CN217956313U - 扩散炉 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种扩散炉，包括控制机台、真空管路以及集线器，集线器包括壳体、设置于壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，第一接线口与第二接线口一一对应，两者之间包括线材通道，控制机台连接有第一线材，真空管路连接有第二线材，第一线材伸入第一接线口且部分容纳于线材通道，第一线材与第二线材通过第二接线口相连接。根据本申请实施例的扩散炉，能够提高维护保养的工作效率。

Description

扩散炉

技术领域

本申请属于扩散炉技术领域，尤其涉及一种扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉包括真空管路，真空管路具有多段，每一段真空管路闭环控制温度，以保持温度恒定，避免内部沉积反应物。真空管路的每一段都包裹有加热带，因此，每一段真空管路都连接有加热带的电源线以及控制真空管路的热电偶接头，以与提供电源以及热电偶接线的控制机台相连接。

为了保证扩散炉的性能，需要时时对真空管路进行维护保养，每次维护保养都需要拆除加热带以更换真空管路，因此，也需要一并拆除与其连接的电源以及热电偶接线，在更换完毕后进行重新连接。在相关技术中，由于电源以及热电偶接线的摆放位置不固定，常需要在每次拆除后对其进行重新识别，以测试连接是否正确，使得维护保养效率较低。

实用新型内容

本申请实施例提供一种扩散炉，使得扩散炉的维护保养便捷且成本较低。

本申请实施例提供一种扩散炉，包括：控制机台；真空管路；以及集线器，包括壳体、设置于壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，第一接线口与第二接线口一一对应，第一接线口与第二接线口之间包括线材通道；控制机台连接有第一线材，真空管路连接有第二线材，第一线材伸入第一接线口且部分容纳于线材通道，第一线材与第二线材通过第二接线口相连接。

可选地，扩散炉还包括第一接头以及第二接头，第一接头设置于控制机台与集线器之间，多个第二接头间隔设置于真空管路。

可选地，第一线材包括第一总段以及多个第一分段，第一总段连接于控制机台以及第一接头之间，多个第一分段连接于第一接头以及集线器的多个第一接线口之间。

可选地，第二线材包括多第二子线，第二子线沿真空管路延伸，第二子线一端连接于第二接头，另一端连接于第二接线口。

可选地，第一接线口以及第二接线口设置于壳体的同一侧，第一接线口以及第二接线口沿壳体的高度方向间隔设置，多个第一接线口以及多个第二接线口分别沿壳体的高度方向间隔排列于壳体。

可选地，壳体内部包括沿壳体厚度方向延伸且沿宽度方向间隔排列的分隔片，分隔片将壳体的内部空间分隔为多个线材通道。

可选地，第一接线口以及第二接线口设置于线材通道的同一端；或第一接线口以及第二接线口设置于线材通道的两端。

可选地，第一接线口的入口包括不规则边缘。

可选地，第一接线口包括多个第一类接口以及至少一个第二类接口，第一类接口以及第二类接口依次间隔排列。

可选地，在壳体的高度方向，集线器的尺寸为290mm至320mm；在壳体的宽度方向，集线器的尺寸为180mm至210mm；在壳体的厚度方向，集线器的尺寸为45mm至70mm。

本申请实施例提供的扩散炉通过设置集线器，集线器包括一一对应的第一接线口以及第二接线口，将由控制机台引出的第一线材连接于集线器的第一接线口，由真空管路引出的第二线材连接于第二接线口，使得第一线材与第二线材相连接，以保证控制机台以及真空管路的连线一一对应。通过集线器将原本的电源以及热电偶接线分为第一线材以及第二线材，能够减少接线的长度，减少接线出现接触不良的可能性，与此同时，在每次进行维护保养时，用户无需重新测试连线，仅需拆除第二线材一端并重新连接即可，能够减少连线所用时间，提高维护保养扩散炉的便捷性，同时提高了作业效率以降低维护成本。

另外，第一接线口以及第二接线口之间包括线材通道，将冗余的第一线材摆放于线材通道内，能够实现整理收纳功能，提升扩散炉排线的整齐度，降低由于线材杂乱而产生的安全风险。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的扩散炉的整体示意图；

图2为本申请实施例提供的集线器的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的集线器的内部结构示意图；

附图标记：

1000、扩散炉；300、控制机台；200、真空管路；

100、集线器；1、壳体；11、分隔片；21、第一接线口；211、第一类接口；212、第二类接口；22、第二接线口；23、线材通道；

31、第一接头；32、第二接头；41、第一线材；411、第一总段；412、第一分段；42、第二线材；421、第二子线；

Z、高度方向；X、宽度方向；Y、厚度方向。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

除非另有定义，本申请所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本申请中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序或主次关系。

在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“附接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，和/或B，可以表示：单独存在，同时存在和B，单独存在B这三种情况。另外，本申请中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本申请的实施例中，相同的附图标记表示相同的部件，并且为了简洁，在不同实施例中，省略对相同部件的详细说明。应理解，附图示出的本申请实施例中的各种部件的厚度、长宽等尺寸，以及集成装置的整体厚度、长宽等尺寸仅为示例性说明，而不应对本申请构成任何限定。

本申请中出现的“多个”指的是两个以上(包括两个)。

本申请中术语“平行”不仅包括绝对平行的情况，也包括了工程上常规认知的大致平行的情况；同时，“垂直”也不仅包括绝对垂直的情况，还包括工程上常规认知的大致垂直的情况。

目前，扩散炉的每一段真空管路上包裹有加热带，控制机台同时连接出多股电源接线以及多股热电偶接线用于与每一段真空管路对应连接。然而，申请人注意到，在由控制机台向每一段真空管路都引出电源线以及热电偶线的情况下，电源线以及电热偶线常常没有特定的排布顺序，多条线材凌乱布置，不仅影响美观，更存在安全风险。并且，由于在维护保养时需要拆除加热带更换真空管路，电源线以及热电偶线接头都需要从真空管路拆除，再重新安装时，往往需要对电源线以及电热偶线进行再次识别，才能够确认是否连接正确，严重影响维护保养的效率。

鉴于此，本申请实施例提供一种扩散炉，通过设置集线器，集线器包括一一对应的第一接线口以及第二接线口，将由控制机台引出的第一线材连接于集线器的第一接线口，由真空管路引出的第二线材连接于第二接线口，使得第一线材与第二线材相连接，以保证控制机台以及真空管路的连线一一对应。通过集线器将原本的电源以及热电偶接线分为第一线材以及第二线材，能够减少接线的长度，减少接线出现接触不良的可能性，与此同时，在每次进行维护保养时，用户无需重新测试连线，仅需拆除第二线材一端并重新连接即可，能够减少连线所用时间，提高维护保养扩散炉的便捷性，同时提高了作业效率以降低维护成本。并且，第一接线口以及第二接线口之间包括线材通道，将冗余的第一线材摆放于线材通道内，能够实现整理收纳功能，提升扩散炉排线的整齐度，降低由于线材杂乱而产生的安全风险。

图1为本申请实施例提供的扩散炉整体示意图。图2为本申请实施例提供的集线器100的结构示意图。如图1以及图2所示，本申请的一些实施例中，扩散炉包括控制机台300、真空管路200以及集线器100。控制机台300连接有第一线材41，真空管路200连接有第二线材42。

应理解，第一线材41以及第二线材42在此处并不代表仅有一股线材，第一线材41以及第二线材42可以为电源线以及热电偶线的组合，也可以代指共同延伸的多股电源线以及热电偶线，本申请实施例对此不做限制。

集线器100包括壳体1、第一接线口21以及第二接线口22。多个第一接线口21以及多个第二接线口22设置于壳体1，两者一一对应且之间包括线材通道23。

在一些可能的连线示例中，第一线材41连接于第一接线口21，第二线材42连接于第二接线口22。在控制机台300可以引出多股电源线以及多股热电偶线的情况下，第一线材41可以包括多股，将每个第一线材41视作从控制机台300引出的一组电源线以及热电偶线，连接于多个第一接线口21；第二线材42也可包括多股，将每个第二线材42视作从第二接线口22引出的一组电源线以及热电偶线，与真空管路200的每段相连接。在第一线材41与第二线材42相对应的情况下，第一接线口21也与第二接线口22一一对应，且第一线材41与第二线材42可以通过线材通道23对应连接。如此，可以保证控制机台300所引出的每股电源线以及每股热电偶线对应连接于的真空管路200的每一段。

本申请的一些实施例中，第一接线口21以及第二接线口22设置于壳体1的同一侧，第一接线口21以及第二接线口22沿壳体1的厚度方向Y间隔设置，多个第一接线口21以及多个第二接线口22分别沿壳体1的高度方向Z间隔排列于壳体1。

为便于描述，在本申请实施例中，以壳体1本身为参照物，壳体1的宽度方向、厚度方向以及高度方向可以为X方向、Y方向以及Z方向。其中，宽度方向X、厚度方向Y以及高度方向Z彼此相交，在本申请实施例中，宽度方向X、厚度方向Y以及高度方向Z彼此垂直。应理解，当宽度方向X、厚度方向Y以及高度方向Z彼此之间的夹角为85°-95°时，即可将宽度方向X、厚度方向Y以及高度方向Z三者视为彼此垂直。可选地，宽度方向、厚度方向以及高度方向也可以沿其它方向，三者之间也可以具有其它夹角。

在本申请实施例中，多个第一接线口21沿高度方向Z间隔排列于壳体1的一侧，多个第二接线口22也与第一接线口21并排而沿高度方向Z间隔排列于壳体1的一侧，使得第一接线口21与第二接线口22在厚度方向Y上一一对应，以便于在使用过程中更易判断第一接线口21与第二接线口22的位置关系。并且，使得第一接线口21与第二接线口22在厚度方向Y上保持一定距离，能够便于第一线材41以及第二线材42进入第一接线口21以及第二接线口22，提高集线器100的可用性。

可选地，第一接线口21以及第二接线口22可以以其它方式排列，保证两者通过线材通道23连接即可，本申请实施例对此不做限制。

图3为本申请实施例提供的集线器100的内部结构示意图。如图3所示，在另一些可能的连线示例中，第一线材41伸入第一接线口21且部分容纳于线材通道23，第一线材41与第二线材42通过第二接线口22相连接。第一线材41包括多股线材，将每股第一线材41视作从控制机台300引出的一组电源线以及热电偶线，伸入多个第一接线口21，而将冗余的部分保存于线材通道23内，使第一线材41在集线器100内部连接于第二接线口22。如此，在第二线材42连接于第二接线口22的情况下，即可与第一线材41实现对应连接。

本申请的一些实施例中，壳体1内部包括沿壳体1厚度方向Y延伸且沿宽度方向X间隔排列的分隔片11，分隔片11将壳体1的内部空间分隔为多个线材通道23。

由于第一接线口21以及第二接线口22沿厚度方向Y间隔排列，且多个第一接线口21以及多个第二接线口22沿高度方向Z间隔排列，分隔片11沿宽度方向X延伸且沿高度方向Z间隔排列，可以将壳体1的内部空间分隔为多个沿高度方向Z依次排列的小空间，以用作容纳第一线材41的线材通道23。因此，可以将线材通道23视为位于壳体1内部的槽体，多个线材通道23彼此之间可以相互联通也可以相互不连通，能够实现容纳第一线材41的效果即可。

可选地，线材通道23也可以通过其它部件设置。在本身实施例中，为将第一线材41整齐排布于线材通道23内，线材通道23内也可以设置有其它能够收纳第一线材41的部件，例如将第一线材41卷绕于其上的卷轴，本申请实施例对此不做限制。

可选地，第一接线口21以及第二接线口22设置于线材通道23的同一端；或第一接线口21以及第二接线口22设置于线材通道23的两端。也即是说，在线材通道23形成为在壳体1内部沿高度方向Z依次排列的空间时，第一接线口21以及第二接线口22也可以沿宽度方向X相对设置于壳体1的两侧，保证两者能够一一对应即可。

再次参考图2。本申请的一些实施例中，第一接线口21的入口包括不规则边缘。

由于第一线材41伸入第一接线口21，使得第一接线口21的入口边缘呈现不规则的凸起，能够对第一线材41起到固定作用。可选地，也可以采取在第一接线口21设置能够固定线材的部件的方式，例如在第一接线口21设置能够锁紧线材的锁扣，本申请实施例对此不做限制。

本申请的一些实施例中，第一接线口21包括多个第一类接口211以及至少一个第二类接口212，第一类接口211以及第二类接口212依次间隔排列。

第一类接口211也即能够使得第一线材41伸入其中的接口，在一些实施例中，第一类接口211能够容纳电源线以及热电偶线两股线材，第二类接口212则相较于第一类接口211至少能够容纳另一股接地用的线材，也即可以容纳三股线材或更多。可选地，集线器100可以不包括第二类接口212，第二类接口212也可以为其它类型，第二类接口212也可以不设置于第一接线口21的尾端，本申请实施例对此不做限制。

再次参考图1，本申请的一些实施例中，扩散炉还包括第一接头31以及第二接头32，第一接头31设置于控制机台300与集线器100之间，多个第二接头32间隔设置于真空管路200。

第一接头31可以为起到分线作用的组合接头。在一些可能的连线示例中，第一线材41包括第一总段411以及多个第一分段412，第一总段411连接于控制机台300以及第一接头31之间，多个第一分段412连接于第一接头31以及集线器100的多个第一接线口21之间。也即是说，第一总段411可以视作由控制机台300引出的多股电源线以及热电偶线的集合，或共同延伸的多股电源线以及热电偶线，第一总段411连接于第一接头31，第一接头31可以起到分线效果，而将多股电源线以及热电偶线对应分为每一组内包括一股电源线以及一股热电偶线的多组第一分段412，每组第一分段412连接于集线器100的第一接线口21。在将第一线材41以第一总段411从控制机台300引出的情况下，能够增加这一段线材排布的整齐度。

第二接头32可以为能够同时接入电源线以及热电偶线的组合接头，间隔设置于真空管路200，以使得真空管路200的每一段能够连接有电源线以及热电偶线。在一些可能的连线示例中，第二线材42包括多个第二子线421，第二子线421沿真空管路200延伸，第二子线421一端连接于第二接头32，另一端连接于第二接线口22。也即是说，每一股第二子线421分别连接于集线器100的第二接线口22以及真空管路200的每一段之间，因此，第二线材42可以视作多股第二子线421的集合，或共同延伸的多股第二子线421。使得多股第二子线421组合为第二线材42而沿真空管路200延伸，同样能够增加线材排布的整齐度。

在另一些可选的连线示例中，第二线材42也可以包括第二总段以及多个第二分段，第二总段连接于第一接头31或其它能够起到分线作用的组合接头与第二接头32之间，多个第二分段连接于第一接头31与以及集线器100的多个第二接线口22之间。应理解，第二总段所指示的是多个第二子线421相集合而共同沿真空管路200延伸，多个第二子线421可以由第二总段向对应的第二接头32引出，也即是第二总段为一束线材的情况，第二分段所指示的是多个第二子线421分别由第一接头31向第二接线口22连接，而形成为多股线材的情况。

本申请的一些实施例中，在壳体1的高度方向Z，集线器100的尺寸为290mm至320mm；在壳体1的宽度方向X，集线器100的尺寸为180mm至210mm；在壳体1的厚度方向Y，集线器100的尺寸为45mm至70mm。也即是说，集线器100的壳体1可以恰好设置于扩散炉的控制机台300与真空管路200之间，使得集线盒巧妙地利用现有空间设置，无需改变扩散炉的任何结构，且不占用额外空间，具有良好的可用性。

综上所述，本申请实施例的扩散炉通过设置集线器100，集线器100包括一一对应的第一接线口21以及第二接线口22，将由控制机台300引出的第一线材41连接于集线器100的第一接线口21，由真空管路200引出的第二线材42连接于第二接线口22，使得第一线材41与第二线材42相连接，以保证控制机台300以及真空管路200的连线一一对应。通过集线器100将原本的电源以及热电偶接线分为第一线材41以及第二线材42，能够减少接线的长度，减少接线出现接触不良的可能性，与此同时，在每次进行维护保养时，用户无需重新测试连线，仅需拆除第二线材42一端并重新连接即可，能够减少连线所用时间，提高维护保养扩散炉1000的便捷性，同时提高了作业效率以降低维护成本。并且，第一接线口21以及第二接线口22之间包括线材通道23，将冗余的第一线材41摆放于线材通道23内，能够实现整理收纳功能，提升扩散炉排线的整齐度，降低由于线材杂乱而产生的安全风险。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，但这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种扩散炉，其特征在于，包括：

控制机台；

真空管路；以及

集线器，包括壳体、设置于所述壳体的多个第一接线口以及多个第二接线口，所述第一接线口与所述第二接线口一一对应，所述第一接线口与所述第二接线口之间包括线材通道；

所述控制机台连接有第一线材，所述真空管路连接有第二线材，所述第一线材伸入所述第一接线口且部分容纳于所述线材通道，所述第一线材与所述第二线材通过所述第二接线口相连接。

2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述扩散炉还包括第一接头以及第二接头，所述第一接头设置于所述控制机台与所述集线器之间，多个所述第二接头间隔设置于所述真空管路。

3.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述第一线材包括第一总段以及多个第一分段，所述第一总段连接于所述控制机台以及所述第一接头之间，多个所述第一分段连接于所述第一接头以及所述集线器的多个所述第一接线口之间。

4.根据权利要求2所述的扩散炉，其特征在于，所述第二线材包括多第二子线，所述第二子线沿所述真空管路延伸，一端连接于所述第二接头，另一端连接于所述第二接线口。

5.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一接线口以及所述第二接线口设置于所述壳体的同一侧，所述第一接线口以及所述第二接线口沿所述壳体的厚度方向间隔设置，多个所述第一接线口以及多个所述第二接线口分别沿所述壳体的高度方向间隔排列于所述壳体。

6.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述壳体内部包括沿所述壳体厚度方向延伸且沿高度方向间隔排列的分隔片，所述分隔片将所述壳体的内部空间分隔为多个所述线材通道。

7.根据权利要求6所述的扩散炉，其特征在于，所述第一接线口以及所述第二接线口设置于所述线材通道的同一端；或

所述第一接线口以及所述第二接线口设置于所述线材通道的两端。

8.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一接线口的入口包括不规则边缘。

9.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，所述第一接线口包括多个第一类接口以及至少一个第二类接口，所述第一类接口以及所述第二类接口依次间隔排列。

10.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于，在所述壳体的高度方向，所述集线器的尺寸为290mm至320mm；

在所述壳体的宽度方向，所述集线器的尺寸为180mm至210mm；

在所述壳体的厚度方向，所述集线器的尺寸为45mm至70mm。

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