CN212833483U - 一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备，蚀刻篮具包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上，蚀刻篮具包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴，本实用新型采用加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

Description

一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备

技术领域

本实用新型属于超薄玻璃减薄设备领域，更具体的说涉及一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具及蚀刻设备。

背景技术

申请号为2017213766662的中国专利公开了一种玻璃基板减薄蚀刻机，包括蚀刻槽、置物架、支架、滑轨、滑块、第一气缸、升降架、第二气缸、PLC控制柜；所述蚀刻槽的上方固定有支架，所述支架上设有水平设置的滑轨，所述滑轨上滑动设有滑块，滑块上设有沿竖直方向伸缩的第一气缸，第一气缸的伸缩杆的下端设有升降架，升降架与蚀刻槽内的置物架连接，所述支架上还设有沿水平方向伸缩的第二气缸，第二气缸的伸缩杆与滑块连接；所述第一气缸和第二气缸均与PLC控制柜连接；所述置物架包括长方形的框架、支撑板和玻璃支撑架，所述框架上设有若干个平行设置的玻璃支撑架，所述框架的底部设有用于支持玻璃基板的支撑板，支撑板与玻璃支撑架相互垂直，所述支撑板上设有与玻璃支撑架一一对应且配合使用的卡槽。

用传统的液晶面板玻璃薄化工艺，将高铝玻璃基板放在蚀刻篮具(置物架)，浸入带气泡扰动的氢氟酸蚀刻槽中蚀刻薄化，只能将玻璃基板母片薄化到100μm左右。用同样的方法再薄下去，玻璃基板厚度均匀性很差，也很容易破片，良品率非常低。为了将玻璃继续薄化到50μm以下，达到可折叠的程度(R<1.5mm)，必须将玻璃加框支撑住，才能继续后续的薄化制程，以及激光切割开料工艺。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种加旋转轴的蚀刻篮具，蚀刻液流动均匀，提升超薄玻璃基板的表面以及相互之间的薄化均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。

进一步的定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。

进一步的所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。

进一步的所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。

一种具有蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴。

进一步的所述蚀刻槽包括内槽和外槽，内槽位于外槽内且与外槽之间留有间隔，所述内槽底部连接有流入管道，流入管道穿过外槽至外部，所述外槽底部连接有流出管道。

进一步的所述内槽的高度低于外槽。

进一步的所述内槽的侧壁上开设有若干溢流孔。

进一步的所述内槽靠近底部处设置有PP泡棉，PP泡棉位于流入管道上方。

进一步的所述蚀刻篮具、蚀刻槽和悬臂表面均包覆有铁氟龙或PP。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、超薄玻璃基板加框后，整齐的放入蚀刻篮中固定，蚀刻液流动均匀，提升每片超薄玻璃基板以及片与片之间的薄化均匀性；

2、蚀刻篮具有旋转轴，蚀刻篮具在浸入蚀刻液后，蚀刻篮具通过在竖直方向旋转，克服蚀刻液的浓度与温度梯度所造成的蚀刻不均问题；

3、蚀刻槽采用溢流式设计，由内槽底均匀供应新鲜蚀刻液，通过PP泡棉后形成稳定的向上层流；由槽顶溢流出用过的蚀刻液到外槽，收集进回收系统，这种溢流式蚀刻槽确保了蚀刻液的浓度、温度、流动的稳定性；

4、蚀刻设备的移动平台和悬臂包含了蚀刻篮的抬升、平移、旋转机构，可以将蚀刻篮在上料、蚀刻、清洗、干燥、下料等各个站点间转移。

附图说明

图1为超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具的立体结构图；

图2为蚀刻篮具内具有超薄玻璃和其固定框架时的示意图；

图3为超薄玻璃基板母片的固定框架的立体结构示意图(有超薄玻璃基板母片)；

图4为超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备的结构示意图。

附图标记：2、固定框架；21、外框；212、框托；22、内框；3、蚀刻篮具；31、活动顶杆；32、固定侧杆；33、固定底杆；34、侧板；341、旋转轴；35、定位夹块；5、超薄玻璃基板；61、移动平台；62、悬臂；71、内槽；711、流入管道；712、PP泡棉；72、外槽；721、流出管道。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”，“横向(X)”、“纵向(Y)”、“竖向(Z)”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本实用新型的具体保护范围。

此外，如有术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含指明技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含包括一个或者多个该特征，在本实用新型描述中，“数个”、“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，包括两块相对的侧板34，侧板34上设置有旋转轴341，两块侧板34之间设置有固定底杆33、固定侧杆32和活动顶杆31，活动顶杆31与侧板34可拆卸连接，两块侧板34之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板34，所述框架固定组件包括若干定位夹块35，定位夹块35分布于固定侧杆32上。

如图1和图2所示，本实施例中以侧板34为矩形为例，当然其也可以为其他形状，如圆形，根据超薄玻璃基板5及固定框架2的形状而变换设计即可。

在两个侧板34相背的一侧分别设置有旋转轴341，两个侧板34相互平行布置，且两个旋转轴341同轴设置。

本实施例中侧板34的每一侧均至少设置两根杆，具体为在侧板34的底侧至少设置两根固定底杆33，左侧和右侧也至少分别设置两根固定侧杆32，顶侧至少设置两根活动顶杆31，通过多根固定底杆33、固定侧杆32和活动顶杆31用以限制超薄玻璃基板5的位置，且可以根据超薄玻璃的面积尺寸进行增减。

在本实施例中处于轴向同一位置的定位夹块35构成框架固定组件，定位夹块35中间具有夹缝，固定框架2伸入夹缝中，且同一框架固定组件内的夹缝构成的平面为框架固定区，其平行于侧板34。

其中定位夹块35一般分布于固定侧杆32上，位于侧板34两侧的固定侧杆32均布置定位夹块35即可将固定框架2定位，当然也可以在固定底杆33上布置同样的定位夹块35进一步的增强对固定框架2的定位。

如图3所示，在本实施例中固定框架2的结构，其包括中间空心的外框21和内框22，所述外框21和内框22的中间空心处形成蚀刻区，所述外框21的一面对应蚀刻区向内延伸形成框托212，外框21的另一面与框托212之间形成支撑台阶，所述内框22装于外框21的支撑台阶上，内框22与外框21之间设置有固定件，固定件可以为磁铁，利用磁铁吸住内框22和外框21，将超薄玻璃基板5夹持在中间。

在使用时，拆除活动杆后将固定多块有超薄玻璃基板5的固定框架2依次竖直放入框架固定组件中，固定框架2与侧板34平行；装入固定框架2后重新安装活动杆，使固定框架2固定即可；超薄玻璃基板5提前预装在固定框架2内。

本实施例优选的所述侧板34对应活动顶杆31处开设有通孔，活动顶杆31的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆31的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。

通过活动顶杆31的外螺纹穿过通孔与螺母配合，通过两端的螺母夹紧侧板34，可以将活动顶杆31固定在侧板34上或由侧板34上取下，此种方式结构简单，使用方便，当然也可以采用其他结构方式来拆装活动顶杆31。

本实施例优选的通孔为条形孔，其长度方向沿纵向延伸。

一种具有所述蚀刻篮具3的超薄玻璃基板5减薄的蚀刻设备，包括移动平台61和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台61下方，所述移动平台61上设置有两个悬臂62，蚀刻篮具3的两个旋转轴341分别与两个悬臂62连接，所述悬臂62上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴341。

本实施例中的移动平台61可以采用如龙门架结构，使得其下方的悬臂62进行平移，悬臂62采用伸缩臂，使得其底端可以升降，通过移动平台61和悬臂62的配合可以使得蚀刻篮具3放入和取出蚀刻槽，在放入蚀刻槽后，可通过驱动电机带动旋转轴341使蚀刻篮具3在蚀刻槽内旋转，蚀刻液在超薄玻璃基板5表面相对流动均匀，提升每片超薄玻璃基板5以及片与片之间的薄化均匀性。

本实施例优选的所述蚀刻槽包括内槽71和外槽72，内槽71位于外槽72内且与外槽72之间留有间隔，所述内槽71底部连接有流入管道711，流入管道711穿过外槽72至外部，所述外槽72底部连接有流出管道721。

蚀刻液通过流入管道711匀速流入内槽71内，并经由内槽71溢流至内槽71与外槽72的间隔处，最后由流出管道721将其回收，使蚀刻液为流动式的，能够保证其浓度及洁净度。

在本实施例中的流入管道711和流出管道721均可以布置多个。

本实施例优选的所述内槽71的高度低于外槽72，在蚀刻液充满内槽71后通过内槽71的顶部溢流至外槽72内。

或者还可以采用如下结构实现蚀刻液的溢流，所述内槽71的侧壁上开设有若干溢流孔，溢流孔的设置位置根据内槽71需保持蚀刻液深度而决定。

本实施例优选的所述内槽71靠近底部处设置有PP泡棉712，PP泡棉712位于流入管道711上方，蚀刻液进入内槽71后上升通过PP泡棉712使向上流速更加均匀，对超薄玻璃基板5的表面蚀刻更加均匀可控。

本实施例优选的所述蚀刻篮具3、蚀刻槽和悬臂62表面均包覆有铁氟龙或PP，即所有可能接触蚀刻液的表面均包覆铁氟龙或PP，以防止设备或部件被蚀刻。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：包括两块相对的侧板，侧板上设置有旋转轴，两块侧板之间设置有固定底杆、固定侧杆和活动顶杆，活动顶杆与侧板可拆卸连接，两块侧板之间设置有若干框架固定组件，框架固定组件形成框架固定区，框架固定区平行于侧板，所述框架固定组件包括若干定位夹块，定位夹块分布于固定侧杆上。

2.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：定位夹块分布于固定侧杆和固定底杆上。

3.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述侧板对应活动顶杆处开设有通孔，活动顶杆的两端均设置有螺纹，所述活动顶杆的两端穿过通孔并通过螺母紧固固定。

4.根据权利要求1所述的超薄玻璃基板减薄的蚀刻篮具，其特征在于：所述固定底杆、固定侧杆和活动顶杆均至少设置有两根。

5.一种具有如权利要求1-4中任意一项所述蚀刻篮具的超薄玻璃基板减薄的蚀刻设备，其特征在于：包括移动平台和蚀刻槽，蚀刻槽位于移动平台下方，所述移动平台上设置有两个悬臂，蚀刻篮具的两个旋转轴分别与两个悬臂连接，所述悬臂上设置有驱动电机，驱动电机连接旋转轴。

6.根据权利要求5所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻槽包括内槽和外槽，内槽位于外槽内且与外槽之间留有间隔，所述内槽底部连接有流入管道，流入管道穿过外槽至外部，所述外槽底部连接有流出管道。

7.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽的高度低于外槽。

8.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽的侧壁上开设有若干溢流孔。

9.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述内槽靠近底部处设置有PP泡棉，PP泡棉位于流入管道上方。

10.根据权利要求6所述的超薄玻璃基板减薄蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻篮具、蚀刻槽和悬臂表面均包覆有铁氟龙或PP。

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