CN217585223U - 一种烘干箱体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种烘干箱体，包括：传送机构，用于传送玻璃基板自清洗区间至烘干区间进行烘干；风刀组件，包括第一风刀和第二风刀，用于向玻璃基板表面吹风；多个气流传感器，均匀设置在烘干箱体上，用于测量风刀组件吹出的风与玻璃基板所在平面之间的第三角度；调整气流走向组件，位于烘干区间；控制器，与多个气流传感器的输出端连接，用于接收第三角度；还与所述调整气流走向组件的控制参数输入端连接，用于输出控制所述调整气流走向组件的控制参数。从而，通过气流传感器监测风与玻璃基板之间的夹角，并通过控制器控制调整气流走向组件调整气流走向，减少与玻璃基板具有夹角的气流在玻璃基板处形成涡流。

Description

一种烘干箱体

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种烘干箱体。

背景技术

在显示面板制造过程中，尤其对玻璃基板制造过程中，比如在玻璃基板上生成金属层等之后，需要对玻璃基板进行清洗，并且在清洗之后还需要对玻璃基板进行烘干，但相关技术中，风刀组件对玻璃基板进行烘干时，风刀组件的吹风会在玻璃基板上形成涡流，使得玻璃基板表面受热形成的水雾又重新落到水膜较薄的玻璃基板上，如果这些水雾随着烘干温度升高发生电离并落到玻璃基板带有金属层的一侧表面上，会对金属层诱发暗点不良。

解决该问题需要实时测量烘干箱体中的气流走向，并根据气流走向生成气流图，最终根据气流图调整烘干箱体中的气流走向。现有技术存在以下缺陷：现有技术中常常通过人工手持风速仪伸进烘干箱体中来测量烘干箱体中的气流与玻璃基板的夹角，并需要人工根据风速仪测量的结果来绘制气流图，以根据气流图调整烘干箱体中的气流走向，这样当人工介入时，会破坏烘干箱体中原本的气流走向，最终导致测量结果不准确，而且效率低，人力成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种烘干箱体，通过设置气流传感器来测量烘干箱体中的气流走向，并将结果直接给到控制器，由控制器调整气流走向组件控制气流流向，减少在玻璃基板的金属层一侧产生涡流，提升产品良率。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种烘干箱体，包括：

传送机构，包括传送辊，用于传送玻璃基板自清洗区间至烘干区间进行烘干，其中，所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面设置有金属层；

风刀组件，包括第一风刀和第二风刀，所述第一风刀以第一角度向所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面吹风，所述第二风刀以第二角度向所述玻璃基板近邻所述传送辊的一侧表面吹风；

多个气流传感器，均匀设置在烘干箱体上，多个所述气流传感器的底部均位于第一平面上，所述第一平面为与所述玻璃基板平面平行的平面，并且所述第一平面位于所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面之上的平面；多个所述气流传感器用于测量所述风刀组件吹出的风与所述玻璃基板所在平面之间的第三角度；

调整气流走向组件，所述调整气流走向组件位于所述烘干区间；

控制器，包括角度信息接收端，与多个所述气流传感器的输出端连接，用于接收所述第三角度；还包括控制参数输出端，与所述调整气流走向组件的控制参数输入端连接，用于输出控制所述调整气流走向组件的控制参数。

作为烘干箱体的一种优选方案，多个所述气流传感器的个数为四个，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，其中，四个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间其中一组相对设置的侧面上，每个侧面分布两个所述气流传感器。

作为烘干箱体的一种优选方案，多个所述气流传感器的个数为九个，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，其中，六个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间其中一组所述相对设置的侧面上，两个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间另一组所述相对设置的侧面上，一个所述气流传感器被配置在八个所述气流传感器形成的平面中心，九个所述气流传感器的位置形成九宫格形状。

作为烘干箱体的一种优选方案，位于八个所述气流传感器形成的平面中心的气流传感器与所述烘干区间的顶面悬挂连接。

作为烘干箱体的一种优选方案，所述气流传感器的z方向为第一方向，所述第一方向为由所述传送辊所在平面垂直指向所述玻璃基板的方向；所述气流传感器的x方向为第二方向，所述气流传感器的y方向为第三方向，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，两组侧面相互垂直设置，所述第二方向与其中一组侧面相对的方向平行，所述第三方向与其中另一组侧面相对的方向平行。

作为烘干箱体的一种优选方案，所述调整气流走向组件还包括：至少一个排气管道，以及配置在各所述排气管道上的电子阀门；

所述控制参数输出端还包括：电子阀门控制参数输出端，与所述电子阀门连接，用于输出控制所述电子阀门打开或关闭的控制参数。

作为烘干箱体的一种优选方案，各所述排气管道被设置在所述烘干区间的侧面和/或底面上。

作为烘干箱体的一种优选方案，所述调整气流走向组件还包括：至少一个排气风扇；

所述控制参数输出端还包括：排气风扇控制参数输出端，与所述排气风扇电机连接，用于输出控制所述排气风扇电机运转或停转的控制参数。

作为烘干箱体的一种优选方案，所述排气风扇被设置在所述烘干区间的顶面上。

作为烘干箱体的一种优选方案，所述第一平面距离所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面的距离范围为100mm至150mm。

本实用新型的有益效果为：根据本实用新型提出的一种烘干箱体，包括：传送机构，包括传送辊，用于传送玻璃基板自清洗区间至烘干区间进行烘干，其中，玻璃基板远离传送辊的一侧表面设置有金属层；风刀组件，包括第一风刀和第二风刀，第一风刀以第一角度向玻璃基板远离传送辊的一侧表面吹风，第二风刀以第二角度向玻璃基板近邻传送辊的一侧表面吹风；多个气流传感器，均匀设置在烘干箱体上，多个气流传感器的底部均位于第一平面上，第一平面为与玻璃基板平面平行的平面，并且第一平面位于玻璃基板远离传送辊的一侧表面之上的平面；多个气流传感器用于测量风刀组件吹出的风与玻璃基板所在平面之间的第三角度；调整气流走向组件，位于烘干区间；控制器，包括角度信息接收端，与多个气流传感器的输出端连接，用于接收第三角度；控制器还包括控制参数输出端，与所述调整气流走向组件的控制参数输入端连接，用于输出控制所述调整气流走向组件的控制参数。从而，通过气流传感器监测风与玻璃基板之间的夹角，并通过控制器控制调整气流走向组件调整气流走向，减少与玻璃基板具有夹角的气流在玻璃基板处形成涡流，进而减少将烘干发生电离的水雾带落到具有金属层的一侧表面的玻璃基板上，以解决对金属层造成破坏，诱发暗点不良的问题，提升了效率和精确性，节省了人力成本。

应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1是本实用新型实施例提出的烘干箱体的结构示意图；

图2是相关技术中的涡流形成示意图；

图3是本实用新型一个实施例提出的烘干箱体中气流传感器的布置示意图；

图4是本实用新型另一个实施例提出的烘干箱体中气流传感器的布置示意图；

图5是图4的俯视图；

图6是本实用新型实施例提出的烘干箱体的中控制器中预存的气流图；

图7是本实用新型又一个实施例提出的烘干箱体的结构示意图；

图8是本实用新型实施例提出的烘干箱体的电原理示意图；

图9是本实用新型再一个实施例提出的烘干箱体的结构示意图；

图10是本实用新型另一个实施例提出的烘干箱体的结构示意图。

附图标记：

100、烘干箱体；101、传送辊；102、玻璃基板；103、清洗区间；104、烘干区间；1041、第一侧面；1042、第二侧面；1043、第三侧面；1044、第四侧面；105、风刀组件；1051、第一风刀；1052、第二风刀；106、气流传感器；1061、第一气流传感器；1062、第二气流传感器；1063、第三气流传感器；1064、第四气流传感器；1065、第五气流传感器；1066、第六气流传感器；1067、第七气流传感器；1068、第八气流传感器；1069、第九气流传感器；107、第一平面；108、调整气流走向组件；1081、排气管道；1082、排气风扇；109、控制器；110、水膜；111、水雾；112、电子阀门；113、排气风扇电机；114、喷嘴；115、清洗剂。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

图1是本实用新型实施例提出的烘干箱体的结构示意图。如图1所示，该烘干箱体100包括：

传送机构，包括传送辊101，用于传送玻璃基板102自清洗区间103至烘干区间104进行烘干，其中，玻璃基板102远离传送辊101的一侧表面设置有金属层；

风刀组件105，包括第一风刀1051和第二风刀1052，第一风刀1051以第一角度向玻璃基板102远离传送辊101的一侧表面吹风，第二风刀1052以第二角度向玻璃基板102近邻传送辊101的一侧表面吹风；

多个气流传感器106，均匀设置在烘干箱体100上，多个气流传感器106的底部均位于第一平面107上，第一平面107为与玻璃基板102平面平行的平面，并且第一平面107位于玻璃基板102远离传送辊101的一侧表面之上的平面；多个气流传感器106用于测量风刀组件105吹出的风与玻璃基板102所在平面之间的第三角度；

调整气流走向组件108，位于烘干区间104；

控制器109，包括角度信息接收端，与多个气流传感器106的输出端连接，用于接收第三角度；还包括控制参数输出端，与调整气流走向组件108的控制参数输入端连接，用于输出控制调整气流走向组件108的控制参数。

也就是说，如图1和图2所示，在清洗区间103清洗玻璃基板102后，传送辊101承载玻璃基板102自清洗区间103向烘干区间104传送，玻璃基板102近邻清洗区间103的部分具有水膜110。在烘干区间104，风刀组件105向玻璃基板102吹风，上述实施例中的第一角度ɑ1和第二角度ɑ2均优选为45度。即第一风刀1051与第二风刀1052的出风角度均为45度。相关技术中，如图2所示，第一风刀1051吹风至玻璃基板102的第②部分，接着气流在第②部分向清洗区间103方向吹，在这个过程中，容易在①处形成涡流，进而带动水雾111落入玻璃基板102的水膜110较薄处，另外，沿③方向也有可能形成涡流，最终将由烘干蒸发的水雾111带落到玻璃基板102上，如果水雾受热发生电离，并落到金属层上，会导致产品良率下降。本实用新型实施例通过将多个气流传感器106安装在烘干区间104的第一平面107上，气流传感器106测量烘干区间104中的气流方向(可以通过气流传感器106测量的x,y,z三个方向的风速值获取)，并转换为电信号输入至控制器109，控制器109根据电信号以及提前预存在控制器109中的预设调整关系，输出控制参数，以控制调整气流走向组件108调整气流走向。其中，预设调整关系标准气流图，当气流方向偏移该方向时，就需要调整气流走向。

需要说明的是，图1仅为示意图，仅为一种示例展示。

由此，通过气流传感器106的设置，避免了人工伸进烘干箱体100中检测烘干区间104的气流走向，影响烘干区间104本身的气流走向，提高了控制的精确度，即避免了人工测量带来的误差。另外，通过气流传感器106的设置，使得控制器109可以实时根据气流传感器106输出的结果控制调整气流走向组件108调整气流走向，实现了实时监测实时调整，使得烘干箱体100更加智能化，更加自动化。进而，减少了气流与玻璃基板102之间形成涡流，带落升温电离的水雾111落到玻璃基板102上，影响玻璃基板102不良，提升了产品良率。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图3所示，多个气流传感器106的个数为四个，烘干区间104包括两组相对设置的侧面，其中，四个气流传感器106被均匀配置在烘干区间104其中一组相对设置的侧面上，每个侧面分布两个气流传感器。

具体来说，烘干区间104包括第一侧面1041，第二侧面1042，第三侧面1043和第四侧面1044，其中第一侧面1041和第四侧面1044相对，第二侧面1042和第三侧面1043相对，在图2的实施例中，第一气流传感器1061和第二气流传感器1062设置在第一侧面1041上，第三气流传感器1063和第四气流传感器1064设置在第四侧面1044上。其中，第一气流传感器1061和第三气流传感器1063相对，第二气流传感器1062和第四气流传感器1064相对。在其他的实施例中，第一气流传感器1061和第二气流传感器1062也可以设置在第二侧面1042上，第三气流传感器1063和第四气流传感器1064可以设置在第三侧面1043上。

作为烘干箱体的一种优选方案，气流传感器106的z方向为第一方向，第一方向为由传送辊101所在平面垂直指向玻璃基板102的方向；气流传感器106的x方向为第二方向，气流传感器106的y方向为第三方向，烘干区间104包括两组相对设置的侧面，两组侧面相互垂直设置，第二方向与其中一组侧面相对的方向平行，第三方向与其中另一组侧面相对的方向平行。

如此设置气流传感器106使得气流传感器106的x、y向的发射端与接收端与第一平面107平行，z向的发射端与接收端垂直于第一平面向上，并在烘干区间104的四个角落均设置气流传感器106，测量的气流的方位比较多，更容易反馈烘干区间104中的气流方向。其中，优选地，第一平面距离玻璃基板102远离传送辊101的一侧表面的距离范围为100mm至150mm。

需要说明的是，四个气流传感器106可以通过固定座的方式固定在烘干区间104的侧面上，也可以通过悬挂的方式挂在烘干区间104的顶面上。对于安装方式，本实用新型不作具体限定。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图4和图5所示，多个气流传感器106的个数为九个，烘干区间104包括两组相对设置的侧面，其中，六个气流传感器被均匀配置在烘干区间其中一组相对设置的侧面上，两个气流传感器被均匀配置在烘干区间另一组相对设置的侧面上，一个气流传感器被配置在八个气流传感器形成的平面中心，九个气流传感器的位置形成九宫格形状。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图4所示，位于八个气流传感器形成的平面中心的气流传感器与烘干区间104的顶面悬挂连接。

其中，烘干区间104包括第一侧面1041，第二侧面1042，第三侧面1043和第四侧面1044，其中第一侧面1041和第四侧面1044相对，二侧面1042和第三侧面1043相对，其中，第一气流传感器1061、第二气流传感器1062、第八气流传感器1068设置第一侧面1041上，第三气流传感器1063、第四气流传感器1064、第六气流传感器1066设置在第四侧面1044上，第五气流传感器1065设置在第二侧面1042上，第七气流传感器1067设置在第三侧面1043上，第九气流传感器1069悬挂设置在烘干区间104中，悬挂的方式可以是通过底座承载气流传感器，并通过挂钩挂在顶面上。第五气流传感器1065与第七气流传感器1067相对设置，第六气流传感器1066与第八气流传感器1068相对设置，第九气流传感器1069的方向不限定(图4中仅为其中一种示例)。

由于各气流传感器106满足：气流传感器106的z方向为第一方向，第一方向为由传送辊101所在平面垂直指向玻璃基板102的方向；气流传感器106的x方向为第二方向，气流传感器106的y方向为第三方向，烘干区间104包括两组相对设置的侧面，两组侧面相互垂直设置，第二方向与其中一组侧面相对的方向平行，第三方向与其中另一组侧面相对的方向平行。

也就是说，各气流传感器106的z向接收端与发射端均沿第一方向，而xy方向的接收端和发射端均与第一平面107平行。

如此安装设置更容易获取烘干区间104内的气流走向，并且九个气流传感器采集的气流分布更加精准。

需要说明的是，在多个气流传感器106采集到烘干区间104的气流走向后，可以绘制出类似于如图6中所示的气流图，图6中所示的气流图为预存在控制器109中的图，图中线条的颜色代表气流与玻璃基板102之间的第三角度，线条走向代表气流流向，如果通过气流传感器106采集气流信息，绘制后的气流图某一部分与图6中的气流图不一致，比如某一部分颜色发生变化，本来应该是黑色，但采集后的显示的为灰色，那么需要控制器109控制调整气流走向组件108对烘干区间104中的气流方向进行调整。

具体地，如图7和图8所示，作为烘干箱体的一种优选方案，调整气流走向组件108还包括：至少一个排气管道1081，以及配置在各排气管道上的电子阀门112；

控制参数输出端还包括：电子阀门控制参数输出端，与电子阀门112连接，用于输出控制电子阀门打开或关闭的控制参数。

也就是说，控制器109在收到气流传感器106采集的气流信息绘制后的气流图某一部分与图6中的气流图不一致，那么可以控制排气管道1081的电子阀门112的开度，以增大排气管道1081的流速，或者减缓排气管道1081的流速。排气管道1081可以为多个，控制器109可以根据气流传感器106采集的气流信息绘制后的气流图与预设的气流图来控制某一位置的排气管道1081的电子阀门的开度，以灵活适应烘干区间104的气流走向。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图7所示，各排气管道1081被设置在烘干区间104的侧面和/或底面上。

其中，按照烘干区间104各器件的布置，优选的将排气管道1081安装在烘干区间104的底面上，使得气流可以有向下的流向。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图8和图9所示，调整气流走向组件108还包括：至少一个排气风扇1082；

控制参数输出端还包括：排气风扇控制参数输出端，与排气风扇电机113连接，用于输出控制排气风扇电机113运转或停转的控制参数。

也就是说，控制器109在收到气流传感器106采集的气流信息绘制后的气流图某一部分与图5中的气流图不一致，那么可以控制排气风扇1082的排气风扇电机113的转速，以增大排气风扇1082的转速，或者减小排气风扇1082的转速。排气风扇1082可以为多个，控制器109可以根据气流传感器106采集的气流信息绘制后的气流图与预设的气流图来控制某一位置的排气风扇1082的排气风扇电机113的开度，以灵活适应烘干区间104的气流走向。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图9所示，排气风扇1082被设置在烘干区间104的顶面上。

如此设置排气风扇1082，使得气流可以有向上的流向。

在其他的实施例中，调整气流方向组件108设置在烘干区间104上，不限于顶面、侧面或者底面。

作为烘干箱体的一种优选方案，如图10所示，清洗区间103包括位于玻璃基板102两侧的喷嘴114，用于喷出清洗剂115以清洗玻璃基板102。

其中，清洗剂115可以为去离子水。

综上所述，本实用新型的有益效果为：根据本实用新型提出的一种烘干箱体，包括：传送机构，包括传送辊，用于传送玻璃基板自清洗区间至烘干区间进行烘干，其中，玻璃基板远离传送辊的一侧表面设置有金属层；风刀组件，包括第一风刀和第二风刀，第一风刀以第一角度向玻璃基板远离传送辊的一侧表面吹风，第二风刀以第二角度向玻璃基板近邻传送辊的一侧表面吹风；多个气流传感器，均匀设置在烘干箱体上，多个气流传感器的底部均位于第一平面上，第一平面为与玻璃基板平面平行的平面，并且第一平面位于玻璃基板远离传送辊的一侧表面之上的平面；多个气流传感器用于测量风刀组件吹出的风与玻璃基板所在平面之间的第三角度；调整气流走向组件，位于烘干区间；控制器，包括角度信息接收端，与多个气流传感器的输出端连接，用于接收第三角度；控制器还包括控制参数输出端，与调整气流走向组件的控制参数输入端连接，用于输出控制调整气流走向组件的控制参数。从而，通过气流传感器监测风与玻璃基板之间的夹角，并通过控制器控制调整气流走向组件调整气流走向，减少与玻璃基板具有夹角的气流在玻璃基板处形成涡流，进而减少将烘干电离的水雾带落到具有金属层的一侧表面的玻璃基板上，避免对金属层造成破坏，诱发暗点不良的问题，提升了效率和精确性，节省了人力成本。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种烘干箱体，其特征在于，包括：

传送机构，包括传送辊，用于传送玻璃基板自清洗区间至烘干区间进行烘干，其中，所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面设置有金属层；

风刀组件，包括第一风刀和第二风刀，所述第一风刀以第一角度向所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面吹风，所述第二风刀以第二角度向所述玻璃基板近邻所述传送辊的一侧表面吹风；

多个气流传感器，均匀设置在烘干箱体上，多个所述气流传感器的底部均位于第一平面上，所述第一平面为与所述玻璃基板平面平行的平面，并且所述第一平面位于所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面之上的平面；多个所述气流传感器用于测量所述风刀组件吹出的风与所述玻璃基板所在平面之间的第三角度；

调整气流走向组件，所述调整气流走向组件位于所述烘干区间；

控制器，包括角度信息接收端，与多个所述气流传感器的输出端连接，用于接收所述第三角度；还包括控制参数输出端，与所述调整气流走向组件的控制参数输入端连接，用于输出控制所述调整气流走向组件的控制参数。

2.根据权利要求1所述的烘干箱体，其特征在于，多个所述气流传感器的个数为四个，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，其中，四个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间其中一组相对设置的侧面上，每个侧面分布两个所述气流传感器。

3.根据权利要求1所述的烘干箱体，其特征在于，多个所述气流传感器的个数为九个，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，其中，六个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间其中一组所述相对设置的侧面上，两个所述气流传感器被均匀配置在所述烘干区间另一组所述相对设置的侧面上，一个所述气流传感器被配置在八个所述气流传感器形成的平面中心，九个所述气流传感器的位置形成九宫格形状。

4.根据权利要求3所述的烘干箱体，其特征在于，位于八个所述气流传感器形成的平面中心的气流传感器与所述烘干区间的顶面悬挂连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的烘干箱体，其特征在于，所述气流传感器的z方向为第一方向，所述第一方向为由所述传送辊所在平面垂直指向所述玻璃基板的方向；所述气流传感器的x方向为第二方向，所述气流传感器的y方向为第三方向，所述烘干区间包括两组相对设置的侧面，两组侧面相互垂直设置，所述第二方向与其中一组侧面相对的方向平行，所述第三方向与其中另一组侧面相对的方向平行。

6.根据权利要求1所述的烘干箱体，其特征在于，所述调整气流走向组件包括：至少一个排气管道，以及配置在各所述排气管道上的电子阀门；

所述控制参数输出端包括：电子阀门控制参数输出端，与所述电子阀门连接，用于输出控制所述电子阀门打开或关闭的控制参数。

7.根据权利要求6所述的烘干箱体，其特征在于，各所述排气管道被设置在所述烘干区间的侧面和/或底面上。

8.根据权利要求1所述的烘干箱体，其特征在于，所述调整气流走向组件还包括：至少一个排气风扇；

所述控制参数输出端还包括：排气风扇控制参数输出端，与所述排气风扇电机连接，用于输出控制所述排气风扇电机运转或停转的控制参数。

9.根据权利要求8所述的烘干箱体，其特征在于，所述排气风扇被设置在所述烘干区间的顶面上。

10.根据权利要求1所述的烘干箱体，其特征在于，所述第一平面距离所述玻璃基板远离所述传送辊的一侧表面的距离范围为100mm至150mm。

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