CN217543655U - 光罩局部显影辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种光罩局部显影辅助装置，包括：悬空设置以在下方形成用于供待显影光罩放置及移动的放置区域的承载支架；组装于承载支架上用于供操作人员查找及观察待显影光罩表面的待显影区域的显微镜；组装于承载支架上用于向待显影区域供应显影液的液滴供应器；以及组装于承载支架上用于从显影完成后的待显影区域吸取残留显影液的残液吸取器。本实施例避免通过肉眼直接查找，减小劳动强度，并提高精确度，然后液滴供应器向待显影区域供应显影液，对其进行显影，同时可借助显微镜对待显影区域进行观察，残液吸取器直接将残留的显影液吸附带走，保证光罩显影的有效性。

Description

光罩局部显影辅助装置

技术领域

本实用新型实施例涉及光罩显影技术领域，尤其涉及一种光罩局部显影辅助装置。

背景技术

在光罩的制程中，需要对曝光后的光罩实施显影，其中，在显影过程中，通常需要对光罩表面局部的待显影区域进行显影。传统针对光罩表面局部的待显影区域进行显影的方法主要是通过操作人员肉眼在光罩表面查找出待显影区域，然后将显影液滴落在待显影区域上，最后在待显影区域显影完成后，再将光罩活动使光罩表面残留的显影液排除。但是，人工肉眼很难准确的在光罩表面找出待显影区域，不但劳动强度大，而且也很难判断显影状态，容易导致出现欠显或过显现象；另外，当待显影区域在光罩中部区域时，排除显影液时，显影液在滑落的过程容易对光罩的其他区域造成污染，最终造成光罩的部分区域过度显影。

实用新型内容

本实用新型实施例要解决的技术问题在于，提供一种光罩局部显影辅助装置，能有效减小劳动强度，提高光罩局部显影的精度。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供以下技术方案：一种光罩局部显影辅助装置，包括：

悬空设置以在下方形成用于供待显影光罩放置及移动的放置区域的承载支架；

组装于所述承载支架上用于供操作人员查找及观察所述待显影光罩表面的待显影区域的显微镜；

组装于所述承载支架上用于向所述待显影区域供应显影液的液滴供应器；以及

组装于所述承载支架上用于从显影完成后的所述待显影区域吸取残留显影液的残液吸取器。

进一步的，所述承载支架底部对称地设置有若干个支撑脚，所述放置区域位于所述若干个支撑脚之间。

进一步的，所述液滴供应器为滴管或注射器。

进一步的，所述残液吸取器为滴管或注射器。

进一步的，所述液滴供应器和所述残液吸取器均借助固定件倾斜地固定于所述承载支架上，且所述液滴供应器和所述残液吸取器的底端位于所述显微镜的观察窗的正下方侧旁。

进一步的，所述固定件包括对应套设于所述液滴供应器或残液吸取器外侧的套环以及将所述套环固定于所述承载支架上的固定螺栓。

采用上述技术方案后，本实用新型实施例至少具有如下有益效果：本实用新型实施例通过采用光罩局部显影辅助装置，在具体操作时，操作人员可通过移动放置于放置区域内的待显影光罩，使其表面的待显影区域落入承载支架上的显微镜的观察窗内，从而被操作人员找到，避免通过肉眼直接查找，减小劳动强度，并提高精确度，然后利用液滴供应器向待显影区域供应显影液，对其进行显影，同时可借助显微镜对待显影区域进行观察，保证显影的准确，避免发生欠显或过显，最后，利用残液吸取器直接将残留的显影液吸附带走，无需通过侧倾光罩的方式排出残留的显影液，也避免对光罩其他区域的污染，保证光罩显影的有效性。

附图说明

图1为本实用新型光罩局部显影辅助装置一个可选实施例的立体结构示意图。

图2为本实用新型光罩局部显影辅助装置一个可选实施例固定件位置的横截面示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。应当理解，以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定，而且，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。

如图1所示，本实用新型一个可选实施例提供一种光罩局部显影辅助装置，包括：悬空设置以在下方形成用于供待显影光罩A放置及移动的放置区域10的承载支架1；

组装于所述承载支架1上用于供操作人员查找及观察所述待显影光罩A表面的待显影区域的显微镜3；

组装于所述承载支架1上用于向所述待显影区域供应显影液的液滴供应器5；以及

组装于所述承载支架1上用于从显影完成后的所述待显影区域吸取残留显影液的残液吸取器7。

本实用新型实施例通过采用光罩局部显影辅助装置，在具体操作时，操作人员可通过移动放置于放置区域10内的待显影光罩A，使其表面的待显影区域落入承载支架1上的显微镜3的观察窗30内，从而被操作人员找到，避免通过肉眼直接查找，减小劳动强度，并提高精确度，然后利用液滴供应器5向待显影区域供应显影液，对其进行显影，同时可借助显微镜3对待显影区域进行观察，保证显影的准确，避免发生欠显或过显，最后，利用残液吸取器7直接将残留的显影液吸附带走，无需通过侧倾光罩的方式排出残留的显影液，也避免对光罩其他区域的污染，保证光罩显影的有效性。

在具体实施时，可以理解的是，由于运动是相对的，为方便显微镜3查找待显影光罩A表面的待显影区域，除了将承载支架1固定不动，移动待显影光罩A的方案外，在不考虑移动的便利性的前提下，还可以将待显影光罩A固定不动，通过移动承载支架1实现。

在本实用新型一个可选实施例中，如图1所示，所述承载支架1底部对称地设置有若干个支撑脚12，所述放置区域10位于所述若干个支撑脚12之间。。本实施例中，承载支架1通过设置支撑脚12，结构简单，能有效将承载支架1悬置在待显影光罩A上方，结构简单。

在本实用新型一个可选实施例中，所述液滴供应器5为滴管或注射器。本实施例中，液滴供应器5采用滴管或注射器，能有效向待显影区域供应显影液。

在本实用新型一个可选实施例中，所述残液吸取器7为滴管或注射器。本实施例中，液残液吸取器7采用滴管或注射器，能有效将显影完成的待显影区域残留的显影液吸附带走。

在本实用新型一个可选实施例中，如图1所示，所述液滴供应器5和所述残液吸取器7均借助固定件8倾斜地固定于所述承载支架1上，且所述液滴供应器5和所述残液吸取器7的底端位于所述显微镜3的观察窗30的正下方。本实施例中，将液滴供应器5和所述残液吸取器7均采用固定件8固定在承载支架1上，而且液滴供应器5和所述残液吸取器7的底端位于所述显微镜3的观察窗30的正下方侧旁，在显微镜3观察到待显影区域后，待显影区域则在显微镜3的观察窗30的正下方，此时，直接相应采用侧旁的液滴供应器5和所述残液吸取器7对光罩表面的待显影区域供应显影液和吸附残液，保证位置的准确对应，无需频繁移动液滴供应器5和所述残液吸取器7。

在本实用新型一个可选实施例中，如图1和图2所示，所述固定件8包括对应套设于所述液滴供应器5或残液吸取器7外侧的套环80以及将所述套环80固定于所述承载框体10上的固定螺栓82。本实施例中，通过采用上述结构的固定件8，将液滴供应器5或残液吸取器7从套环80上取下和重新放入套环80中，即可相应实现液滴供应器5或残液吸取器7的固定和拆下，操作方便。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述装置包括：

悬空设置以在下方形成用于供待显影光罩放置及移动的放置区域的承载支架；

组装于所述承载支架上用于供操作人员查找及观察所述待显影光罩表面的待显影区域的显微镜；

组装于所述承载支架上用于向所述待显影区域供应显影液的液滴供应器；以及

组装于所述承载支架上用于从显影完成后的所述待显影区域吸取残留显影液的残液吸取器。

2.如权利要求1所述的光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述承载支架底部对称地设置有若干个支撑脚，所述放置区域位于所述若干个支撑脚之间。

3.如权利要求1所述的光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述液滴供应器为滴管或注射器。

4.如权利要求1所述的光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述残液吸取器为滴管或注射器。

5.如权利要求1所述的光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述液滴供应器和所述残液吸取器均借助固定件倾斜地固定于所述承载支架上，且所述液滴供应器和所述残液吸取器的底端位于所述显微镜的观察窗的正下方侧旁。

6.如权利要求5所述的光罩局部显影辅助装置，其特征在于，所述固定件包括对应套设于所述液滴供应器或残液吸取器外侧的套环以及将所述套环固定于所述承载支架上的固定螺栓。

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