CN217703061U - 一种吸附装置 - Google Patents

Abstract

一种吸附装置，包括吸附件及具有承载面和气孔结构的承载件，承载面用于承载工件；气孔结构贯通承载面设置，并在承载面上围合形成定位区；气孔结构用于吸附工件，以将工件的待检测区固定于定位区内；吸附件设置于承载件并位于气孔结构外，用于吸附固定工件的非检测区。由于定位区在承载件上的面积占比较小，通过对定位区进行精细加工处理，可以保证其具有较高的平面度，从而在利用气孔结构吸附工件的待检测区的边缘位置时，可使得工件的待检测区能够保持较高的平面度，提高检测结果的准确性；同时，利用气孔结构与吸附件的配合，实现对工件不同区域的吸附固定，既能够确保工件的稳定性，又能够降低装置的加工难度和成本。

Description

一种吸附装置

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，具体涉及一种吸附装置。

背景技术

以目前被广泛应用于手机、平板电脑等移动终端的柔性OLED面板为例，由于越来越多的移动终端在显示区采用全面屏方式，这样就需要对柔性OLED面板进行开孔设置，以便为如前置摄像头等预留出通光孔位。鉴于现有的开孔工艺很容易造成面板的开孔区域出现裂纹等微小缺陷，因此，会借助检测设备将该类微小缺陷检出，以为确保面板的质量（尤其是开孔质量）创造条件。

在检测过程中，通常会借助与待测面板的规格尺寸相匹配的吸附装置对待测面板进行整体式的吸附固定，其对待测面板以及吸附装置本身的平面度要求很高，由于现有检测设备所采用的光学系统大多具有放大倍率大、光学景深小等特点，一旦待测面板的平面度（尤其是开孔区域的平面度）无法达到要求，则会严重降低检测结果的准确性。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种吸附装置，能够使待测工件保持较高的平面度，以满足检测要求。

一种实施例中提供一种吸附装置，包括：

承载件，具有承载面和气孔结构，所述承载面用于承载工件；所述气孔结构贯通所述承载面设置，并于所述承载面围合形成定位区；所述气孔结构用于吸附工件，以能够将所述工件的待检测区固定于所述定位区内；以及

吸附件，设置在所述承载件，所述吸附件位于所述气孔结构外，用于吸附工件的非检测区。

一个实施例中，所述气孔结构具有：

多个吸附孔，贯通所述承载面设置，多个所述吸附孔间隔排布成环状；以及

通气腔道，自所述承载件的内部贯通至所述承载件的外部设置，所述吸附孔与所述通气腔道连通，所述通气腔道用于连接负压源，以使得所述吸附孔能够受负压源的作用而吸附固定工件。

一个实施例中，所述气孔结构具有：

吸附槽，设置于所述承载面，所述吸附槽为环状凹槽结构；以及

通气腔道，自所述承载件的内部贯通至所述承载件的外部设置，所述吸附槽与所述通气腔道连通，所述通气腔道用于连接负压源，以使得所述吸附槽能够受负压源的作用而吸附固定工件。

一个实施例中，所述承载件还具有结合面和边侧面，所述结合面与所述承载面相背设置，所述边侧面相接于所述承载面与所述结合面之间；所述通气腔道自所述承载件的内部贯通所述结合面或所述边侧面设置。

一个实施例中，所述承载件还具有调节滑道，所述调节滑道沿垂直于所述承载面的第一方向贯通所述承载件设置，且所述调节滑道在不同于第一方向的其他方向上具有预设长度；所述吸附件以可沿所述调节滑道的长度方向调节位置的方式贯穿所述调节滑道布置。

一个实施例中，所述调节滑道的数量设置为多条，多条所述调节滑道间隔排布于所述承载件，每条所述调节滑道均对应地设有至少一个所述吸附件；或

所述调节滑道的数量设置为一条，且所述调节滑道对应地设有多个所述吸附件。

一个实施例中，还包括锁止件，沿第一方向布置于所述承载件背向所述承载面的一侧；所述锁止件用于将所述吸附件锁固于所述承载件，以使所述吸附件能够保持在所述调节滑道的长度方向上的预定位置处。

一个实施例中，所述吸附件具有用于贴合工件表面的吸附端，所述调节滑道内设有第一限位结构，所述吸附件还具有第二限位结构；

当所述锁止件将所述吸附件锁固于所述承载件时，所述第一限位结构与所述第二限位结构能够沿第一方向彼此面对并抵持，以使所述吸附端的端面共平面于所述承载面。

一个实施例中，所述吸附件固定设置于所述承载件的预设位置，所述吸附件具有用于贴合工件表面的吸附端，所述吸附端的端面与所述承载面共平面设置。

一个实施例中，还包括驱动组件，所述驱动组件的动力端耦合至所述承载件，所述驱动组件被配置成驱使所述承载件沿垂直于所述承载面的第一方向移动，以调节所述承载件在第一方向上的位置。

一个实施例中，所述驱动组件包括：

定位件；

第一移动件，具有第一斜楔结构，所述第一移动件可移动地设置于所述定位件，所述承载件与所述第一移动件固定；

第二移动件，可移动地设置于所述定位件，所述第二移动件具有第二斜楔结构，所述第一斜楔结构与第二斜楔结构沿第一方向彼此倾斜面对并相互抵贴；以及

驱动件，所述驱动件的动力端耦合至所述第二移动件，所述驱动件被配置成：驱使所述第二移动件沿与第一方向垂直的第二方向移动，以使得所述第一移动件能够在所述第一斜楔结构与所述第二斜楔结构的配合下，带动所述承载件沿第一方向移动。

依据上述实施例的吸附装置，包括吸附件及具有承载面和气孔结构的承载件，承载面用于承载工件；气孔结构贯通承载面设置，并在承载面上围合形成定位区；气孔结构用于吸附工件，以将工件的待检测区固定于定位区内；吸附件设置于承载件并位于气孔结构外，用于吸附固定工件的非检测区。一方面，由于定位区在承载件上的面积占比较小，通过对定位区进行精细加工处理，可以保证其具有较高的平面度，可以保证定位区具有较高的平面度，利用定位区本身所具有的高平面度以及气孔结构对工件的待检测区边缘位置的吸附固定，可确保工件的待检测区能够保持较高的平面度，从而可更为容易地达到光学检测要求，并保证检测结果的准确性；另一方面，利用气孔结构与吸附件的配合，实现对工件不同区域的吸附固定，既能够确保工件的稳定性，又能够降低装置的加工难度和成本。

附图说明

图1为一种实施例的吸附装置的立体结构示意图。

图2为图1中吸附装置的V-V剖面结构示意图。

图3为图2中D区域的局部结构放大示意图。

图4为图1中吸附装置的I-I剖面结构示意图。

图5为一种实施例的吸附装置的平面结构示意图。

图6为一种实施例的吸附装置应用时与工件的对位关系示意图。

图7为一种实施例的吸附装置中驱动组件的结构分解示意图。

图中：

10、承载件；10a、通气腔道；10b、吸附孔；10c、吸附槽；10d、调节滑道；10e、第一限位结构；20、吸附件；20a、第二限位结构；21、吸盘部；22、吸管部；30、驱动组件；31、定位件；32、第一移动件；32a、第一斜楔结构；33、第二移动件；33a、第二斜楔结构；34、驱动件；40、锁止件；A、定位区；B、OLED面板；C、面板孔区。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

本申请提供的吸附装置，借助设置于承载件上的气孔结构，可在承载件的局部区域位置形成定位区，在将工件放置于承载件上，并使得工件的待检测部位（或待检测区）位于定位区的轮廓范围内后，即可利用气孔结构对工件的待检测部位的边缘位置进行吸附固定。通过对定位区进行精细加工处理，可保证定位区具有较高的平面度，进而使得工件的待检测区保持较高的平面度，不但利于进行光学检测，而且能够为降低装置整体的加工难度和成本创造条件；同时，在吸附件的配合下，可实现对工件不同区域的吸附固定，确保工件在检测过程中的稳定性，以为光学检测作业的顺利执行创造条件。

下面以工件为应用于移动终端的OLED柔性面板（以下简称OLED面板）为例，对该吸附装置的结构及性能进行说明；其中，工件的待检测部位或者待检测区是指设置于OLED面板上的孔区，例如为移动终端的摄像头等而预留出的通光孔区；但需要指出的是，OLED面板仅是该吸附装置的一种应用对象，该吸附装置还可用于在光学检测作业中需要待检测部位或者特征部位保持较高平面度的其他产品，如薄膜类产品、柔性片状产品等。

请参阅图1至图7，一种实施例提供的一种吸附装置，包括承载件10和吸附件20，下面具体说明。

请参阅图1至图6，承载件10大致为一板状结构物，主要用于承载OLED面板B；为便于描述，将承载件10用于支撑承载OLED面板B的一面定义为承载件10的承载面，将承载件10中与承载面相背设置的一面定义为承载件10的结合面，将相接于承载面与结合面之间的其他结构面定义为承载件10的边侧面。

在承载件10上设置有气孔结构，该气孔结构贯通承载件10的承载面设置，借助气孔结构可在承载件10的承载面围合形成具有一定面积占比的环形区域；为便于描述，将该环形区域定义为定位区A（具体请参阅图6，图6中虚线围合的部分代表该定位区A的大致轮廓范围）。

在将OLED面板B放置于承载件10上时，可通过调整OLED面板B的位置，使得OLED面板B上待检测的孔区（以下简称面板孔区C）位于定位区A的轮廓范围内，以呈现出气孔结构围绕面板孔区C分布的形态。通过将气孔结构与负压源（如真空泵等）进行连接设置，可借助气孔结构在承载件10的承载面产生负压吸附效应，利用气孔结构来吸附OLED面板B位于面板孔区C的边缘位置，即可将面板孔区C吸附固定或者限制在定位区A内。具体实施时，可通过对定位区A进行精细加工处理，来保证该定位区A具有较高的平面度，进而使得被吸附固定于该区域的面板孔区C保持较高的平面度。另外，根据面板孔区C在OLED面板B上的设置数量、位置等，定位区A的数量可以设置为一个或者多个。

一种实施例中，请参阅图1、图5和图6，气孔结构包括通气腔道10a和多个吸附孔10b；其中，通气腔道10a主要用于在承载件10的内部构建出将吸附孔10b与负压源连接的管路通道，其自承载件10的内部贯通至承载件10的外部设置；根据实际情况（如工艺条件、装置整体的结构布局等），通气腔道10a用于连接负压源的端口可自承载件10的边侧面或结合面贯穿而出。吸附孔10b则自承载件10的承载面贯通至通气腔道10a设置，而多个吸附孔10b间隔排布成环状，以在承载件10的承载面上围合形成一环状区域，该环状区域即为定位区A。

具体实施时，出于工艺条件、面板孔区C的几何形状等因素的考虑，多个吸附孔10b可沿不同的几何形状的轨迹间隔排布，以围合形成整体轮廓形状与之相适应的定位区A；例如，多个吸附孔10b可大致沿一矩形轨迹间隔排布，以围合形成整体轮廓形状大致呈矩形的定位区A。

以此，通过限定多个吸附孔10b的排布方式，可借助吸附孔10b对OLED面板B上位于面板孔区C边缘的部位进行多点式均衡吸附，确保面板孔区C保持较高的平面度，以备后续进行光学检测作业。

另一个实施例中，请参阅图6，也可利用吸附槽10c来替代多个吸附孔10b，具体而言，该吸附槽10c贯通承载件10的承载面设置，并且其大致呈一环状凹槽结构，如圆环状、矩形环状或者其他几何形状；通过将吸附槽10c的局部部位（如吸附槽10c的槽面上的某一个点位或者多个点位）与通气腔道10a进行连通设置，亦可在承载件10上构造出气孔结构或者在承载件10的承载面上构建出定位区A，从而借助吸附槽10c对OLED面板B上位于面板孔区C边缘的部位进行环绕式吸附。

其他实施例中，基于工件的待检测部位或特征部位的结构差异的不同，气孔结构也可采用其他合适的结构构造，具体不作赘述。

请参阅图1至图6，吸附件20主要用于吸附OLED面板B的非检测区，以配合气孔结构将OLED面板B稳固地吸附固定在承载件10上，确保光学检测过程中，OLED面板B与承载件10之间不会出现相对位置的偏移。具体而言，该吸附件20设置在承载件10，并位于气孔结构及定位区A所组合形成的区域外的其他位置，通过将吸附件20与负压源进行连接，即可使吸附件20具备负压吸附的功能。需要说明的是，OLED面板B的非检测区可以相应地理解为是：OLED面板B上除面板孔区C及其边缘部位（即：与吸附孔10b或吸附槽10c对应部位）之外的其他部位。

具体实施时，为保证承载件10上的OLED面板B的整体能够维持较高的平整度，减少OLED面板B在被承载时的形变量，以为面板孔区C的精确检测创造有利条件，该吸附件20用于贴合吸附OLED面板B表面的一端（可定义为吸附件20的吸附端）与承载件10的承载面采用共平面的设置方式，以使得吸附件20的吸附端与承载件10的承载面保持平齐。同时，可在承载件10上设置多个吸附件20，多个吸附件20以相互间隔的方式排布在承载件10上，以形成对OLED面板B的非检测区的多点式吸附固定，确保OLED面板B整体能够被平稳稳定地吸附固定在承载件10上。

一个实施例中，请参阅图1、图5和图6，在承载件10上设置有调节滑道10d，该调节滑道10d沿第一方向贯通承载件10的承载面和结合面设置；其中，第一方向可以理解为是承载件10的承载面用于结合面的排布方向，例如竖直方向或者上下方向。同时，调节滑道10d在不同于第一方向的其他方向上具有或者预设有一定的长度，例如，相对于承载件10而言，该调节滑道10d沿前后方向、左右方向或者与竖直方向垂直的平面内的其他方向延伸设置；而吸附件20则贯穿调节滑道10d设置，并且吸附件20能够沿调节滑道10d的长度方向（或者延伸方向）进行位置调节以及固定保持在某一位置处。

调节滑道10d可以设置多条，多条调节滑道10d以规则或不规则的排布方式间隔分布于承载件10上，如：多条调节滑道10d沿前后方向延伸设置，并且沿左右方向间隔排布（请参阅图1、图5和图6）；而每条调节滑道10d均装设有至少一个吸附件20；由此，通过调节吸附件20在对应的调节滑道10d上的具体位置以及通过多个吸附件20之间的相互配合，可使得承载件10或者吸附装置能够适应不同尺寸的OLED面板B或者工件产品，实现对多种规格尺寸的工件产品的兼容。

调节滑道10d也可设置为一条，该调节滑道10d可沿前后方向或者左右方向等成直线式延伸设置，也可在与竖直方向垂直的平面内沿其他路径延伸设置，如环形路径、波浪线形路径或者其他不规则的非直线式路径等，在该调节滑道10d内可设置两个、三个或者其他更多数量的吸附件20，利用吸附件20可沿调节滑道10d进行具体位置自由调节及保持的特点，来适应不同规格尺寸的工件产品，实现工件的稳定承载及固定，以满足检测需求。

在一些实施例中，根据OLED面板B或者工件产品的整体尺寸的不同，吸附件20也可设置为一个，或者省略吸附件20；如，省略吸附件20时，除气孔结构外，承载件10的其他部分仅起到支撑工件的作用，而通过配置相应吸附强度的气孔结构，也可实现对工件的吸附固定，满足不同的应用需求。

在另一些实施例中，也可省略调节滑道10d，吸附件20直接固定装设在承载件10位于气孔结构及定位区A的轮廓范围之外的其他预设位置处，形成吸附件20与承载件10之间相对位置不可调节变换的吸附装置。

一方面，通过在承载件10的局部区域位置形成的定位区A，可适应OLED面板B的面板孔区C，利用气孔结构对面板孔区C的边缘位置进行吸附固定，将面板孔区C定位固定在定位区A内；通过对该定位区A进行精细加工处理，可保证该区域具有较高的平面度，进而使得OLED面板B被承载固定于承载件10上后，其面板孔区C能够维持较高的平面度，不但能够满足检测要求，而且有利于降低承载件10、乃至吸附装置整体的加工难度和成本。

另一方面，利用配置于承载件10上的调节滑道10d，可根据OLED面板B或者其他工件产品的尺寸规格，对吸附件20的位置进行自由灵活地调节，以使得吸附装置能够兼容不同尺寸规格的工件产品；同时，借助吸附件20对OLED面板B的非检测区进行吸附固定，也可以配合气孔结构完成对OLED面板B吸附固定，尤其是实现对面板孔区C的稳定固定，为光学检测作业的顺利执行创造条件。

一个实施例中，请参阅图3，吸附件20包括吸盘部21和吸管部22；其中，吸盘部21的吸附端（亦可理解为是吸附件20的吸附端）外露于承载件10的承载面布置，并且吸盘部21的吸附端与承载件10的承载面共平面的方式布置，吸管部22自承载件10的结合面侧穿设于调节滑道10d内，并与吸盘部21连通为一体，该吸管部22主要用于与负压源连接，以使得吸盘部21能够产生负压吸附作用力。同时，在吸管部22上还装设有锁止件40，该锁止件40主要用于将吸附件20锁固于承载件10上，如根据OLED面板B或者其他产品工件，将吸附件20沿调节滑道10d的长度方向（或者延伸方向）调整至预定位置处时，可利用锁止件40将吸附件20的位置进行锁止固定，并保证吸盘部21的吸附端共平面于承载件10的承载面。

具体实施时，在调节滑道10d内设置有第一限位结构10e，该第一限位结构10e凸出于调节滑槽10d的内壁面设置，亦可理解为，从第一方向上来讲，调节滑槽10d为一变径的孔道结构，而第一限位结构10e即为调节滑道10d的变径处的结构；相适应地，在吸盘部21或者吸管部22或者两者相交界的位置设置有第二限位结构20a，该第二限位结构20a沿第一方向与第一限位结构10e沿第一方向彼此面对；而锁止件40则螺纹套接于吸管部22远离吸盘部21的一端，并位于承载件10的结合面侧；由此，通过旋拧锁止件40即可利用其与承载件10的结合面之间的抵持关系以及第一限位结构10e与第二限位结构20a之间的抵持关系，将吸附件20最终锁定在承载件10上，并能够确保吸附件20的吸附端与承载件10的承载面共平面。

其他实施例中，锁止件20也可采用其他结构形式，如以卡扣等方式将吸附件20限位固定于承载件10上。

请参阅图1、图2、图4、图6和图7，一种实施例提供的一种吸附装置，还包括驱动组件30，该驱动组件30主要用于对承载件10在检测环境内的空间位置进行微调处理，以补偿不同工件产品的厚度差异，使得吸附装置整体能够适应不同厚度的OLED面板B或者相应的工件产品，从而兼容更多的产品。

具体而言，该驱动组件30具有本体部分和动力端部分；其中，驱动组件30的本体固定设置于一个预设位置，如检测设备上或者OLED面板B上料的位置，驱动组件30的动力端则耦合至承载件10上，借助驱动组件30输出的驱动动力，驱使承载件10沿第一方向移动，从而调节承载件10（连同吸附件20）与OLED面板B之间的相对位置，例如，相较于前一个已被检测的OLED面板B，当前OLED面板B的厚度有所减小或者增大时，驱动组件30驱使承载件10在第一方向上移动，可补偿不同OLED面板B之间的厚度差异，以实现对OLED面板B的最终承载或者卸载。

一个实施例中，请参阅图2和图7，驱动组件30包括定位件31、第一移动件32、第二移动件33和驱动件34；其中，定位件31作为驱动组件30的其他组成部件的装配载体使用，该定位件31固定设置在某一预设位置处，定位件31的内部具有用于容纳第一移动件32和第二移动件33的容置空间。

第一移动件32以能够沿第一方向相对定位件31作直线移动的方式插置于定位件31的容置空间内，如利用配置于定位件31与第一移动件32之间的直线模组为第一移动件32的定向移动提供结构支持。第二移动件33沿第一方向与第一移动件32相对布置，并且第二移动件32以能够沿第二方向相对定位件31作直线移动的方式装设于定位件31的容置空间内，该第二方向可以理解为是与第一方向垂直的方向，如前后方向或者左右方向。

第一移动件32与第二移动件33之间采用斜面抵持的方式进行配合设置，具体而言，第一移动件32与第二移动件33相面对的一面设置为倾斜面（为便于理解，将该倾斜面定义为第一斜楔结构32a），第二移动件33与第一移动件32相面对的一面亦设置为倾斜面（为便于理解，将该倾斜面定义为第二斜楔结构33a），由此，使得第一斜楔结构32a与第一斜楔结构33a沿第一方向彼此面对并相互抵贴。

驱动件34则可根据实际情况采用如电机等能够输出旋转运动的动力元件，驱动件34的动力端螺接于第二移动件33，利用第二移动件33与定位件31之间的直线运动连接关系，将驱动件34输出的旋转运动转换为第二移动件33沿第二方向的直线运动，从而借助第一斜楔结构32a与第二斜楔结构33a之间的抵贴配合关系，最终转换为第一移动件32在第一方向上的直线运动。

具体实施时，将承载件10与第一移动件32固定，从而使得驱动组件30能够驱使承载件10沿第一方向直线运动。由于第一移动件32与第二移动件33之间采用斜楔结构进行运动配合，通过对倾斜面的倾斜幅度的选择配置，实现对承载件10的运动行程的掌控，以完成对承载件10在第一方向上的空间位置的微调，从而适应不同厚度的工件产品。

当然，第一斜楔结构32a和第二斜楔结构33a也可不采用完整的倾斜面，如，采用倾斜配合设置的滑槽和滑轨等结构形式。

其他实施例中，驱动组件也主要由能够输出直线运动的气缸等动力器件组成，亦或者采用其他结构形式，如省略相应的斜楔结构和第二移动件33，直接将电机的动力端螺接到第一移动件32，利用第一移动件32与定位件31之间的直线运动连接关系，促使第一移动件32能够带动承载件10沿第一方向作位置调节移动。当然，在一些实施例中，驱动件34也可采用机械结构件，例如调节螺杆等，通过手动旋转调节螺杆来驱使第二移动件33沿第二方向移动，从而促使第一移动件31带动承载件10沿第一方向移动。凡此种种，不作赘述。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (11)

1.一种吸附装置，其特征在于，包括：

承载件，具有承载面和气孔结构，所述承载面用于承载工件；所述气孔结构贯通所述承载面设置，并于所述承载面围合形成定位区；所述气孔结构用于吸附工件，以能够将所述工件的待检测区固定于所述定位区内；以及

吸附件，设置在所述承载件，所述吸附件位于所述气孔结构外，用于吸附工件的非检测区。

2.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述气孔结构具有：

多个吸附孔，贯通所述承载面设置，多个所述吸附孔间隔排布成环状；以及

通气腔道，自所述承载件的内部贯通至所述承载件的外部设置，所述吸附孔与所述通气腔道连通，所述通气腔道用于连接负压源，以使得所述吸附孔能够受负压源的作用而吸附固定工件。

3.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述气孔结构具有：

吸附槽，设置于所述承载面，所述吸附槽为环状凹槽结构；以及

通气腔道，自所述承载件的内部贯通至所述承载件的外部设置，所述吸附槽与所述通气腔道连通，所述通气腔道用于连接负压源，以使得所述吸附槽能够受负压源的作用而吸附固定工件。

4.如权利要求2或3所述的吸附装置，其特征在于，所述承载件还具有结合面和边侧面，所述结合面与所述承载面相背设置，所述边侧面相接于所述承载面与所述结合面之间；所述通气腔道自所述承载件的内部贯通所述结合面或所述边侧面设置。

5.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述承载件还具有调节滑道，所述调节滑道沿垂直于所述承载面的第一方向贯通所述承载件设置，且所述调节滑道在不同于第一方向的其他方向上具有预设长度；所述吸附件以可沿所述调节滑道的长度方向调节位置的方式贯穿所述调节滑道布置。

6.如权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，所述调节滑道的数量设置为多条，多条所述调节滑道间隔排布于所述承载件，每条所述调节滑道均对应地设有至少一个所述吸附件；或

所述调节滑道的数量设置为一条，且所述调节滑道对应地设有多个所述吸附件。

7.如权利要求5所述的吸附装置，其特征在于，还包括锁止件，沿第一方向布置于所述承载件背向所述承载面的一侧；所述锁止件用于将所述吸附件锁固于所述承载件，以使所述吸附件能够保持在所述调节滑道的长度方向上的预定位置处。

8.如权利要求7所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附件具有用于贴合工件表面的吸附端，所述调节滑道内设有第一限位结构，所述吸附件还具有第二限位结构；

当所述锁止件将所述吸附件锁固于所述承载件时，所述第一限位结构与所述第二限位结构能够沿第一方向彼此面对并抵持，以使所述吸附端的端面共平面于所述承载面。

9.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附件固定设置于所述承载件的预设位置，所述吸附件具有用于贴合工件表面的吸附端，所述吸附端的端面与所述承载面共平面设置。

10.如权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括驱动组件，所述驱动组件的动力端耦合至所述承载件，所述驱动组件被配置成驱使所述承载件沿垂直于所述承载面的第一方向移动，以调节所述承载件在第一方向上的位置。

11.如权利要求10所述的吸附装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

定位件；

第一移动件，具有第一斜楔结构，所述第一移动件可移动地设置于所述定位件，所述承载件与所述第一移动件固定；

第二移动件，可移动地设置于所述定位件，所述第二移动件具有第二斜楔结构，所述第一斜楔结构与第二斜楔结构沿第一方向彼此倾斜面对并相互抵贴；以及

驱动件，所述驱动件的动力端耦合至所述第二移动件，所述驱动件被配置成：驱使所述第二移动件沿与第一方向垂直的第二方向移动，以使得所述第一移动件能够在所述第一斜楔结构与所述第二斜楔结构的配合下，带动所述承载件沿第一方向移动。

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