CN217865962U - 一种设有前置取样组件的mo源钢瓶 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体分别固定安装有惰性气体进气管、MO源充装管和出气管，所述前置取样组件包括前置取样管路，所述前置取样管路与萃取器连接，所述萃取器通过纯化柱连接所述钢瓶本体；其中，所述前置取样管路包括与所述萃取器连接的取样管，以及回流管，所述回流管连接在取样管与所述纯化柱之间；本实用新型实现了便捷式即时取样，且前置取样组件与钢瓶本体之间形成了封闭循环系统，确保不会影响MO源钢瓶内MO源蒸汽的及时供应，有效提升了MO源产线的生产效率。

Description

一种设有前置取样组件的MO源钢瓶

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种设有前置取样组件的MO源钢瓶。

背景技术

MO源钢瓶作为一种用于封装超纯化合物（具体可以为液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）的容器，它能够很好地避免超纯化合物输送面临的复杂性问题。在实际使用时，向位于MO源钢瓶内的混合溶液内通入惰性气体得到气态MO源蒸汽，经过流量控制最后送入产线的反应室。

为了实现对MO源钢瓶向产品供应MO源蒸汽的质量监测，现有技术需要采用专用的取样测试设备对MO源钢瓶产生的MO源蒸汽进行纯化后进行萃取取样，然后进行测试，经测试合格后才能将MO源蒸汽接入生产线的主设备上使用。然而，现有的取样测试设在取样过程中不仅对环境以及操作人员的要求都很高，否则很容易造成取样测试设备的污染，不仅耗时耗力，而且取样测试设备一旦被污染，需要花费更多的时间对该取样测试设备进行清理，不仅对生产环境不友好，而且还会极大程度地降低MO源蒸汽在生产线主设备的供应效率。

因此，本申请人希望通过寻求技术方案来解决上述技术问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，实现了便捷式即时取样，且前置取样组件与钢瓶本体之间形成了封闭循环系统，确保不会影响MO源钢瓶内MO源蒸汽的及时供应，有效提升了MO源产线的生产效率。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体分别固定安装有惰性气体进气管、MO源充装管和出气管，所述前置取样组件包括前置取样管路，所述前置取样管路与萃取器连接，所述萃取器通过纯化柱连接所述钢瓶本体；其中，所述前置取样管路包括与所述萃取器连接的取样管，以及回流管，所述回流管连接在取样管与所述纯化柱之间。

优选地，所述取样管包括与所述萃取器的下端侧壁连接的取样液入口管段以及设有取样接头的取样液出口管段，其中，所述回流管连接在所述取样液入口管段与所述纯化柱之间。

优选地，所述取样液出口管段安装有取样阀门，所述回流管安装有液体回流阀门。

优选地，通过三通管段实现取样液入口管段、取样液出口管段以及回流管之间的连接；其中，所述三通管段分别连接所述取样阀门和所述液体回流阀门。

优选地，所述萃取器的上端部贯穿式地固定安装有冷却装置；位于所述钢瓶本体与萃取器之间的纯化柱外周套接有保温套管。

优选地，所述冷却装置包括套接在萃取器上端部外周的冷却套管，所述冷却套管分别连接用于接入冷却水的进水接头和用于排出冷却水的出水接头，其中，所述冷却套管与萃取器上端部外周之间形成冷却腔体。

优选地，所述萃取器密封套接在所述纯化柱的上端部外周，其中，所述萃取器的下端侧壁设有与所述取样管连接的萃取器出液口，所述纯化柱的上端部设有若干气孔，所述气孔的安装高度大于所述萃取器出液口的安装高度。

优选地，所述纯化柱的上端部分别设有位于顶部的第一气孔，以及位于其上端侧壁且呈周向分布的第二气孔。

优选地，所述纯化柱的侧壁设有与所述回流管连接的萃取液回流口，所述萃取液回流口的安装高度小于所述萃取器出液口的安装高度。

优选地，所述钢瓶本体的顶部固定安装有纯化柱安装口，所述纯化柱的下端与所述纯化柱安装口固定密封安装连接。

需要特别说明的是，本申请涉及的纯化柱、萃取器均为取样检测领域的公知常识，本申请对其不在具体展开说明。

本申请通过直接安装在钢瓶本体的前置取样组件来实现对MO源蒸汽的实时质量监测，具体提出由纯化柱、萃取器以及前置取样管路组成的前置取样组件，在实际工作时，钢瓶本体内的MO源蒸汽通过纯化柱进行纯化后进入萃取器，使得MO源蒸汽转换为液态，最后进入取样管，进而完成了对MO源钢瓶的便捷式取样，同时剩余的MO源液体会通过回流管回流至纯化柱；因此本申请提供的设有前置取样组件的MO源钢瓶实现了便捷式即时取样，且前置取样组件与钢瓶本体之间形成了封闭循环结构，确保不会影响MO源钢瓶内MO源蒸汽的及时供应，有效提升了MO源产线的生产效率。

附图说明

图1是本申请具体实施方式下MO源钢瓶的结构示意图；

图2是图1中A处结构放大图；

图3是本申请具体实施方式下的工作状态图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，钢瓶本体分别固定安装有惰性气体进气管、MO源充装管和出气管，前置取样组件包括前置取样管路，前置取样管路与萃取器连接，萃取器通过纯化柱连接钢瓶本体；其中，前置取样管路包括与萃取器连接的取样管，以及回流管，回流管连接在取样管与纯化柱之间。

本实施例通过直接安装在钢瓶本体的前置取样组件来实现对MO源蒸汽的实时质量监测，具体提出由纯化柱、萃取器以及前置取样管路组成的前置取样组件，在实际工作时，钢瓶本体内的MO源蒸汽通过纯化柱进行纯化后进入萃取器，使得MO源蒸汽转换为液态，最后进入取样管，进而完成了对MO源钢瓶的便捷式取样，同时剩余的MO源液体会通过回流管回流至纯化柱；因此本实施例提供的设有前置取样组件的MO源钢瓶实现了便捷式即时取样，且前置取样组件与钢瓶本体之间形成了封闭循环系统，确保不会影响MO源钢瓶内MO源蒸汽的及时供应，有效提升了MO源产线的生产效率。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

请参见图1、图2和图3所示，一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间11的钢瓶本体1，钢瓶本体1分别固定安装有惰性气体进气管12、MO源充装管（图未示出）和出气管13，前置取样组件2包括前置取样管路，前置取样管路与萃取器21连接，萃取器21通过纯化柱22连接钢瓶本体1；其中，前置取样管路包括与萃取器21连接的取样管23，以及回流管24，回流管24连接在取样管23与纯化柱22之间；优选地，在本实施方式中，钢瓶本体1的顶部固定安装有纯化柱安装口，纯化柱22的下端与纯化柱安装口14固定密封安装连接。

优选地，在本实施方式中，取样管23包括与萃取器21的下端侧壁连接的取样液入口管段23a以及设有取样接头25的取样液出口管段23b，其中，回流管24连接在取样液入口管段23a与纯化柱22之间；具体优选地，为了便于进行即时取样控制，同时确保封闭循环取样效果，在本实施方式中，取样液出口管段23b安装有取样阀门31，回流管24安装有液体回流阀门32；通过三通管段33实现取样液入口管段23a、取样液出口管段23b以及回流管24之间的连接；其中，三通管段33分别连接取样阀门31和液体回流阀门32。

优选地，在本实施方式中，萃取器21的上端部贯穿式地固定安装有冷却装置4，通过冷却装置4对萃取器21进行实时冷却，使其保持稳定萃取工作；具体优选地，在本实施方式中，冷却装置4包括套接在萃取器21上端部外周的冷却套管41，冷却套管41分别连接用于接入冷却水的进水接头42和用于排出冷却水的出水接头43，其中，冷却套管41与萃取器21上端部外周之间形成冷却腔体；优选地，在本实施方式中，位于钢瓶本体1与萃取器21之间的纯化柱22外周套接有保温套管22a，确保纯化柱22能够稳定可靠地实现对MO源蒸汽的纯化处理。

优选地，为了进一步利于萃取以及取样效果，在本实施方式中，萃取器21密封套接在纯化柱22的上端部外周，其中，萃取器21的下端侧壁设有与取样液入口管段23a连接的萃取器出液口21a，纯化柱22的上端部设有若干气孔，气孔的安装高度大于萃取器出液口21a的安装高度；进一步优选地，在本实施方式中，纯化柱22的上端部分别设有位于顶部的第一气孔22b（多个），以及位于其上端侧壁且呈周向分布的多个第二气孔22c，通过在纯化柱22上端部的不同位置设置多个气孔22b，22c，有利于MO源蒸汽经纯化后弥散进入萃取器21的内腔进行液化萃取。

优选地，为了进一步利于回流以及取样效果，在本实施方式中，纯化柱22的侧壁设有与回流管24连接的萃取液回流口22d，萃取液回流口22d的安装高度小于萃取器出液口21a的安装高度。

结合本实施例的工作原理简单介绍本实用新型实施例的工作过程：

请进一步结合参见图3所示，在实际工作时，钢瓶本体1的内部惰性气体与充装的MO源混合并形成MO源蒸汽，该MO源蒸汽进入纯化柱22，并通过纯化柱22的各气孔22b，22c进入萃取器21内腔并在该内腔聚集，同时萃取器21通过其冷却装置4对萃取器21进行降温，使其内腔的MO源蒸汽快速冷却液化，液化后的MO源液体聚集在萃取器21内腔底部，通过萃取器出液口21a流入取样液入口管段23a，此时打开取样阀门31，关闭液体回流阀门32，MO源液体会流经三通管33和取样液出口管段23b，最后从取样接头25流出，进而实现取样步骤；当取样结束后，关闭取样阀门31的同时打开液体回流阀门32，剩余的MO源液体会经三通管33和回流管24流入纯化柱22的内部，再经过纯化柱22最终回流至钢瓶本体1的内部。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种设有前置取样组件的MO源钢瓶，包括具有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体分别固定安装有惰性气体进气管、MO源充装管和出气管，其特征在于，所述前置取样组件包括前置取样管路，所述前置取样管路与萃取器连接，所述萃取器通过纯化柱连接所述钢瓶本体；其中，所述前置取样管路包括与所述萃取器连接的取样管，以及回流管，所述回流管连接在取样管与所述纯化柱之间。

2.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述取样管包括与所述萃取器的下端侧壁连接的取样液入口管段以及设有取样接头的取样液出口管段，其中，所述回流管连接在所述取样液入口管段与所述纯化柱之间。

3.根据权利要求2所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述取样液出口管段安装有取样阀门，所述回流管安装有液体回流阀门。

4.根据权利要求3所述的MO源钢瓶，其特征在于，通过三通管段实现取样液入口管段、取样液出口管段以及回流管之间的连接；其中，所述三通管段分别连接所述取样阀门和所述液体回流阀门。

5.根据权利要求1或2所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述萃取器的上端部贯穿式地固定安装有冷却装置；位于所述钢瓶本体与萃取器之间的纯化柱外周套接有保温套管。

6.根据权利要求5所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述冷却装置包括套接在萃取器上端部外周的冷却套管，所述冷却套管分别连接用于接入冷却水的进水接头和用于排出冷却水的出水接头，其中，所述冷却套管与萃取器上端部外周之间形成冷却腔体。

7.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述萃取器密封套接在所述纯化柱的上端部外周，其中，所述萃取器的下端侧壁设有与所述取样管连接的萃取器出液口，所述纯化柱的上端部设有若干气孔，所述气孔的安装高度大于所述萃取器出液口的安装高度。

8.根据权利要求7所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述纯化柱的上端部分别设有位于顶部的第一气孔，以及位于其上端侧壁且呈周向分布的第二气孔。

9.根据权利要求7所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述纯化柱的侧壁设有与所述回流管连接的萃取液回流口，所述萃取液回流口的安装高度小于所述萃取器出液口的安装高度。

10.根据权利要求1所述的MO源钢瓶，其特征在于，所述钢瓶本体的顶部固定安装有纯化柱安装口，所述纯化柱的下端与所述纯化柱安装口固定密封安装连接。

Images