CN217579042U - 玻璃基板和掩膜版组装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括具有真空腔室的设备本体，真空腔室内设有用于将玻璃基板输送至装载位置辊轮组件、用于检测玻璃基板与掩膜版是否对位的视觉检测组件、定位组件和校准组件，定位组件位于辊轮组件沿玻璃基板输送方向的前侧，能将玻璃基板定位在装载位置，校准组件设在辊轮组件远离定位组件的一侧，校准组件包括推板和与推板连接的驱动件，视觉检测组件和驱动件均与控制器连接，当玻璃基板与掩膜版错位时，推板推动玻璃基板移动，使玻璃基板与掩膜版对位。本实用新型的玻璃基板和掩膜版组装设备在玻璃基板定位后，当玻璃基板与掩膜版错位，校准组件能够自动调节玻璃基板的偏移量，使玻璃基板与掩膜版准确对位。

Description

玻璃基板和掩膜版组装设备

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板和掩膜版组装设备。

背景技术

近年来，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示器件已经成为国内外非常热门的新兴平板显示器产品，OLED显示器件具有自发光、广视角、反应速度快、广色域、低工作电压、面板薄、易于做成柔性面板、工作温度范围广等优势。

在进行蒸镀时，OLED显示器件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜，薄膜的质量关系到OLED显示器件的质量和寿命。在高真空腔室中设有多个放置有机材料的坩埚，加热坩埚蒸镀有机材料，并利用石英晶体振荡器来控制膜厚。玻璃基板放置在托架上，其下面放置的金属掩膜版(Mask)控制蒸镀图案。为了能够在玻璃基板上得到所需蒸镀图案，一般需要使玻璃基板与金属掩膜版对准，同时为了防止玻璃基板与金属掩膜对位不准，还需要进行对位补偿操作。

参照图1和图2所示，现有的玻璃基板和掩膜版组装设备包括真空腔室1′，被输送至真空腔室1′内的玻璃基板2′和掩膜版3′进行对位，通过CCD摄像机4′和挡板5′实现对位操作，CCD摄像机4′用于检测玻璃基板2′与掩膜版3′是否对位，挡板5′用于阻挡玻璃基板2′输送，使玻璃基板′定位在掩膜版3′的上方进行对位。现有技术存在以下缺陷：玻璃基板2′在输送过程中角度可能发生偏转，当挡板5′阻挡玻璃基板2′后，玻璃基板2′和掩膜版3′发生错位，影响玻璃基板2′和掩膜版3′的组装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种玻璃基板和掩膜版组装设备，其结构简单，能够使错位的玻璃基板矫正，提高玻璃基板与掩膜版的对位和组装效率。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括设备本体，所述设备本体具有真空腔室，所述真空腔室内设置有辊轮组件、视觉检测组件和定位组件，所述辊轮组件用于将所述玻璃基板输送至装载位置，所述掩膜版位于所述装载位置的下方，所述视觉检测组件位于所述装载位置的上方，用于检测所述玻璃基板与所述掩膜版是否对位，所述定位组件位于所述辊轮组件沿所述玻璃基板输送方向的前侧，用于将所述玻璃基板定位在所述装载位置，所述真空腔室内还设置有校准组件，所述校准组件活动设置在所述辊轮组件远离所述定位组件的一侧，所述校准组件包括推板和与所述推板连接的驱动件，所述视觉检测组件和所述驱动件均与控制器连接，当所述玻璃基板与所述掩膜版错位时，所述推板推动所述玻璃基板移动，使所述玻璃基板与所述掩膜版对位。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述校准组件位于所述辊轮组件的上方，所述驱动件包括第一气缸组件和第二气缸组件，所述第一气缸组件与所述推板连接，用于驱动所述推板沿所述X轴方向移动，所述X轴方向为所述玻璃基板的输送方向，所述第二气缸组件与所述第一气缸组件连接，用于驱动所述第一气缸组件和所述推板沿Z轴方向移动，所述X轴方向与所述Z轴方向垂直。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述第一气缸组件包括气缸本体和固定座，所述固定座包括呈夹角设置的第一板和第二板，所述第一板与所述气缸本体通过活塞杆连接，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑槽的槽壁朝向中心凸出设置有第一凸部，所述气缸本体上凸出设置有滑轨，所述滑轨位于两个所述第一凸部之间，所述滑轨朝向所述第一凸部的一侧面凹陷设置有限位槽，所述第一凸部插设在所述限位槽内，以使所述气缸本体能沿所述第一滑槽滑动。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述气缸本体设置有第二滑槽，所述推板包括板本体和连接杆，所述连接杆的一端与所述板本体连接，另一端滑动设置在所述第二滑槽内，所述气缸本体的侧壁设置有与所述第二滑槽连通的固定孔，紧固件能穿过所述固定孔并选择性锁紧所述连接杆，以调节所述板本体与所述气缸本体之间的间距。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述板本体的同一侧面上设置有两个连接杆，两个所述连接杆沿所述活塞杆的轴向中心对称设置。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述固定孔设置有多个，多个固定孔沿所述第二滑槽的长度方向排布。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述连接杆套设有弹性防护套，所述弹性防护套能沿所述连接杆的轴向折叠，所述弹性防护套位于所述推板和所述气缸本体之间。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述弹性防护套具有凹部与第二凸部，所述凹部与所述第二凸部交替设置，所述凸部上设置有呼吸孔。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述推板朝向所述辊轮组件的一侧面设置有缓冲层。

作为玻璃基板和掩膜版组装设备的一种优选方案，所述掩膜版上设置有第一对位标记，所述玻璃基板上设置有第二对位标记，所述视觉检测组件通过所述第一对位标记和所述第二对位标记是否对位判断所述玻璃基板是否位于所述装载位置。

本实用新型的有益效果为：定位组件位于玻璃基板输送方向的前侧，能够将玻璃基板定位在装载位置处，当玻璃基板位于装载位置，玻璃基板与掩膜版能够准确对位，而且当视觉检测组件检测到玻璃基板与掩膜版在定位后发生偏转错位时，控制器能够控制驱动件，驱使推板移动至玻璃基板远离定位组件的一侧，并推动玻璃基板移动，自动调节玻璃基板的偏移量，将玻璃基板推正，使玻璃基板与掩膜版能够准确对位。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为背景技术所述玻璃基板和掩膜版组装设备的结构示意图。

图2为背景技术所述玻璃基板和所述掩膜版错位时的俯视图。

图3为本实用新型实施例的所述玻璃基板和掩膜版组装设备的结构示意图。

图4为本实用新型实施例所述校准组件的结构示意图。

图5为本实用新型实施例所述推板和所述第一气缸组件的装配示意图。

图6为本实用新型实施例所述推板和所述第一气缸组件的装配剖视图。

图1至图2中：

1′、真空腔室；2′、玻璃基板；3′、掩膜版；4′、CCD摄像机；5′、挡板；

图3至图6中：

1、真空腔室；2、辊轮组件；3、视觉检测组件；4、定位组件；5、校准组件；51、推板；511、板本体；512、连接杆；52、第一气缸组件；521、气缸本体；5211、滑轨；5212、限位槽；5213、第二滑槽；5214、固定孔；522、固定座；5221、第一板；5222、第二板；5223、第一滑槽；5224、第一凸部；523、活塞杆；53、第二气缸组件；6、弹性防护套；61、凹部；62、第二凸部；7、缓冲层；8、连接板；9、导杆；10、紧固件；

100、玻璃基板；200、掩膜版。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图3和图4所示，本实用新型提供的一种组装设备，应用于组装玻璃基板100和掩膜版200。组装设备包括设备本体，设备本体具有真空腔室1，真空腔室1内设置有辊轮组件2、视觉检测组件3、定位组件4和校准组件5，辊轮组件2用于将玻璃基板100输送至装载位置，装载位置是玻璃基板100与掩膜版200准确对位时玻璃基板100所在的位置，视觉检测组件3安装在真空腔室1的腔壁上，且位于装载位置的上方，能够检测玻璃基板100与掩膜版200是否对位，定位组件4位于辊轮组件2沿玻璃基板100输送方向的前侧，用于将玻璃基板100定位在装载位置，校准组件5活动设置在辊轮组件2远离定位组件4的一侧，校准组件5包括推板51和驱动件，推板51与驱动件连接，视觉检测组件3和驱动件均与控制器(图中未示出)连接。当定位组件4将玻璃基板100定位在装载位置时，掩膜版200位于玻璃基板100的正下方，玻璃基板100能够与掩膜版200准确对位，而当定位组件4定位玻璃基板100后，玻璃基板100可能发生错位偏移，视觉检测组件3能够自动检测玻璃基板100错位并将检测结果传送至控制器，控制器能够控制驱动件，驱使推板51移动至玻璃基板100远离定位组件4的一侧，推动玻璃基板100移动，并在定位组件4的定位作用下快速精准地矫正玻璃基板100，使玻璃基板100与掩膜版200能够准确对位，从而提高玻璃基板100与掩膜版200的对位和组装效率。

具体地，掩膜版200上设置有第一对位标记(图中未示出)，玻璃基板100上设置有第二对位标记(图中未示出)，视觉检测组件3包括摄像机，视觉检测组件3通过第一对位标记和第二对位标记是否对位判断玻璃基板100是否位于装载位置。通过设置第一对位标记和第二对位标记能够便于视觉检测组件3快速判断玻璃基板100与掩膜版200是否位于装载位置，并获取玻璃基板100的偏移量，完成对位。

进一步地，第一对位标记和第二对位标记均设置有多个，且第一对位标记的数量和第二对位标记的数量相同，视觉检测组件3设置有多个，视觉检测组件3沿X轴方向间隔设置多个，在本实施例中，X轴方向为玻璃基板100的输送方向，多个视觉检测组件3能够分别对不同区域的对位标记进行检测判断，当所有的视觉检测组件3判断所有的对位标记对位后才确定玻璃基板100与掩膜版200对位成功。此设计能够提高视觉检测组件3的检测准确性，避免发生误判。

在本实施例中，如图4所示，驱动件包括第一气缸组件52和第二气缸组件53，第一气缸组件52与推板51连接，用于驱动推板51沿X轴方向移动，第二气缸组件53的一端固定在真空腔室1的顶部，另一端与第一气缸组件52连接，用于驱动第一气缸组件52和第二气缸组件53沿Z轴方向移动，在本实施例中，X轴方向为水平方向，Z轴方向为竖直方向。可理解的，校准组件5设置在玻璃基板100的斜上方，在不需要进行对位补偿时，校准组件5不会阻挡到辊轮组件2输送玻璃基板100，当玻璃基板100需要进行对位补偿时，第二气缸组件53先驱动第一气缸组件52和推板51沿Z轴方向下降至与玻璃基板100的侧面平行的位置，然后第一气缸组件52驱使推板51朝向玻璃基板100的方向移动并推动玻璃基板100移动，玻璃基板100矫正结束后，驱动件驱使推板51复位。

优选地，第二气缸组件53设置有两个，两个第二气缸组件53沿Z轴方向分布，两个第二气缸组件53通过连接板8和导杆9连接，连接板8上设置有通孔，导杆9的一端与其中一个第二气缸组件53连接，另一端能够穿过通孔连接与另一个第二气缸组件53连接。此设计能够增大推板51沿Z轴方向移动的最大位移量，而且第二气缸组件53能够沿导杆9的长度方向移动，避免第二气缸组件53在移动过程中发生偏移或因位移量过大而导致移动不稳定。

进一步地，第一气缸组件52与第二气缸组件53的连接方式与两个第二气缸组件53的连接方式相同。

在本实施例中，如图4至图6所示，第一气缸组件52包括气缸本体521和固定座522，固定座522包括呈夹角设置的第一板5221和第二板5222，气缸本体521和第一板5221通过活塞杆523连接，第二板5222远离气缸本体521的一侧面通过导杆9与第二气缸组件53连接，第二板5222上设置有第一滑槽5223，第一滑槽5223沿X轴方向延伸，第一滑槽5223的槽壁朝向中心凸出设置有第一凸部5224，气缸本体521上凸出设置有滑轨5211，滑轨5211位于两个第一凸部5224之间，滑轨5211朝向第一凸部5224的一侧面凹陷设置有限位槽5212，第一凸部5224插设在限位槽5212内，以使气缸本体521能沿第一滑槽5223滑动，并驱使推板51沿X轴方向移动。

具体地，推板51设置在气缸本体521远离活塞杆523的一侧。

优选地，气缸本体521设置有第二滑槽5213，第二滑槽5213沿X轴方向延伸，推板51包括板本体511和连接杆512，连接杆512的一端与板本体511连接，另一端滑动设置在第二滑槽5213内，气缸本体521的侧壁设置有与第二滑槽5213连通的固定孔5214，紧固件10能穿过固定孔5214并选择性锁紧连接杆512。此设计通过调节连接杆512的伸缩量来调节板本体511与气缸本体521之间的间距，能够增大推板51沿X轴方向的位移量，以满足不同尺寸的玻璃基板100的矫正要求，提高校准组件5的适用性。

具体地，固定孔5214为螺纹孔，紧固件10为螺丝，紧固件10与固定孔5214配合并抵紧连接杆512。

进一步地，固定孔5214设置有多个，多个固定孔5214沿第二滑槽5213的长度方向排布。通过设置多个固定孔5214，紧固件10能够根据连接杆512的位置选择与对应的固定孔5214配合并锁紧连接杆512，而且还可以同时设置多个紧固件10分别与多个固定孔5214配合，保证连接杆512在锁紧时不会移动，防止推板51在工作时发生松动。

优选地，板本体511的同一侧面上设置有两个连接杆512，两个连接杆512沿活塞杆523的轴向中心对称设置。由于玻璃基板100的尺寸较大，板本体511的尺寸也需要采用较大的设计。通过设置两个连接杆512沿活塞杆523的轴向中心对称设置能够使板本体511受力更加均匀，从而能够稳定地推动玻璃基板100移动。

在一实施例中，连接杆512套设有弹性防护套6，弹性防护套6沿连接杆512的轴向折叠，弹性防护套6位于推板51和气缸本体521之间。校准组件5长期使用后，蒸镀材料或灰尘颗粒会附着在连接杆512上，容易导致连接杆512移动不顺畅。通过设置弹性防护套6，能够阻挡蒸镀材料或灰尘颗粒附着在连接杆512上，而且弹性防护套6能够根据推板51和气缸本体521之间的间距自动折叠，不会影响连接杆512的移动，同时还能对推板51和气缸本体521起到缓冲作用，避免推板51在移动中冲击气缸本体521。

具体地，弹性防护套6为橡胶波纹管。

进一步地，弹性防护套6具有凹部61与第二凸部62，凹部61与第二凸部62交替设置，第二凸部62上设置有呼吸孔(图中未示出)。通过设置呼吸孔，能够使弹性防护套6内的气压与外界保持相同，第一气缸组件52和第二气缸组件53能够顺利伸缩，而且呼吸孔设置在第二凸部62上，当弹性防护套6折叠后，呼吸孔也不会被封堵。

优选地，第一气缸组件52和第二气缸组件53的杆体之间也设置有弹性防护套6。

优选地，推板51朝向辊轮组件2的一侧面设置有缓冲层7。通过设置缓冲层7，当推板51与玻璃基板100抵接时，能够缓冲推板51的作用力，避免推板51因推力过大而使玻璃基板100损坏。

具体地，缓冲层7为弹性胶。

本实施例的组装设备工作原理：辊轮组件2能够将载有玻璃基板100和掩膜版200分别输送至真空腔室1内，并且玻璃基板100位于掩膜版200的正上方进行对位，对位后通过机械手将玻璃基板100夹住，并通过气缸将输送玻璃基板100的辊轮组件2撤走，然后掩膜版200通过升降机构上升至与玻璃基板100贴合，贴合后输送至下一个工站，进行下一步工序。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims (10)

1.一种玻璃基板和掩膜版组装设备，包括设备本体，所述设备本体具有真空腔室，所述真空腔室内设置有辊轮组件、视觉检测组件和定位组件，所述辊轮组件用于将所述玻璃基板输送至装载位置，所述掩膜版位于所述装载位置的下方，所述视觉检测组件位于所述装载位置的上方，用于检测所述玻璃基板与所述掩膜版是否对位，所述定位组件位于所述辊轮组件沿所述玻璃基板输送方向的前侧，用于将所述玻璃基板定位在所述装载位置，其特征在于，所述真空腔室内还设置有校准组件，所述校准组件活动设置在所述辊轮组件远离所述定位组件的一侧，所述校准组件包括推板和与所述推板连接的驱动件，所述视觉检测组件和所述驱动件均与控制器连接，当所述玻璃基板与所述掩膜版错位时，所述推板推动所述玻璃基板移动，使所述玻璃基板与所述掩膜版对位。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述校准组件位于所述辊轮组件的上方，所述驱动件包括第一气缸组件和第二气缸组件，所述第一气缸组件与所述推板连接，用于驱动所述推板沿X轴方向移动，所述X轴方向为所述玻璃基板的输送方向，所述第二气缸组件与所述第一气缸组件连接，用于驱动所述第一气缸组件和所述推板沿Z轴方向移动，所述X轴方向与所述Z轴方向垂直。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述第一气缸组件包括气缸本体和固定座，所述固定座包括呈夹角设置的第一板和第二板，所述第一板与所述气缸本体通过活塞杆连接，所述第二板上设置有第一滑槽，所述第一滑槽的槽壁朝向中心凸出设置有第一凸部，所述气缸本体上凸出设置有滑轨，所述滑轨位于两个所述第一凸部之间，所述滑轨朝向所述第一凸部的一侧面凹陷设置有限位槽，所述第一凸部插设在所述限位槽内，以使所述气缸本体能沿所述第一滑槽滑动。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述气缸本体设置有第二滑槽，所述推板包括板本体和连接杆，所述连接杆的一端与所述板本体连接，另一端滑动设置在所述第二滑槽内，所述气缸本体的侧壁设置有与所述第二滑槽连通的固定孔，紧固件能穿过所述固定孔并选择性锁紧所述连接杆，以调节所述板本体与所述气缸本体之间的间距。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述板本体的同一侧面上设置有两个连接杆，两个所述连接杆沿所述活塞杆的轴向中心对称设置。

6.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述固定孔设置有多个，多个固定孔沿所述第二滑槽的长度方向排布。

7.根据权利要求4所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述连接杆套设有弹性防护套，所述弹性防护套能沿所述连接杆的轴向折叠，所述弹性防护套位于所述推板和所述气缸本体之间。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述弹性防护套具有凹部与第二凸部，所述凹部与所述第二凸部交替设置，所述凸部上设置有呼吸孔。

9.根据权利要求1至8任一项所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述推板朝向所述辊轮组件的一侧面设置有缓冲层。

10.根据权利要求1所述的玻璃基板和掩膜版组装设备，其特征在于，所述掩膜版上设置有第一对位标记，所述玻璃基板上设置有第二对位标记，所述视觉检测组件通过所述第一对位标记和所述第二对位标记是否对位判断所述玻璃基板是否位于所述装载位置。

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