CN218004810U - 一种蓝膜定位装置 - Google Patents

一种蓝膜定位装置 Download PDF

Info

Publication number
CN218004810U
CN218004810U CN202222364540.0U CN202222364540U CN218004810U CN 218004810 U CN218004810 U CN 218004810U CN 202222364540 U CN202222364540 U CN 202222364540U CN 218004810 U CN218004810 U CN 218004810U
Authority
CN
China
Prior art keywords
lead screw
positioning module
rotary
connecting seat
blue film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202222364540.0U
Other languages
English (en)
Inventor
马骋
吴兴防
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Yuzheng Automation Technology Co ltd
Original Assignee
Shandong Yuzheng Automation Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong Yuzheng Automation Technology Co ltd filed Critical Shandong Yuzheng Automation Technology Co ltd
Priority to CN202222364540.0U priority Critical patent/CN218004810U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN218004810U publication Critical patent/CN218004810U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Transmission Devices (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种蓝膜定位装置,用于解决现有技术中对蓝膜进行定位调节操作繁琐,定位装置结构较为复杂的技术问题。本实用新型包括Y向定位模块,Y向定位模块设有Y向丝杠,Y向丝杠上设有第一连接座,第一连接座能沿Y向丝杠在设定的Y向上运动,第一连接座上连接有X向定位模块;X向定位模块包括X向丝杠,X向丝杠上设有第二连接座,第二连接座能沿X向丝杠在设定的X向上运动,第二连接座上连接有旋转定位模块;旋转定位模块设有旋转环,旋转环的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴,升降芯轴的顶端连接有压紧模块。本实用新型通过简单的结构实现对蓝膜的多方位调节,操作简单、使用方便。

Description

一种蓝膜定位装置
技术领域
本实用新型涉及半导体器件制备技术领域,尤其涉及一种蓝膜定位装置。
背景技术
在半导体封装工序中,通常使用固晶机利用视觉引导技术从蓝膜上自动拾取芯片,将其邦定至引线框架上,再进行后续的贴合封装。在自动拾取过程中,需要对蓝膜进行多个方向的定位,确保上芯针头能够精确拾取芯片;同时,还需压紧蓝膜,使蓝膜各处受到相同的张紧力,以便于取出单颗的芯片。
现有的固晶机设备可以对蓝膜进行X、Y方向定位,旋转定位以及压紧操作,但通常需要多个机构分别对蓝膜作用,以实现上述几种功能,使得设备的模块结构复杂,安装调节过程繁琐,且成本较高。
因此,寻找一种能够解决上述技术问题的一种蓝膜定位装置成为本领域技术人员所研究的重要课题。
实用新型内容
本实用新型公开了一种蓝膜定位装置,用于解决现有技术中对蓝膜进行定位调节操作繁琐,定位装置结构较为复杂的技术问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种蓝膜定位装置,包括Y向定位模块,所述Y向定位模块包括Y向丝杠,所述Y向丝杠上连接有第一连接座,所述第一连接座能沿所述Y向丝杠在设定的Y向上运动,所述第一连接座上连接有X向定位模块;
所述X向定位模块包括X向丝杠,所述X向丝杠上设有第二连接座,所述第二连接座能沿所述X向丝杠在设定的X向上运动,所述第二连接座上连接有旋转定位模块;
所述旋转定位模块设有旋转环,所述旋转环的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴,所述升降芯轴的顶端连接有压紧模块。
可选地,所述压紧模块包括上压板和下压板,所述上压板和所述下压板之间形成有蓝膜夹设位;所述上压板和所述下压板的中央均设有贯通孔;
所述下压板的底部设有连接螺杆,所述升降芯轴的顶端设有与所述连接螺杆相适配的螺纹孔,所述连接螺杆与所述升降芯轴螺纹连接。
可选地,两所述贯通孔为圆孔;所述旋转定位模块还包括安装于所述旋转环的内侧壁上的顶环,所述顶环的顶部突出于所述旋转环的顶部一侧;
当所述升降芯轴受驱按预设的第一旋转方向转动时,带动所述压紧模块下降,所述顶环伸入所述蓝膜夹设位,用于向上顶起并压紧蓝膜的底面。
可选地,所述Y向定位模块还包括Y向支撑板,所述Y向支撑板的相对两侧均设有Y向直线滑轨,所述Y向直线滑轨上滑动连接有Y向连接座;所述Y向直线滑轨和所述Y向丝杠平行设置;
所述X向定位模块包括X向支撑板,所述X向支撑板与所述Y向连接座固定连接。
可选地,所述X向支撑板的相对两侧均设有X向直线滑轨,所述X向直线滑轨上滑动连接有X向连接座;所述X向直线滑轨和所述X向丝杠平行设置;
所述旋转定位模块包括旋转支撑板,所述X向连接座与所述旋转支撑板固定连接。
可选地,所述Y向定位模块还包括Y向电机,所述Y向电机的输出端通过Y向联轴器与所述Y向丝杠连接;所述Y向丝杠的两端均连接有Y向支撑座。
可选地,所述X向定位模块还包括X向电机,所述X向电机的输出端通过X向联轴器与所述X向丝杠连接;所述X向丝杠的两端均连接有X向支撑座。
可选地,所述旋转定位模块还包括升降电机;所述升降电机连接有主动轮,所述主动轮通过同步带传动连接有多个从动轮,各所述从动轮分别与一升降芯轴固定连接。
可选地,所述旋转定位模块还包括旋转电机,所述旋转电机的输出端连接有旋转同步轮;所述旋转同步轮通过传送带与所述旋转环连接,所述旋转环的外侧壁开设有皮带槽,所述传送带呈张紧状态安装于所述皮带槽内。
可选地,所述旋转支撑板上设有若干用于支撑所述旋转环转动的支撑件;
所述支撑件的一端固定安装于所述旋转支撑板的外边沿,所述支撑件的另一端设有限位凸块,所述旋转环的内侧壁设有与所述限位凸块相配合的定位部;当所述旋转环受驱旋转至预定的角度时,所述限位凸块与所述定位部相抵接。
从以上技术方案可以看出,本实用新型实施例具有以下优点:
通过在Y向定位模块和X向定位模块上设置丝杠,在旋转定位模块上设置旋转环,通过简单的结构即可实现对蓝膜的多角度调节;上述三种定位模块层叠设置并通过连接座相互固定连接,旋转环上设置升降芯轴,在升降芯轴内连接压紧模块,蓝膜夹设于压紧模块内,实现了对蓝膜进行多角度调节的同时,能够对蓝膜进行升降以及压紧操作,使自动拾取芯片更方便。
与现有技术相比,将蓝膜定位模块和压紧模块集成设置,便于对蓝膜进行定位调节,在蓝膜上自动拾取芯片更简单易操作;本实用新型通过简单的结构实现多角度调节和压紧蓝膜,使用方便,更适用于自动化生产的需要,降低了成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为一种蓝膜定位装置的结构示意图;
图2为Y向定位模块的结构示意图;
图3为X向定位模块的结构示意图;
图4为旋转定位模块的结构示意图;
图5为压紧模块的侧视图;
图6为压紧模块的俯视图;
图示说明:Y向定位模块1、X向定位模块2、旋转定位模块3、压紧模块4、Y向丝杠11、第一连接座12、Y向支撑板13、Y向直线滑轨14、Y向连接座15、Y向电机16、Y向联轴器17、Y向支撑座18、X向丝杠21、第二连接座22、X向支撑板23、X向直线滑轨24、X向连接座25、X向电机26、X向联轴器27、X向支撑座28、旋转环31、升降芯轴32、顶环33、旋转支撑板34、主动轮35、升降电机36、从动轮37、旋转电机38、旋转同步轮39、连接螺杆41、上压板42、下压板43、同步带301、传送带302、皮带张紧轮303、支撑件341。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本申请中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
一种蓝膜定位装置,包括Y向定位模块1,Y向定位模块1包括Y向丝杠11,Y向丝杠11上连接有第一连接座12,第一连接座12能沿Y向丝杠11在设定的Y向上运动,第一连接座12上连接有X向定位模块2;
X向定位模块2包括X向丝杠21,X向丝杠21上设有第二连接座22,第二连接座22能沿X向丝杠21在设定的X向上运动,第二连接座22上连接有旋转定位模块3;
旋转定位模块3包括旋转环31,旋转环31的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴32,升降芯轴32的顶端连接有压紧模块4。
参阅图1,X向为沿X轴方向左右移动的方向,Y向为沿Y轴方向前后移动的方向,Z向为沿Z轴方向上下移动的方向。需要说明的是,丝杠由螺杆、螺母等元件构成,用于将旋转运动转化为直线运动,或将直线运动转化为旋转运动。本实施例中,当丝杠受驱转动时,螺母随丝杠的转动角度按照对应规格的导程转化为直线运动。具体地,X向定位模块2通过第一连接座12与Y向丝杠上的螺母连接,从而实现X向定位模块2沿Y向移动;旋转定位模块3通过第二连接座22与X向丝杠上的螺母连接,从而实现旋转定位模块3沿X向的移动。又因上述四种模块层叠连接设置,当X向定位模块2沿Y向移动时,旋转定位模块3和压紧模块4均随X向定位模块2移动;当旋转定位模块3沿X向移动时,压紧模块4随旋转定位模块3移动。优选地,X向丝杠和Y向丝杠为C3规格的精密丝杠。
具体地,蓝膜夹设于压紧模块4内,当旋转环31受驱转动时,压紧模块4随旋转环31转动,此处的转动定义为以蓝膜为旋转中心,向左或向右转动至预定的角度;压紧模块4与升降芯轴32相连接,当升降芯轴32受驱转动时,压紧模块4沿Z向做升降运动,本实施例中的升降运动定义为垂直于旋转定位模块3的方向,向旋转定位模块3远离或靠近的运动。
上述设计实现了对蓝膜的多角度调节和压紧操作,结构简单且使用方便;将蓝膜定位模块和压紧模块集成设置,使得在蓝膜上自动拾取芯片更简单易操作,适用于自动化生产的需要,同时降低了成本。
进一步地,压紧模块4包括上压板42和下压板43,上压板42和下压板43之间形成有蓝膜夹设位;上压板42和下压板43的中央均设有贯通孔;
下压板43的底部设有连接螺杆41,升降芯轴32的顶端设有与连接螺杆41相适配的螺纹孔,连接螺杆41与升降芯轴32螺纹连接。
具体地,连接螺杆41与升降芯轴32螺纹连接,当升降芯轴32受驱转动时,连接螺杆41通过螺纹结构于升降芯轴32内做升降运动。连接螺杆41数量为4个,且位置与升降芯轴32一一对应。
需要说明的是,蓝膜的结构为外侧设有圆环状铁环,中央为较软的蓝色膜,蓝色膜体上贴附有芯片,将蓝膜放置于蓝膜夹设位,蓝色膜体以及芯片通过贯通孔露出。
进一步地,两贯通孔为圆孔;旋转定位模块3上还包括安装于旋转环31的内侧壁上的顶环33,顶环33的顶部突出于旋转环31的顶部一侧;
当升降芯轴32受驱按预设的第一旋转方向转动时,带动压紧模块4下降,顶环33伸入蓝膜夹设位,用于向上顶起并压紧蓝膜的底面。
具体地,顶环33的外径与压紧模块4的贯通孔的内径适配,当升降芯轴32受驱按预设的第一旋转方向转动时,带动压紧模块4下降,顶环33可经由贯通孔顶起蓝膜,使蓝膜保持张紧状态,从而便于上芯针头自动拾取蓝膜上的芯片。当升降芯轴32受驱按预设的第二旋转方向转动时,将带动压紧模块4上升。
进一步地,旋转定位模块3还包括升降电机36,升降电机36连接有主动轮35,主动轮35通过同步带301传动连接有多个从动轮37,各从动轮37分别与一升降芯轴32固定连接。
具体地,升降电机36驱动主动轮35转动,同时与主动轮35传动连接的各从动轮37随之转动,并带动升降芯轴32转动。优选地,旋转环31上还设有皮带张紧轮303,使同步带301保持张紧状态,确保转动过程的稳定性。
进一步地,旋转定位模块3还包括旋转电机38,旋转电机38的输出端连接有旋转同步轮39;
旋转同步轮39通过传送带302与旋转环31连接,旋转环31的外侧壁开设有皮带槽,传送带302呈张紧状态安装于皮带槽内。
具体地,旋转电机38的输出端连接旋转同步轮39,旋转同步轮39与旋转环31通过传送带302连接,当旋转电机38驱动旋转同步轮39转动时,带动旋转环31旋转至预定的角度。
进一步地,Y向定位模块1还包括Y向支撑板13,Y向支撑板13的相对两侧均设有Y向直线滑轨14,Y向直线滑轨14上滑动连接有Y向连接座15;Y向直线滑轨14和Y向丝杠11平行设置;
X向定位模块2包括X向支撑板23,X向支撑板23与Y向连接座15固定连接。
具体地,X向支撑板23通过螺钉与Y向连接座15固定连接,当X向定位模块2沿Y向移动时,X向支撑板23随之移动,同时Y向连接座15于Y向直线滑轨14上滑动。Y向直线滑轨14设置于与Y向丝杠11平行的相对两侧,使X向定位模块2与Y向定位模块1的连接更稳定。
进一步地,X向支撑板23的相对两侧均设有X向直线滑轨24,X向直线滑轨24上滑动连接有X向连接座25;X向直线滑轨24和X向丝杠21平行设置;
旋转定位模块3包括旋转支撑板34,X向连接座25与旋转支撑板34固定连接。
具体地,旋转支撑板34通过螺钉与X向连接座25固定连接,当旋转定位模块3沿X向移动时,旋转支撑板34随之移动,同时X向连接座25于X向直线滑轨24上滑动。X向直线滑轨24设置于与X向丝杠21平行的相对两侧,使旋转定位模块3与X向定位模块2的连接更稳定。
进一步地,Y向定位模块1还包括Y向电机16,Y向电机16的输出端通过Y向联轴器17与Y向丝杠11连接;Y向丝杠11的两端均连接有Y向支撑座18。
具体地,Y向丝杠11受Y向电机16驱动,Y向电机16的输出端通过Y向联轴器17与Y向丝杠11连接,使Y向丝杠11转动;Y向支撑座18安装于Y向支撑板13上,Y向丝杠11安装于两Y向支撑座18之间,使Y向丝杠11的工作过程更稳定。
进一步地,X向定位模块2还包括X向电机26,X向电机26的输出端通过X向联轴器27与X向丝杠21连接;X向丝杠21的两端均连接有X向支撑座28。
具体地,X向丝杠21受X向电机26驱动,X向电机26的输出端通过X向联轴器27与X向丝杠21连接,使X向丝杠21转动;X向支撑座28安装于X向支撑板23上,X向丝杠21安装于两X向支撑座28之间,使X向丝杠21的工作过程更稳定。
进一步地,旋转支撑板34上设有若干用于支撑旋转环31转动的支撑件341;
支撑件341的一端固定安装于旋转支撑板34的外边沿,支撑件341的另一端设有限位凸块,旋转环31的内侧壁设有与限位凸块相配合的定位部;当旋转环31受驱转动时,限位凸块与定位部相抵接。
具体地,支撑件341的数量为四个,支撑件341均固定安装于旋转支撑板34上,支撑件341的一端通过螺丝固定安装于旋转支撑板34的外边沿,支撑件341的另一端设有限位凸块,限位凸块抵接于旋转环31内侧壁的定位部,用于限制旋转环31在转动过程的位置和旋转角度,使旋转环31在操作过程中始终保持稳定。
注意,以上实施例仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理,而非对其限制。对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型实施例的思想,对前述各实施例所记载的技术方案进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种蓝膜定位装置,其特征在于,包括Y向定位模块(1),所述Y向定位模块(1)包括Y向丝杠(11),所述Y向丝杠(11)上连接有第一连接座(12),所述第一连接座(12)能沿所述Y向丝杠(11)在设定的Y向上运动,所述第一连接座(12)上连接有X向定位模块(2);
所述X向定位模块(2)包括X向丝杠(21),所述X向丝杠(21)上设有第二连接座(22),所述第二连接座(22)能沿所述X向丝杠(21)在设定的X向上运动,所述第二连接座(22)上连接有旋转定位模块(3);
所述旋转定位模块(3)包括旋转环(31),所述旋转环(31)的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴(32),所述升降芯轴(32)的顶端连接有压紧模块(4)。
2.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述压紧模块(4)包括上压板(42)和下压板(43),所述上压板(42)和所述下压板(43)之间形成有蓝膜夹设位;所述上压板(42)和所述下压板(43)的中央均设有贯通孔;
所述下压板(43)的底部设有连接螺杆(41),所述升降芯轴(32)的顶端设有与所述连接螺杆(41)相适配的螺纹孔,所述连接螺杆(41)与所述升降芯轴(32)螺纹连接。
3.根据权利要求2所述的蓝膜定位装置,其特征在于,两所述贯通孔为圆孔;
所述旋转定位模块(3)还包括安装于所述旋转环(31)的内侧壁上的顶环(33),所述顶环(33)的顶部突出于所述旋转环(31)的顶部一侧;
当所述升降芯轴(32)受驱按预设的第一旋转方向转动时,带动所述压紧模块(4)下降,所述顶环(33)伸入所述蓝膜夹设位,用于向上顶起并压紧蓝膜的底面。
4.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述Y向定位模块(1)还包括Y向支撑板(13),所述Y向支撑板(13)的相对两侧均设有Y向直线滑轨(14),所述Y向直线滑轨(14)上滑动连接有Y向连接座(15);所述Y向直线滑轨(14)和所述Y向丝杠(11)平行设置;
所述X向定位模块(2)包括X向支撑板(23),所述X向支撑板(23)与所述Y向连接座(15)固定连接。
5.根据权利要求4所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述X向支撑板(23)的相对两侧均开设有X向直线滑轨(24),所述X向直线滑轨(24)上滑动连接有X向连接座(25);所述X向直线滑轨(24)和所述X向丝杠(21)平行设置;
所述旋转定位模块(3)包括旋转支撑板(34),所述旋转支撑板(34)与所述X向连接座(25)固定连接。
6.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述Y向定位模块(1)还包括Y向电机(16),所述Y向电机(16)的输出端通过Y向联轴器(17)与所述Y向丝杠(11)连接;所述Y向丝杠(11)的两端均连接有Y向支撑座(18)。
7.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述X向定位模块(2)还包括X向电机(26),所述X向电机(26)的输出端通过X向联轴器(27)与所述X向丝杠(21)连接;所述X向丝杠(21)的两端均连接有X向支撑座(28)。
8.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述旋转定位模块(3)还包括升降电机(36);
所述升降电机(36)连接有主动轮(35),所述主动轮(35)通过同步带(301)传动连接有多个从动轮(37),各所述从动轮(37)分别与一所述升降芯轴(32)固定连接。
9.根据权利要求1所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述旋转定位模块(3)还包括旋转电机(38),所述旋转电机(38)的输出端连接有旋转同步轮(39);
所述旋转同步轮(39)通过传送带(302)与所述旋转环(31)连接,所述旋转环(31)的外侧壁上开设有皮带槽,所述传送带(302)呈张紧状态安装于所述皮带槽内。
10.根据权利要求5所述的蓝膜定位装置,其特征在于,所述旋转支撑板(34)上设有若干用于支撑所述旋转环(31)转动的支撑件(341);
所述支撑件(341)的一端固定安装于所述旋转支撑板(34)的外边沿,所述支撑件(341)的另一端设有限位凸块,所述旋转环(31)的内侧壁设有与所述限位凸块相配合的定位部;当所述旋转环(31)受驱旋转至预定的角度时,所述限位凸块与所述定位部相抵接。
CN202222364540.0U 2022-09-06 2022-09-06 一种蓝膜定位装置 Active CN218004810U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202222364540.0U CN218004810U (zh) 2022-09-06 2022-09-06 一种蓝膜定位装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202222364540.0U CN218004810U (zh) 2022-09-06 2022-09-06 一种蓝膜定位装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN218004810U true CN218004810U (zh) 2022-12-09

Family

ID=84289464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202222364540.0U Active CN218004810U (zh) 2022-09-06 2022-09-06 一种蓝膜定位装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN218004810U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2023060966A1 (zh) 一种载具自动插针设备
CN217361537U (zh) 一种晶圆用定位装置
CN111300043A (zh) 一种基于ccd视觉系统的手机组屏设备
CN216085670U (zh) 一种载具自动插针设备
CN217049367U (zh) 一种高效率双工位自动贴标机
CN116652767A (zh) 减薄机
CN218004810U (zh) 一种蓝膜定位装置
CN210575854U (zh) 一种led固晶设备
CN110473817B (zh) 一种led固晶设备
CN115295468A (zh) 一种蓝膜定位装置
CN217822699U (zh) 用于Mini LED的单驱双摆臂固晶机
CN217062046U (zh) 一种高速高精度固晶机
CN207283729U (zh) 一种带螺纹摄像头自动调焦机构
CN114486508A (zh) 一种叠层封装用推拉力测试装置
CN212682805U (zh) 一种柱塞打标检测机
CN210778672U (zh) 一种水平旋转双摆臂固晶机
CN209878941U (zh) 一种双面探针台
CN221264364U (zh) 一种芯片贴片机的芯片自动上料机构
CN219842958U (zh) 一种高速双头全自动固晶机
CN218004824U (zh) 一种用于固晶机的升降装置
CN113029073B (zh) 一种自动检测及筛选基板的设备及筛选方法
CN111628387B (zh) 一种卡托弹件装配系统
CN221551856U (zh) 一种晶圆夹具
CN221262307U (zh) 晶圆环换环装置及固晶机
CN221313208U (zh) 一种手机玻璃盖板自动组装机构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant