CN217626281U - 吸盘式搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸盘式搬运装置包括底座、支架和吸盘，支架与底座活动配合，吸盘设置于支架上，还包括：第一齿轮和第二齿轮，设置于底座的工作台面上，第一齿轮和第二齿轮相互啮合；锁止结构，包括锁止杆，锁止杆与底座活动连接且能够沿第一方向或第二方向活动于第一位置和第二位置；当锁止杆位于第一位置时，吸盘被固定在选定位置处；当锁止杆位于第二位置时，第一齿轮、第二齿轮能够转动。本实用新型实施例提供的一种吸盘式搬运装置，不仅能够依据实际情况调整吸盘与晶圆之间的位置关系，更好的适配不同规格的晶圆，且调整后的吸盘位置可进行固定，避免晶圆在搬运过程中受吸盘移位而造破损或脱落。

Description

吸盘式搬运装置

技术领域

本实用新型涉及一种搬运装置，特别涉及一种吸盘式搬运装置，属于半导体技术领域。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展和崛起，晶圆在的产线运输、包装、工艺操作时至关重要的作用，目前大部分产线运输、包装工艺手工操作居多，由于产线运输、包装、工艺操作对产品的质量和精度有着至关重要的影响和作用，由于晶圆产品的特殊性，脆、薄、轻、小，员工操作时因为手法、力度、熟练程度不同导致晶圆在运输、包装工艺切换过程中破碎、裂片，无形之中增加了制造成本。

常见的吸盘搬运装置在吸附晶圆时，无法依据不同的晶圆规格调整其位置，在使用不匹配于晶圆的吸盘吸附位置搬运晶圆时，易造成晶圆滑脱或掉落的问题，从而造成晶圆的损毁，影响后续工序的进行。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种吸盘式搬运装置，用以解决使用吸盘搬运晶圆时，晶圆吸附的位置或规格无法依据实际情况进行调整，从而造成晶圆掉落损毁的问题，进而克服现有技术中的不足。

为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

本实用新型实施例提供了一种吸盘式搬运装置，包括底座、支架和吸盘，所述支架与所述底座活动配合，所述吸盘设置于所述支架上，还包括：

第一齿轮和第二齿轮，设置于所述底座的工作台面上，所述第一齿轮和第二齿轮相互啮合，且所述第二齿轮与所述第一齿轮、支架传动连接，当所述第二齿轮转动时，所述第一齿轮能够与所述第二齿轮一起转动，所述吸盘能够与所述支架一起沿第一方向做直线运动；

锁止结构，包括锁止杆，所述锁止杆与所述底座活动连接且能够沿第一方向或第二方向活动于第一位置和第二位置；

当所述锁止杆位于所述第一位置时，所述锁止杆与所述第一齿轮和/或第二齿轮连接而使所述第一齿轮、第二齿轮停止转动，从而使所述吸盘被固定在选定位置处；当所述锁止杆位于第二位置时，所述锁止杆与所述第一齿轮和/或第二齿轮分离，所述第一齿轮、第二齿轮能够转动，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉。

与现有技术相比，本实用新型的优点包括：本实用新型实施例提供的一种吸盘式搬运装置，不仅能够依据实际情况调整吸盘与晶圆之间的位置关系，更好的适配不同规格的晶圆，且调整后的吸盘位置可进行固定，避免晶圆在搬运过程中受吸盘移位而造破损或脱落。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一典型实施案例中提供的一种吸盘式搬运装置的结构示意图；

图2是图1中A-A的剖面示意图；

附图标记说明：

1、底座；

2、支架；

3、吸盘；

4、第一齿轮；41、插孔；

5、第二齿轮；

6、锁止结构；61、锁止杆；611、第三限位件；612、第三限位槽；62、第一限位件；621、活动槽；63、弹性元件；

7、连接件；71、第二限位槽；72、第二限位件；

8、罩壳。

具体实施方式

鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本实用新型的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。

本实用新型实施例提供了一种吸盘式搬运装置，包括底座、支架和吸盘，所述支架与所述底座活动配合，所述吸盘设置于所述支架上，还包括：

第一齿轮和第二齿轮，设置于所述底座的工作台面上，所述第一齿轮和第二齿轮相互啮合，且所述第二齿轮与所述第一齿轮、支架传动连接，当所述第二齿轮转动时，所述第一齿轮能够与所述第二齿轮一起转动，所述吸盘能够与所述支架一起沿第一方向做直线运动；

锁止结构，包括锁止杆，所述锁止杆与所述底座活动连接且能够沿第一方向或第二方向活动于第一位置和第二位置；

当所述锁止杆位于所述第一位置时，所述锁止杆与所述第一齿轮和/或第二齿轮连接而使所述第一齿轮、第二齿轮停止转动，从而使所述吸盘被固定在选定位置处；当所述锁止杆位于第二位置时，所述锁止杆与所述第一齿轮和/或第二齿轮分离，所述第一齿轮、第二齿轮能够转动，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉。

在一些较为具体的实施方案中，所述锁止结构包括多个锁止杆，多个所述锁止杆经同一连接件与所述第一齿轮活动连接。

在一些较为具体的实施方案中，所述的吸盘式搬运装置还包括罩壳，所述罩壳与所述底座转动配合，且所述罩壳与所述第一齿轮固定连接。

在一些较为具体的实施方案中，所述锁止结构还包括弹性元件，所述弹性元件设置于所述罩壳与所述连接件之间，且所述弹性元件与所述连接件连接，并可驱使所述连接件沿第二方向移动。

在一些较为具体的实施方案中，所述的吸盘式搬运装置还包括第一限位件，所述锁止杆经第一限位件与所述底座活动连接，所述第一限位件上设置有活动槽，所述活动槽限制所述第一限位件在第二方向上的移动。

在一些较为具体的实施方案中，所述连接件上设置有第二限位件，所述第一齿轮上设置有第二限位槽，所述第二限位件设置于所述第二限位槽内，所述第二限位件限制所述连接件在第二方向上的移动。

在一些较为具体的实施方案中，所述锁止杆上设置有第三限位件，所述底座上设置有与所述第三限位件对应的第三限位槽，所述第三限位件限制所述锁止杆在第一方向上的移动。

在一些较为具体的实施方案中，所述第一齿轮和/或所述第二齿轮上设置有插孔，当所述锁止杆与所述插孔连接时，所述锁止杆限制所述第一齿轮的转动。

在一些较为具体的实施方案中，所述锁止杆与所述插孔关于所述第一齿轮的轴线呈中心对称分布，且所述插孔的数量是所述锁止杆数量的整数倍。

在一些较为具体的实施方案中，所述插孔边缘处设置有倒角。

如下将结合附图以及具体实施案例对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明，除非特别说明的之外，本实用新型实施例中所采用的吸盘、齿轮等为本领域技术人员已知的元器件，其均可以通过市购获得，在此不对其具体的结构和型号进行限定。

请参阅图1-图2，一种吸盘式搬运装置，包括底座1、支架2和吸盘3，所述支架2与所述底座1活动配合，所述吸盘3设置于所述支架2上，还包括：

第一齿轮4和第二齿轮5，设置于所述底座1的工作台面上，所述第一齿轮 4和第二齿轮5相互啮合，且所述第二齿轮5与所述第一齿轮4、支架2传动连接，当所述第二齿轮5转动时，所述第一齿轮4能够与所述第二齿轮5一起转动，所述吸盘3能够与所述支架2一起沿第一方向做直线运动；

锁止结构6，包括锁止杆61，所述锁止杆61与所述底座1活动连接且能够沿第一方向或第二方向活动于第一位置和第二位置；

当所述锁止杆61位于所述第一位置时，所述锁止杆61与所述第一齿轮4 和/或第二齿轮5连接而使所述第一齿轮4、第二齿轮5停止转动，从而使所述吸盘3被固定在选定位置处；当所述锁止杆61位于第二位置时，所述锁止杆61 与所述第一齿轮4和/或第二齿轮5分离，所述第一齿轮4、第二齿轮5能够转动，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉。

请参阅图1-图2，所述第一方向是所述底座1的径向方向，所述第二方向是所述底座1的轴向方向。使用本装置时，转动第一齿轮4，与所述第一齿轮4啮合的第二齿轮5也进行转动，与所述第二齿轮5传动连接的所述支架2从而能够沿第一方向进行滑动。参见图1，以图1为例，逆时针转动第一齿轮4，所述第二齿轮5进行顺时针转动，与所述第二齿轮5咬合传动的支架2朝远离第一齿轮 4一侧滑出，从而调整所述吸盘3的位置关系，以适应对不同规格晶圆的搬运。此处以晶圆为例，本吸盘式搬运装置还能用于搬运其他物料的吸附位置关系。

本吸盘式搬运装置不仅能够依据实际情况调整吸盘3与晶圆之间的位置关系，更好的适配不同规格的晶圆，且调整后的吸盘3位置可进行固定，避免晶圆在搬运过程中受吸盘3移位而造破损或脱落。可理解为，可通过所述锁止杆61 沿第二方向或第一方向的移动，使所述第一齿轮4和第二齿轮5被固定在选定位置或接触固定状态而能够相对转动。便于使所述吸盘被固定在选定位置，避免其在工作中滑动而致使晶圆掉落或滑脱。

进一步地讲，所述锁止结构6包括多个锁止杆61，多个所述锁止杆61经同一连接件7与所述第一齿轮4活动连接。当所述锁止结构6中包括多个锁止杆 61时，如图1所示，多个所述锁止杆61连接于同一连接件7上，可通过移动这一连接件7，使多个锁止杆61进行移动。

进一步地讲，所述吸盘式搬运装置还还包括罩壳8，所述罩壳8与所述底座 1转动配合，且所述罩壳8与所述第一齿轮4固定连接。可理解为，所述罩壳8 罩设于所述底座1上，并能够与所述底座1转动配合，当转动所述罩壳8时，第一齿轮4能够与所述罩壳8一同进行转动。设有的罩壳8能够避免误触底座1 内部各零部件，避免影响各个部件之间的传动连接关系，且通过转动罩壳8能够同样调整吸盘3的位置，使其外观更加整洁的同时，对底座1内部各零部件也起到了良好的保护。

更进一步地讲，所述锁止结构6还包括弹性元件63，所述弹性元件63设置于所述罩壳8与所述连接件7之间，且所述弹性元件63与所述连接件7连接，并可驱使所述连接件7沿第二方向移动。可理解的，所述弹性元件63可以是扭簧、弹簧等，其可以按照本领域常规的方式设置在所述罩壳8与所述连接件7 之间。请参阅图2，可以在连接件7与罩壳8之间设置一弹簧，当所述锁止杆61 位于第一位置时，不对连接件7施加外力，弹簧在罩壳8与连接件7之间被拉伸，所述弹簧恢复形变时所产生的力将牵拉所述连接件7沿第二方向移动。从而使所述吸盘3被更加稳定的固定在选定位置处，避免在使用吸盘3搬运时支架2移动，进而对晶圆造成的伤害。

进一步地，所述的吸盘式搬运装置还包括第一限位件62，所述锁止杆61经第一限位件62与所述底座1活动连接，所述第一限位件62上设置有活动槽621，所述活动槽621限制所述第一限位件62在第二方向上的移动。当所述锁止杆61 沿第一方向或第二方向运动时，其上第一部分能够沿第一限位件62上的活动槽 621滑动，并受限于一区域内，从而对锁止杆61进行更进一步地限位。

更进一步地讲，所述连接件7上设置有第二限位件72，所述第一齿轮4上设置有第二限位槽71，所述第二限位件72设置于所述第二限位槽71内，所述第二限位件72限制所述连接件7在第二方向上的移动。请参阅图2，所述第二限位件72受限于在第二限位槽71中进行滑动，从而将所述连接件7限制于一滑动路径上，避免连接件7的过度滑出，造成零部件的丢失。

进一步地，所述锁止杆61上设置有第三限位件611，所述底座1上设置有与所述第三限位件611对应的第三限位槽612，所述第三限位件611限制所述锁止杆61在第一方向上的移动。请参阅图1，可理解为，所述第三限位件611受限于在第三限位槽612中滑动，从而将所述锁止杆61限制于一指定路径上滑动，避免了支架2的过度移动对第一齿轮4或其他部件连接关系造成的影响。进一步保证，本装置内部部件连接关系的完整性。

进一步地，所述第一齿轮4和/或所述第二齿轮5上设置有插孔41，当所述锁止杆61与所述插孔41连接时，所述锁止杆61限制所述第一齿轮4的转动。所述锁止杆61通过与插孔41插接，而使所述第一齿轮4、第二齿轮5停止转动，使所述吸盘3被固定在选定位置，通过锁止杆61与插孔41的插接或连接，达到精准的控制齿轮的止停。

进一步地讲，所述锁止杆61与所述插孔41关于所述第一齿轮4的轴线呈中心对称分布，且所述插孔41的数量是所述锁止杆61数量的整数倍。当使用锁止结构6对第一齿轮4进行锁止时，可提升第一齿轮4的稳定性。所述锁止杆61 以及插孔41可以呈中心对称设置，从而使得每个所述锁止杆61均能与插孔41 插接固定，从而更进一步地稳定第一齿轮4的稳定性。

进一步地，所述插孔41边缘处设置有倒角。请参阅图2，沿第一方向移动所述锁止杆61时，其用于与插孔41插接的部分能够沿倒角所成面滑动，并伴随外力插接至插孔41中，便于对锁止杆61与插孔41进行插接配合。

综上，本实用新型实施例所提供的一种吸盘式搬运装置，不仅能够依据实际情况调整吸盘与晶圆之间的位置关系，更好的适配不同规格的晶圆，且调整后的吸盘位置可进行固定，避免搬运过程中吸盘移位对晶圆造成的损伤。

应当理解，上述实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种吸盘式搬运装置，包括底座(1)、支架(2)和吸盘(3)，所述支架(2)与所述底座(1)活动配合，所述吸盘(3)设置于所述支架(2)上，其特征在于，还包括：

第一齿轮(4)和第二齿轮(5)，设置于所述底座(1)的工作台面上，所述第一齿轮(4)和第二齿轮(5)相互啮合，且所述第二齿轮(5)与所述第一齿轮(4)、支架(2)传动连接，当所述第二齿轮(5)转动时，所述第一齿轮(4)能够与所述第二齿轮(5)一起转动，所述吸盘(3)能够与所述支架(2)一起沿第一方向做直线运动；

锁止结构(6)，包括锁止杆(61)，所述锁止杆(61)与所述底座(1)活动连接且能够沿第一方向或第二方向活动于第一位置和第二位置；

当所述锁止杆(61)位于所述第一位置时，所述锁止杆(61)与所述第一齿轮(4)和/或第二齿轮(5)连接而使所述第一齿轮(4)、第二齿轮(5)停止转动，从而使所述吸盘(3)被固定在选定位置处；当所述锁止杆(61)位于第二位置时，所述锁止杆(61)与所述第一齿轮(4)和/或第二齿轮(5)分离，所述第一齿轮(4)、第二齿轮(5)能够转动，其中，所述第二方向与所述第一方向交叉；

所述第一方向是所述底座(1)的径向方向，所述第二方向是所述底座(1)的轴向方向。

2.根据权利要求1所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述锁止结构(6)包括多个锁止杆(61)，多个所述锁止杆(61)经同一连接件(7)与所述第一齿轮(4)活动连接。

3.根据权利要求2所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，还包括罩壳(8)，所述罩壳(8)与所述底座(1)转动配合，且所述罩壳(8)与所述第一齿轮(4)固定连接。

4.根据权利要求3所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述锁止结构(6)还包括弹性元件(63)，所述弹性元件(63)设置于所述罩壳(8)与所述连接件(7)之间，且所述弹性元件(63)与所述连接件(7)连接，并可驱使所述连接件(7)沿第二方向移动。

5.根据权利要求1所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，还包括第一限位件(62)，所述锁止杆(61)经第一限位件(62)与所述底座(1)活动连接，所述第一限位件(62)上设置有活动槽(621)，所述活动槽(621)限制所述第一限位件(62)在第二方向上的移动。

6.根据权利要求2所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述连接件(7)上设置有第二限位件(72)，所述第一齿轮(4)上设置有第二限位槽(71)，所述第二限位件(72)设置于所述第二限位槽(71)内，所述第二限位件(72)限制所述连接件(7)在第二方向上的移动。

7.根据权利要求1所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述锁止杆(61)上设置有第三限位件(611)，所述底座(1)上设置有与所述第三限位件(611)对应的第三限位槽(612)，所述第三限位件(611)限制所述锁止杆(61)在第一方向上的移动。

8.根据权利要求1所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述第一齿轮(4)和/或所述第二齿轮(5)上设置有插孔(41)，当所述锁止杆(61)与所述插孔(41)连接时，所述锁止杆(61)限制所述第一齿轮(4)的转动。

9.根据权利要求8所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述锁止杆(61)与所述插孔(41)关于所述第一齿轮(4)的轴线呈中心对称分布，且所述插孔(41)的数量是所述锁止杆(61)数量的整数倍。

10.根据权利要求9所述的吸盘式搬运装置，其特征在于，所述插孔(41)边缘处设置有倒角。

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