CN218051890U - 一种定位槽磨削组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种定位槽磨削组件，涉及定位槽磨削技术领域，包括底板，底板的顶端固定设有两个第一气缸，两个第一气缸的伸缩端固定设有支撑块，两个支撑块的正面固定设有两个第二气缸，两个第二气缸的伸缩端均固定设有第一L型板，两个第一L型板的表面均固定设有减速电机，两个减速电机均为正反转电机；本实用新型的有益效果是：通过PLC控制器启动减速电机，减速电机转动带动第二L型板转动，第二L型板转动带动伺服电机转动，伺服电机带动碗形砂轮转动，从而调整碗形砂轮的倾斜角度，使得碗形砂轮能够对燕尾状的定位槽进行磨削，增强了实用性。

Description

一种定位槽磨削组件

技术领域

本实用新型涉及一种磨削组件，特别涉及一种定位槽磨削组件，属于定位槽磨削技术领域。

背景技术

磨削是指利用高速旋转的砂轮等磨具对工件的表面进行切削加工。磨削用于加工各种工件的内外圆柱面、圆锥面、平面和表面凹槽。由于磨粒的硬度很高，磨具具有自锐性，磨削可以用于加工各种材料。在对晶圆的notch定位槽进行加工过程中，需要用到打磨组件对晶圆的notch定位槽进行打磨；

其中申请号为“CN202220062166.6”所公开的“一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置”也是日益成熟的技术，其“包括龙门架，龙门架安装在底座上，龙门架的横梁上设有粗模组件、精磨组件和两个可进行水平和垂直方向移动的驱动机构，一个驱动机构与粗磨组件驱动连接，另一个驱动机构与精磨组件驱动连接，两个驱动机构均安装在龙门架的横梁上，粗模组件、精磨组件和两个驱动机构均与控制器电连接。本实用新型的一种晶圆notch定位槽加工用打磨装置，在打磨过程中，粗磨组件和细磨组件相互切换，提高了产品的打磨精度和生产效率”，但是该装置在实际使用时还存在以下缺陷。

1）无法调节精磨砂轮或粗磨砂轮的倾斜角度，因而无法对燕尾状的定位槽进行打磨；

2）打磨过程会促使砂轮上飞出大量的碎屑和粉尘，碎屑会对工作人员的眼部造成伤害，同时将粉尘未吸入肺部也会对身体有害。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种定位槽磨削组件，以解决上述背景技术中提出的现有的无法对燕尾状的定位槽进行打磨的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种定位槽磨削组件，包括底板，所述底板的顶端固定设有两个第一气缸，两个所述第一气缸的伸缩端固定设有支撑块，两个所述支撑块的正面固定设有两个第二气缸，两个所述第二气缸的伸缩端均固定设有第一L型板，两个所述第一L型板的表面均固定设有减速电机，两个所述减速电机均为正反转电机，两个所述减速电机的传动轴均固定设有第二L型板，两个所述第二L型板的表面均固定设有伺服电机，两个所述伺服电机的传动轴均固定设有碗形砂轮，所述底板的顶端设有防护组件，所述底板的底端设有两个除尘组件。

优选的，所述防护组件包括两个防护罩，两个所述防护罩均滑动设置在底板的顶端，两个所述防护罩的表面均固定设有两个定位套筒，两个所述防护罩的表面均开设有两个与定位套筒相连通的定位孔，四个所述定位套筒的内壁均滑动连接有与定位孔相滑动的定位杆，四个所述定位杆的底端均与底板的顶端固定连接。

优选的，其中一个所述防护罩的一侧和另一个防护罩的一侧均固定设有密封圈，且两个密封圈的接触部分滑动连接，两个所述防护罩的另一侧均开设有安装槽，两个所述安装槽的内壁均固定设有防尘网，两个所述防护罩的另一侧均固定设有两个把手，两个所述防护罩的正面和背面均固定设有若干个降噪壳，若干个所述降噪壳的内部均填充有吸音棉。

优选的，两个所述除尘组件均包括除尘管，两个所述除尘管均设置在底板的底端，两个所述除尘管的一端均穿过底板并置于底板的顶端，两个所述除尘管的正面均开设有出盒槽和吸附槽，两个所述出盒槽的内壁均滑动连接有收集框，两个所述收集框的正面均固定设有暗拉手，两个所述收集框的内壁均固定设有防护网和防尘网，两个所述收集框的正面均与两个除尘管的正面共面，两个所述吸附槽的内壁均固定设有磁铁片，两个所述除尘管的正面均铰接有压块，两个所述压块的内部均固定设有铁板，两个所述压块的表面均固定设有密封垫，两个所述除尘管的内壁均固定设有风机座，两个所述风机座的内壁均固定设有排气风机。

优选的，其中一个所述压块的背面和其中一个密封垫的背面均与其中一个除尘管的正面滑动连接，另一个所述压块的背面和另一个密封垫的背面均与另一个除尘管的正面滑动连接，两个所述密封垫的背面分别与两个收集框的正面滑动连接。

优选的，所述底板底端的四个边角均固定设有支撑腿，所述底板的正面固定设有保护箱，所述保护箱的内部固定设有PLC控制器，所述保护箱的正面铰接有箱门。

优选的，两个所述第一气缸、两个第二气缸、两个减速电机、两个伺服电机和两个排气风机均与PLC控制器电性连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种定位槽磨削组件具有如下有益效果：

1、通过PLC控制器启动减速电机，减速电机转动带动第二L型板转动，第二L型板转动带动伺服电机转动，伺服电机带动碗形砂轮转动，从而调整碗形砂轮的倾斜角度，使得碗形砂轮能够对燕尾状的定位槽进行磨削，增强了实用性；

2、通过把手移动其中一个防护罩，防护罩带动定位套筒移动，使得定位套筒沿着定位杆滑动，最终防护罩被底板抵住，同理安装另一个防护罩，两个防护罩通过两个密封圈相互挤压，再通过四个定位杆的配合对两个防护罩进行稳定，碗形砂轮上飞出的碎屑会被防护罩和安装槽内壁的防尘网阻挡，不会损伤工作人员的眼睛，更加安全，设置的若干个降噪壳的内部均填充有吸音棉，能够吸收一定的噪音，有利于工作人员的身心健康；

3、通过PLC控制器控制排气风机转动，排气风机的进气端朝向收集框，排气风机产生的气流通过安装槽进入到防护罩的内部，接着气流裹挟着粉尘进入到除尘管的内部，粉尘会被收集框内部的防尘网阻挡，气流则会从除尘管中排出，能够除去防护罩内部的粉尘，避免粉尘被工作人员吸入，有利于工作人员的身体健康，通过防护网能够避免碎屑在崩落到除尘管的内部后砸坏防尘网，通过PLC控制器关闭排气风机，掀开压块，促使密封垫脱离收集框，拉出收集框，对防尘网和防护网进行清洁，十分方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型底板的结构示意图；

图3为本实用新型图2的A处放大结构示意图；

图4为本实用新型防护罩的结构示意图；

图5为本实用新型除尘组件的结构示意图；

图6为本实用新型除尘组件的侧面剖面结构示意图；

图7为本实用新型除尘管的结构示意图。

图中：1、底板；2、第一气缸；3、支撑块；4、第二气缸；5、第一L型板；6、防护组件；601、防护罩；602、定位套筒；603、定位孔；604、定位杆；7、除尘组件；701、除尘管；702、出盒槽；703、吸附槽；704、收集框；705、暗拉手；706、防护网；707、磁铁片；708、压块；709、密封垫；710、风机座；711、排气风机；8、减速电机；9、第二L型板；10、伺服电机；11、碗形砂轮；12、安装槽；13、把手；14、降噪壳；15、支撑腿；16、保护箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：

请参阅图1-7，本实用新型提供了一种定位槽磨削组件，包括底板1，底板1的顶端固定设有两个第一气缸2，两个第一气缸2的伸缩端固定设有支撑块3，两个支撑块3的正面固定设有两个第二气缸4，两个第二气缸4的伸缩端均固定设有第一L型板5，两个第一L型板5的表面均固定设有减速电机8，两个减速电机8均为正反转电机，两个减速电机8的传动轴均固定设有第二L型板9，两个第二L型板9的表面均固定设有伺服电机10，两个伺服电机10的传动轴均固定设有碗形砂轮11，底板1的顶端设有防护组件6，底板1的底端设有两个除尘组件7；

底板1底端的四个边角均固定设有支撑腿15，底板1的正面固定设有保护箱16，保护箱16的内部固定设有PLC控制器，保护箱16的正面铰接有箱门；

两个第一气缸2、两个第二气缸4、两个减速电机8和两个伺服电机10均与PLC控制器电性连接；

请参阅图1-7，本实用新型提供了一种定位槽磨削组件还包括有防护组件6，防护组件6包括两个防护罩601，两个防护罩601均滑动设置在底板1的顶端，两个防护罩601的表面均固定设有两个定位套筒602，两个防护罩601的表面均开设有两个与定位套筒602相连通的定位孔603，四个定位套筒602的内壁均滑动连接有与定位孔603相滑动的定位杆604，四个定位杆604的底端均与底板1的顶端固定连接；

其中一个防护罩601的一侧和另一个防护罩601的一侧均固定设有密封圈，且两个密封圈的接触部分滑动连接，两个防护罩601的另一侧均开设有安装槽12，两个安装槽12的内壁均固定设有防尘网，两个防护罩601的另一侧均固定设有两个把手13，两个防护罩601的正面和背面均固定设有若干个降噪壳14，若干个降噪壳14的内部均填充有吸音棉；

具体的，如图1、图2、图4所示，在对晶圆磨削加工前，通过把手13移动其中一个防护罩601，防护罩601带动定位套筒602移动，使得定位套筒602沿着定位杆604滑动，最终防护罩601被底板1抵住，同理安装另一个防护罩601，两个防护罩601通过两个密封圈相互挤压，再通过四个定位杆604的配合对两个防护罩601进行稳定，碗形砂轮11上飞出的碎屑会被防护罩601和安装槽12内壁的防尘网阻挡，不会损伤工作人员的眼睛，更加安全，设置的若干个降噪壳14的内部均填充有吸音棉，能够吸收一定的噪音，有利于工作人员的身心健康。

实施例2：

两个除尘组件7均包括除尘管701，两个除尘管701均设置在底板1的底端，两个除尘管701的一端均穿过底板1并置于底板1的顶端，两个除尘管701的正面均开设有出盒槽702和吸附槽703，两个出盒槽702的内壁均滑动连接有收集框704，两个收集框704的正面均固定设有暗拉手705，两个收集框704的内壁均固定设有防护网706和防尘网，两个收集框704的正面均与两个除尘管701的正面共面，两个吸附槽703的内壁均固定设有磁铁片707，两个除尘管701的正面均铰接有压块708，两个压块708的内部均固定设有铁板，两个压块708的表面均固定设有密封垫709，两个除尘管701的内壁均固定设有风机座710，两个风机座710的内壁均固定设有排气风机711；

其中一个压块708的背面和其中一个密封垫709的背面均与其中一个除尘管701的正面滑动连接，另一个压块708的背面和另一个密封垫709的背面均与另一个除尘管701的正面滑动连接，两个密封垫709的背面分别与两个收集框704的正面滑动连接；

两个排气风机711均与PLC控制器电性连接；

具体的，如图1、图2、图5、图6、图7所示，通过PLC控制器控制排气风机711转动，排气风机711的进气端朝向收集框704，排气风机711产生的气流通过安装槽12进入到防护罩601的内部，接着气流裹挟着粉尘进入到除尘管701的内部，粉尘会被收集框704内部的防尘网阻挡，气流则会从除尘管701中排出，能够除去防护罩601内部的粉尘，避免粉尘被工作人员吸入，有利于工作人员的身体健康，设置的防护网706能够避免碎屑在崩落到除尘管701的内部后砸坏防尘网，当需要清理收集框704内部的粉尘时，通过PLC控制器关闭排气风机711，掀开压块708，促使密封垫709脱离收集框704，拉出收集框704，对防尘网和防护网706进行清洁，十分方便。

工作原理：具体使用时，本实用新型一种定位槽磨削组件，首先在对晶圆磨削加工前，通过把手13移动其中一个防护罩601，防护罩601带动定位套筒602移动，使得定位套筒602沿着定位杆604滑动，最终防护罩601被底板1抵住，同理安装另一个防护罩601，两个防护罩601通过两个密封圈相互挤压，再通过四个定位杆604的配合对两个防护罩601进行稳定，碗形砂轮11上飞出的碎屑会被防护罩601和安装槽12内壁的防尘网阻挡，不会损伤工作人员的眼睛，更加安全，设置的若干个降噪壳14的内部均填充有吸音棉，能够吸收一定的噪音，有利于工作人员的身心健康，之后通过PLC控制器启动减速电机8，减速电机8转动带动第二L型板9转动，第二L型板9转动带动伺服电机10转动，伺服电机10带动碗形砂轮11转动，从而调整碗形砂轮11的倾斜角度，使得碗形砂轮11能够对燕尾状的定位槽进行磨削，增强了实用性，在启动减速电机8的同时通过PLC控制器控制排气风机711转动，排气风机711的进气端朝向收集框704，排气风机711产生的气流通过安装槽12进入到防护罩601的内部，接着气流裹挟着粉尘进入到除尘管701的内部，粉尘会被收集框704内部的防尘网阻挡，气流则会从除尘管701中排出，能够除去防护罩601内部的粉尘，避免粉尘被工作人员吸入，有利于工作人员的身体健康，设置的防护网706能够避免碎屑在崩落到除尘管701的内部后砸坏防尘网，当需要清理收集框704内部的粉尘时，通过PLC控制器关闭排气风机711，掀开压块708，促使密封垫709脱离收集框704，拉出收集框704，对防尘网和防护网706进行清洁，十分方便。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种定位槽磨削组件，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）的顶端固定设有两个第一气缸（2），两个所述第一气缸（2）的伸缩端固定设有支撑块（3），两个所述支撑块（3）的正面固定设有两个第二气缸（4），两个所述第二气缸（4）的伸缩端均固定设有第一L型板（5），两个所述第一L型板（5）的表面均固定设有减速电机（8），两个所述减速电机（8）均为正反转电机，两个所述减速电机（8）的传动轴均固定设有第二L型板（9），两个所述第二L型板（9）的表面均固定设有伺服电机（10），两个所述伺服电机（10）的传动轴均固定设有碗形砂轮（11），所述底板（1）的顶端设有防护组件（6），所述底板（1）的底端设有两个除尘组件（7）。

2.根据权利要求1所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：所述防护组件（6）包括两个防护罩（601），两个所述防护罩（601）均滑动设置在底板（1）的顶端，两个所述防护罩（601）的表面均固定设有两个定位套筒（602），两个所述防护罩（601）的表面均开设有两个与定位套筒（602）相连通的定位孔（603），四个所述定位套筒（602）的内壁均滑动连接有与定位孔（603）相滑动的定位杆（604），四个所述定位杆（604）的底端均与底板（1）的顶端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：其中一个所述防护罩（601）的一侧和另一个防护罩（601）的一侧均固定设有密封圈，且两个密封圈的接触部分滑动连接，两个所述防护罩（601）的另一侧均开设有安装槽（12），两个所述安装槽（12）的内壁均固定设有防尘网，两个所述防护罩（601）的另一侧均固定设有两个把手（13），两个所述防护罩（601）的正面和背面均固定设有若干个降噪壳（14），若干个所述降噪壳（14）的内部均填充有吸音棉。

4.根据权利要求1所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：两个所述除尘组件（7）均包括除尘管（701），两个所述除尘管（701）均设置在底板（1）的底端，两个所述除尘管（701）的一端均穿过底板（1）并置于底板（1）的顶端，两个所述除尘管（701）的正面均开设有出盒槽（702）和吸附槽（703），两个所述出盒槽（702）的内壁均滑动连接有收集框（704），两个所述收集框（704）的正面均固定设有暗拉手（705），两个所述收集框（704）的内壁均固定设有防护网（706）和防尘网，两个所述收集框（704）的正面均与两个除尘管（701）的正面共面，两个所述吸附槽（703）的内壁均固定设有磁铁片（707），两个所述除尘管（701）的正面均铰接有压块（708），两个所述压块（708）的内部均固定设有铁板，两个所述压块（708）的表面均固定设有密封垫（709），两个所述除尘管（701）的内壁均固定设有风机座（710），两个所述风机座（710）的内壁均固定设有排气风机（711）。

5.根据权利要求4所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：其中一个所述压块（708）的背面和其中一个密封垫（709）的背面均与其中一个除尘管（701）的正面滑动连接，另一个所述压块（708）的背面和另一个密封垫（709）的背面均与另一个除尘管（701）的正面滑动连接，两个所述密封垫（709）的背面分别与两个收集框（704）的正面滑动连接。

6.根据权利要求4所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：所述底板（1）底端的四个边角均固定设有支撑腿（15），所述底板（1）的正面固定设有保护箱（16），所述保护箱（16）的内部固定设有PLC控制器，所述保护箱（16）的正面铰接有箱门。

7.根据权利要求6所述的一种定位槽磨削组件，其特征在于：两个所述第一气缸（2）、两个第二气缸（4）、两个减速电机（8）、两个伺服电机（10）和两个排气风机（711）均与PLC控制器电性连接。

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