CN217890544U - 半导体生产抛光头模具打磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体技术领域，尤其为半导体生产抛光头模具打磨装置，包括安装板，所述安装板的上方设置电机组件，所述电机组件的顶部固定安装有打磨件，所述安装板的上方设置有放置台，所述放置台的顶部设置有放置槽，将待打磨抛光头放入放置槽内，启动电机组件带动打磨件对待打磨抛光头进行打磨，所述安装板的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有调节板，所述电机组件固定安装在调节板的顶部。该半导体生产抛光头模具打磨装置，操作者通过转动旋钮可带动调节螺杆在固定块内转动，进而带动调节板在滑槽内滑动，达到调节打磨件与放置台的距离，便于调节打磨件到待打磨抛光头的距离，提高打磨精准度。

Description

半导体生产抛光头模具打磨装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为半导体生产抛光头模具打磨装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，在半导体生产加工过程中通常需要使用抛光头对其进行抛光加工然而，在抛光头长时间使用后容易出现磨损，在进行抛光加工时，容易对半导体造成损伤，因此我们提出了一种半导体生产抛光头模具打磨装置用于解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了半导体生产抛光头模具打磨装置，解决了现今存在的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：半导体生产抛光头模具打磨装置，包括安装板，所述安装板的上方设置电机组件，所述电机组件的顶部固定安装有打磨件，所述安装板的上方设置有放置台，所述放置台的顶部设置有放置槽，将待打磨抛光头放入放置槽内，启动电机组件带动打磨件对待打磨抛光头进行打磨。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装板的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有调节板，所述电机组件固定安装在调节板的顶部，所述安装板的顶部固定安装有固定块，所述固定块的内侧螺纹连接有调节螺杆，所述调节螺杆的一端固定安装有旋钮，所述调节螺杆的另一端转动连接在调节板的外侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装板的顶部固定安装有承载板，所述承载板的内侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的顶部固定安装有驱动杆，所述驱动杆转动连接在承载板的内侧，所述驱动杆的外侧且位于承载板的上方螺纹连接有调节套，所述调节套的顶部转动连接有推动环，所述推动环的顶部固定安装有推杆，所述放置台固定安装在驱动杆的顶部，所述放置台的底部开设有通槽，所述通槽的内侧滑动连接有夹持件，所述推杆的顶部与夹持件的底部贴合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述推杆的顶部与夹持件的底部均为倾斜设计。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持件包括滑动块，所述滑动块与推杆贴合，所述滑动块的外侧开设有缓冲槽，所述缓冲槽的内侧滑动连接有夹持片。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述推杆有四个且对称分布在驱动杆的外侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持片远离滑动块的一端延伸至放置槽的内侧，夹持片有四个且对称分布在放置槽的内侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持片与缓冲槽之间固定安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧对称分布在滑动块的内侧。

与现有技术相比，本实用新型提供了半导体生产抛光头模具打磨装置，具备以下有益效果：

1、该半导体生产抛光头模具打磨装置，操作者通过转动旋钮可带动调节螺杆在固定块内转动，进而带动调节板在滑槽内滑动，达到调节打磨件与放置台的距离，便于调节打磨件到待打磨抛光头的距离，提高打磨精准度。

2、该半导体生产抛光头模具打磨装置，通过转动调节套在驱动杆上转动，带动推动环向上运动，推动环带动推杆上升并推动通槽内的夹持件运动，在推杆上升的过程中，推杆会推动滑动块运动，滑动块通过缓冲弹簧推动夹持片相互靠近，将待打磨抛光头夹持，提高夹持的稳定性，此外缓冲弹簧可起到紧固和缓冲效果，提高待打磨抛光头在打磨过程中保持稳定。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型放置台内部结构俯视图；

图3为本实用新型图2中A处结构放大示意图；

图4为本实用新型推杆与滑动块位置关系侧视图。

图中：1、安装板；2、承载板；3、驱动杆；4、调节套；5、推动环；6、推杆；7、缓冲槽；8、放置台；9、放置槽；10、调节板；11、电机组件；12、打磨件；13、滑槽；14、固定块；15、旋钮；16、调节螺杆；17、通槽；18、滑动块；19、缓冲弹簧；20、夹持片。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实施方案中：半导体生产抛光头模具打磨装置，包括安装板1，安装板1的上方设置电机组件11，电机组件11的顶部固定安装有打磨件12，安装板1的上方设置有放置台8，放置台8的顶部设置有放置槽9，将待打磨抛光头放入放置槽9内，启动电机组件11带动打磨件12对待打磨抛光头进行打磨。

本实施例中，安装板1的顶部开设有滑槽13，滑槽13的内侧滑动连接有调节板10，电机组件11固定安装在调节板10的顶部，安装板1的顶部固定安装有固定块14，固定块14的内侧螺纹连接有调节螺杆16，调节螺杆16的一端固定安装有旋钮15，调节螺杆16的另一端转动连接在调节板10的外侧，通过转动旋钮15可带动调节螺杆16在固定块14内转动，进而带动调节板10在滑槽13内滑动，达到调节打磨件12与放置台8的距离，便于调节打磨件12的位置，提高打磨精准度。

安装板1的顶部固定安装有承载板2，承载板2的内侧固定安装有驱动电机，驱动电机的顶部固定安装有驱动杆3，驱动杆3转动连接在承载板2的内侧，驱动杆3的外侧且位于承载板2的上方螺纹连接有调节套4，调节套4的顶部转动连接有推动环5，推动环5的顶部固定安装有推杆6，放置台8固定安装在驱动杆3的顶部，放置台8的底部开设有通槽17，通槽17的内侧滑动连接有夹持件，推杆6的顶部与夹持件的底部贴合，推杆6的顶部与夹持件的底部均为倾斜设计，通过转动调节套4在驱动杆3上转动，带动推动环5向上运动，推动环5带动推杆6上升并推动通槽17内的夹持件运动，对待打磨抛光头进行限位，夹持件包括滑动块18，滑动块18与推杆6贴合，滑动块18的外侧开设有缓冲槽7，缓冲槽7的内侧滑动连接有夹持片20，夹持片20与缓冲槽7之间固定安装有缓冲弹簧19，缓冲弹簧19对称分布在滑动块18的内侧，推杆6有四个且对称分布在驱动杆3的外侧，夹持片20远离滑动块18的一端延伸至放置槽9的内侧，夹持片20有四个且对称分布在放置槽9的内侧，在推杆6上升的过程中，推杆6会推动滑动块18运动，滑动块18通过缓冲弹簧19推动夹持片20相互靠近，将待打磨抛光头夹持，提高夹持的稳定性，此外缓冲弹簧19可起到紧固和缓冲效果，提高待打磨抛光头在打磨过程中保持稳定。

本实用新型的工作原理及使用流程：操作者通过转动旋钮15可带动调节螺杆16在固定块14内转动，进而带动调节板10在滑槽13内滑动，达到调节打磨件12与放置台8的距离，便于调节打磨件12到待打磨抛光头的距离，提高打磨精准度，此外，通过转动调节套4在驱动杆3上转动，带动推动环5向上运动，推动环5带动推杆6上升并推动通槽17内的夹持件运动，在推杆6上升的过程中，推杆6会推动滑动块18运动，滑动块18通过缓冲弹簧19推动夹持片20相互靠近，将待打磨抛光头夹持，提高夹持的稳定性，此外缓冲弹簧19可起到紧固和缓冲效果，提高待打磨抛光头在打磨过程中保持稳定。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.半导体生产抛光头模具打磨装置，包括安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）的上方设置电机组件（11），所述电机组件（11）的顶部固定安装有打磨件（12），所述安装板（1）的上方设置有放置台（8），所述放置台（8）的顶部设置有放置槽（9），将待打磨抛光头放入放置槽（9）内，启动电机组件（11）带动打磨件（12）对待打磨抛光头进行打磨。

2.根据权利要求1所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述安装板（1）的顶部开设有滑槽（13），所述滑槽（13）的内侧滑动连接有调节板（10），所述电机组件（11）固定安装在调节板（10）的顶部，所述安装板（1）的顶部固定安装有固定块（14），所述固定块（14）的内侧螺纹连接有调节螺杆（16），所述调节螺杆（16）的一端固定安装有旋钮（15），所述调节螺杆（16）的另一端转动连接在调节板（10）的外侧。

3.根据权利要求1所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述安装板（1）的顶部固定安装有承载板（2），所述承载板（2）的内侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的顶部固定安装有驱动杆（3），所述驱动杆（3）转动连接在承载板（2）的内侧，所述驱动杆（3）的外侧且位于承载板（2）的上方螺纹连接有调节套（4），所述调节套（4）的顶部转动连接有推动环（5），所述推动环（5）的顶部固定安装有推杆（6），所述放置台（8）固定安装在驱动杆（3）的顶部，所述放置台（8）的底部开设有通槽（17），所述通槽（17）的内侧滑动连接有夹持件，所述推杆（6）的顶部与夹持件的底部贴合。

4.根据权利要求3所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述推杆（6）的顶部与夹持件的底部均为倾斜设计。

5.根据权利要求3所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述夹持件包括滑动块（18），所述滑动块（18）与推杆（6）贴合，所述滑动块（18）的外侧开设有缓冲槽（7），所述缓冲槽（7）的内侧滑动连接有夹持片（20）。

6.根据权利要求3所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述推杆（6）有四个且对称分布在驱动杆（3）的外侧。

7.根据权利要求5所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述夹持片（20）远离滑动块（18）的一端延伸至放置槽（9）的内侧，夹持片（20）有四个且对称分布在放置槽（9）的内侧。

8.根据权利要求5所述的半导体生产抛光头模具打磨装置，其特征在于：所述夹持片（20）与缓冲槽（7）之间固定安装有缓冲弹簧（19），所述缓冲弹簧（19）对称分布在滑动块（18）的内侧。

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