CN217689109U - 一种可快速装夹的探针测试台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电性测试装置技术领域，尤其是一种可快速装夹的探针测试台，包括基座、测试载台、探针和工件，工件水平放置在测试载台上，测试载台上设有弹性测试压杆和安装座，弹性测试压杆一端通过销轴与安装座转动连接，另一端开有可供探针穿过的定位孔，使置于定位孔内的探针可绕销轴向下转动接触置于测试载台上的工件上表面，弹性测试压杆包括杆体和弹簧，弹簧设置在靠近安装座的一端，杆体端部设有便于施力的压板，压板与杆体为一体结构。该探针测试台通过可转动的弹性测试压杆带动探针进行检测操作，便于探针的精准定位，避免人工测试造成的搭棒接触不良和U铁短路现象，保证测试结果的一致性，有效提高检测效率。

Description

一种可快速装夹的探针测试台

技术领域

本实用新型涉及电性测试装置技术领域，尤其是一种可快速装夹的探针测试台。

背景技术

探针卡是对半导体元件进行电性测试，筛选出良品或不良品的测试治具，因此，透过探针检测是集成电路制造中相当重要的环节之一，优异的探针卡可提高良率贡献度，因此对半导体封测厂而言影响很大。

目前业内普遍采用搭棒式测试，但是存在如下缺陷：第一，生产效率低下，平均产能仅300pcs/h；第二，搭棒的手持方式影响测试结果，造成测试结果一致性差；第三，搭棒易接触U铁造成测试短路，对测试设备造成损伤；第四，手持搭棒难操作易接触不良，产品需要二次复制，带来重复工作。

实用新型内容

为了解决现有的手持搭棒使探针定位困难，导致测试结果一致性差的问题，本实用新型提供了一种可快速装夹的探针测试台，通过压簧控制的探针测试压杆来解决问题，从而对探针进行精准定位，排除接触不良和U铁短路的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种可快速装夹的探针测试台，包括基座、测试载台、探针和工件，测试载台设置在基座上方，工件水平放置在测试载台上，测试载台上设有弹性测试压杆和安装座，弹性测试压杆一端通过销轴与安装座转动连接，另一端开有可供探针穿过的定位孔，使置于定位孔内的探针可绕销轴向下转动接触置于测试载台上的工件上表面，通过弹性测试压杆实现探针的固定，保证探针的精准定位，有效提高测试效率和测试精度。

在一些实施例中，弹性测试压杆包括杆体和弹簧，弹簧设置在靠近安装座的一端，通过弹簧实现测试压杆的回弹。

在一些实施例中，杆体端部设有便于施力的压板，压板与杆体为一体结构，便于手动下压杆体。

在一些实施例中，杆体的下表面和测试载台的上表面对应设有限位柱，弹簧套装在限位柱上，对弹簧的伸缩进行导向和限位，防止过度下压。

在一些实施例中，探针至少设有两根，探针的伸缩针头的底面在同一平面内，便于提高测试精准度。

在一些实施例中，测试载台的上表面开有可容纳工件的放置槽，放置槽一侧设有与放置槽连通的取件槽，便于对工件进行定位，保证测试稳定性。

本实用新型的有益效果是，

（1）本实用新型提供了一种可快速装夹的探针测试台，通过可转动的弹性测试压杆带动探针进行检测操作，便于探针的精准定位，避免人工测试造成的搭棒接触不良和U铁短路现象，保证测试结果的一致性；

（2）本实用新型提供了一种可快速装夹的探针测试台，通过多根探针进行同步检测，对比检测结果，以保证测试的精准度；

（3）本实用新型提供了一种可快速装夹的探针测试台，通过下凹的台阶式放置槽，实现工件的稳定放置，避免工件在测试过程中发生移位，以保证测试结果的精准。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是探针测试台的结构示意图；

图2是测试载台的结构示意图；

图3是弹性测试压杆的工作状态图；

图中1.基座，2.测试载台，3.探针，4.工件，5.弹性测试压杆，51.杆体，52.弹簧，53.压板，6.安装座，7.销轴，8.放置槽，9.取件槽，10.限位柱。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1所示，一种可快速装夹的探针测试台，包括基座1、测试载台2、探针3和工件4，测试载台2设置在基座1上方，工件4水平放置在测试载台2上。探针3一端连接导线，另一端接触工件4表面，进行测试。

为实现手动按压测试，保证探针3端部与工件4表面精准接触，在测试载台2上增设弹性测试压杆5和安装座6，弹性测试压杆5一端通过销轴7与安装座6转动连接，另一端开有可供探针3穿过的定位孔，使置于定位孔内的探针3可绕销轴7向下转动接触置于测试载台2上的工件4上表面。探针3通过胶水固定安装在定位孔内，根据测试需求伸出一定长度。

为实现压杆的回弹，弹性测试压杆5包括杆体51和弹簧52，弹簧52设置在靠近安装座6的一端。向下按压杆体51，弹簧52被压缩，探针3向下运动接触工件4，松手后，杆体51在弹簧52回弹作用下向上运动从工件4表面脱离。

为保证检测精准度，便于数据对比，探针3至少设有两根，探针3的伸缩针头的底面在同一平面内，以保证能同时接触到工件4表面。

如图2所示，为便于下压杆体51，在杆体51端部增设便于施力的压板53，压板53与杆体51为一体结构。

为便于工件4的稳定放置，在测试载台2的上表面开设可容纳工件4的放置槽8，放置槽8一侧设有与放置槽8连通的取件槽9，测试完成后，从取件槽9一侧将放置槽8内的工件4取出。

如图3所示，为避免杆体51过度下压，在杆体51的下表面和测试载台2的上表面对应设置限位柱10，弹簧52套装在限位柱10上，当杆体51下压过程中，两根限位柱10接触即为探针3下压的最大程度。

使用时，探针3尾端连好导线并从杆体51后端引出作为另一个电极，测试时，将特定大小的待测工件4放于测试载台2上的放置槽8内，使用长尾夹固定好待测工件4，将待测工件4的一个电极使用夹子夹好引出一极，手动按压杆体51端部的压板53以使探针 10 绕销轴7旋转向下对准工件4上的待测电极，直至探针3接触到工件4表面，落针完毕，接好待测工件4上引出的两个电极并开始测试。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种可快速装夹的探针测试台，包括基座（1）、测试载台（2）、探针（3）和工件（4），所述测试载台（2）设置在基座（1）上方，所述工件（4）水平放置在测试载台（2）上，其特征在于，所述测试载台（2）上设有弹性测试压杆（5）和安装座（6），所述弹性测试压杆（5）一端通过销轴（7）与安装座（6）转动连接，另一端开有可供探针（3）穿过的定位孔，使置于定位孔内的探针（3）可绕销轴（7）向下转动接触置于测试载台（2）上的工件（4）上表面。

2.根据权利要求1所述的一种可快速装夹的探针测试台，其特征是，所述弹性测试压杆（5）包括杆体（51）和弹簧（52），所述弹簧（52）设置在靠近安装座（6）的一端。

3.根据权利要求2所述的一种可快速装夹的探针测试台，其特征是，所述杆体（51）端部设有便于施力的压板（53），所述压板（53）与杆体（51）为一体结构。

4.根据权利要求2所述的一种可快速装夹的探针测试台，其特征是，所述杆体（51）的下表面和测试载台（2）的上表面对应设有限位柱（10），所述弹簧（52）套装在限位柱（10）上。

5.根据权利要求1所述的一种可快速装夹的探针测试台，其特征是，所述探针（3）至少设有两根，所述探针（3）的伸缩针头的底面在同一平面内。

6.根据权利要求1所述的一种可快速装夹的探针测试台，其特征是，所述测试载台（2）的上表面开有可容纳工件（4）的放置槽（8），所述放置槽（8）一侧设有与放置槽（8）连通的取件槽（9）。

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