CN217802576U - 一种晶棒夹持治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒夹持治具，属于晶棒加工技术领域，包括：底座、支撑组件、压紧组件，支撑组件安装于底座，支撑组件包括：滚轮，滚轮转动安装于底座上端，压紧组件设置于底座的上方，压紧组件包括：驱动件、压块一、压块二，驱动件连接于底座上方，压块一固定安装于驱动件，压块二活动铰接于驱动件，压块二相对于压块一设置于晶棒被切割的一端，即压块二设置于更靠近切割设备的一端。通过滚轮可以支撑晶棒，压块一与压块二可以对晶棒进行稳定夹持，当晶棒长度短至只能由压块二进行压紧定位时，压块二会根据短晶棒外周的锥度调节偏转角度，使得压块二持续对短晶棒进行有效的压紧，从而该种晶棒夹持治具具有良好且稳定的夹持效果。

Description

一种晶棒夹持治具

技术领域

本实用新型涉及晶棒加工技术领域，特别涉及一种晶棒夹持治具。

背景技术

单晶晶棒的制作是用直拉法、区熔法制作完成的，其成品均为棒状结构，晶棒在加工过程中需要先沿晶棒径向进行切割，晶棒在切割成晶片过程中，需要对晶棒进行稳定夹持，否则会对晶棒切割出的晶片质量产生不利影响。现有晶棒存在不同规格的长度和直径尺寸，并且晶棒是在毛坯料情况下加工的，毛坯晶棒外观尺寸并不规则，部分晶棒会存在前大后小的情况，使得晶棒呈类似锥形的结构，当晶棒较长时，采用压紧面压紧的方式对晶棒能够产生稳定的定位效果，但是当晶棒较短时，压紧面对于存在锥度结构的短晶棒，定位的稳定性将会下降，从而可能对晶棒的切割工作产生不利的影响。

实用新型内容

本申请通过提供一种晶棒夹持治具，用于提高对晶棒夹持的稳定性。

本申请实施例提供了一种晶棒夹持治具，包括：

底座；

支撑组件，所述支撑组件安装于所述底座，所述支撑组件包括：

滚轮，所述滚轮转动安装于所述底座上端；

压紧组件，所述压紧组件设置于所述底座的上方，所述压紧组件包括：

驱动件，所述驱动件连接于所述底座上方；

压块一，所述压块一固定安装于所述驱动件；

压块二，所述压块二活动铰接于所述驱动件。

上述实施例的有益效果在于：通过滚轮可以支撑晶棒，压块一与压块二可以对晶棒进行稳定夹持，当晶棒长度短至只能由压块二进行压紧定位时，压块二可以根据晶棒外周锥度调节偏转角度，使得压块二持续对短晶棒进行有效的压紧作业，从而该种晶棒夹持治具具有良好且稳定的夹持效果。

在上述实施例的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：

在本申请其中一个实施例中：所述滚轮对称设置于所述底座上端两侧，两侧的所述滚轮形成V形支撑结构。本步的有益效果：由于V形结构的自定心性效果好，故而对晶棒具有稳定的支撑定位效果，以防止晶棒发生侧移。

在本申请其中一个实施例中：所述支撑组件还包括：支撑板，所述支撑板安装于所述底座上端的两侧，所述支撑板具有支撑面，所述底座两侧的所述支撑面形成V形支撑结构。本步的有益效果：设置不会转动的支撑板，可以提高晶棒定位的稳定性，能够有效的防止晶棒在切割过程中前后滑移。

在本申请其中一个实施例中：所述支撑组件还包括：支座，支座，所述支座具有底板与立板，所述立板沿所底板长度方向依次间隔排列，所述立板之间的底板表面开设有腰型的安装孔，所述立板上端开设有安装槽，所述安装槽用于安装所述滚轮或者支撑板。本步的有益效果：该种支座结构合理，立板之间具有间隙，便于减小支座质量，腰型的安装孔便于调节支座间的间隙，即可以调节V形支撑结构的开口距离，便于优化对晶棒的支撑性能。

在本申请其中一个实施例中：所述压块一、压块二下端面具有V形的压紧槽。本步的有益效果：由于V形结构的自定心性效果好，故而对晶棒具有稳定的压紧定位效果，以防止晶棒发生侧移。

在本申请其中一个实施例中：所述压块一端伸出有安装板，所述压块二活动铰接于所述安装板。本步的有益效果：使得两者具有较好的整体性能。

在本申请其中一个实施例中：所述压紧组件还包括：连接件，所述连接件连接于所述驱动件，所述连接件具有球头端，所述压块二球接于所述球头端。

在本申请其中一个实施例中：所述连接件有两个且对称设置于所述安装板的两侧。本步的有益效果：通过两个连接件的限位，使得压块二只能在沿着晶棒轴线的方向上进行摆动，即调节压块二下端压紧槽的角度，使得压块二能够根据短晶棒的锥度进行自动调节。

在本申请其中一个实施例中：还包括：隔套，所述隔套放置于所述支撑组件与所述压块一之间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为实施例的三维结构示意图一；

图2为实施例的俯视图；

图3为图2中沿A-A的剖视图

图4为隔套在支撑组件与压紧组件之间的结构示意图。

其中，1底座；

2支撑组件，201滚轮，202支座，203支撑板，204支撑面，205底板，206立板，207安装孔；

3压紧组件，301驱动件，302压块一，303压块二，304支架，305安装板，306连接件，307球头端，308螺母，309螺纹件，310球头螺杆，311压盖，312安装槽，313压紧槽；

4隔套。

具体实施方式

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“固接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，机械连接的方式可以在现有技术中选择合适的连接方式，如焊接、铆接、螺纹连接、粘接、销连接、键连接、弹性变形连接、卡扣连接、过盈连接、注塑成型的方式实现结构上的相连；也可以是电连接，通过电传递能源或者信号；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

具体实施例

如图1所示，一种晶棒夹持治具，包括：底座1、支撑组件2、压紧组件3，支撑组件2安装于底座1，支撑组件2包括：滚轮201，滚轮201转动安装于底座1上端，压紧组件3设置于底座1的上方，压紧组件3包括：驱动件301、压块一302、压块二303，驱动件301连接于底座1上方，压块一302固定安装于驱动件301，压块二303活动铰接于驱动件301，压块二303相对于压块一302设置于晶棒被切割的一端，即压块二303设置于更靠近切割设备的一端。

通过滚轮201对晶棒进行滚动支撑，使得晶棒可以沿着滚轮201朝向切割设备运动；压块一302与压块二303可以对晶棒进行稳定的压紧定位，设置的压块二303由于铰接结构，使得压块二303可以在一定范围内进行转动，从而当晶棒被切割成较短结构导致压块一302无法对晶棒夹持时，可以由压块二303单独对短晶棒进行夹持，并且对于锥形的短晶棒，压块二303可以相对于驱动件301转动一定角度，使得压块二303在更贴合短晶棒外周的角度压紧短晶棒，能够提高对短晶棒夹持的稳定性。

如图1所示，撑组件还包括：支座202，支座202有多个且在底座1上端形成两列多排结构，若干个支座202沿底座1长度方向依次间隔排列，底座1上端两侧的支座202形成对称结构，滚轮201倾斜(相对于水平方向)安装在支座202上端，两列支座202使得滚轮201呈对称结构设置于底座1上端两侧，两侧的滚轮201之间形成V形支撑结构。

如图1所示，支撑组件2还包括：支撑板203，支撑板203安装于支座202上端，同一个支座202上，滚轮201位于中间位置，支撑板203对称设置与滚轮201的前后两侧，该前后方向指的在底座1长度方向上的前后，前指靠近切割晶棒设备的一侧，后指远离切割设备的一侧，支撑板203具有支撑面204，支撑面204朝向底座1中部方向倾斜设置，底座1两侧的支撑面204形成V形支撑结构，支撑面204所在平面与滚轮201上端外周相切。

如图1所示，支座202具有底板205与立板206，底板205长边与底座1长边方向一致，立板206沿所底板205长度方向依次间隔排列，立板206之间的底板205表面开设有腰型的安装孔207，安装孔207的长度方向垂直于底板205的长度方向，安装孔207中通过插设螺栓实现支座202与底座1的固定连接，通过设置腰型的安装孔207，便于调节两列支座202之间的间距，立板206上端开设有安装槽312，安装槽312用于安装对应的滚轮201或者支撑板203。

滚轮201为尼龙滚轮201，支撑板203为尼龙板，由于尼龙材料具有较低的摩擦系数，故而对晶棒的运动具有良好的导向能力。

如图1所示，压紧组件3还包括：支架304，支架304呈倒U形结构，支架304两侧与底座1连接，驱动件301可以采用如液压缸或者气缸等设备，以气缸为例，气缸的缸体安装于支架304上端的中间位置，气缸的活塞杆沿竖向向下设置，压块一302与压块二303连接于活塞杆的下端，压块一302、压块二303下端面具有V形的压紧槽313，压块二303位于靠近切割设备的一侧。

如图1所示，压块一302端伸出有安装板305，压块二303活动铰接于安装板305。

如图1-3所示，压紧组件3还包括：连接件306，连接件306连接于驱动件301，连接件306有两个且对称设置于安装板305的两侧，连接件306具有球头端307，压块二303球接于球头端307。

如图3所示，具体的，连接件306包括：螺母308、螺纹件309、球头螺杆310、压盖311，螺母308焊接于安装板305表面，螺纹件309沿竖直方向螺纹连接于其中，螺纹件309下端开设有螺纹孔，球头螺杆310的螺纹端螺纹连接于螺纹孔中，压块二303上端面对应球头端307开设有安装槽312，安装槽312的槽底为半球形结构，球头端307间隙插设于安装槽312中，安装槽312中安装有压盖311，压盖311下端对应球头端307开设有压紧槽313，压紧槽313为半球形结构，螺杆端穿过压盖311开设的孔体伸出至压盖311上方后螺纹连接于螺纹孔中，由螺纹件309与球头螺杆310的配合，便于调节压块二303的高度位置。

如图4所示，晶棒夹持治具还包括：隔套4，隔套4为环形结构，隔套4用于放置于支撑组件2与压块一302之间，隔套4的外径有多种规格，隔套4的外径与所要切割的晶棒的直径相当，设计隔套4的目的在于，当切割只能由压块二303压紧的短晶棒的时，通过在压块一302下垫设隔套4，使得压块一302下方具有支撑结构，确保压块一302与压块二303的高度保持一致。

该种晶棒夹持治具在使用时，将晶棒放置于滚轮201与支撑板203上方，由V形支撑结构对晶棒进行支撑，通过驱动件301驱动压紧组件3下移，由压块一302与压块二303对晶棒进行压紧，以此实现晶棒的稳定定位，而后通过切割设备对晶棒进行切割，每切割完一片晶片后，通过其他驱动设备驱动晶棒在支撑组件2上朝向切割设备运动一定距离，当晶棒切割至只能由压块二303进行压紧时，如果晶棒外周具有一定的锥度，压块二303会根据晶棒外周的锥度自动进行倾斜调整，使得压块二303能够时刻保持对晶棒的压紧，从而该种治具在短晶棒状态下依旧可以保持良好的定位效果。

以上的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前实用新型所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。

Claims (9)

1.一种晶棒夹持治具，其特征在于，包括：

底座；

支撑组件，所述支撑组件安装于所述底座，所述支撑组件包括：

滚轮，所述滚轮转动安装于所述底座上端；

压紧组件，所述压紧组件设置于所述底座的上方，所述压紧组件包括：

驱动件，所述驱动件连接于所述底座上方；

压块一，所述压块一固定安装于所述驱动件；

压块二，所述压块二活动铰接于所述驱动件。

2.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述滚轮对称设置于所述底座上端两侧，两侧的所述滚轮形成V形支撑结构。

3.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述支撑组件还包括：

支撑板，所述支撑板安装于所述底座上端的两侧，所述支撑板具有支撑面，所述底座两侧的所述支撑面形成V形支撑结构。

4.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述支撑组件还包括：

支座，所述支座具有底板与立板，所述立板沿所底板长度方向依次间隔排列，所述立板之间的底板表面开设有腰型的安装孔，所述立板上端开设有安装槽，所述安装槽用于安装所述滚轮或者支撑板。

5.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述压块一、压块二下端面具有V形的压紧槽。

6.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述压块一端伸出有安装板，所述压块二活动铰接于所述安装板。

7.根据权利要求6所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述压紧组件还包括：连接件，所述连接件连接于所述驱动件，所述连接件具有球头端，所述压块二球接于所述球头端。

8.根据权利要求7所述的晶棒夹持治具，其特征在于，所述连接件有两个且对称设置于所述安装板的两侧。

9.根据权利要求1所述的晶棒夹持治具，其特征在于，还包括：隔套，所述隔套放置于所述支撑组件与所述压块一之间。

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