CN217677880U - 一种mems屏蔽罩专用高效电镀滚筒 - Google Patents

Abstract

一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，涉及电镀装置技术领域，包括电镀槽，电镀槽内可拆卸式转动安装有滚筒，滚筒的周壁上均布有通孔，滚筒内同轴插装有位置固定的药水交换管，药水交换管的周壁上均布有交换孔，滚筒内还设有导电盘，导电盘上连接有导电锤。本实用新型解决了传统技术中的装置对产品进行电镀时，镀层不均匀，易出现类似花斑的现象，导致后期出现打标及识别不良的问题，影响产品的性能的问题。

Description

一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒

技术领域

本实用新型涉及电镀装置技术领域，具体涉及一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒。

背景技术

电镀是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，滚筒是滚镀的重要部件，对滚镀的质量影响较大，滚筒上设置电镀液导流孔，完成筒内外电镀液交换。电镀过程中，滚筒部分或全部浸入电镀液绕轴向转动。当零件在溶液中进行翻滚和电镀时，滚筒内被镀工件保持在滚筒内，在滚筒的翻转作用下同时受到面板上各孔进入的电镀液的作用。

现有MEMS电镀滚筒是常规电镀滚筒，电镀作业时，产品存在一定比例的电镀层不均匀及花斑问题，由于产品是用于MEMS半导体封装所用，对外壳表面的镀层厚度一致性、外观要求严格，同一批次电镀层均匀度差异必须做到 1um以内，镀金层的精度必须控制在5nm以内。

现有技术中公开了一个公开号为CN109868499A的专利，该方案包括筒体，筒体两端分别设有进料口和出料口，筒体内的进料口和出料口之间设有导向结构，还提供一种电镀滚筒组件，包括如上的电镀滚筒、滚动驱动装置，提供的电镀滚筒和电镀滚筒组件，能够连续进料和出料，实现连续化电镀生产。

但是该装置随着在生产使用中，逐渐的暴露出了该技术的不足之处，主要表现以下方面：

现有装置对产品进行电镀时，镀层不均匀，易出现类似花斑的现象，导致后期出现打标及识别不良的问题，影响产品的性能。

综上可知，现有技术在实际使用上显然存在不便与缺陷，所以有必要加以改进。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型提供一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，用以解决传统技术中的装置对产品进行电镀时，镀层不均匀，易出现类似花斑的现象，导致后期出现打标及识别不良的问题，影响产品的性能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，包括电镀槽，所述电镀槽内可拆卸式转动安装有滚筒，所述滚筒的周壁上均布有通孔，所述滚筒内同轴插装有位置固定的药水交换管，所述药水交换管的周壁上均布有交换孔，所述滚筒内还设有导电盘，所述导电盘上连接有导电锤。

作为一种优化的方案，所述药水交换管的进口端连接有进液管，所述进液管穿过所述导电盘延伸至外部，并连接有第一快速连接接头。

作为一种优化的方案，所述电镀槽的上还连接有与所述第一快速连接接头相配合的第二快速连接接头。

作为一种优化的方案，所述滚筒为六棱形滚筒，所述六棱形滚筒的两端固接有端盖，所述六棱形滚筒的其中一面开设有取放口，所述取放口上连接有盖板，所述盖板上也均布有所述通孔。

作为一种优化的方案，两个所述端盖分别转动安装于支架上，所述支架的下表面上固接有V型导电座，所述电镀槽的上端部设有与所述V型导电座相匹配的V型导电座支座。

作为一种优化的方案，所述电镀槽的上端部还设有接近开关。

作为一种优化的方案，其中一个所述支架上设有与所述端盖相连接的齿轮组，所述电镀槽上还设有与所述齿轮组相啮合的驱动齿轮。

作为一种优化的方案，所述电镀槽上还连接有药水交换泵，所述药水交换泵的出口端通过管体连接所述第二快速连接接头，所述药水交换泵的进口端连接所述电镀槽的内腔。

作为一种优化的方案，所述导电锤通过导电线连接于所述导电盘上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

电镀镀层质量有彻底提升，同时也大大提高了电镀效率，降低成本；

镀层外观方面，彻底解决了因镀层厚度不一致导致的花斑不良的问题，产品良率达到了100％，客户批量使用验证打标稳定可靠；

降低了对操作人员的操作手法和技能的要求，更利于标准化作业，有原来的1人1机，提升至1人3机，降低了用工成本；

制造成本低廉，维护方便；设计合理，结构间配合精密；方便快捷；提高工作过程中的稳定性；部件少，工序简便，且故障率低；结构简单，使用寿命长；操作控制简便，易于大规模制造与安装，应用范围广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型滚筒的结构示意图；

图3为本实用新型电镀槽的结构示意图。

图中：1-滚筒；2-端盖；3-盖板；4-支架；5-齿轮组；6-V型导电座；7- 药水交换管；8-导电盘；9-导电线；10-导电锤；11-进液管；12-第一快速连接接头；13-第二快速连接接头；14-药水交换泵；15-V型导电座支座；16-接近开关；17-驱动齿轮。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1至图3所示，MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，包括电镀槽，电镀槽内可拆卸式转动安装有，滚筒1的周壁上均布有通孔，滚筒1内同轴插装有位置固定的药水交换管7，药水交换管7的周壁上均布有交换孔，滚筒1内还设有导电盘8，导电盘8上连接有导电锤10。

药水交换管7的进口端连接有进液管11，进液管11穿过导电盘8延伸至外部，并连接有第一快速连接接头12。

电镀槽的上还连接有与第一快速连接接头12相配合的第二快速连接接头 13。

滚筒1为六棱形滚筒1，六棱形滚筒1的两端固接有端盖2，六棱形滚筒 1的其中一面开设有取放口，取放口上连接有盖板3，盖板3上也均布有通孔。

两个端盖2分别转动安装于支架4上，支架4的下表面上固接有V型导电座6，电镀槽的上端部设有与V型导电座6相匹配的V型导电座支座15。

电镀槽的上端部还设有接近开关16。

其中一个支架4上设有与端盖2相连接的齿轮组5，电镀槽上还设有与齿轮组5相啮合的驱动齿轮17，驱动齿轮17通过驱动电机带动转动。

电镀槽上还连接有药水交换泵14，药水交换泵14的出口端通过管体连接第二快速连接接头13，药水交换泵14的进口端连接电镀槽的内腔。

导电锤10通过导电线9连接于导电盘8上。

滚筒1与盖板3由螺丝固定，形成密闭型腔，滚筒1和盖板3上均设置有φ0.5-φ2.0的用于药水交换的通孔，小孔两端设计有C角，孔间距为2-5mm 阵列布置。滚筒1呈正六面体状设计，材质为PP，厚度优选0.5-2.0mm。滚筒 1内部设置有导电锤10和导电轮。电镀时，滚筒1内的产品始终与导电锤10 保持接触，导电锤10通过软电线固定在导电轮上与导电轮始终保持连接、导电轮与V型导电座6连接，材质为纯铜。

齿轮组5分为3个，最上方齿轮为厚齿轮，与槽体的驱动齿轮17啮合，同时与滚筒1中间的小齿轮啮合，通过小齿轮再与和滚筒1连接的下齿轮啮合，下齿轮中间设置为中空结构，与滚筒1转动中心轴同心，中心孔为φ17mm,药水交换管7，从此出进入滚筒1。

药水交换管7由PP管制成，管上圆柱面设置有φ0.5-φ2.0的用于药水交换的通孔，按照40°-60°均布于圆周面上，每层孔之间的布局为2-5mm为宜。管径优选8-16mm。当药水交换速度过快或者过慢时可以通过调整节流阀来实现药水流量的精准控制。

工作原理为：

首先将产品打开盖板3，装入滚筒1，滚筒1内设置有导电锤10与产品始终处于接触状态，并将盖板3使用固定螺丝固定住，防止产品在滚动时掉出；

其次行车依据程序将滚筒1放置于电镀槽对应的位置，当滚筒1放置到位时，药水交换的第一快速连接接头12与第二快速连接接头13同步连接到位， V型导电座6卡在V型导电座支座15上，将电流施加至滚筒1内导电锤10上，进而使产品带电；同时行程开关动作，使驱动齿轮17和药水交换泵14同时工作，开始电镀过程。

再次，电镀过程中，药水的交换相对于原来的滚筒1的由外向内的无恒定压力慢速交换变成了由内向外的定量定压的快速交换，整个过程药水均匀性和流动速率可控，电镀过程质量稳定。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (9)

1.一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：包括电镀槽，所述电镀槽内可拆卸式转动安装有滚筒(1)，所述滚筒(1)的周壁上均布有通孔，所述滚筒(1)内同轴插装有位置固定的药水交换管(7)，所述药水交换管(7)的周壁上均布有交换孔，所述滚筒(1)内还设有导电盘(8)，所述导电盘(8)上连接有导电锤(10)。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述药水交换管(7)的进口端连接有进液管(11)，所述进液管(11)穿过所述导电盘(8)延伸至外部，并连接有第一快速连接接头(12)。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述电镀槽的上还连接有与所述第一快速连接接头(12)相配合的第二快速连接接头(13)。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述滚筒(1)为六棱形滚筒(1)，所述六棱形滚筒(1)的两端固接有端盖(2)，所述六棱形滚筒(1)的其中一面开设有取放口，所述取放口上连接有盖板(3)，所述盖板(3)上也均布有所述通孔。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：两个所述端盖(2)分别转动安装于支架(4)上，所述支架(4)的下表面上固接有V型导电座(6)，所述电镀槽的上端部设有与所述V型导电座(6)相匹配的V型导电座支座(15)。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述电镀槽的上端部还设有接近开关(16)。

7.根据权利要求5所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述支架(4)上设有与所述端盖(2)相连接的齿轮组(5)，所述电镀槽上还设有与所述齿轮组(5)相啮合的驱动齿轮(17)。

8.根据权利要求3所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述电镀槽上还连接有药水交换泵(14)，所述药水交换泵(14)的出口端通过管体连接所述第二快速连接接头(13)，所述药水交换泵(14)的进口端连接所述电镀槽的内腔。

9.根据权利要求1所述的一种MEMS屏蔽罩专用高效电镀滚筒，其特征在于：所述导电锤(10)通过导电线(9)连接于所述导电盘(8)上。

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