CN217675481U - 一种基于硅片容器的分合片机构及系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于硅片容器的分合片机构及系统，包括硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，第二推送模块安装于第一推送模块的一侧，且吸盘模块安装于第二推送模块内；硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与第一移动件连接，第一移动件设有若干齿槽；硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，第二移动件分别与第二驱动件以及转动件连接，转动件与抓取模块连接。本实用新型将硅片容器作为硅片搬运的载具，能够实现工站式作业，提高工作效率。

Description

一种基于硅片容器的分合片机构及系统

技术领域

本实用新型涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种基于硅片容器的分合片机构及系统。

背景技术

随着科技的发展，硅片的需求量也在日益增大；硅片的加工包括硅材先开方，再切片；其中，切片是晶体硅片加工工艺中必不可少的工艺之一，切片后得到的硅片层叠在一起，需要分片后插入装载容器中进行运输；

目前，传统设备对硅片的分合片是：硅片在硅片容器外，通过大型龙门分合片双抓手完成硅片分合片，其存在占地面积大，成本高昂，效率低的缺陷。

因此，目前亟需一种能够直接在硅片容器中分片或者合片，且提高效率的分合片机构。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中分合片机构占地面积大、效率低的缺陷。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基于硅片容器的分合片机构，包括：

硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，所述第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，所述第二推送模块安装于所述第一推送模块的一侧，且所述吸盘模块安装于所述第二推送模块内；

硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，所述第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与所述第一移动件连接，所述第一移动件设有若干齿槽；

硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，所述第二移动件分别与所述第二驱动件以及转动件连接，所述转动件与所述抓取模块连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一推送模块包括第三驱动件、升降件、顶齿组，所述升降件分别与所述第三驱动件以及顶齿组连接，所述顶齿组用于与待插片的硅片容器内置放的硅片抵触。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第二推送模块的结构与所述第一推送模块相同。

作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘模块包括第四驱动件、第一移动块、第五驱动件、第二移动块、吸盘件，所述第四驱动件安装于所述第二推送模块内，且与所述第一移动块连接；所述第五驱动件安装于所述第一移动块内，且与第二移动块连接；所述吸盘件安装于所述第二移动块上。

作为本实用新型的一种优选方式，所述吸盘件设有第一吸附槽，所述抓取模块设有第二吸附槽，通过所述第一吸附槽或第二吸附槽吸附待插片的硅片。

作为本实用新型的一种优选方式，所述硅片定位组件包括从动件，所述从动件与所述第一驱动件连接，且所述第一移动件与所述从动件连接，通过所述第一驱动件带动从动件运动，通过所述从动件带动所述第一移动件同步运动，进而通过所述第一移动件将待插片的硅片置中。

作为本实用新型的一种优选方式，还包括容器定位组件，所述容器定位组件包括第一定位件、第二定位件，所述第一定位件与第二位件之间设有用于置放待插片的硅片容器的置放工位。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一定位件包括第六驱动件、抵触件，所述抵触件与所述第六驱动件连接；所述第二定位件与所述第一定位件结构相同。

作为本实用新型的一种优选方式，所述硅片容器定位件组件还包括缓冲件，所述缓冲件安装于所述第二定位件的一侧。

本实用新型还提供一种用于硅片容器的分合片系统，包括所述的一种基于硅片容器的分合片机构，还包括：

硅片容器。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种基于硅片容器的分合片机构及系统，能够将待插片的硅片在硅片容器中分片或者合片，即将硅片容器作为硅片搬运的载具，能够实现工站式作业，提高工作效率。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的分合片机构的示意图。

图2是本实用新型的第二推送模块的第一示意图。

图3是本实用新型的第二推送模块的第二示意图。

图4是本实用新型的吸盘模块的局部示意图。

图5是本实用新型的硅片定位组件的示意图。

图6是本实用新型的硅片定位组件的局部仰视图。

图7是本实用新型的硅片抓取组件的示意图。

图8是本实用新型的硅片抓取组件的局部示意图。

图9是本实用新型的硅片容器的分片示意图。

图10是本实用新型的硅片容器的合片示意图。

图11是本实用新型的容器定位组件的示意图。

图12是本实用新型的第二定位件的示意图。

说明书附图标记说明：6、硅片，7、硅片容器，10、第一推送模块，11、第二推送模块，12、吸盘模块，20、第一驱动件，21、第一移动件，30、第二驱动件，31、第二移动件，32、转动件，33、抓取模块，40、第一定位件，41、第二定位件，42、缓冲件，100、第三驱动件，101、升降件，102、顶齿组，120、第四驱动件，121、第一移动块，122、第五驱动件，123、第二移动块，124、吸盘件，125、第一吸附槽，210、第一移动板，211、第二移动板，212、齿槽，220、第一同步轮，221、第二同步轮，222、第一连接件，223、第二连接件，224、同步带，310、直线驱动器，311、固定件，330、第二吸附槽，400、第六驱动件，401、抵触件。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第二”、“第一”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。此外，术语“包括”意图在于覆盖不排他的包含，例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或单元而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

参照图1-10所示，本实用新型一种用于硅片容器7的分合片机构的实施例，包括：

硅片推送组件，包括第一推送模块10、第二推送模块11、吸盘模块12，所述第一推送模块10安装于待插片的硅片容器7的一侧，所述第二推送模块11安装于所述第一推送模块10的一侧，且所述吸盘模块12安装于所述第二推送模块11内；

硅片定位组件，包括第一驱动件20、第一移动件21，所述第一驱动件20安装于待插片的硅片容器7的一端，且与所述第一移动件21连接，所述第一移动件21设有若干齿槽212；

硅片抓取组件，包括第二驱动件30、第二移动件31、转动件32、抓取模块33，所述第二移动件31分别与所述第二驱动件30以及转动件32连接，所述转动件32与所述抓取模块33连接。

还包括置放工位，所述置放工位用于置放待插片的硅片容器7；参考图1所示，所述第一推送模块10、第二推送模块11安装与所述置放工位的一侧；所述第一驱动件20以及第二移动件31位于所述置放工位的一端；

其中，所述待插片的硅片容器7即指存储有待插片硅片的花篮；所述第一驱动件20采用包括但不仅限于驱动电机，所述第一移动件21呈对称布置；所述第二驱动件30采用包括但不仅限于直线模组滑台，且所述第二移动件31安装于所述直线模组滑台的滑动块上；所述第二移动件31设有直线驱动器310、固定件311，所述直线驱动器310的一端与所述第二驱动件30的滑动块连接，所述直线驱动器310的驱动端与所述固定件311连接，所述固定件311与所述转动件32连接；所述转动件32包括但不仅限于旋转电机、旋转气缸；所述抓取模块33包括但不仅限于机械手、吸盘。

通过采用上述技术方案，当存储有待插片硅片的硅片容器7置放于所述置放工位后，吸盘模块12在第二推送模块11的驱动下将预设数量的第一硅片向所述硅片容器7方向推出；

通过第一驱动件20驱动第一移动件21向推出的第一硅片方向移动，将所述第一硅片进行置中，待置中完成后，通过所述第一驱动件20驱动所述第一移动件21向所述第一硅片相反方向移动；

所述第二移动件31在所述第二驱动件30的驱动下向所述第一硅片移动，进而通过所述第二移动件31驱动所述抓取模块33向所述第一硅片移动，通过所述抓取模块33将所述待插片的硅片进行抓取，所述吸盘模块12在第二推送模块11的驱动下向所述硅片容器7相反的方向移动；

所述第二移动件31在所述第二驱动件30的驱动下向第一推送模块10方向移动，同时通过所述转动件32带动所述抓取模块33转动预设角度；

待所述第二移动件31移动至所述第一推送模块10位置后，所述第二推送模块11将预设数量的第二硅片向所述第一硅片方向推出，然后所述第二移动件31在所述第二驱动件30的驱动下向所述第二硅片方向移动预设距离，将所述第一硅片与第二硅片贴合；

使所述抓取模块33不再抓取所述第一硅片，所述第二推送模块11将合片后的硅片向所述硅片容器7的方向移动，将合片后的硅片置放于硅片容器7内；

其中，所述预设数量由作业人人员根据硅片容器7实际存储硅片量/2设定，在本实施例参考硅片容器7实际存储硅片量100片，所述预设数量参考50片；所述预设角度向由作业人人员根据第二硅片位置设定，在本实施中参考180度；当所述第二移动件31移动至所述第一推送模块10位置后，所述第一硅片与第二硅片中每个硅片之间预留预设距离的间隙，防止第二硅片推出后，与所述第一硅片发生碰撞；所述预设距离由作业人员根据实际加工需求设定，在本实施例中优选为1mm；上述为第一硅片与第二硅片的合片过程，其分片过程为逆向过程。

参考图2所示，所述第一推送模块10包括第三驱动件100、升降件101、顶齿组102，所述第二推送模块11的结构与所述第一推送模块10相同；

其中，所述升降件101分别与所述第三驱动件100以及顶齿组102连接，且所述第三驱动件100采用直线模组滑台；所述顶齿组102用于与待插片的硅片容器7内置放的硅片抵触，且所述顶齿组102设置的顶齿数量由作业人员根据实际合片需求设定，在本实施例参考能够将第一硅片或第二硅片容置的数量。

通过采用上述技术方案，所述升降件101在所述第三驱动件100的驱动下向待插片的硅片容器7方向移动，通过升降件101带动所述顶齿组102同步移动。

参考图2-4所示，所述吸盘模块12包括第四驱动件120、第一移动块121、第五驱动件122、第二移动块123、吸盘件124；

其中，所述第四驱动件120以及第五驱动件122包括但不仅限于驱动电机、驱动气缸等直线驱动器310；所述第四驱动件120安装于所述第二推送模块11内，所述第一移动块121与所述第四驱动件120的驱动端连接；所述第五驱动件122安装于所述第一移动块121内，所述第二移动块123与所述第五驱动件122的驱动端连接；所述吸盘件124设有若干用于吸附待插片硅片的第一吸附槽125，所述吸盘件124与分合片机构所在区域的压缩空气管路相连通。

通过采用上述技术方案，通过所述第四驱动件120驱动所述第一移动块121横向移动，调节所述第五驱动件122、第二移动块123以及吸盘件124的横向距离，通过所述第五驱动件122驱动所述第二移动块123纵向移动，调节所述吸盘件124的纵向距离；通过吸盘件124横向调节以及纵向调节，从而通过所述吸盘件124的若干个第一吸附槽125将待插片硅片进行容置。

参考图5所示，所述硅片定位组件包括从动件，所述从动件包括第一同步轮220、第二同步轮221、第一连接件222、第二连接件223；

参考图5-6所示，所述第一移动件21包括第一移动板210、第二移动板211，所述第一移动板210以及第二移动板211设有若干个齿槽212；

其中，所述第一同步轮220安装于所述第一驱动件20的驱动端，且通过同步带224与所述第二同步轮221连接；参考图6所示，所述第一连接件222的一端与所述同步带224连接，所述第一连接件222的另一端与所述第一移动板210连接；所述第二连接件223的一端与所述同步带224连接，所述第二连接件223的另一端与所述第二移动板211连接；且，所述第一连接件222以及第二连接件223与同步带224连接的位置参考图5和图6所示。

通过采用上述技术方案，通过所述第一驱动件20驱动所述第一同步轮220运行，所述第一同步轮220通过同步带224带动所述第二同步轮221同步运行，同时，通过所述同步带224带动所述第一连接件222向第一方向移动、带动所述第二连接件223向第二方向移动，通过所述第一连接件222带动所述第一移动件21向第一方向移动，通过所述第二连接件223带动所述第二移动件31向第二方向移动，进而通过所述第一移动件21以及第二移动就的齿槽212将所述第二硅片进行置中。

参考图7-8所示，所述抓取模块33设有若干个的第二吸附槽330，通过所述第二吸附槽330吸附待插片的硅片。

其中，所述抓取模块33参考真空吸盘，所述抓取模块33与分合片机构所在区域的压缩空气管路相连通。

通过采用上述技术方案，通过所述抓取模块33若干个的第一吸附槽125将待插片硅片进行抓取。

参考图11-12所示，还包括容器定位组件，所述容器定位组件包括第一定位件40、第二定位件41、缓冲件42；

所述第一定位件40包括第六驱动件400、抵触件401，所述第六驱动件400采用包括但仅限于驱动电机、驱动气缸等直线驱动器310；所述抵触件401与所述第六驱动件400的驱动端连接；所述第二定位件41与所述第一定位件40结构相同，且所述置放工位位于所述第二定位件41与所述第一定位件40之间；所述缓冲件42安装于所述第二定位件41的一侧，所述缓冲件42包括但不仅限于缓冲器弹簧。

通过采用上述技术方案，通过第一定位件40以及第二定位件41的设置，以便于待插片的硅片容器7能够固定于置放工位内，通过所述缓冲件42的设置，减少所述硅片容器7固定时产生的震动。

本实施例还提供一种用于硅片容器7的分合片系统，包括所述的一种用于硅片容器7的分合片机构，还包括：

硅片容器7。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种基于硅片容器的分合片机构，通过容器定位组件的设置，将待插片的硅片容器固定于置放工位内，通过硅片推送组件将第一硅片推出，通过硅片定位组件进行置中定位，通过硅片抓取组件将第一硅片抓取移动至第二硅片处，通过硅片推送组件将第二硅片推出，进而通过硅片抓取组件将第一硅片与第二硅片贴合；能够将待插片的硅片在硅片容器中分片或者合片，即将硅片容器作为硅片搬运的载具，能够实现工站式作业，提高工作效率。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，包括：

硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，所述第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，所述第二推送模块安装于所述第一推送模块的一侧，且所述吸盘模块安装于所述第二推送模块内；

硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，所述第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与所述第一移动件连接，所述第一移动件设有若干齿槽；

硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，所述第二移动件分别与所述第二驱动件以及转动件连接，所述转动件与所述抓取模块连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第一推送模块包括第三驱动件、升降件、顶齿组，所述升降件分别与所述第三驱动件以及顶齿组连接，所述顶齿组用于与待插片的硅片容器内置放的硅片抵触。

3.根据权利要求2所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第二推送模块的结构与所述第一推送模块相同。

4.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述吸盘模块包括第四驱动件、第一移动块、第五驱动件、第二移动块、吸盘件，所述第四驱动件安装于所述第二推送模块内，且与所述第一移动块连接；所述第五驱动件安装于所述第一移动块内，且与第二移动块连接；所述吸盘件安装于所述第二移动块上。

5.根据权利要求4所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述吸盘件设有第一吸附槽，所述抓取模块设有第二吸附槽，通过所述第一吸附槽或第二吸附槽吸附待插片的硅片。

6.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述硅片定位组件包括从动件，所述从动件与所述第一驱动件连接，且所述第一移动件与所述从动件连接，通过所述第一驱动件带动从动件运动，通过所述从动件带动所述第一移动件同步运动，进而通过所述第一移动件将待插片的硅片置中。

7.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，还包括容器定位组件，所述容器定位组件包括第一定位件、第二定位件，所述第一定位件与第二位件之间设有用于置放待插片的硅片容器的置放工位。

8.根据权利要求7所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第一定位件包括第六驱动件、抵触件，所述抵触件与所述第六驱动件连接；所述第二定位件与所述第一定位件结构相同。

9.根据权利要求7所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述硅片容器定位组件还包括缓冲件，所述缓冲件安装于所述第二定位件的一侧。

10.一种基于硅片容器的分合片系统，包括权利要求1-9任一项所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，还包括：

硅片容器。

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