的使用过程如下：本领域技术人员首先使用第二握把9可以将防护盖1转动打开，而后将需要进行切割的晶圆板放置在夹紧组件17的上方，并且对原材料进行夹紧固定，而后将防护盖1进行转动闭合，而后可以在玻璃板10的一侧观看内部的切割情况，而后通过支撑板5上方的键盘和鼠标使切割机2开始切割工作，一侧的显示屏8可以显示出各种数据，首先第一气压缸15工作可以使第一气压柱16进行上下滑动，进而带动夹紧组件17向上滑动到最大的状态，而后切割头21进行工作，对原材料进行切割工作，而第一风机26工作，可以从第一进气管25中抽取空气而后进入到第一出气管11中而后排出，方便对切割的位置进行除尘工作，保证切割工作高效地进行，并且切割头21在移动时，第一波纹管22方便伸缩，从而方便空气的传递，当切割工作完毕后，第一气压缸15工作带动第一气压柱16向下滑动，进而使夹紧组件17向下滑动，两侧的第二气压缸19工作带动第二气压柱27左右滑动，可以带动固定盒28进行左右滑动，第二风机13工作，可以使空气从第二进气管23进入，而后由第二出气管18排出，并且通过喷气管29排出，而固定盒28左右滑动时，可以使喷气管29左右滑动，使夹紧工作台可以保持干净整洁，当除尘结束后，可以将切割的晶圆拿出，使用第一握把6将废料盒3滑动拉出，对废料进行统一处理与回收，方便快捷。

以上，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (8)

1.全自动晶圆切割机，其特征在于，包括：

用于对晶圆的进行自动切割工作的切割机(2)；

用于在切割机(2)的中部进行打扫工作台并且保持工作台干净整洁的清洁组件；

用于将晶圆切割留下来的垃圾与废料进行统一回收的回收组件。

2.根据权利要求1所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述切割机(2)的下端四周均固定连接有万向轮(4)，所述切割机(2)的侧壁固定连接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的上端转动连接有显示屏(8)，所述切割机(2)的上端通过合页转动连接有防护盖(1)，所述防护盖(1)的侧壁贯穿固定连接有玻璃板(10)，所述防护盖(1)的侧壁固定连接有第二握把(9)，所述切割机(2)的侧壁固定连接有支撑板(5)。

3.根据权利要求2所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述清洁组件包括切割头(21)，所述切割头(21)安装在切割机(2)的中部，所述切割机(2)的下端中部固定连接有第一风机(26)，所述第一风机(26)的侧壁安装有第一进气管(25)，所述第一进气管(25)贯穿固定连接在切割机(2)的下端。

4.根据权利要求3所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述第一风机(26)的两侧均安装有第一出气管(11)，所述第一出气管(11)的中部固定连接有第一波纹管(22)，所述切割头(21)的两侧均固定连接有固定环(20)，两个所述第一出气管(11)均安装在固定环(20)的中部，所述切割机(2)的下端中部固定连接有第二风机(13)。

5.根据权利要求4所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述第二风机(13)的侧壁安装有第二进气管(23)，所述第二进气管(23)贯穿固定连接在切割机(2)的下端，所述第二风机(13)的两侧均安装有第二出气管(18)，所述切割机(2)的内壁两侧中部均匀固定连接有第二气压缸(19)，所述第二气压缸(19)的一端滑动连接有第二气压柱(27)。

6.根据权利要求5所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述第二气压柱(27)的一端固定连接有固定盒(28)，所述第二出气管(18)的中间固定连接有第二波纹管(24)，所述第二出气管(18)的一端贯穿固定连接在固定盒(28)的中部，所述第二出气管(18)的侧壁均匀安装有喷气管(29)，所述喷气管(29)的一端安装在固定盒(28)的侧壁中部。

7.根据权利要求2所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述回收组件包括连接柱(12)，所述连接柱(12)均匀固定连接在切割机(2)的内壁两侧，所述连接柱(12)的一端固定连接有底板(14)，所述底板(14)的上端四周中部均匀固定连接有第一气压缸(15)。

8.根据权利要求7所述的全自动晶圆切割机，其特征在于：所述第一气压缸(15)的一端滑动连接有第一气压柱(16)，所述第一气压柱(16)的一端固定连接有夹紧组件(17)，所述切割机(2)的侧壁贯穿滑动连接有废料盒(3)，所述废料盒(3)的侧壁均匀固定连接有第一握把(6)。

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