CN217807380U - 一种硅晶片翻转搬运工装 - Google Patents
一种硅晶片翻转搬运工装 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种硅晶片翻转搬运工装，其包括：旋转驱动装置、悬臂和吸盘，所述悬臂设置在旋转驱动装置的输出端，所述悬臂的前端内凹设置有C型槽，所述悬臂包括相对应的上盖板和下盖板，所述吸盘设置在上盖板上，并沿C型槽的边缘间隔分布，所述下盖板上内凹设置与吸盘对应的气流道，所述下盖板背面设置有与气流道相连接的管接头。本实用新型所述的硅晶片翻转搬运工装，通过悬臂上的吸盘在搬运硅晶片的过程中进行吸附固定，避免脱落问题，并通过旋转驱动装置带动悬臂和硅晶片的翻转，实现搬运过程中一定角度的翻转。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅晶片生产设备领域，尤其涉及一种硅晶片翻转搬运工装。
背景技术
在硅晶片加工的生产过程中，由于工序较多，需要进行硅晶片在设备间的转移。比如清洗和烘干，需要先进行硅晶片的清洗，再将硅晶片转移至烘干设备中进行烘干。
为了提升生产效率，可以采用机械手将前道工序加工完成的硅晶片逐一取出，然后放入后道工序的设备中，完成硅晶片的搬运。由于硅晶片比较轻薄，搬运过程中容易脱离机械手，需要放慢机械手的搬运速率，而且不能进行硅晶片的翻转，适用范围有限，需要进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅晶片翻转搬运工装，方便进行硅晶片的快速搬运，并可以在搬运过程中进行翻转。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种硅晶片翻转搬运工装，包括：旋转驱动装置、悬臂和吸盘，所述悬臂设置在旋转驱动装置的输出端，所述悬臂的前端内凹设置有C型槽，所述悬臂包括相对应的上盖板和下盖板，所述吸盘设置在上盖板上，并沿C型槽的边缘间隔分布，所述下盖板上内凹设置与吸盘对应的气流道，所述下盖板背面设置有与气流道相连接的管接头。
其中，所述旋转驱动装置采用摆动旋转气缸或者伺服电机。
其中，所述旋转驱动装置的输出端设置有第一法兰，所述悬臂尾部设置有与第一法兰对应的第二法兰。
其中，所述上盖板与下盖板焊接或者采用螺丝相连接。
其中，所述上盖板上设置有与吸盘一一对应的安装孔，所述安装孔与气流道相连通。
其中，所述吸盘的数量至少为2个。
本实用新型的有益效果：一种硅晶片翻转搬运工装，可以安装在机械手上，通过悬臂上的吸盘在搬运硅晶片的过程中进行吸附固定，避免脱落问题，并通过旋转驱动装置带动悬臂和硅晶片的翻转，实现搬运过程中一定角度的翻转，而且保持了悬臂的轻薄，有利于深入设备内狭小的空间，扩展了适用范围。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图1的左视图。
具体实施方式
下面结合图1至图2并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1所示的硅晶片翻转搬运工装，包括：旋转驱动装置5、悬臂1和吸盘4，在本实施例中，所述旋转驱动装置5采用摆动旋转气缸或者伺服电机，通过PLC控制器进行旋转控制，可以进行一定角度的旋转。旋转驱动装置5可以安装在机械手上，通过机械手进行移动，动作灵活。
所述悬臂1设置在旋转驱动装置5的输出端，在本实施例中，所述旋转驱动装置5的输出端设置有第一法兰3，所述悬臂1尾部设置有与第一法兰3对应的第二法兰2，第一法兰3和第二法兰2可以通过螺丝固定，结构牢固，拆装便利。
所述悬臂1的前端内凹设置有C型槽，在本实施例中，所述悬臂1包括相对应的上盖板11和下盖板12，上盖板11和下盖板12进行贴合，另外，所述上盖板11与下盖板12可以焊接或者采用螺丝相连接，结构稳定。
所述吸盘4设置在上盖板11上，并沿C型槽的边缘间隔分布，所述吸盘4的数量至少为2个，在本实施例中，采用3个吸盘4，可以进行硅晶片的吸附，提升搬运过程中的稳定性，避免脱离问题，有利于加快搬运速度。
所述下盖板12上内凹设置与吸盘4对应的气流道14，所述上盖板11上设置有与吸盘4一一对应的安装孔13，所述安装孔13与气流道14相连通，方便进行吸盘4的抽气。在本实施例中，安装孔13采用阶梯孔结构，使得吸盘4可以隐藏在安装孔13中，减少悬臂1的厚度。
所述下盖板12背面设置有与气流道14相连接的管接头6，在本实施例中，管接头6靠近第二法兰2，远离C型槽，保持了悬臂前部的轻薄，有利于深入设备内狭小的空间，管接头6还方便与气管相连接，通过对应的真空发生器进行吸盘4的吸附和释放控制。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (6)
1.一种硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，包括：旋转驱动装置、悬臂和吸盘，所述悬臂设置在旋转驱动装置的输出端，所述悬臂的前端内凹设置有C型槽，所述悬臂包括相对应的上盖板和下盖板，所述吸盘设置在上盖板上，并沿C型槽的边缘间隔分布，所述下盖板上内凹设置与吸盘对应的气流道，所述下盖板背面设置有与气流道相连接的管接头。
2.根据权利要求1所述的硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，所述旋转驱动装置采用摆动旋转气缸或者伺服电机。
3.根据权利要求1所述的硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，所述旋转驱动装置的输出端设置有第一法兰，所述悬臂尾部设置有与第一法兰对应的第二法兰。
4.根据权利要求1所述的硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，所述上盖板与下盖板焊接或者采用螺丝相连接。
5.根据权利要求1所述的硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，所述上盖板上设置有与吸盘一一对应的安装孔，所述安装孔与气流道相连通。
6.根据权利要求1所述的硅晶片翻转搬运工装，其特征在于，所述吸盘的数量至少为2个。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202221699068.XU CN217807380U (zh) | 2022-07-04 | 2022-07-04 | 一种硅晶片翻转搬运工装 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN217807380U true CN217807380U (zh) | 2022-11-15 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
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2022
- 2022-07-04 CN CN202221699068.XU patent/CN217807380U/zh active Active
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