CN218003808U - 二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备 - Google Patents

Abstract

本申请适用于光学技术领域，提供一种二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备，所述二维调整装置包括：基座；载台；第一方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第一方向相对所述基座移动；第二方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第二方向相对所述基座移动；第一方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第一方向的回复力；第二方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第二方向的回复力。本申请的实施例提供的二维调整装置能提高稳定性。

Description

二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备

技术领域

本申请属于光学技术领域，更具体地说，涉及一种二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备。

背景技术

近年来，激光切割技术在晶圆精密加工行业迅速发展。在使用激光切割技术对晶圆进行加工时，会使用到光学器件(比如相机)。具体而言，在对晶圆进行加工时需要在物镜上方采用相机进行调焦，其中，相机是固定安装的。随着晶圆的加工精度要求越来越高，激光加工越来越复杂，需要通过二维调整装置对相机的位置进行调整。目前的二维调整装置在调整相机的位置时容易晃动，稳定性差。

实用新型内容

本申请的实施例提供一种二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备，能提高稳定性。

第一方面，本申请的实施例提供一种二维调整装置，包括：

基座；

载台；

第一方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第一方向相对所述基座移动；

第二方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第二方向相对所述基座移动；

第一方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第一方向的回复力；

第二方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第二方向的回复力。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第一方向调整机构设有第一抵持面；所述第一抵持面抵持于所述载台，使得所述第一方向调整机构与所述载台面接触；

和/或，所述第二方向调整机构设有第二抵持面；所述第二抵持面抵持于所述载台，使得所述第二方向调整机构与所述载台面接触；

和/或，所述第一方向弹性机构设有第三抵持面；所述第三抵持面抵持于所述载台，使得所述第一方向弹性机构与所述载台面接触；

和/或，所述第二方向弹性机构设有第四抵持面；所述第四抵持面抵持于所述载台，使得所述第二方向弹性机构与所述载台面接触。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第一方向调整机构包括：

第一滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第一调整部件，连接于所述基座且抵持于所述第一滑块，以推动所述第一滑块沿第一方向相对所述基座移动；

和/或，所述第二方向调整机构包括：

第二滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第二调整部件，连接于所述基座且抵持于所述第二滑块，以推动所述第二滑块沿第二方向相对所述基座移动；

和/或，所述第一方向弹性机构包括：

第三滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第一弹性件，设置于所述第三滑块和所述基座之间；

和/或，所述第二方向弹性机构包括：

第四滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第二弹性件，设置于所述第四滑块和所述基座之间。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座设有第一凹槽；所述第一滑块设置于所述第一凹槽；

所述二维调整装置还包括：

遮盖部件，设置于所述基座且遮盖所述第一凹槽的至少一部分，使得所述第一滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述二维调整装置的高度方向对所述第一滑块限位。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座还设有第二凹槽；所述第二滑块设置于所述第二凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第二凹槽的至少一部分，使得所述第二滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第二滑块限位。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座还设有第三凹槽；所述第三滑块设置于所述第三凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第三凹槽的至少一部分，使得所述第三滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第三滑块限位。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座还设有第四凹槽；所述第四滑块设置于所述第四凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第四凹槽的至少一部分，使得所述第四滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第四滑块限位。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第三滑块设有第三长孔；

所述二维调整装置还包括：

第一锁紧部件，穿设于所述第三长孔且连接于所述基座，以将所述第三滑块锁紧于所述基座。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述第四滑块设有第四长孔；

所述二维调整装置还包括：

第二锁紧部件，穿设于所述第四长孔且连接于所述基座，以将所述第四滑块锁紧于所述基座。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述基座设有移动槽；

所述载台包括：

托底部，设置于所述移动槽；

承载部，连接于所述托底部。

在第一方面的一些可能的实施方式中，所述载台设置于所述基座；所述基座包围所述载台。

第二方面，本申请的实施例提供一种光学器件调整装置，包括：

上述任一项所述二维调整装置；

光学器件，设置于所述载台。

在第二方面的一些可能的实施方式中，所述光学器件调整装置还包括：

连接部件，连接所述载台和所述光学器件。

在第二方面的一些可能的实施方式中，所述基座设有安装部；

所述光学器件调整装置还包括：

同轴组件，连接于所述安装部。

在第二方面的一些可能的实施方式中，所述二维调整装置设有供光通过的通孔，所述通孔设置于所述基座和所述载台，以使得来自所述光学器件的光能从所述通孔通过；所述光学器件包括相机或扩束镜；所述第一方向垂直于所述第二方向。

第三方面，本申请的实施例提供一种激光加工设备，包括上述任一项所述光学器件调整装置。

本申请的实施例与现有技术相比存在的有益效果是：

第一方向调整机构推动载台沿第一方向相对基座移动时，载台沿第一方向压缩第一方向弹性机构，第二方向调整机构和第二方向弹性机构保持抵持于载台以对载台定位；第二方向调整机构推动载台沿第二方向相对基座移动时，载台沿第二方向压缩第二方向弹性机构，第一方向调整机构和第一方向弹性机构保持抵持于载台以对载台定位；这样，能提高稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的二维调整装置的立体图；

图2为本申请一实施例提供的二维调整装置的一个结构分解图；

图3为本申请一实施例提供的二维调整装置的一个剖视图；

图4为本申请一实施例提供的二维调整装置的另一个剖视图；

图5为本申请另一实施例提供的二维调整装置的立体图；

图6为本申请一实施例提供的二维调整装置的另一个结构分解图；

图7为本申请一实施例提供的光学器件调整装置的立体图。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图1至图7及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

应当理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本申请的实施例提供一种二维调整装置，能用于调整光学器件的位置。

图1为本申请一实施例提供的二维调整装置的立体图。图2为本申请一实施例提供的二维调整装置的一个结构分解图。参考图1和图2，本申请的实施例提供的二维调整装置包括基座1、载台2、第一方向调整机构3、第二方向调整机构4、第一方向弹性机构5和第二方向弹性机构6。

基座1为二维调整装置的框架结构。

载台2用于承载光学器件7。光学器件7可以是相机或扩束镜。当然，根据实际应用场景，载台2还可以用于承载样品。

载台2设置于基座1，且能相对基座1沿第一方向X移动以及沿第二方向Y移动。

参考图1，在一些实施例中，基座1包围载台2。示例的，载台2设置于基座1的内部。

第一方向调整机构3设置于基座1且抵持于载台2，以推动载台2沿第一方向X相对基座1移动。

第二方向调整机构4设置于基座1且抵持于载台2，以推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动。

第一方向弹性机构5设置于基座1且抵持于载台2，以提供载台2在第一方向X的回复力。

第二方向弹性机构6设置于基座1且抵持于载台2，以提供载台2在第二方向Y的回复力。

第一方向X可以垂直于第二方向Y。在其他一些实施例中，第一方向X与第二方向Y之间存在大于0°且小于90°的夹角。

由前述内容可知，第一方向调整机构3、第二方向调整机构4、第一方向弹性机构5和第二方向弹性机构6抵持于载台2的不同面，具体可以是抵持于载台2的四个侧面。

参考图1和图2，当第一方向调整机构3推动载台2沿第一方向X相对基座1移动时，载台2沿第一方向X压缩第一方向弹性机构5，第一方向弹性机构5对载台2产生反作用力使得载台2保持平衡；当第一方向调整机构3对载台2的作用力消失时，载台2在第一方向弹性机构5的回复力作用下沿第一方向X相对基座1反向移动。由于第二方向调整机构4和第二方向弹性机构6也抵持于载台2，因此，载台2也沿第一方向X相对第二方向调整机构4和第二方向弹性机构6移动。在该过程中，第二方向调整机构4和第二方向弹性机构6对载台2起到定位的作用，使得载台2在第二方向Y的位置能保持不变。

类似的，参考图1和图2，当第二方向调整机构4推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动时，载台2沿第二方向Y压缩第二方向弹性机构6，第二方向弹性机构6对载台2产生反作用力使得载台2保持平衡；当第二方向调整机构4对载台2的作用力消失时，载台2在第二方向弹性机构6的回复力作用下沿第二方向Y相对基座1反向移动。由于第一方向调整机构3和第一方向弹性机构5也抵持于载台2，因此，载台2也沿第二方向Y相对第一方向调整机构3和第一方向弹性机构5移动。在该过程中，第一方向调整机构3和第一方向弹性机构5对载台2起到定位的作用，使得载台2在第一方向X的位置能保持不变。

可见，本申请的实施例提供的二维调整装置可以单独调整第一方向X，也可以单独调整第二方向Y。

根据上述内容可知，第一方向调整机构3推动载台2沿第一方向X相对基座1移动时，载台2沿第一方向X压缩第一方向弹性机构5，第二方向调整机构4和第二方向弹性机构6保持抵持于载台2以对载台2定位；第二方向调整机构4推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动时，载台2沿第二方向Y压缩第二方向弹性机构6，第一方向调整机构3和第一方向弹性机构5保持抵持于载台2以对载台2定位；这样，能提高稳定性。

参考图1，在一些实施例中，二维调整装置设有供光通过的通孔110。

示例的，通孔110设置于基座1和载台2，即通孔110贯穿基座1和载台2。

这样，来自光学器件7的光能从二维调整装置的通孔110通过，使得二维调整装置特别适用于多维度调整竖直安装的光学器件7(比如相机)。

图3为本申请一实施例提供的二维调整装置的一个剖视图。参考图2和图3，在一些实施例中，第一方向调整机构3设有第一抵持面301。

参考图2和图3，第一抵持面301抵持于载台2，使得第一方向调整机构3与载台2面接触；也即，第一方向调整机构3与载台2之间的接触为面接触，使得载台2沿第二方向Y相对第一方向调整机构3移动时能平稳移动，也能减少第一方向调整机构3与载台2之间的摩擦。

第一抵持面301可以是平面或者曲面。当第一抵持面301是平面时，第一抵持面301贴合于载台2的平面，使得载台2沿第二方向Y相对第一方向调整机构3移动时能更平稳移动，能进一步减少第一方向调整机构3与载台2之间的摩擦。

图4为本申请一实施例提供的二维调整装置的另一个剖视图。参考图2和图4，在一些实施例中，第二方向调整机构4设有第二抵持面401。

参考图2和图4，第二抵持面401抵持于载台2，使得第二方向调整机构4与载台2面接触；也即，第二方向调整机构4与载台2之间的接触为面接触，使得载台2沿第一方向X相对第二方向调整机构4移动时能平稳移动，也能减少第二方向调整机构4与载台2之间的摩擦。

第二抵持面401可以是平面或者曲面。当第二抵持面401是平面时，第二抵持面401贴合于载台2的平面，使得载台2沿第一方向X相对第二方向调整机构4移动时能更平稳移动，能进一步减少第二方向调整机构4与载台2之间的摩擦。

参考图2和图3，在一些实施例中，第一方向弹性机构5设有第三抵持面501。

参考图2和图3，第三抵持面501抵持于载台2，使得第一方向弹性机构5与载台2面接触；也即，第一方向弹性机构5与载台2之间的接触为面接触，使得载台2沿第二方向Y相对第一方向弹性机构5移动时能平稳移动，也能减少第一方向弹性机构5与载台2之间的摩擦。

第三抵持面501可以是平面或者曲面。当第三抵持面501是平面时，第三抵持面501贴合于载台2的平面，使得载台2沿第二方向Y相对第一方向弹性机构5移动时能更平稳移动，能进一步减少第一方向弹性机构5与载台2之间的摩擦。

参考图2和图4，在一些实施例中，第二方向弹性机构6设有第四抵持面601。

参考图2和图4，第四抵持面601抵持于载台2，使得第二方向弹性机构6与载台2面接触；也即，第二方向弹性机构6与载台2之间的接触为面接触，使得载台2沿第一方向X相对第二方向弹性机构6移动时能平稳移动，也能减少第二方向弹性机构6与载台2之间的摩擦。

第四抵持面601可以是平面或者曲面。当第四抵持面601是平面时，第四抵持面601贴合于载台2的平面，使得载台2沿第一方向X相对第二方向弹性机构6移动时能更平稳移动，能进一步减少第二方向弹性机构6与载台2之间的摩擦。

在实际应用中，二维调整装置设有第一抵持面301、第二抵持面401、第三抵持面501、以及第四抵持面601中的至少一者。

当第一抵持面301、第二抵持面401、第三抵持面501、以及第四抵持面601同时存在时且为平面时，能实现顺畅地调整载台2的位置，从而调整光学器件7的位置。

参考图2和图3，在一些实施例中，第一方向调整机构3包括第一滑块31和第一调整部件32。

第一滑块31抵持于载台2且滑动连接于基座1。这样，第一滑块31能相对基座1滑动。

第一抵持面301位于第一滑块31。示例的，第一抵持面301为第一滑块31的端面。

第一滑块31通过第一抵持面301抵持于载台2。

第一调整部件32连接于基座1且抵持于第一滑块31，以推动第一滑块31沿第一方向X相对基座1移动，进而由第一滑块31推动载台2沿第一方向X相对基座1移动。

第一调整部件32可以为螺栓或者丝杆。

第一方向调整机构3包括第一滑块31和第一调整部件32，为分体的结构，便于安装且能保证载台2移动的平稳性。

参考图3，在一些实施例中，第一调整部件32穿设于基座1且通过螺纹(比如细牙螺纹)连接于基座1，第一调整部件32的端部抵持于第一滑块31，以推动第一滑块31沿第一方向X相对基座1移动，进而由第一滑块31推动载台2沿第一方向X相对基座1移动。

第一调整部件32相对基座1正向转动时，推动载台2沿第一方向X相对基座1移动，使得载台2压缩第一方向弹性机构5；第一调整部件32相对基座1反向转动时，在第一方向弹性机构5的回复力作用下，载台2沿第一方向X相对基座1反向移动。

第一调整部件32螺纹连接于基座1，能实现推动载台2沿第一方向X相对基座1移动，且结构简单，能降低成本。

参考图2和图4，在一些实施例中，第二方向调整机构4包括第二滑块41和第二调整部件42。

第二滑块41抵持于载台2且滑动连接于基座1。这样，第二滑块41能相对基座1滑动。

第二抵持面401位于第二滑块41。示例的，第二抵持面401为第二滑块41的端面。

第二调整部件42连接于基座1且抵持于第二滑块42，以推动第二滑块42沿第二方向Y相对基座1移动，进而由第二滑块42推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动。

第一调整部件32可以为螺栓或者丝杆。

第二方向调整机构4包括第二滑块41和第二调整部件42，为分体的结构，便于安装且能保证载台2移动的平稳性。

参考图4，在一些实施例中，第二调整部件42穿设于基座1且通过螺纹(比如细牙螺纹)连接于基座1，第二调整部件42的端部抵持于第二滑块41，以推动第二滑块41沿第二方向Y相对基座1移动，进而由第二滑块42推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动。

第二调整部件42相对基座1正向转动时，推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动，使得载台2压缩第二方向弹性机构6；第二调整部件42相对基座1反向转动时，在第二方向弹性机构6的回复力作用下，载台2沿第二方向Y相对基座1反向移动。

第二调整部件42螺纹连接于基座1，能实现推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动，且结构简单，能降低成本。

参考图2和图3，在一些实施例中，第一方向弹性机构5包括第三滑块51和第一弹性件52。

第三滑块51抵持于载台2且滑动连接于基座1。这样，第三滑块51能相对基座1滑动。

第三抵持面501位于第三滑块51。示例的，第三抵持面501为第三滑块51的端面。

第三滑块51通过第三抵持面501抵持于载台2。

第一弹性件52设置于第三滑块51和基座1之间。

第一弹性件52可以是弹簧或者波纹管。

第一方向弹性机构5包括第三滑块51和第一弹性件52，为分体的结构，便于安装且能保证载台2移动的平稳性。

参考图2和图4，在一些实施例中，第二方向弹性机构6包括第四滑块61和第二弹性件62。

第四滑块61抵持于载台2且滑动连接于基座1。这样，第四滑块61能相对基座1滑动。

第四抵持面601位于第四滑块61。示例的，第四抵持面601为第四滑块61的端面。

第四滑块61通过第四抵持面601抵持于载台2。

第二弹性件62设置于第四滑块61和基座1之间。

第二弹性件62可以是弹簧或者波纹管。

第二方向弹性机构6包括第四滑块61和第二弹性件62，为分体的结构，便于安装且能保证载台2移动的平稳性。

参考图2，在一些实施例中，基座1设有第一凹槽101。

第一方向调整机构3的第一滑块31设置于第一凹槽101，由第一凹槽101将第一滑块31定位于基座1。

图5为本申请另一实施例提供的二维调整装置的立体图。参考图5，在一些实施例中，二维调整装置还包括遮盖部件8。

遮盖部件8设置于基座1且遮盖第一凹槽101的至少一部分，使得第一滑块31的至少一部分位于基座1和遮盖部件8之间，以在二维调整装置的高度方向H对第一滑块31限位，防止第一滑块31相对基座1翘起。

遮盖部件8可以连接于载台2(比如盖设于载台2)，跟随载台2移动。

参考图2，在一些实施例中，基座1还设有第二凹槽102。

第二滑块41设置于第二凹槽102，由第二凹槽102将第二滑块41定位于基座1。

参考图5，遮盖部件8还遮盖第二凹槽102的至少一部分，使得第二滑块41的至少一部分位于基座1和遮盖部件8之间，以在高度方向H对第二滑块41限位，防止第二滑块41相对基座1翘起。

参考图2，在一些实施例中，基座1还设有第三凹槽103。

第三滑块51设置于第三凹槽103，由第三凹槽103将第三滑块51定位于基座1。

参考图5，遮盖部件8还遮盖第三凹槽103的至少一部分，使得第三滑块103的至少一部分位于基座1和遮盖部件8之间，以在高度方向H对第三滑块103限位，防止第三滑块103相对基座1翘起。

参考图2，在一些实施例中，基座1还设有第四凹槽104。

第四滑块61设置于第四凹槽104，由第四凹槽104将第四滑块61定位于基座1。

参考图5，遮盖部件8还遮盖第四凹槽104的至少一部分，使得第四滑块61的至少一部分位于基座1和遮盖部件8之间，以在高度方向H对第四滑块61限位，防止第四滑块61相对基座1翘起。

参考图2，在一些实施例中，第三滑块51设有第三长孔511。

第三长孔511可以是腰形孔或者方形孔。

参考图1和图2，在一些实施例中，二维调整装置还包括第一锁紧部件9。

参考图1和图2，第一锁紧部件9穿设于第三长孔511且连接于基座1，以将第三滑块51锁紧于基座1，防止第三滑块51运动到指定位置后在第一弹性件52的作用力下移动，从而能使得载台2保持在指定位置。

参考图2，在一些实施例中，第四滑块61设有第四长孔611。

第四长孔611可以是腰形孔或者方形孔。

参考图1和图2，在一些实施例中，二维调整装置还包括第二锁紧部件10。

参考图1和图2，第二锁紧部件10穿设于第四长孔611且连接于基座1，以将第四滑块61锁紧于基座1，防止第四滑块61运动到指定位置后在第二弹性件62的作用力下移动，从而能使得载台2保持在指定位置。

图6为本申请一实施例提供的二维调整装置的另一个结构分解图。参考图6，在一些实施例中，基座1设有移动槽109。

参考图6，在一些实施例中，载台2包括托底部21和承载部22。

托底部21设置于移动槽109，能在移动槽109内沿第一方向X移动以及沿第二方向Y移动。

承载部22连接于托底部21，带动托底部21移动。

第一方向调整机构3、第二方向调整机构4、第一方向弹性机构5和第二方向弹性机构6抵持于载台2的承载部22。

移动槽109的设置，使得载台2能更平稳地相对基座1移动。

参考图6，在一些实施例中，基座1包括第一半基座1A和第二半基座1B。

第二半基座1B连接于第一半基座1A，使得第一半基座1A与第二半基座1B之间存在前述移动槽109。

图7为本申请一实施例提供的光学器件调整装置的立体图。参考图7，本申请的实施例还提供一种光学器件调整装置，该光学器件调整装置包括光学器件7和上述任一实施例提供的二维调整装置。

光学器件7设置于载台2。

参考图7，在一些实施例中，光学器件调整装置还包括连接部件12。

连接部件12连接载台2和光学器件7。

连接部件12可以是用于安装调焦相机(CCD，charge coupled device，电荷耦合器件)的连接部件。

参考图7，连接部件12的一端可以通过螺纹连接调焦相机，连接部件12的另一端可以通过遮盖部件8连接载台2。由穿设于遮盖部件8的顶紧部件(图未示出)在四个方向对连接部件12进行顶紧固定，能实现可靠固定光学器件7(比如相机)。

参考图6，载台2的托底部21嵌入基座1的移动槽109，由第一方向调整机构3、第二方向调整机构4、第一方向弹性机构5和第二方向弹性机构6调整载台2的位置，能提高调整的可靠性，以及能保证光学器件7位于光路中心轴且与光路中心轴同轴，能提高调整精度。

参考图6，在一些实施例中，基座1设有安装部11。

安装部11可以为接口板。

在一些实施例中，光学器件调整装置还包括同轴组件(图未示出)。

同轴组件连接于基座1的安装部11，使得光学器件7与同轴组件连接，在调整完光学器件7的位置之后，用紧固件(比如螺丝)将同轴组件与基座1的安装部11锁紧，能使得整体结构牢固，能保证使用寿命。

本申请的实施例提供的光学器件调整装置的工作原理如下：

光学器件7通过连接部件12安装于载台2；在需要调整光学器件7在第一方向X的位置时，操作第一方向调整机构3推动载台2沿第一方向X相对基座1移动，载台2沿第一方向X压缩第一方向弹性机构5；当需要调整光学器件7在第二方向Y的位置时，操作第二方向调整机构4推动载台2沿第二方向Y相对基座1移动，载台2沿第二方向Y压缩第二方向弹性机构6。

本申请的实施例提供的二维调整装置的各个部件的结构简单，可以自制，能降低成本，结构稳定，不易损坏，使用寿命更长，能提高经济效益；操作第一方向调整机构3和第二方向调整机构4即可调整光学器件7的位置，操作简单，能提升调试效率，从而增加经济效益；能调整调焦相机(即光学器件)在第一方向X和第二方向Y的位置，能使调焦相机的位置更加准确。

本申请的实施例提供的二维调整装置可以应用于晶圆精密激光自动化加工。

本申请的实施例还提供一种激光加工设备，该激光加工设备包括上述任一实施例提供的光学器件调整装置。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种二维调整装置，其特征在于，包括：

基座；

载台；

第一方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第一方向相对所述基座移动；

第二方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第二方向相对所述基座移动；

第一方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第一方向的回复力；

第二方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第二方向的回复力。

2.如权利要求1所述的二维调整装置，其特征在于，所述第一方向调整机构设有第一抵持面；所述第一抵持面抵持于所述载台，使得所述第一方向调整机构与所述载台面接触；

和/或，所述第二方向调整机构设有第二抵持面；所述第二抵持面抵持于所述载台，使得所述第二方向调整机构与所述载台面接触；

和/或，所述第一方向弹性机构设有第三抵持面；所述第三抵持面抵持于所述载台，使得所述第一方向弹性机构与所述载台面接触；

和/或，所述第二方向弹性机构设有第四抵持面；所述第四抵持面抵持于所述载台，使得所述第二方向弹性机构与所述载台面接触。

3.如权利要求1所述的二维调整装置，其特征在于，所述第一方向调整机构包括：

第一滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第一调整部件，连接于所述基座且抵持于所述第一滑块，以推动所述第一滑块沿第一方向相对所述基座移动；

和/或，所述第二方向调整机构包括：

第二滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第二调整部件，连接于所述基座且抵持于所述第二滑块，以推动所述第二滑块沿第二方向相对所述基座移动；

和/或，所述第一方向弹性机构包括：

第三滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第一弹性件，设置于所述第三滑块和所述基座之间；

和/或，所述第二方向弹性机构包括：

第四滑块，抵持于所述载台且滑动连接于所述基座；

第二弹性件，设置于所述第四滑块和所述基座之间。

4.如权利要求3所述的二维调整装置，其特征在于，所述基座设有第一凹槽；所述第一滑块设置于所述第一凹槽；

所述二维调整装置还包括：

遮盖部件，设置于所述基座且遮盖所述第一凹槽的至少一部分，使得所述第一滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述二维调整装置的高度方向对所述第一滑块限位。

5.如权利要求4所述的二维调整装置，其特征在于，所述基座还设有第二凹槽；所述第二滑块设置于所述第二凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第二凹槽的至少一部分，使得所述第二滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第二滑块限位。

6.如权利要求5所述的二维调整装置，其特征在于，所述基座还设有第三凹槽；所述第三滑块设置于所述第三凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第三凹槽的至少一部分，使得所述第三滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第三滑块限位。

7.如权利要求6所述的二维调整装置，其特征在于，所述基座还设有第四凹槽；所述第四滑块设置于所述第四凹槽；

所述遮盖部件还遮盖所述第四凹槽的至少一部分，使得所述第四滑块的至少一部分位于所述基座和所述遮盖部件之间，以在所述高度方向对所述第四滑块限位。

8.如权利要求6所述的二维调整装置，其特征在于，所述第三滑块设有第三长孔；

所述二维调整装置还包括：

第一锁紧部件，穿设于所述第三长孔且连接于所述基座，以将所述第三滑块锁紧于所述基座。

9.如权利要求7所述的二维调整装置，其特征在于，所述第四滑块设有第四长孔；

所述二维调整装置还包括：

第二锁紧部件，穿设于所述第四长孔且连接于所述基座，以将所述第四滑块锁紧于所述基座。

10.如权利要求1所述的二维调整装置，其特征在于，所述基座设有移动槽；

所述载台包括：

托底部，设置于所述移动槽；

承载部，连接于所述托底部。

11.如权利要求1至10任一项所述的二维调整装置，其特征在于，所述载台设置于所述基座；所述基座包围所述载台。

12.一种光学器件调整装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至11任一项所述二维调整装置；

光学器件，设置于所述载台。

13.如权利要求12所述的光学器件调整装置，其特征在于，所述光学器件调整装置还包括：

连接部件，连接所述载台和所述光学器件。

14.如权利要求12所述的光学器件调整装置，其特征在于，所述基座设有安装部；

所述光学器件调整装置还包括：

同轴组件，连接于所述安装部。

15.如权利要求12至14任一项所述的光学器件调整装置，其特征在于，所述二维调整装置设有供光通过的通孔，所述通孔设置于所述基座和所述载台，以使得来自所述光学器件的光能从所述通孔通过；所述光学器件包括相机或扩束镜；所述第一方向垂直于所述第二方向。

16.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求12至15任一项所述光学器件调整装置。

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