CN217542284U - 一种用于压力传感器真空检漏的真空室以及真空检漏系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统，包括：基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口；其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。本实用新型能够有效提高压力传感器检漏试验的精度并且降低了压力传感器检漏试验的工作难度，提高了检漏试验的工作效率。

Description

一种用于压力传感器真空检漏的真空室以及真空检漏系统

技术领域

本实用新型涉及真空检漏技术领域，具体涉及一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统。

背景技术

压力传感器是压力测试系统采集压力信号的关键器件，压力传感器的密封性能会对压力测试的准确性产生影响。

当前，应用于压力传感器检漏的方法主要是吸枪法，精度与氦质谱压力真空法相比相对较低，不能很好地满足压力传感器质量检测的要求。为了满足压力传感器质量检测的要求，应用检漏精度较高的氦质谱压力真空法对压力传感器进行检漏试验，需要设计一套适用于压力传感器规格的真空室来完成压力传感器的氦质谱压力真空法检漏试验。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中的缺陷，提供可以用于放置待检压力传感器，进行检漏工装连接，实现压力传感器的氦质谱压力真空法检漏试验的装置和系统。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，包括：

基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口；

其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；

盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。

作为本实用新型的一种优选方式，所述安装接口设有螺纹，所述螺纹用于与所述待测的压力传感器连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述检测槽与所述盖体螺纹连接。

作为本实用新型的一种优选方式，所述检测槽包括环设于外周的第一台阶部，所述盖体包括环设于外周的第二台阶部；当所述盖体与所述检测槽连接，所述第一台阶部、第二台阶部贴合。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一台阶部的平面度误差不大于 0.05mm。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第二台阶部的平面度误差不大于 0.05mm。

作为本实用新型的一种优选方式，所述第一台阶部和/或第二台阶部设有密封槽。

作为本实用新型的一种优选方式，所述密封槽内设有密封条。

一种用于压力传感器的真空检漏系统，包括上述任意一项所述的真空室，还包括集气室、氦气源、氦质谱检漏仪，所述真空室置于所述集气室内。

作为本实用新型的一种优选方式，所述集气室与抽真空装置连接。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统，能够有效提高压力传感器检漏试验的精度并且降低了压力传感器检漏试验的工作难度，提高了检漏试验的工作效率。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的真空室的基座的俯视示意图。

图2是本实用新型的真空室的基座的侧视剖视示意图。

图3是本实用新型的真空室的盖体侧视示意图。

图4是本实用新型的真空室的盖体的侧视剖视示意图。

图5是本实用新型的真空检漏系统的连接示意图。

说明书附图标记说明：1.基座、11.氦气接口、111.氦气气道、12.检测接口、 121.检测气道、2.检测槽、21.安装接口、22.采样口、23.第一台阶部、3.盖体、 31.第二台阶部、4.密封槽、5.氦气源、6.氦质谱检漏仪、7.集气室、8.抽真空装置、9.真空室。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第二”、“第一”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。此外，术语“包括”意图在于覆盖不排他的包含，例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或单元而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

压力真空法检漏是中小型密封产品常用、发展成熟的检漏方法之一，具有检漏灵敏度高、检漏周期短等优点，因此被广泛应用于航天、航空、仪器仪表等领域，是快速、简单、可靠的定量检漏方法之一。

针对压力传感器进行氦质谱压力真空法检漏试验时的真空环境要求，包括压力传感器的放置固定，氦气的充入，氦质谱检漏仪的安装，真空环境的产生，设计的一种用于压力传感器氦质谱压力真空法检漏试验的真空室。

参照图1-4所示，本实用新型一种用于压力传感器的真空检漏的真空室的实施例，包括：

基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口。

其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口。所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口。

盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。

其中，氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将氦气通入待测对象，若待测对象有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知待测对象的封闭性能。

所述盖体盖于所述基座上，所述盖体与所述检测槽形成封闭的检测腔，所述检测腔用于检测待测的压力传感器的密封性。

所述待测的压力传感器连接于所述检测槽内的安装接口上，安装完成后，所述待测的压力传感器完全封堵所述安装接口，所述待测的压力传感器与所述安装接口形成密封状态。

所述基座上的所述氦气接口与所述安装接口导通，所述氦气接口用于与所述氦气源连接。所述氦气接口、安装接口之间形成氦气气道，所述氦气气道用于释放检测用的氦气，所述待测的压力传感器用于封闭所述氦气气道的位于所述检测槽内的一端，在检测时，所述氦气源通过所述氦气接口向所述氦气气道内释放氦气。

所述基座上的检测接口与所述检测槽内的采样口导通，所述检测接口用于连接氦质谱检漏仪。所述采样口、检测接口之间形成检测气道，所述检测腔内的气体依次通过采样口、检测气道、检测接口到达氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪对气体中的氦进行检测。

作为一种优选方式，所述安装接口设有螺纹，所述螺纹用于与所述待测的压力传感器连接。所述待测的有压力传感器可为CY-YD-203型压力传感器，所述待测的压力传感器设有与所述安装接口的匹配的螺纹，则所述待测的压力传感器可与

所述检测槽与所述盖体螺纹连接，螺纹连接有利于提高所述检测槽与所述盖体的密封性能。

作为一种优选方式，所述检测槽包括环设于外周的第一台阶部，所述盖体包括环设于外周的第二台阶部。当所述盖体与所述检测槽连接，所述第一台阶部、第二台阶部贴合。所述第一台阶部的平面度误差不大于0.05mm。所述第二台阶部的平面度误差不大于0.05mm。

所述第一台阶部与第二台阶部在所述盖体与检测槽连接时紧贴，为了达到检漏真空室密封的要求，上盖下表面的平面度应达到0.05mm，同理底座上表面的平面度也应达到0.05mm。提高盖体与所述检测槽之间的密封性能。

所述第一台阶部和/或第二台阶部设有密封槽，所述密封槽内设有密封条。密封条用于在所述盖体与检测槽连接时提高两者的密封性能。所述密封条设于盖体或密封槽或两者皆可设置，若盖体、密封槽两者皆设密封条时，两者的密封条可互相接触或不接触。

作为最优选，所述真空室的基座材料为密封性好的304不锈钢，其底部形状为长方体，所述检测槽为所述基座上的圆环凸台。其中，基座的尺寸为100mm ×100mm×30mm。所述检测槽的内径为φ90mm，外径为φ100mm。

所述检测槽外壁加工牙距为0.8mm的螺纹，用于与盖体配合安装。所述检测槽上面开有内径91mm，宽0.8mm，深0.8mm的密封槽，用于放置密封条。

所述安装接口、采样口为直径φ6mm孔，其中安装接口内加工M5螺纹，用于安装待测的压力传感器。

所述密封条的材料为氟橡胶，密封圈尺寸为内径90mm，线宽1mm。

所述盖体设计为一个圆罩，所述盖体的材料为密封性好的304不锈钢，实现盖体和基座的配合。其尺寸为高60mm，内部高55mm，壁厚5mm，外径 100mm，内径75mm，所述盖体的下端开有与所述基座的检测槽相配合的螺纹。

参照图5所示，一种用于压力传感器的真空检漏系统的实施例，包括上述任意一项所述的真空室，还包括集气室、氦气源、氦质谱检漏仪，所述真空室置于所述集气室内。所述集气室与抽真空装置连接。

所述真空室用于安装待测的压力传感器，所述集气室用于放置所述安装了待测的压力传感器的真空室。

所述集气室可密封，当所述真空室置入所述集气室内，且氦气源、氦质谱检漏仪与所述真空室连接后，所述集气室关闭且密封。

在检测时，所述抽真空装置抽取所述集气室内的空气，使得所述集气室内形成真空，然后通过氦气气路向压力传感器内部通入氦气，从氦质谱检漏仪读取泄漏率。根据GJB548B规定的泄露判据给出是否合格的判断结论。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统，可以用于放置待检压力传感器，进行检漏工装连接，实现压力传感器的氦质谱压力真空法检漏试验。

提高了压力传感器检漏试验的精度。经过实际检漏试验验证，该真空室能够有效提高压力传感器检漏试验的精度并且降低了压力传感器检漏试验的工作难度，提高了检漏试验的工作效率。

同时，结构简单，取材容易，加工工艺流程简单，应用于不同型号和不同尺寸压力传感器时，尺寸修改设计简易，可拓展性强。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，包括：

基座，包括检测槽、与氦气源连接的氦气接口、与氦质谱检漏仪连接的检测接口；

其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；

盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述安装接口设有螺纹，所述螺纹用于与所述待测的压力传感器连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述检测槽与所述盖体螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述检测槽包括环设于外周的第一台阶部，所述盖体包括环设于外周的第二台阶部；当所述盖体与所述检测槽连接，所述第一台阶部、第二台阶部贴合。

5.根据权利要求4所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述第一台阶部的平面度误差不大于0.05mm。

6.根据权利要求4所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述第二台阶部的平面度误差不大于0.05mm。

7.根据权利要求4所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述第一台阶部和/或第二台阶部设有密封槽。

8.根据权利要求7所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述密封槽内设有密封条。

9.一种用于压力传感器的真空检漏系统，其特征在于，包括权利要求1～8任意一项所述的真空室，还包括集气室、氦气源、氦质谱检漏仪，所述真空室置于所述集气室内。

10.根据权利要求9所述的一种用于压力传感器的真空检漏系统，其特征在于，所述集气室与抽真空装置连接。

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