CN207608661U - 一种半导体生产线用新型节能扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体生产线用新型节能扩散炉，包括扩散炉本体，扩散炉本体由控制系统、炉体加热系统、进出舟系统和气体控制系统组成，炉体加热系统的内部设置有加热炉，加热炉的外侧安装有加热石英管，加热石英管的外侧两端均安装有加热组件，加热组件的顶端安装有热偶，加热炉的一端安装有回风管道，回风管道的底端安装有驱动风机，加热炉的顶部一端连接有热能回收管，热能回收管的一端连接有热能回收机。本实用新型是一种半导体生产线用新型节能扩散炉，该设备在使用的过程中可对内部热能进行循环使用，节约成本，在使用完毕后可将内部大量热能进行回收利用，进行生活使用，有效的将资源合理使用。

Description

一种半导体生产线用新型节能扩散炉

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉，特别涉及一种半导体生产线用新型节能扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，控制部分包括:温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制，统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心，炉体加热系统共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，每层加热炉体间也配置一层水冷系统，隔绝每层炉管的温度相互影响，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走,中间部分分四层放置四个加热炉体，每层由四个坡面支架托起并固定住加热炉体，其位置在安装时已经与推拉舟系统丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨系统或软着落系统等对准中心。

在现有的扩散炉的技术条件基础上，在扩散炉节能使用的范围性以及便捷性上依然存在很多不足，大部分的扩散炉内部热能都不能进行重复利用，使用过程中内部热能容易流失，使用完毕后内部热量大量流失，造成大量的资源浪费，在节能上存在很多不足，十分不便。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种半导体生产线用新型节能扩散炉，该设备在使用的过程中可对内部热能进行循环使用，节约成本，在使用完毕后可将内部大量热能进行回收利用，进行生活使用，有效的将资源合理使用。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种半导体生产线用新型节能扩散炉，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体由控制系统、炉体加热系统、进出舟系统和气体控制系统组成，所述炉体加热系统的内部设置有加热炉，所述加热炉的外侧安装有加热石英管，所述加热石英管的外侧两端均安装有加热组件，所述加热组件的顶端安装有热偶，所述加热炉的一端安装有回风管道，所述回风管道的底端安装有驱动风机，所述加热炉的顶部一端连接有热能回收管，所述热能回收管的一端连接有热能回收机。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制系统的内部包括温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制器、热能循环控制和热能回收控制。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述热能回收机与热能回收控制电性连接，所述驱动风机与热能循环控制电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热炉与热能回收机通过热能回收管相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型是一种半导体生产线用新型节能扩散炉，可以有效的提高扩散炉节能使用范围以及便捷性，该设备在使用的过程中可对内部热能进行循环使用，节约成本，在使用完毕后可将内部大量热能进行回收利用，进行生活使用，有效的将资源合理使用，可节约大量经济成本。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的内部结构示意图；

图3是本实用新型控制系统的结构示意图；

图中：1、扩散炉本体；2、控制系统；3、炉体加热系统；4、进出舟系统；5、气体控制系统；6、加热炉；7、回风管道；8、驱动风机；9、热偶；10、加热石英管；11、热能回收管；12、热能回收机；13、温控器；14、功率部件；15、超温保护部件；16、系统控制器；17、热能循环控制；18、热能回收控制；19、加热组件。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1-3所示，本实用新型提供一种半导体生产线用新型节能扩散炉，包括扩散炉本体1，扩散炉本体1由控制系统2、炉体加热系统3、进出舟系统4和气体控制系统5组成，炉体加热系统3的内部设置有加热炉6，加热炉6的外侧安装有加热石英管10，加热石英管6的外侧两端均安装有加热组件19，加热组件19的顶端安装有热偶9，加热炉6的一端安装有回风管道7，回风管道7的底端安装有驱动风机8，加热炉6的顶部一端连接有热能回收管11，热能回收管11的一端连接有热能回收机12。

进一步的，控制系统2的内部包括温控器13、功率部件14、超温保护部件15、系统控制器16、热能循环控制17和热能回收控制18，整体设备可通过控制系统2内部的各个控制组件进行控制，方便进行操控，十分便捷。

热能回收机12与热能回收控制18电性连接，驱动风机8与热能循环控制17电性连接，可通过热能回收控制18和热能循环控制17在设备需要进行热能循环或者热能回收时进行控制，十分便捷。

加热炉6与热能回收机12通过热能回收管11相连通，加热炉6中的热能通过热能回收管11进行回收进入到热能回收机12中进行回收利用。

具体的，本实用新型在使用的时候，内部通过加热组件19和加热石英管进行加热升温使用，通过热偶9可检测内部温度，方便控制系统2进行调控使用，当温度到达一定时，可通过热能循环控制17打开驱动风机8进行工作，加热炉6内部温度将通过回风管道7进行由上至下进行循环，达到节能效果，在使用完毕后可通过热能回收控制18控制热能回收机12进行工作，加热炉6中的热能通过热能回收管11进行回收进入到热能回收机12中进行回收利用，进行生活使用。

该设备可以有效的提高扩散炉节能使用范围以及便捷性，在使用的过程中通过回风管道7可对内部热能进行循环使用，节约成本，在使用完毕后可通过热能回收机12将内部大量热能进行回收利用，进行生活使用，有效的将资源合理使用，可节约大量经济成本。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种半导体生产线用新型节能扩散炉，包括扩散炉本体（1），所述扩散炉本体（1）由控制系统（2）、炉体加热系统（3）、进出舟系统（4）和气体控制系统（5）组成，其特征在于，所述炉体加热系统（3）的内部设置有加热炉（6），所述加热炉（6）的外侧安装有加热石英管（10），所述加热石英管（6）的外侧两端均安装有加热组件（19），所述加热组件（19）的顶端安装有热偶（9），所述加热炉（6）的一端安装有回风管道（7），所述回风管道（7）的底端安装有驱动风机（8），所述加热炉（6）的顶部一端连接有热能回收管（11），所述热能回收管（11）的一端连接有热能回收机（12）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产线用新型节能扩散炉，其特征在于，所述控制系统（2）的内部包括温控器（13）、功率部件（14）、超温保护部件（15）、系统控制器（16）、热能循环控制（17）和热能回收控制（18）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产线用新型节能扩散炉，其特征在于，所述热能回收机（12）与热能回收控制（18）电性连接，所述驱动风机（8）与热能循环控制（17）电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产线用新型节能扩散炉，其特征在于，所述加热炉（6）与热能回收机（12）通过热能回收管（11）相连通。