CN217901935U - 一种探针压接装置及点测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种探针压接装置，包括升降机构和两组或两组以上的压接组件，所述升降机构包括升降板，所述压接组件均安装于所述升降板上，并在所述升降机构的驱动下升降运动进行压接；所述压接组件包括探针组件，所述探针组件通过伸缩件连接所述升降板，所述伸缩件沿Z向伸缩。本实用新型还提供了包括上述探针压接装置的点测机。本方案中的探针压接装置在一个升降机构上设置两组或两组以上的压接组件，利用伸缩件实现了人为选择性使用探针组件，提高了探针压接装置的适用性，便于操作，提高测试效率，节约成本。

Description

一种探针压接装置及点测机

技术领域

本实用新型属于半导体测试设备技术领域，特别是涉及一种探针压接装置及点测机。

背景技术

在半导体行业中，产品通常要经过数十道甚至上百道检测确认合格后才能出货。半导体的检测经常需要用到探针压接，与产品通信以进行产品外观、性能的检测，测试过程中，探针升降完成压接。由于产品的多样化，对不同产品测试时可能需要压接不同数量的探针，现有的探针压接装置兼容性差；同时随着科技的发展，半导体器件的体积越来越小，对探针压接的精度要求也越来越高。

因此有必要研究设计可选择使用探针数量并保证压接精度的探针压接治具及点测机。

实用新型内容

本实用新型提供一种探针压接装置及点测机，可根据需要选择需要数量、位置的探针进行压接，并保证探针压接位置精度及压接力的大小。

本实用新型的其他目的和优点可以从本实用新型所揭露的技术特征中得到进一步的了解。

为了达到上述部分或全部目的或是其他目的，本实用新型提供的探针压接装置，包括升降机构和两组或两组以上的压接组件，所述升降机构包括升降板，所述压接组件均安装于所述升降板上，并在所述升降机构的驱动下升降运动进行压接；所述压接组件包括探针组件，所述探针组件通过伸缩件连接所述升降板，所述伸缩件沿Z向伸缩。

工作时，压接组件在升降机构驱动下完成压接，当待测产品测试需要的探针压接数量小于压接组件的数量时，利用伸缩件将不需要的探针组件向上抬升，此时升降机构下降进行压接时，这部分探针组件则无法接触到产品或平台，从而达到调整压接探针组件数量的目的，这个过程中不需要对探针压接装置进行更换和拆卸，调节过程方便，提高了探针压接装置对不同产品的适用性，提高测试效率，节约成本。

所述探针组件包括探针头和纵向板，所述探针头通过横向设置的压力传感器连接于所述纵向板上，所述纵向板连接于安装板上，所述伸缩件的活动端连接所述安装板。利用压力传感器监测压接的实际压力，保证压接到位并防止压力过大损坏产品。

所述压接组件还包括Z向调节组件，所述Z向调节组件包括Z向千分头、第一支架和Z向复位件，所述第一支架位于所述探针组件上方，所述Z向千分头穿过所述第一支架与所述纵向板相抵，所述Z向复位件一端连接所述安装板，另一端连接所述纵向板，所述纵向板滑动连接于所述安装板上。由于具有两个或两个以上的压接组件，为了保证升降机构运动时各压接组件都能稳定压接，需要在初始时调节探针组件的高度，利用Z向千分头进行调节简单方便。

所述纵向板上设有导向槽，所述安装板上设有导向杆，转动所述Z向千分头时，所述导向杆在所述导向槽内移动，以避免纵向板在调节过程中歪斜，影响压接效果。

所述压接组件还包括Y向调节组件和X向调节组件，分别用于所述探针组件的Y向、X向位置调节；所述伸缩件连接所述X向调节组件的活动端，所述X向调节组件连接所述Y向调节组件的活动端，所述Y向调节组件通过底座连接所述升降板，利用Y向调节组件和X向调节组件保证探针压接的位置精度。

所述Y向调节组件包括Y向千分头、滑动配合的Y向滑轨与Y向滑块、第二支架和Y向复位件，所述Y向滑轨设于所述底座上，所述Y向千分头穿过所述第二支架与所述Y向滑块相抵，所述Y向复位件一端连接所述第二支架，另一端连接所述Y向滑块；所述X向调节组件安装于所述Y向滑块上。

所述X向调节组件包括X向千分头、滑动配合的X向滑轨与X向滑块、第三支架和X向复位件，所述X向滑轨设于所述Y向滑块上，所述X向千分头穿过所述第三支架与所述X向滑块相抵，所述X向复位件一端连接所述第三支架，另一端连接所述X向滑块；所述伸缩件安装于所述X向滑块上。

所述升降机构还包括安装架和驱动件，所述驱动件安装于所述安装架上，包括丝杆、螺接于所述丝杆上的丝母和底板，所述丝杆一端连接电机，另一端转动连接所述底板，所述升降板通过连接件连接所述丝母，利用丝杆丝母结构进行升降可保证升降运动的位置精度。

进一步的，所述安装架上设有用于监测所述连接件升降距离的距离传感器，并于进行自动化控制。

本实用新型还提供一种点测机，包括上述的探针压接装置，可以提高点测机的适用测试产品种类及测试效率、准确度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要包括：

1.本实用新型提供的探针压接装置，在一个升降机构上设置两组或两组以上的压接组件，利用伸缩件调节探针组件的安装高度，实现根据产品情况选择需要的探针组件起到压接作用，不需要的探针组件抬起不压接，有利于人为选择性使用探针组件，提高了探针压接装置的适用性，便于操作，提高测试效率，节约成本；

2. 本实用新型提供的探针压接装置，利用X、Y、Z向调节组件进行探针组件的位置调节，保证压接的位置精度，同时利用压力传感器、距离传感器保证压接力的大小、升降运动距离，使压接过程自动化控制。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的探针压接装置的结构示意图；

图2为图1中升降机构的结构示意图；

图3为图1中压接组件的结构示意图；

图4为图3中压接组件在另一视角下的结构示意图。

附图标记：10-升降机构，11-安装架，12-驱动件，121-电机，122-联轴器，123-丝杆，124-丝母，125-底板，13-升降板，130-连接件，131-安装孔，14-距离传感器，20-压接组件，21-探针组件，211-探针头，212-连板，213-压力传感器，214-纵向板，2140-导向槽，22-安装板，220-导向杆，221-顶板，222-竖板，23-Z向调节组件，231-Z向千分头，232-第一支架，233-Z向复位件，24-Y向调节组件，241- Y向千分头，242- Y向滑轨，243-第二支架，244-Y向滑块，245- Y向复位件，25-X向调节组件，251-X向复位件，252-第三支架，253-X向千分头，254-X向滑轨，255-X向滑块，26-底座，27-伸缩件。

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的一优选实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型。

结合图1和图2所示的本实施例的探针压接装置，包括升降机构10和两组压接组件20，压接组件20均安装于升降板13上，并在升降机构10的驱动下进行升降运动从而实现探针的压接。在本实施例中，该探针压接装置在生产中多用于mini led晶圆的测试，对应的探针连接点有两个，所述设置两组压接组件20，在其他实施例中可按需布置多组。当探针压接装置在生产中还需用于两个以上的压接位置的产品时，压接组件20也可设置多组。

如图2所示，升降机构10包括安装架11、驱动件12和升降板13，驱动件12安装于安装架11上，包括丝杆123、螺接于丝杆123上的丝母124和底板125，丝杆123一端通过联轴器122连接电机121，另一端转动连接底板125，升降板13通过连接件130连接丝母124。工作时电机121旋转带动丝杆123旋转，使得丝母124升降运动，从而带动升降板13上下运动。升降板13上设有用于安装压接组件20的安装孔131。在本实施例中，电机121为步进电机，驱动件12与升降板13位于安装架11的两侧，连接件130从安装架11的驱动件12一侧延伸至另一侧，由两块机构固定构成，便于在另一侧的升降板13上安装压接组件20；在另外的实施例中，驱动件12和升降板13也可以安装于安装架11的同侧，方便产品压接即可。

安装架11上设有用于监测连接件130升降距离的距离传感器14，从而获得压接组件20的升降距离，保证压接的稳定性和安全性。

如图3所示，压接组件20包括探针组件21、安装板22、Y向调节组件24、X向调节组件25、伸缩件27和Z向调节组件23，压接组件20通过底座26安装于升降板13上。Y向调节组件24、X向调节组件25和Z向调节组件23用于在Y、X、Z方向上对探针组件21的位置进行微调，保证探针压接位置的准确对正。

探针组件21连接于安装板22上，安装板22与伸缩件27的活动端连接，伸缩件27沿Z向伸缩，用于调节探针组件21的高度。在本实施例中，伸缩件27为气缸，安装板22由顶板221和竖板222连接形成“L”型结构，在另外的实施例中，伸缩件27也可以为电缸、伸缩杆等其他结构，安装板22也可以为整体结构，例如“L”型的整体结构或方形体。工作时，两组压接组件20在升降机构10的驱动下同时完成两个探针组件21的压接，当只需要一组压接组件20工作时，驱动另外一组压接组件20的所述气缸向上运动，此时当升降机构10进行下降压接时，对应的探针组件21的位置较高，不能达到压接位置，起到屏蔽作用，避免对接触到下方的产品或平台。

探针组件21包括探针头211、压力传感器213和纵向板214，其中压力传感器213横向设置，一端连接纵向板214底部，另一端通过连板212连接探针头211，在探针头211压接后压力传感器213反馈相应的压力，当压力超过设定值时装置报警，防止损坏产品。在本实施例中，压力传感器213为板材表面铺设应变片构成，可以同时作为连杆使用，在其他实施例中可以使用任意压力传感装置。

Z向调节组件23包括Z向千分头231、第一支架232和Z向复位件233，第一支架232位于探针组件21上方，Z向千分头231穿过第一支架232与纵向板214相抵，Z向复位件233一端连接安装板22，另一端连接纵向板214，此时，纵向板214滑动连接于安装板22上。在本实施例中Z向复位件233为复位弹簧，为了便于复位弹簧的安装，在安装板22和纵向板214均设有凸起的柱体，在所述柱体上设有卡槽，所述复位弹簧的两端连接于所述卡槽内。调节时利用螺母调节Z向千分头231的高度，复位弹簧使纵向板214始终与Z向千分头231的下表面相抵。

为了确保Z向调节时纵向板214升降的直线度，在本实施例中，Z向调节纵向板214上设有导向槽2140，安装板22上设有导向杆220，转动Z向千分头231时，导向杆220在导向槽2140内运动。在另外的实施例中，也可以将纵向板214通过线轨滑动安装于安装板22上。

如图4所示，Y向调节组件24包括Y向千分头241、滑动配合的Y向滑轨242与Y向滑块244、第二支架243和Y向复位件245，Y向滑轨242设于底座26上，Y向千分头241穿过第二支架243与Y向滑块244相抵，Y向复位件245一端连接第二支架243，另一端连接Y向滑块244。Y向调节组件24的调节方式与Z向调节方式相同。

X向调节组件25包括X向千分头253、滑动配合的X向滑轨254与X向滑块255、第三支架252和X向复位件251， X向滑轨254设于Y向滑块244上， X向千分头253穿过所述第三支架252与X向滑块255相抵，X向复位件251一端连接第三支架252，另一端连接X向滑块255，伸缩件27安装于X向滑块255上。X向调节组件25的调节方式与Z向调节方式相同。

本实用新型还提供一种点测机，包括如上所述的探针压接装置，可以根据待测产品选择使用相应数量的探针组件，将不需要的探针组件抬起进行屏蔽；在点测过程中实现探针的稳定压接，保证测试信号的稳定。

以上对本实用新型所提供的探针压接装置及点测机进行了详细介绍，本文仅应用具体个例对本实用新型的结构及工作原理进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求保护的范围内。

Claims (10)

1.一种探针压接装置，其特征在于，包括升降机构（10）和两组或两组以上的压接组件（20），所述升降机构（10）包括升降板（13），所述压接组件（20）均安装于所述升降板（13）上，并在所述升降机构（10）的驱动下升降运动进行压接；所述压接组件（20）包括探针组件（21），所述探针组件（21）通过伸缩件（27）连接所述升降板（13），所述伸缩件（27）沿Z向伸缩。

2.根据权利要求1所述的探针压接装置，其特征在于，所述探针组件（21）包括探针头（211）和纵向板（214），所述探针头（211）通过横向设置的压力传感器（213）连接于所述纵向板（214）上，所述纵向板（214）连接于安装板（22）上，所述伸缩件（27）的活动端连接所述安装板（22）。

3.根据权利要求2所述的探针压接装置，其特征在于，所述压接组件（20）还包括Z向调节组件（23），所述Z向调节组件（23）包括Z向千分头（231）、第一支架（232）和Z向复位件（233），所述第一支架（232）位于所述探针组件（21）上方，所述Z向千分头（231）穿过所述第一支架（232）与所述纵向板（214）相抵，所述Z向复位件（233）一端连接所述安装板（22），另一端连接所述纵向板（214），所述纵向板（214）滑动连接于所述安装板（22）上。

4.根据权利要求3所述的探针压接装置，其特征在于，所述纵向板（214）上设有导向槽（2140），所述安装板（22）上设有导向杆（220），转动所述Z向千分头（231）时，所述导向杆（220）在所述导向槽（2140）内移动。

5.根据权利要求1所述的探针压接装置，其特征在于，所述压接组件（20）还包括Y向调节组件（24）和X向调节组件（25），分别用于所述探针组件（21）的Y向、X向位置调节；所述伸缩件（27）连接所述X向调节组件（25）的活动端，所述X向调节组件（25）连接所述Y向调节组件（24）的活动端，所述Y向调节组件（24）通过底座（26）连接所述升降板（13）。

6.根据权利要求5所述的探针压接装置，其特征在于，所述Y向调节组件（24）包括Y向千分头（241）、滑动配合的Y向滑轨（242）与Y向滑块（244）、第二支架（243）和Y向复位件（245），所述Y向滑轨（242）设于所述底座（26）上，所述Y向千分头（241）穿过所述第二支架（243）与所述Y向滑块（244）相抵，所述Y向复位件（245）一端连接所述第二支架（243），另一端连接所述Y向滑块（244）；所述X向调节组件（25）安装于所述Y向滑块（244）上。

7.根据权利要求6所述的探针压接装置，其特征在于，所述X向调节组件（25）包括X向千分头（253）、滑动配合的X向滑轨（254）与X向滑块（255）、第三支架（252）和X向复位件（251），所述X向滑轨（254）设于所述Y向滑块（244）上，所述X向千分头（253）穿过所述第三支架（252）与所述X向滑块（255）相抵，所述X向复位件（251）一端连接所述第三支架（252），另一端连接所述X向滑块（255）；所述伸缩件（27）安装于所述X向滑块（255）上。

8.根据权利要求1所述的探针压接装置，其特征在于，所述升降机构（10）还包括安装架（11）和驱动件（12），所述驱动件（12）安装于所述安装架（11）上，包括丝杆（123）、螺接于所述丝杆（123）上的丝母（124）和底板（125），所述丝杆（123）一端连接电机（121），另一端转动连接所述底板（125），所述升降板（13）通过连接件（130）连接所述丝母（124）。

9.根据权利要求8所述的探针压接装置，其特征在于，所述安装架（11）上设有用于监测所述连接件（130）升降距离的距离传感器（14）。

10.一种点测机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的探针压接装置。

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