CN217522723U - 一种半导体使用的高速中空主轴电机 - Google Patents

一种半导体使用的高速中空主轴电机 Download PDF

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朱建冬
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Abstract

本实用新型提供一种半导体使用的高速中空主轴电机,涉及半导体技术领域,包括导轨,所述导轨的内底部中心处转动连接有丝杆,所述导轨的内底部一侧对称固定连接有两个滑座,且导轨的内底部靠近一侧位置对称固定连接有两个导座,所述导轨的一侧内表面中心处固定连接有限位块,通过设置导座和推板,便于通过导座与连接块的滑动连接实现机体的位置固定,并且通过设置的弹簧便于实现推板的位置固定,进而通过设置的卡合块与丝杆的滑动连接,在机体的驱动作用下实现卡合块带动丝杆同时旋转,即保证设备的顺利工作,并且在更换机体时,只需水平移动机体实现机体推动推板移动的同时带动弹簧压缩,进而实现卡合块脱离丝杆,即实现机体的快速拆下。

Description

一种半导体使用的高速中空主轴电机
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种半导体使用的高速中空主轴电机。
背景技术
半导体行业隶属电子信息产业,属于硬件产业,以半导体为基础而发展起来的一个产业,而半导体在生产过程中加了传动环节,即通过使用直线电机用于电子绘图仪,高速分度处理器,取薄片、校准设备。
但是现有的直线电机在使用时,通常是固定安装在特定的导轨表面,并且与导轨表面的丝杆连接固定,进而导致当直线电机损坏时,在进行拆装时较为麻烦,并且重新安装固定时使用的时间较长,影响生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中但是现有的直线电机在使用时,通常是固定安装在特定的导轨表面,并且与导轨表面的丝杆连接固定,进而导致当直线电机损坏时,在进行拆装时较为麻烦,并且重新安装固定时使用的时间较长,影响生产效率的问题。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种半导体使用的高速中空主轴电机,包括导轨,所述导轨的内底部中心处转动连接有丝杆,所述导轨的内底部一侧对称固定连接有两个滑座,且导轨的内底部靠近一侧位置对称固定连接有两个导座,所述导轨的一侧内表面中心处固定连接有限位块,且导轨的一侧外表面靠近顶部位置贯穿设置有磁性杆,所述导轨的一侧内表面前后位置分别固定连接有弹簧,所述弹簧的一端固定连接有推板,所述推板的一侧设置有机体,且推板的一侧前后和底部位置分别固定连接有挡块,所述机体的驱动端固定连接有卡合块,且机体的底部位于导座的位置设置有连接块,所述推板的顶部中心处固定连接有十字块,且推板的顶部中心处设置有压块,所述压块的底部与十字块和限位块的表面滑动连接,且压块的底部一侧与机体的顶部滑动连接。
优选的,所述挡块的表面与机体的外表面滑动连接。
优选的,所述卡合块的一侧中心处呈矩形设置,且卡合块的一侧与丝杆的表面内嵌滑动连接。
优选的,所述压块的表面与导轨的一侧内表面滑动连接,且压块的一侧表面与磁性杆的表面贯穿滑动连接。
优选的,所述连接块的表面与导座的表面滑动连接。
优选的,所述推板的底部与滑座的表面滑动连接。
与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,
1、本实用新型中,通过设置导座和推板,便于通过导座与连接块的滑动连接实现机体的位置固定,并且通过设置的弹簧便于实现推板的位置固定,进而通过设置的卡合块与丝杆的滑动连接,在机体的驱动作用下实现卡合块带动丝杆同时旋转,即保证设备的顺利工作,并且在更换机体时,只需水平移动机体实现机体推动推板移动的同时带动弹簧压缩,进而实现卡合块脱离丝杆,即实现机体的快速拆下。
2、本实用新型中,通过设置压块,便于通过压块与十字块的滑动连接以及压块与限位块的滑动连接实现与十字块固定连接的推板的位置固定,并且通过压块与机体顶部的接触便于防止机体工作时震动,并且通过设置的磁性杆贯穿压块,便于保证在设备运行时,压块不会因为设备震动脱离压块。
附图说明
图1为本实用新型提出一种半导体使用的高速中空主轴电机的立体结构示意图;
图2为本实用新型提出一种半导体使用的高速中空主轴电机图1的剖视结构示意图;
图3为图2中A处的放大图;
图4为图2中B处的放大图。
图例说明:1、导轨;2、丝杆;3、机体;4、推板;5、弹簧;6、限位块;7、压块;8、卡合块;9、挡块;10、滑座;11、磁性杆;12、十字块;13、导座;14、连接块。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合具体实施例,对本发明作进一步地详细说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
实施例1,如图1-4所示,一种半导体使用的高速中空主轴电机,包括导轨1,导轨1的内底部中心处转动连接有丝杆2,导轨1的内底部一侧对称固定连接有两个滑座10,且导轨1的内底部靠近一侧位置对称固定连接有两个导座13,导轨1的一侧内表面中心处固定连接有限位块6,且导轨1的一侧外表面靠近顶部位置贯穿设置有磁性杆11,导轨1的一侧内表面前后位置分别固定连接有弹簧5,弹簧5的一端固定连接有推板4,推板4的底部与滑座10的表面滑动连接,推板4的一侧设置有机体3,且推板4的一侧前后和底部位置分别固定连接有挡块9,挡块9的表面与机体3的外表面滑动连接,机体3的驱动端固定连接有卡合块8,卡合块8的一侧中心处呈矩形设置,且卡合块8的一侧与丝杆2的表面内嵌滑动连接,且机体3的底部位于导座13的位置设置有连接块14,连接块14的表面与导座13的表面滑动连接。
其整个实施例1达到的效果为,设置的导轨1便于实现丝杆2的位置安装,并且保证丝杆2可以顺利旋转,而设置的导座13和滑座10均为T型设置,并且设置的滑座10通过与推板4的滑动连接,以及设置的弹簧5的一端与推板4的表面固定连接,便于通过弹簧5的弹性伸缩实现推板4实现一定范围内的水平移动,并且便于实现推板4的表面紧紧的贴合机体3的表面,而设置的机体3为现有的电机,并且设置在机体3驱动端的卡合块8与丝杆2的一端内嵌滑动连接,因此当卡合块8在机体3的驱动作用下旋转时,便于实现丝杆2同时旋转,并且设置的连接块14的表面与导座13的表面滑动连接,便于实现与连接块14固定连接有机体3的位置限定,即防止和机体3在运行过程中晃动,而设置在推板4表面的挡块9便于实现机体3表面一侧的位置支撑,防止机体3的尾部因为重力原因向下倾斜。
实施例2,如图1-4所示,推板4的顶部中心处固定连接有十字块12,且推板4的顶部中心处设置有压块7,压块7的底部与十字块12和限位块6的表面滑动连接,且压块7的底部一侧与机体3的顶部滑动连接,压块7的表面与导轨1的一侧内表面滑动连接,且压块7的一侧表面与磁性杆11的表面贯穿滑动连接。
其整个实施例2达到的效果为,设置压块7通过与十字块12的滑动连接便于实现压块7的位置固定,防止压块7水平移动,并且通过设置的压块7与限位块6的滑动连接便于实现压块7一侧的位置支撑,并且便于防止推板4沿着滑座10的表面滑动,并且设置的磁性杆11与推板4的表面磁性相吸,便于实现磁性杆11的位置安装,并且通过磁性杆11与压块7的接触防止压块7上下晃动,进而实现压块7上下位置的限定,进而通过设置的压块7与机体3顶部的接触实现机体3尾部上下方向的限定。
工作原理,实际使用时,如图1所示的状态,当机体3损坏时,人员拔出磁性杆11,将压块7向上抽动实现压块7的取下,人后人员水平滑动机体3实现机体3推动推板4移动,实现弹簧5压缩,当机体3移动时连接块14脱离导座13时,便于实现机体3的取下,同理,安装新的机体3时,人员拨动推板4便于将机体3放在导轨1的内底部,然后通通过弹簧5的弹性复位实现推板4推动机体3移动至导座13插入连接块14中以及卡合块8插入丝杆2中,然后会将压块7通过与十字块12和限位块6的滑动连接实现安装,并且通过插入磁性杆11实现压块7的位置固定。
需要注意的是,本发明中使用的多种标准件均是可以从市场上得到的,非标准件则是可以特别定制,本发明所采用的连接方式比如螺栓连接、焊接等也是机械领域中非常常见的手段,发明人在此不再赘述。
以上所述仅为本发明的实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的权利要求范围。

Claims (6)

1.一种半导体使用的高速中空主轴电机,包括导轨(1),其特征在于:所述导轨(1)的内底部中心处转动连接有丝杆(2),所述导轨(1)的内底部一侧对称固定连接有两个滑座(10),且导轨(1)的内底部靠近一侧位置对称固定连接有两个导座(13),所述导轨(1)的一侧内表面中心处固定连接有限位块(6),且导轨(1)的一侧外表面靠近顶部位置贯穿设置有磁性杆(11),所述导轨(1)的一侧内表面前后位置分别固定连接有弹簧(5),所述弹簧(5)的一端固定连接有推板(4),所述推板(4)的一侧设置有机体(3),且推板(4)的一侧前后和底部位置分别固定连接有挡块(9),所述机体(3)的驱动端固定连接有卡合块(8),且机体(3)的底部位于导座(13)的位置设置有连接块(14),所述推板(4)的顶部中心处固定连接有十字块(12),且推板(4)的顶部中心处设置有压块(7),所述压块(7)的底部与十字块(12)和限位块(6)的表面滑动连接,且压块(7)的底部一侧与机体(3)的顶部滑动连接。
2.根据权利要求1所述的半导体使用的高速中空主轴电机,其特征在于:所述挡块(9)的表面与机体(3)的外表面滑动连接。
3.根据权利要求1所述的半导体使用的高速中空主轴电机,其特征在于:所述卡合块(8)的一侧中心处呈矩形设置,且卡合块(8)的一侧与丝杆(2)的表面内嵌滑动连接。
4.根据权利要求1所述的半导体使用的高速中空主轴电机,其特征在于:所述压块(7)的表面与导轨(1)的一侧内表面滑动连接,且压块(7)的一侧表面与磁性杆(11)的表面贯穿滑动连接。
5.根据权利要求1所述的半导体使用的高速中空主轴电机,其特征在于:所述连接块(14)的表面与导座(13)的表面滑动连接。
6.根据权利要求1所述的半导体使用的高速中空主轴电机,其特征在于:所述推板(4)的底部与滑座(10)的表面滑动连接。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN116054527A (zh) * 2023-04-03 2023-05-02 东莞联鹏智能装备有限公司 直线电机及半导体制备系统

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