CN116054527A - 直线电机及半导体制备系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种直线电机及半导体制备系统，在直线电机中，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。

Description

直线电机及半导体制备系统

技术领域

本申请涉及驱动设备技术领域，特别是涉及直线电机及半导体制备系统。

背景技术

直线电机是一种将电能直接转换成线性运动机械能的机构，因反应速度快、灵敏度高等特点，被广泛应用在各种作业平台中，而对于一些大跨距作业平台中，通常会选择双驱直线电机作为驱动源。

双驱直线电机主要包括横梁轴以及连接在横梁轴两侧的两个电机组件，利用两侧的电机组件驱使横梁轴作线性运动。然而，当作业平台的运动工况为高频运动时，比如：半导体作业平台等，横梁轴的高频运动会给两侧电机组件带来高频冲击，导致直线电机处于不稳定工况，影响驱动定位精度。

发明内容

基于此，有必要提供一种直线电机及半导体制备系统，降低高频运动造成的高频冲击，使得直线电机处于稳定工况，减少对驱动定位精度的影响。

一种直线电机，所述直线电机包括：传动轴；至少两个驱动机构，沿第一方向并列且间隔设置，各所述驱动机构均包括基座、设于基座上的定子与导向组件、以及与所述定子配合的动子，所述定子用于驱使所述动子沿第二方向线性运动，各所述动子均与所述传动轴连接，所述导向组件包括设于所述基座上的导轨、及沿所述第二方向滑动设于所述导轨上的滑块，用于对所述传动轴沿所述第二方向的运动进行导向，所述第一方向与所述第二方向相交；其中，各所述驱动机构还包括具有形变功能的缓冲件，所述滑块通过所述缓冲件与所述动子或所述传动轴连接。

上述的直线电机，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。

在其中一个实施例中，所述滑块位于所述动子沿与所述第二方向相交的方向的一侧，所述滑块通过所述缓冲件与所述动子连接。

在其中一个实施例中，各所述动子与所述传动轴之间均连接有第一安装件，所述滑块上设有与所述第一安装件间隔的第二安装件，所述缓冲件连接于所述第一安装件与所述第二安装件之间。

在其中一个实施例中，所述缓冲件具有形变面，所述形变面覆盖并连接于所述第一安装件与所述第二安装件的同一侧。

在其中一个实施例中，各所述驱动机构还包括第一固定件与第二固定件，所述第一固定件与所述第二固定件分别用于将所述形变面对应压接在所述第一安装件与所述第二安装件上。

在其中一个实施例中，在所述第一安装件与所述第二安装件之间的间隔方向上，所述缓冲件的整体长度记为L1,所述缓冲件在所述第一安装件和所述第二安装件之间悬空的部分长度记为L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。

在其中一个实施例中，所述缓冲件包括主体及连接于所述主体相对两侧的两个固定部件，两个所述固定部件分别对应连接于所述第一安装件和所述第二安装件上，且两个所述固定部件分别与所述主体之间均形成有可弯折的形变部。

在其中一个实施例中，各所述驱动机构均包括沿与所述第二方向相交的方向间隔设置的两个所述定子，所述动子至少部分位于两个所述定子之间。

在其中一个实施例中，所述定子与所述导向组件均设于所述基座沿所述第一方向的一侧面上，且所述导向组件位于所述定子沿第三方向的一侧，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向之间构成的平面。

一种半导体制备系统，包括以上任一项所述的直线电机。

上述的半导体制备系统，采用以上的直线电机，利用定子与动子之间的配合，驱使动子沿第二方向运动，以带动传动轴在第二方向上运动；同时，利用滑块与导轨的配合，确保传动轴的运动稳定。由于滑块与传动轴或动子之间连接有缓冲件，因此，当传动轴进行高频运动时，传动轴所产生的高频振动会传递至缓冲件上，此时缓冲件受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴的振动能量，降低高频振动给导轨带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机的影响，使得直线电机处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。

附图说明

图1为本申请的一些实施例中所述的直线电机结构示意图。

图2为图1中圈A处结构放大示意图。

图3为本申请的一些实施例中所述的缓冲件受高频振动时的形变分析图。

图4为本申请的另一些实施例中所述的缓冲件结构示意图。

100、直线电机；10、传动轴；20、驱动机构；21、基座；211、安装槽；22、定子；23、动子；231、第一安装件；24、导向组件；241、导轨；242、滑块；243、第二安装件；25、缓冲件；251、第一固定件；252、第二固定件；253、主体；25a、台阶部；254、固定部件；255、形变部；256、形变面；X、第一方向；Y、第二方向；Z、第三方向。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

当直线电机使用场景的运动工况为连续、短行程且高频运动时，比如：半导体制备过程中等，高频运动引发的高频振动，会增加导轨的负荷。为便于理解，以双驱直线电机为例进行说明，但不能以此解读为对本申请方案的范围的限定。在双驱直线电机运动过程中，横梁轴的高频运动会带来高频冲击，比如：可理解为横梁轴在短行程之内进行高频往复启停，带来惯性冲击；或者，在整段行程范围内，高频加减速带来的冲击等。高频冲击不断作用在与横梁轴配合的动子和导轨上，尤其对导轨而言，高频冲击会影响导轨与滑块的间隙及安装的直线度，或者导轨与导轨之间的平行度等，导致直线电机在整段行程范围内存在定位差异，使之处于不稳定工况，影响驱动定位精度。

为此，请参考图1，本申请提供了一种直线电机100，直线电机100包括传动轴10、缓冲件25及至少两个驱动机构20。全部的驱动机构20沿第一方向X并列且间隔设置，各驱动机构20均包括基座21、设于基座21上的定子22与导向组件24、以及与定子22配合的动子23。定子22用于驱使动子23沿第二方向Y线性运动，各动子23均与传动轴10连接，导向组件24包括设于基座21上的导轨241、及沿第二方向Y滑动设于导轨241上的滑块242，用于对传动轴10沿第二方向Y的运动进行导向。第一方向X与第二方向Y相交（比如第一方向X与第二方向Y垂直等）；其中，各驱动机构20还包括具有形变功能的缓冲件25，滑块242通过缓冲件25与动子23或传动轴10连接。

上述的直线电机100，利用定子22与动子23之间的配合，驱使动子23沿第二方向Y运动，以带动传动轴10在第二方向Y上运动；同时，利用滑块242与导轨241的配合，确保传动轴10的运动稳定。由于滑块242与传动轴10或动子23之间连接有缓冲件25，因此，当传动轴10进行高频运动时，传动轴10所产生的高频振动会传递至缓冲件25上，此时缓冲件25受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴10的振动能量，降低高频振动给导轨241带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机100的影响，使得直线电机100处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。

另外，通过缓冲件25的缓冲形变，实现传动轴10或动子23与滑块242之间的柔性连接，降低高频冲击对滑块242的影响，有利于缩短直线电机100到位的整定时间，便于直线电机100满足高精度、高频运动的需求。其中，整定时间也可理解为安定时间。

需要说明的是，驱动机构20的数量可为两个、三个或更多数量。当驱动机构20为三个及以上时，传动轴10则分别与三个以上的动子23进行连接。具体到一些实施例中，驱动机构20为两个，传动轴10分别与两个动子23连接。

传动轴10与动子23之间的连接可为柔性连接，也可为刚性连接。其中，柔性连接是指传动轴10与动子23之间的连接结构可允许缓存形变，能够吸收部分冲击能量，比如：传动轴10与动子23之间采用金属片进行连接等。而刚性连接是指传动轴10与动子23之间的力刚性传递，比如：传动轴10与动子23之间采用螺栓、卡接、铆接等方式进行固定连接。

缓冲件25是指自身能够发生一定形变的结构，比如：其可为但不限于金属结构等。在选择缓冲件25材质时，应注意传动轴10的高频冲击不超过材料自身的弹性极限，这样当缓冲件25在发生形变后，可在不受力或受力减弱的情况下能恢复形变。

在同一驱动机构20中，缓冲件25的数量可为一个，也可为多个。当缓冲件25的数量为多个时，全部缓冲件25可间隔连接于滑块242与传动轴10或动子23之间。同样，在同一驱动机构20中，导轨241的数量也可为一个或者多个，当导轨241的数量为多个时，至少两个导轨241分别位于定子22的相对两侧。同时，在同一导轨241上，可配置有一个滑块242，也可配置多个滑块242。

还需说明的是，定子22与动子23配合应理解为直线电机100通电后，动子23在定子22内受到直线电磁推力的过程。以直线感应电机为例进行说明，定子22的一侧称为初级，动子23的一侧称为次级。将初级和次级制造成不同的长度，当初级绕组通入交流电源时，便在气隙中产生行波磁场，次级在行波磁场切割下，将感应出电动势并产生电流，该电流与气隙中的磁场相作用就产生电磁推力等。而对于定子22与动子23的具体结构非本申请所改进的对象，可直接参考现有文献或现有产品，在此不作具体介绍。

进一步地，请参考图1与图2，滑块242位于动子23沿与第二方向Y相交的方向的一侧，滑块242通过缓冲件25与动子23连接。由此可知，滑块242与动子23之间为柔性连接，这样在实现对动子23沿第二方向Y运动导向的同时，吸收高频冲击的部分能量，降低对导轨241的影响，有利于提升直线电机100的定位精度以及缩短整定时间。

需要说明的是，缓冲件25分别在滑块242与动子23上的连接可为间接连接，也可为直接连接。其中，直接连接是指缓冲件25直接连接在滑块242或动子23上。

更进一步地，请参考图2，各动子23与传动轴10之间均连接有第一安装件231，滑块242上设有与第一安装件231间隔的第二安装件243。缓冲件25连接于第一安装件231与第二安装件243之间。如此，分别利用第一安装件231和第二安装件243，使得缓冲件25稳定连接在动子23和滑块242之间，以便能对高频振动实现更好的有效缓冲。

需要说明的是，第一安装件231在动子23与传动轴10之间的连接方式有多种，比如：粘接、螺栓连接、卡接、铆接等。同样，第二安装件243在滑块242上的连接方式也可为但不限于粘接、螺栓连接、卡接、铆接等。

第一安装件231和第二安装件243的形状也有多种设计，比如：第一安装件231和第二安装件243均可设计成块状或板状等结构，此时，第一安装件231设置在动子23朝向传动轴10的一侧面上，第二安装件243设置在滑块242背向导轨241的一侧面上。

还需说明的是，第二安装件243与滑块242之间的数量关系可为一对一；也可为一对多，比如：在同一导轨241上，多个滑块242通过同一第二安装件243进行连接。具体到一些实施例中，两个导轨241分别设于动子23的相对两侧，各导轨241上均间隔设有两个滑块242，同时，各滑块242上的第二安装件243均通过缓冲件25连接在第一安装件231上。

在一些实施例中，请参考图3，缓冲件25具有形变面256。形变面256覆盖并连接于第一安装件231与第二安装件243的同一侧。由此可知，缓冲件25则覆盖在第一安装件231与第二安装件243的顶面，当然，也可理解为形变面256一部分贴设在第一安装件231背向动子23的一侧面上，另一部分贴设在第二安装件243背向滑块242的一侧面上。当传动轴10沿第二方向Y进行高频运动时，所产生的高频振动会导致缓冲件25沿第一方向X受力，此时形变面256发生弯曲形变，减弱高频冲击向滑块242和导轨241传递，从而降低高频冲击对直线电机100的影响，有利于实现同步连续短行程高精度、高频运动。

需要说明的是，缓冲件25可构造成片状结构，该片状结构的相对两表面均为形变面256，比如：缓冲件25的长度与厚度之比超过20倍等。具体到一些实施例中，缓冲件25可被构造金属膜片。

另外，该片状结构的形状有多种，比如：片状结构的形状可为但不限于方形、梯形、圆形、椭圆形等；当然，也可设计成不规则的图形。同时，通过缓冲件25的变形吸收传动轴10的高频振动，缓冲件25的横截面（垂直于形变面256的截面）设计只需要核算直线电机100在运行过程中才生的剪切力，确保缓冲件25的强度复核能够达到目前工况要求即可。

为方便缓冲件25连接在第一安装件231与第二安装件243的同一侧，当传动轴10未发生运动时，第一安装件231背向动子23的一侧面与第二安装件243背向滑块242的一侧面齐平设置。

在一些实施例中，请参考图3，各驱动机构20还包括第一固定件251与第二固定件252，第一固定件251与第二固定件252分别用于将形变面256对应压接在第一安装件231与第二安装件243上。如此，利用第一固定件251与第二固定件252，分别将形变面256稳定压紧在第一安装件231和第二安装件243上，避免形变时缓冲件25从第一安装件231或第二安装件243上发生脱落，从而保证结构稳定。

需要说明的是，为实现更有效的压紧，第一固定件251与第二固定件252均可设计成条状结构，比如：第一固定件251与第二固定件252分别沿形变面256的边缘延伸，使得形变面256的整个边缘均能得到有效固定。

还需说明的是，第一固定件251在第一安装件231上的连接方式可为但不限于卡接、铆接、螺栓连接等。同时，第二固定件252在第二安装件243上的连接方式可为但不限于卡接、铆接、螺栓连接等。

在一些实施例中，请参考图3，在第一安装件231与第二安装件243之间的间隔方向上。缓冲件25的整体长度记为L1,缓冲件25在第一安装件231和第二安装件243之间悬空的部分长度记为L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。其中，缓冲件25在第一安装件231与第二安装件243之间悬空的部分应理解为：位于第一安装件231与第二安装件243之间间隙的部分，也可理解为缓冲件25的整体长度减去缓冲件25分别在第一安装件231和第二安装件243上的重叠部分。缓冲件25上对应L2的部分所占比例越大，说明缓冲件25悬空的部分越多，可形变能力越大，缓冲效果越好；但缓冲件25上对应L2的部分所占越大，则意味着被固定在第一安装件231和第二安装件243上的部分则越小，连接强度越弱，因发生结构失稳。

为此，本实施例将L2：L1的比值合理控制3:5~5:7之间，能有效兼顾缓冲件25的缓冲性和结构稳定性。

需要说明的是，第一安装件231与第二安装件243之间的间隔方向，可理解为与第二方向Y相交的方向。具体到一些实施例中，当导轨241设置在动子23沿第三方向Z的一侧时，第一安装件231与第二安装件243之间的间隔方向为第三方向Z，其中，第三方向Z垂直于第一方向X和第二方向Y之间构成的平面。当然在其他实施例中，第三方向Z、第一方向X和第二方向Y之间两两垂直。

在一些实施例中，请参考图4，缓冲件25包括主体253及连接于主体253相对两侧的两个固定部件254。两个固定部件254分别对应连接于第一安装件231和第二安装件243上，且两个固定部件254分别与主体253之间均形成有可弯折的形变部255。如此，当传动轴10进行高频运动时，缓冲件25会优先在形变部255处发生形变，以削弱高频振动对导轨241的影响，使得直线电机100处于稳定工况，有利于提升定位精度、以及缩短整定时间。

需要说明的是，形变部255是指缓冲件25上较容易发生形变的部位，其厚度可与缓冲件25上其他部位上厚度一致，但材料的弹性模量要高于其他部位上的弹性模量；当然，形变部255的材料也可与其他部位上的材料一致，但其厚度要薄于其他部位上的厚度。

具体到一些实施例中，请参考图4，形变部255为固定部件254与主体253之间的交接边，且各固定部件254与主体253连接的一侧厚度均小于主体253的厚度，此时，主体253的端面超出对应固定部件254的部分包括台阶部25a，当固定部件254设置在第一安装件231或第二安装件243上时，台阶部25a会与第一安装件231或第二安装件243的端部抵触，使得缓冲件25在第一安装件231和第二安装件243上实现有效的安装定位。

还需说明的是，两个固定部件254的表面及主体253的表面可共同界定形成形变面256。

在一些实施例中，请参考图1，各驱动机构20均包括沿与第二方向Y相交的方向间隔设置的两个定子22，动子23至少部分位于两个定子22之间。如此，在动子23两侧分布定子22，使得动子23使能（可理解为直线电机100处于激磁状态）后，动子23在与第二方向Y相交的方向上，会受到上下两个相反的磁场作用，使得在与第二方向Y相交的方向上的磁吸力抵消为零，这样动子23在磁场中间无吸力、无干扰力产生，进一步有效缓解高频振动的影响。

另外，动子23在磁场中间无吸力、无干扰力产生，使得即便传动轴10产生的高频振动直接作用在动子23上也不会对直线电机100带来较大的工况差异。而高频振动在传导至缓冲件25位置后，通过缓冲件25的自身变形，使得针对于整个驱动系统（比如龙门双驱系统等）来说，运动瞬间的工况不会因为导轨241连续非周期性的波动变化而受到影响，从而达到相对稳定的结果。

需要说明的是，与第二方向Y相交的方向可与第一方向X保持一致，也可与第一方向X相交，比如：两个定子22沿第三方向Z间隔分布，其中，第三方向Z垂直于第一方向X和第二方向Y构成的平面。

为方便定子22的安装，可在基座21上设置沿第二方向Y延伸的安装槽211，且两个定子22分别设于安装槽211的相对两槽壁上。

不难理解地，当动子23通过缓冲件25连接在滑块242上时，动子23则可在导向组件24的支撑作用下，悬空在两个定子22之间。

在一些实施例中，请参考图1，定子22与导向组件24均设于基座21沿第一方向X的一侧面上，且导向组件24位于定子22沿第三方向Z的一侧，其中，第三方向Z垂直于第一方向X和第二方向Y之间构成的平面。由此可知，在相邻两个驱动机构20之间，定子22与导向组件24均设置在两个驱动机构20相互朝向的侧面上。如此，方便传动轴10连接在相邻两个驱动机构20之间。

在一些实施例中，一种半导体制备系统，包括以上任一项的直线电机100。

上述的半导体制备系统，采用以上的直线电机100，利用定子22与动子23之间的配合，驱使动子23沿第二方向Y运动，以带动传动轴10在第二方向Y上运动；同时，利用滑块242与导轨241的配合，确保传动轴10的运动稳定。由于滑块242与传动轴10或动子23之间连接有缓冲件25，因此，当传动轴10进行高频运动时，传动轴10所产生的高频振动会传递至缓冲件25上，此时缓冲件25受振动而发生形变，以吸收至少部分传动轴10的振动能量，降低高频振动给导轨241带来的负荷，极大程度削减因瞬时变化的工况对直线电机100的影响，使得直线电机100处于稳定工况，从而有利于减少对驱动定位精度的影响。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种直线电机，其特征在于，所述直线电机包括：

传动轴(10)；

至少两个驱动机构(20)，沿第一方向(X)并列且间隔设置，各所述驱动机构(20)均包括基座(21)、设于基座(21)上的定子(22)与导向组件(24)、以及与所述定子(22)配合的动子(23)，所述定子(22)用于驱使所述动子(23)沿第二方向(Y)线性运动，各所述动子(23)均与所述传动轴(10)连接，所述导向组件(24)包括设于所述基座(21)上的导轨(241)、及沿所述第二方向(Y)滑动设于所述导轨(241)上的滑块(242)，用于对所述传动轴(10)沿所述第二方向(Y)的运动进行导向，所述第一方向(X)与所述第二方向(Y)相交；

其中，各所述驱动机构(20)还包括具有形变功能的缓冲件(25)，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)或所述传动轴(10)连接。

2.根据权利要求1所述的直线电机，其特征在于，所述滑块(242)位于所述动子(23)沿与所述第二方向(Y)相交的方向的一侧，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)连接。

3.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，各所述动子(23)与所述传动轴(10)之间均连接有第一安装件(231)，所述滑块(242)上设有与所述第一安装件(231)间隔的第二安装件(243)，所述缓冲件(25)连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间。

4.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)具有形变面(256)，所述形变面(256)覆盖并连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)的同一侧。

5.根据权利要求4所述的直线电机，其特征在于，各所述驱动机构(20)还包括第一固定件(251)与第二固定件(252)，所述第一固定件(251)与所述第二固定件(252)分别用于将所述形变面(256)对应压接在所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)上。

6.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，在所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间的间隔方向上，所述缓冲件(25)的整体长度记为L1,所述缓冲件(25)在所述第一安装件(231)和所述第二安装件(243)之间悬空的部分长度记为L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。

7.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)包括主体(253)及连接于所述主体(253)相对两侧的两个固定部件(254)，两个所述固定部件(254)分别对应连接于所述第一安装件(231)和所述第二安装件(243)上，且两个所述固定部件(254)分别与所述主体(253)之间均形成有可弯折的形变部(255)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的直线电机，其特征在于，各所述驱动机构(20)均包括沿与所述第二方向(Y)相交的方向间隔设置的两个所述定子(22)，所述动子(23)至少部分位于两个所述定子(22)之间。

9.根据权利要求1-7任一项所述的直线电机，其特征在于，所述定子(22)与所述导向组件(24)均设于所述基座(21)沿所述第一方向(X)的一侧面上，且所述导向组件(24)位于所述定子(22)沿第三方向(Z)的一侧，其中，所述第三方向(Z)垂直于所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)之间构成的平面。

10.一种半导体制备系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的直线电机。

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