CN217845477U - 一种差压传感器 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于敏感元器件技术领域，公开了一种差压传感器，差压传感器包括外壳、传感组件、第一引压盖、第二引压盖和法兰端盖，传感组件设置于外壳内，第一引压盖与传感主体形成有第一引压腔室，第二引压盖与传感主体形成有第二引压腔室，法兰端盖上设置有第一引压管和第二引压管，第一引压腔室、第二引压腔室、第一引压管以及第二引压管均沿竖直方向延伸设置，且第一引压管和第一引压腔室沿竖直方向对接并连通，第二引压管和第二引压腔室沿竖直方向对接并连通。本实用新型提供的差压传感器，当该差压传感器测量完成后，第一引压腔室和第二引压腔室内的液体能分别从第一引压管和第二引压管内自由流出，以避免影响测量精度。

Description

一种差压传感器

技术领域

本实用新型涉及敏感元器件技术领域，尤其涉及一种差压传感器。

背景技术

差压传感器是一种用来测量两个压力之间差值的差压传感器，通常用于测量某一设备或部件前后两端的压差，差压传感器的主要零件是传感芯片，传感芯片相对的两端分别连接高压腔和低压腔，传感芯片能感应到从高压腔和低压腔传递的压力的差值。

现有技术中，当差压传感器测量完成后，设备或部件内的液体残留于差压传感器内，残留的液体会作用于差压传感器的隔离膜片，长时间的作用下会引起隔离膜片的变形，进而影响差压传感器的测量精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种差压传感器，有效防止差压传感器内液体残留的情况发生。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种差压传感器，包括：

外壳；

传感组件，设置于所述外壳内，所述传感组件包括传感主体、设置于所述传感主体第一侧的第一隔离膜片、设置于所述传感主体第二侧的第二隔离膜片以及设置于所述传感主体内的感压芯片和中心膜片，所述感压芯片、所述第一隔离膜片、所述中心膜片以及所述传感主体之间形成有第一隔离腔室，所述感压芯片、所述第二隔离膜片、所述中心膜片以及所述传感主体之间形成有第二隔离腔室；

第一引压盖，设置于所述外壳内且与所述传感主体形成有第一引压腔室，所述第一引压腔室沿竖直方向延伸设置，所述第一隔离膜片置于所述第一引压腔室内；

第二引压盖，设置于所述外壳内且与所述传感主体形成有第二引压腔室，所述第二引压腔室沿竖直方向延伸设置，所述第二隔离膜片置于所述第二引压腔室内；

法兰端盖，与所述外壳连接且沿竖直方向设置于所述传感组件的下方，所述法兰端盖上设置有沿竖直方向与所述第一引压腔室对接并连通的第一引压管和沿竖直方向与所述第二引压腔室对接并连通的第二引压管，所述第一引压管和所述第二引压管均沿竖直方向延伸设置。

可选地，所述传感主体包括：

基座主体，所述基座主体内开设有安装腔室、第一基座通道、第二基座通道、第一隔离通道和第二隔离通道，所述中心膜片设置于所述安装腔室内，所述第一隔离膜片设置于所述基座主体的第一侧面上，所述第二隔离膜片设置于所述基座主体的第二侧面上，所述中心膜片将所述安装腔室分割为第一中心腔室和第二中心腔室；

安装座，设置于所述基座主体的上端面上，所述安装座内设置有芯片腔室、定位通道、第一连接通道和第二连接通道，所述感压芯片设置于所述芯片腔室内；其中，

所述第一隔离通道、所述第一中心腔室、所述第一基座通道、所述定位通道、所述芯片腔室和所述第一连接通道依次连通，并与所述第一隔离膜片以及所述感压芯片之间形成所述第一隔离腔室；

所述第二隔离通道、所述第二中心腔室、所述第二基座通道和所述第二连接通道依次连通，并与所述第二隔离膜片以及所述感压芯片之间形成所述第二隔离腔室。

可选地，所述传感组件还包括阻尼销，所述阻尼销的第一端插接于所述第一基座通道内，第二端插接于所述定位通道内，所述阻尼销能沿竖直方向移动。

可选地，所述阻尼销的外侧面上设置有螺旋凹槽，所述螺旋凹槽与所述第一基座通道以及所述定位通道之间形成有螺旋通道，所述第一基座通道和所述定位通道均与所述螺旋通道连通。

可选地，所述安装腔室沿竖直方向延伸设置，且所述安装腔室偏离所述基座主体的中心设置。

可选地，所述安装座包括：

套筒，与所述基座主体固定连接；

转接台，设置于套筒内且与所述基座主体固定连接，所述转接台上设置所述定位通道；

密封座，设置于所述套筒内且与所述转接台固定连接，所述转接台与所述密封座之间形成有所述芯片腔室，所述密封座上设置所述第一连接通道和所述第二连接通道；

其中，套筒的内侧壁、转接台的外侧壁以及所述密封座的外侧壁之间形成有环形腔室，所述第二基座通道和所述第二连接通道均与所述环形腔室连通。

可选地，所述第二连接通道与所述芯片腔室连通的端口处设置有绝缘管，所述感压芯片安装于所述绝缘管上。

可选地，所述安装座上还设置有与所述第一连接通道连通的第一充油管和与所述第二连接通道连通的第二充油管。

可选地，所述第一引压管和所述第二引压管内均设置有过滤网。

可选地，所述第一引压管和所述第二引压管的外端面上均设置有密封圈。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的差压传感器，第一引压腔室、第二引压腔室、第一引压管以及第二引压管均沿竖直方向延伸设置，且第一引压管和第一引压腔室沿竖直方向对接并连通，以使第一引压管和第一引压腔室上下连通，第二引压管和第二引压腔室沿竖直方向对接并连通，以使第二引压管和第二引压腔室上下连通，当该差压传感器测量完成后，第一引压腔室和第二引压腔室内的液体能分别从第一引压管和第二引压管内自由流出，进而避免残留液体作用于第一隔离膜片和第二隔离膜片的情况发生以影响该差压传感器的测量精度。

附图说明

图1是本实用新型提供的差压传感器的剖视图；

图2是本实用新型提供的差压传感器的局部视图；

图3是本实用新型提供的图2中A处的放大示意图；

图4是本实用新型提供的差压传感器的一视角结构示意图；

图5是本实用新型提供的差压传感器的又一视角结构示意图。

图中：

100、外壳；

210、基座主体；211、安装腔室；212、第一基座通道；213、第二基座通道；214、第一隔离通道；215、第二隔离通道；220、安装座；221、套筒；2211、让位槽；222、转接台；2221、定位通道；223、密封座；2231、第一连接通道；2232、第二连接通道；224、芯片腔室；225、环形腔室；226、第一充油管；227、第二充油管；

310、第一隔离膜片；320、第二隔离膜片；330、感压芯片；340、中心膜片；

410、第一引压盖；411、第一引压腔室；420、第二引压盖；421、第二引压腔室；

500、法兰端盖；510、第一引压管；520、第二引压管；530、过滤网；540、密封圈；550、螺纹孔；

610、阻尼销；611、螺旋凹槽；620、绝缘管；630、绝缘体。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

参照图1至图5所示，本实施例提供了一种差压传感器，包括外壳100、传感组件、第一引压盖410、第二引压盖420和法兰端盖500，传感组件设置于外壳100内，传感组件包括传感主体、设置于传感主体第一侧的第一隔离膜片310、设置于传感主体第二侧的第二隔离膜片320以及设置于传感主体内的感压芯片330和中心膜片340，感压芯片330、第一隔离膜片310、中心膜片340以及传感主体之间形成有第一隔离腔室，感压芯片330、第二隔离膜片320、中心膜片340以及传感主体之间形成有第二隔离腔室；第一引压盖410设置于外壳100内且与传感主体形成有第一引压腔室411，第一引压腔室411沿竖直方向延伸设置，第一隔离膜片310置于第一引压腔室411内；第二引压盖420设置于外壳100内且与传感主体形成有第二引压腔室421，第二引压腔室421沿竖直方向延伸设置，第二隔离膜片320置于第二引压腔室421内；法兰端盖500与外壳100连接且沿竖直方向设置于传感组件的下方，法兰端盖500上设置有沿竖直方向与第一引压腔室411对接并连通的第一引压管510和沿竖直方向与第二引压腔室421对接并连通的第二引压管520，第一引压管510和第二引压管520均沿竖直方向延伸设置。

在本实施例中，第一引压腔室411、第二引压腔室421、第一引压管510以及第二引压管520均沿竖直方向延伸设置，且第一引压管510和第一引压腔室411沿竖直方向对接并连通，以使第一引压管510和第一引压腔室411上下连通，第二引压管520和第二引压腔室421沿竖直方向对接并连通，以使第二引压管520和第二引压腔室421上下连通，当该差压传感器测量完成后，第一引压腔室411和第二引压腔室421内的液体能分别从第一引压管510和第二引压管520内自由流出，进而避免残留液体作用于第一隔离膜片310和第二隔离膜片320的情况发生以影响该差压传感器的测量精度。

在本实施例中，第一隔离腔室为高压油腔，第二隔离腔室为低压油腔。

在本实施例中，该差压传感器由外壳100、传感组件、第一引压盖410、第二引压盖420和法兰端盖500组成，使该差压传感器以模块划分，各模块单独制造后整体组装，便于批量生产。

具体地，第一隔离腔室和第二隔离腔室内均填充有压力传导液，优选地，压力传导液可以但不限于硅油。

优选地，第一引压盖410和第二引压盖420可以但不限于通过焊接的方式与传感主体连接。

优选地，第一隔离膜片310和第二隔离膜片320均沿竖直方向延伸。当然，第一隔离膜片310和第二隔离膜片320也可以与竖直方向呈夹角设置，在此不再做过多限定。

具体地，继续参照图1所示，第一引压管510和第二引压管520内均设置有过滤网530，通过过滤网530能过滤掉测量设备或部件内液体的颗粒，有效防止颗粒堵塞管道，且有效防止颗粒损伤第一隔离膜片310和第二隔离膜片320。

具体地，继续参照图1所示，第一引压管510和第二引压管520的外端面上均设置有密封圈540，当法兰端盖500与测量设备或部件连接时，密封圈540能有效防止液体溢出而影响测量精度。

具体地，继续参照图4所示，法兰端盖500的外端面上设置有多个螺纹孔550，以方便法兰端盖500与测量设备或部件的连接。

于本实施例中，继续参照图1至图2所示，传感主体包括基座主体210和安装座220，基座主体210内开设有安装腔室211、第一基座通道212、第二基座通道213、第一隔离通道214和第二隔离通道215，中心膜片340设置于安装腔室211内，第一隔离膜片310设置于基座主体210的第一侧面上，第二隔离膜片320设置于基座主体210的第二侧面上，中心膜片340将安装腔室211分割为第一中心腔室和第二中心腔室；安装座220设置于基座主体210的上端面上，安装座220内设置有芯片腔室224、定位通道2221、第一连接通道2231和第二连接通道2232，感压芯片330设置于芯片腔室224内；其中，第一隔离通道214、第一中心腔室、第一基座通道212、定位通道2221、芯片腔室224和第一连接通道2231依次连通，并与第一隔离膜片310以及感压芯片330之间形成第一隔离腔室；第二隔离通道215、第二中心腔室、第二基座通道213和第二连接通道2232依次连通，并与第二隔离膜片320以及感压芯片330之间形成第二隔离腔室。在本实施例中，将传感主体由基座主体210和安装座220两部分构成，便于传感主体的批量生产。

具体地，安装腔室211沿竖直方向延伸设置，且安装腔室211偏离基座主体210的中心设置，便于基座主体210与中心膜片340之间的焊接固定。

于本实施例中，继续参照图1至图3所示，安装座220包括套筒221、转接台222和密封座223，套筒221与基座主体210固定连接；转接台222设置于套筒221内且与基座主体210固定连接，转接台222上设置定位通道2221；密封座223设置于套筒221内且与转接台222固定连接，转接台222与密封座223之间形成有芯片腔室224，密封座223上设置第一连接通道2231和第二连接通道2232；其中，套筒221的内侧壁、转接台222的外侧壁以及密封座223的外侧壁之间形成有环形腔室225，第二基座通道213和第二连接通道2232均与环形腔室225连通。在本实施例中，安装座220由套筒221、转接台222和密封座223构成，方便感压芯片330安装于芯片腔室224内。

具体地，套筒221朝向基座主体210的一端设置有让位槽2211，让位槽2211与安装腔室211对应设置，且第二基座通道213和环形腔室225均与让位槽2211连通。在本实施例中，中心膜片340的焊缝会凸出于基座主体210的上端面并置于让位槽2211内，有效防止套筒221翘起而导致安装座220与基座主体210之间出现缝隙。

具体地，密封座223朝向转接台222的一端设置有环形定位凸起(图中未示出环形定位凸起)，转接台222设置有与定位凸起匹配连接的环形定位凹槽(图中未示出环形定位凹槽)，以实现转接台222和密封座223之间定位安装。

具体地，第二连接通道2232与芯片腔室224连通的端口处设置有绝缘管620，感压芯片330安装于绝缘管620上，以防止感压芯片330与安装座220电导通。优选地，绝缘管620的材质可以但不限于陶瓷材质。

具体地，芯片腔室224内填充有绝缘体630，进一步防止感压芯片330与安装座220电导通，且能减小芯片腔室224内的压力传导液体积，避免压力传导液热胀冷缩而影响传感器性能。优选地，绝缘体630的材质可以但不限于陶瓷材质。

具体地，安装座220上还设置有与第一连接通道2231连通的第一充油管226和与第二连接通道2232连通的第二充油管227。在本实施例中，通过第一连接通道2231向第一隔离腔室填充压力传导液后，通过第一充油管226密封第一连接通道2231；通过第二连接通道2232向第二隔离腔室填充压力传导液后，通过第二充油管227密封第二连接通道2232。具体地，第一充油管226和第二充油管227均设置于密封座223上。

于本实施例中，继续参照图1至图2所示，传感组件还包括阻尼销610，阻尼销610的第一端插接于第一基座通道212内，第二端插接于定位通道2221内，阻尼销610能沿竖直方向移动。在本实施例中，第一基座通道212和定位通道2221之间形成有容纳腔室，阻尼销610置于容纳腔室内，方便安装座220和基座主体210之间的定位安装。此外，当第一隔离膜片310遇到压力，第一隔离膜片310推动第一隔离腔室内的压力传导液朝感压芯片330流动，压力传导液推动容纳腔内的阻尼销610滑动，以起到缓冲作用，保护感压芯片330不受损。

具体地，阻尼销610的外侧面上设置有螺旋凹槽611，螺旋凹槽611与第一基座通道212以及定位通道2221之间形成有螺旋通道，第一基座通道212和定位通道2221均与螺旋通道连通。在本实施例中，当第一隔离膜片310遇到压力，第一隔离膜片310推动第一隔离腔室内的压力传导液朝感压芯片330流动，压力传导液推动容纳腔内的阻尼销610滑动过程中，压力传导液沿着螺旋通道继续传递，缓冲效果更佳。

示例性地，该差压传感器测量的过程中，第一引压管510内的液体进入第一引压腔室411作用于第一隔离膜片310，第一隔离膜片310推动第一隔离腔室内的压力传导液朝感压芯片330流动，并作用于感压芯片330的第一侧面，在此过程中，阻尼销610在压力传导液的作用下于容纳腔室内滑动，且压力传导液沿着螺旋通道继续传递，以起缓冲作用；第二引压管520内的液体进入第二引压腔室421作用于第二隔离膜片320，第二隔离膜片320推动第二隔离腔室内的压力传导液朝感压芯片330流动，并作用于感压芯片330的第二侧面，进而使该差压传感器得到第一隔离膜片310与第二隔离膜片320之间的压差。测量结束后，第一引压腔室411和第二引压腔室421内的液体分别从第一引压管510和第二引压管520内自由流出，以保护第一隔离膜片310与第二隔离膜片320。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种差压传感器，其特征在于，包括：

外壳(100)；

传感组件，设置于所述外壳(100)内，所述传感组件包括传感主体、设置于所述传感主体第一侧的第一隔离膜片(310)、设置于所述传感主体第二侧的第二隔离膜片(320)以及设置于所述传感主体内的感压芯片(330)和中心膜片(340)，所述感压芯片(330)、所述第一隔离膜片(310)、所述中心膜片(340)以及所述传感主体之间形成有第一隔离腔室，所述感压芯片(330)、所述第二隔离膜片(320)、所述中心膜片(340)以及所述传感主体之间形成有第二隔离腔室；

第一引压盖(410)，设置于所述外壳(100)内且与所述传感主体形成有第一引压腔室(411)，所述第一引压腔室(411)沿竖直方向延伸设置，所述第一隔离膜片(310)置于所述第一引压腔室(411)内；

第二引压盖(420)，设置于所述外壳(100)内且与所述传感主体形成有第二引压腔室(421)，所述第二引压腔室(421)沿竖直方向延伸设置，所述第二隔离膜片(320)置于所述第二引压腔室(421)内；

法兰端盖(500)，与所述外壳(100)连接且沿竖直方向设置于所述传感组件的下方，所述法兰端盖(500)上设置有沿竖直方向与所述第一引压腔室(411)对接并连通的第一引压管(510)和沿竖直方向与所述第二引压腔室(421)对接并连通的第二引压管(520)，所述第一引压管(510)和所述第二引压管(520)均沿竖直方向延伸设置。

2.根据权利要求1所述的差压传感器，其特征在于，所述传感主体包括：

基座主体(210)，所述基座主体(210)内开设有安装腔室(211)、第一基座通道(212)、第二基座通道(213)、第一隔离通道(214)和第二隔离通道(215)，所述中心膜片(340)设置于所述安装腔室(211)内，所述第一隔离膜片(310)设置于所述基座主体(210)的第一侧面上，所述第二隔离膜片(320)设置于所述基座主体(210)的第二侧面上，所述中心膜片(340)将所述安装腔室(211)分割为第一中心腔室和第二中心腔室；

安装座(220)，设置于所述基座主体(210)的上端面上，所述安装座(220)内设置有芯片腔室(224)、定位通道(2221)、第一连接通道(2231)和第二连接通道(2232)，所述感压芯片(330)设置于所述芯片腔室(224)内；其中，

所述第一隔离通道(214)、所述第一中心腔室、所述第一基座通道(212)、所述定位通道(2221)、所述芯片腔室(224)和所述第一连接通道(2231)依次连通，并与所述第一隔离膜片(310)以及所述感压芯片(330)之间形成所述第一隔离腔室；

所述第二隔离通道(215)、所述第二中心腔室、所述第二基座通道(213)和所述第二连接通道(2232)依次连通，并与所述第二隔离膜片(320)以及所述感压芯片(330)之间形成所述第二隔离腔室。

3.根据权利要求2所述的差压传感器，其特征在于，所述传感组件还包括阻尼销(610)，所述阻尼销(610)的第一端插接于所述第一基座通道(212)内，第二端插接于所述定位通道(2221)内，所述阻尼销(610)能沿竖直方向移动。

4.根据权利要求3所述的差压传感器，其特征在于，所述阻尼销(610)的外侧面上设置有螺旋凹槽(611)，所述螺旋凹槽(611)与所述第一基座通道(212)以及所述定位通道(2221)之间形成有螺旋通道，所述第一基座通道(212)和所述定位通道(2221)均与所述螺旋通道连通。

5.根据权利要求2所述的差压传感器，其特征在于，所述安装腔室(211)沿竖直方向延伸设置，且所述安装腔室(211)偏离所述基座主体(210)的中心设置。

6.根据权利要求2所述的差压传感器，其特征在于，所述安装座(220)包括：

套筒(221)，与所述基座主体(210)固定连接；

转接台(222)，设置于套筒(221)内且与所述基座主体(210)固定连接，所述转接台(222)上设置所述定位通道(2221)；

密封座(223)，设置于所述套筒(221)内且与所述转接台(222)固定连接，所述转接台(222)与所述密封座(223)之间形成有所述芯片腔室(224)，所述密封座(223)上设置所述第一连接通道(2231)和所述第二连接通道(2232)；

其中，套筒(221)的内侧壁、转接台(222)的外侧壁以及所述密封座(223)的外侧壁之间形成有环形腔室(225)，所述第二基座通道(213)和所述第二连接通道(2232)均与所述环形腔室(225)连通。

7.根据权利要求2所述的差压传感器，其特征在于，所述第二连接通道(2232)与所述芯片腔室(224)连通的端口处设置有绝缘管(620)，所述感压芯片(330)安装于所述绝缘管(620)上。

8.根据权利要求2所述的差压传感器，其特征在于，所述安装座(220)上还设置有与所述第一连接通道(2231)连通的第一充油管(226)和与所述第二连接通道(2232)连通的第二充油管(227)。

9.根据权利要求1至8任一项所述的差压传感器，其特征在于，所述第一引压管(510)和所述第二引压管(520)内均设置有过滤网(530)。

10.根据权利要求1至8任一项所述的差压传感器，其特征在于，所述第一引压管(510)和所述第二引压管(520)的外端面上均设置有密封圈(540)。

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