CN217507111U

CN217507111U - 薄膜电容器

Info

Publication number: CN217507111U
Application number: CN202090000813.XU
Authority: CN
Inventors: 城岸贤; 菊池公明; 龟井聪; 市川智道
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd; Shizuki Electric Co Inc
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd; Shizuki Electric Co Inc
Priority date: 2019-08-28
Filing date: 2020-04-24
Publication date: 2022-09-27
Anticipated expiration: 2030-04-24
Also published as: JP7312261B2; JPWO2021038963A1; WO2021038963A1

Abstract

薄膜电容器(1)具备：层叠体(10)，在层叠方向(T)上层叠了薄膜，该薄膜包含在电介质薄膜(31)的至少一个主面上设置了金属层(41)的金属化薄膜(21)；和第1外部电极(11)以及第2外部电极(12)，设置在与层叠方向(T)正交的宽度方向(W)上的层叠体(10)的两端面上，第1外部电极(11)具有第1部分(11a)和被第1部分(11a)包围的第2部分(11b)，在层叠方向(T)上进行了投影的情况下，第1外部电极(11)的第1部分(11a)的表层处于比第1外部电极(11)的第2部分(11b)的表层靠近第2外部电极(12)的位置。

Description

薄膜电容器

技术领域

本实用新型涉及薄膜电容器。

背景技术

薄膜电容器一般通过将在电介质薄膜的表面设置了金属层的金属化薄膜卷绕或者层叠，并在其两端面形成一对外部电极而制作。外部电极通常通过被称为金属喷涂的金属喷镀来形成。

这样的薄膜电容器例如像专利文献1等记载的那样，具有如下构造，即，在容纳于外装壳体内之后通过环氧树脂等密封树脂进行了密封。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-146724号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

然而，在以往的薄膜电容器中，由于因周围的温度变化而产生了密封树脂的膨胀或者收缩时的应力，外部电极有可能破损。特别是，在应力集中的外部电极的棱线部即外部电极的外周端，存在外部电极容易破损这样的问题。

本实用新型是为了解决上述问题而作的，其目的在于，提供一种外部电极不易破损的薄膜电容器。

用于解决课题的手段

本实用新型的薄膜电容器具备：层叠体，在层叠方向上层叠了薄膜，该薄膜包含在电介质薄膜的至少一个主面上设置了金属层的金属化薄膜；和第1外部电极以及第2外部电极，设置在与上述层叠方向正交的宽度方向上的上述层叠体的两端面上，上述第1外部电极具有第1部分和被该第1部分包围的第2部分，在上述层叠方向上进行了投影的情况下，上述第1外部电极的上述第1部分的表层处于比上述第1外部电极的上述第2部分的表层靠近上述第2外部电极的位置。

实用新型效果

根据本实用新型，能够提供一种外部电极不易破损的薄膜电容器。

附图说明

图1是示意性地示出本实用新型的薄膜电容器的一例的立体图。

图2A是图1所示的薄膜电容器的沿着IIa-IIa线的剖视图，图2B是对图2A的IIb部分进行了放大的剖视图。

图3A是图1以及图2A所示的薄膜电容器的沿着IIIa-IIIa线的剖视图，图3B是对图3A的IIIb部分进行了放大的剖视图。

图4是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的层叠体中包含的金属化薄膜的层叠状态的一例的立体图。

图5是示意性地示出构成图1所示的薄膜电容器的层叠体的卷绕状态的一例的立体图。

图6A以及图6B是示意性地示出图1所示的薄膜电容器的使用方法的一例的立体图。

图7是示意性地示出形成外部电极的方法的一例的立体图。

图8是示意性地示出在第1外部电极形成台阶的方法的一例的剖视图。

图9是示意性地示出形成与第1外部电极11连接的金属部的方法的一例的剖视图。

具体实施方式

以下，对本实用新型的薄膜电容器进行说明。另外，本实用新型并不限定于以下的结构，也可以在不脱离本实用新型的主旨的范围内适当变更。此外，将以下记载的各个优选的结构组合多个而成的结构也还是本实用新型。

[薄膜电容器]

作为本实用新型的薄膜电容器的一例，以下说明电介质薄膜以及金属层在层叠的状态下被卷绕而成的所谓的卷绕型的薄膜电容器。本实用新型的薄膜电容器也可以是电介质薄膜以及金属层被交替地层叠而成的所谓的层叠型的薄膜电容器。

图1是示意性地示出本实用新型的薄膜电容器的一例的立体图。图2A是图1所示的薄膜电容器的沿着IIa-IIa线的剖视图，图2B是对图2A的IIb部分进行了放大的剖视图。图3A是图1以及图2A所示的薄膜电容器的沿着IIIa-IIIa线的剖视图，图3B是对图3A的IIIb部分进行了放大的剖视图。

在本说明书中，如图1、图2A、图2B、图3A以及图3B所示，将薄膜电容器中的层叠方向以及宽度方向分别设为由箭头T以及箭头W规定的方向。另外，在卷绕型的薄膜电容器中，虽然也可以说存在多个层叠方向，但是在本说明书中设为由箭头T规定的方向。在此，层叠方向T和宽度方向W相互正交。

图1所示的薄膜电容器1具备层叠体10、设置在宽度方向W上的层叠体10的一个端面上的第1外部电极11、和设置在宽度方向W上的层叠体10的另一个端面上的第2外部电极12。

如图2A、图2B、图3A以及图3B所示，层叠体10是第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22在层叠方向T上层叠的状态下被卷绕而成的所谓的卷绕体。薄膜电容器1是具备也为这种卷绕体的层叠体10的卷绕型的薄膜电容器。

在薄膜电容器1中，从薄膜电容器1的低高度化的观点出发，如图1以及图2A所示，优选被压制成层叠体10的剖面形状为椭圆或者长圆那样的扁平形状，设为厚度比层叠体10的剖面形状为正圆时小的形状。

第1金属化薄膜21在第1电介质薄膜31的一个主面上设置了第1金属层41。

第1金属层41设置为在宽度方向上到达第1金属化薄膜21的一个侧缘且不到达第1金属化薄膜21的另一个侧缘。

第2金属化薄膜22在第2电介质薄膜32的一个主面上设置了第2金属层42。

第2金属层42设置为在宽度方向上不到达第2金属化薄膜22的一个侧缘且到达第2金属化薄膜22的另一个侧缘。

如图4所示，第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22如双箭头Y1以及Y2所示在宽度方向上错开的状态下被层叠。此时，第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22在设置有第1金属层41以及第2金属层42的主面成为相同朝向(在图4中为朝上)的状态下被层叠。

在图4所示的状态下被层叠的第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22，首先如图5所示以预卷绕薄膜23为中心并在其周围卷绕为卷筒状。在图5中，第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22在层叠的状态下被卷绕，使得第2金属化薄膜22成为第1金属化薄膜21的内侧，第1金属层41成为第1电介质薄膜31的内侧，第2金属层42成为第2电介质薄膜32的内侧。

在第2金属化薄膜22的卷绕结束部分，用于对第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22进行保护的保护卷绕薄膜24被重叠并卷绕从而被连接，针对层叠体10的卷绕结束部分的外周面卷绕多圈保护卷绕薄膜24。保护卷绕薄膜24例如通过利用了热封(heat seal)等的热熔接而被固定。

如图2A以及图3A所示，层叠体10是在预卷绕薄膜23的周围将第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22多重卷绕而构成的。如图2B所示，由一对第1金属层41以及第2金属层42夹住第1电介质薄膜31或者第2电介质薄膜32从而构成电容器。

也可以不同于图4以及图5所示的状态，第2金属层42不是设置在第2电介质薄膜32的一个主面上，而是设置在第1电介质薄膜31的另一个主面上。在该情况下，在层叠体10中，在第1电介质薄膜31的一个主面上设置了第1金属层41并且在另一个主面上设置了第2金属层42的金属化薄膜、和第2电介质薄膜32在层叠的状态下被卷绕。

第1外部电极11设置在层叠体10的一个端面上，通过与第1金属层41的露出端部接触从而与第1金属层41连接。

第2外部电极12设置在层叠体10的另一个端面上，通过与第2金属层42的露出端部接触从而与第2金属层42连接。

作为第1外部电极11以及第2外部电极12的构成材料，各自例如可列举锌、铝、锡、锌-铝合金等金属。第1外部电极11优选至少与第1金属层41连接的部分由锌-铝合金构成。第2外部电极12优选至少与第2金属层42连接的部分由锌-铝合金构成。第1外部电极11以及第2外部电极12优选各自通过在层叠体10的一个端面上以及另一个端面上喷镀上述金属而形成。

如图1所示，第1外部电极11具有第1部分11a和被第1部分11a包围的第2部分11b。如图3A以及图3B所示，在层叠方向T上进行了投影的情况下，第1外部电极11的第1部分11a的表层处于比第1外部电极11的第2部分11b的表层靠近第2外部电极12的位置。因此，在第1外部电极11的外周端设置有朝向第2外部电极12凹陷的台阶13。

同样地，如图1所示，第2外部电极12具有第1部分12a和被第1部分12a包围的第2部分12b。如图3A所示，在层叠方向T上进行了投影的情况下，第2外部电极12的第1部分12a的表层处于比第2外部电极12的第2部分12b的表层靠近第1外部电极11的位置。因此，在第2外部电极12的外周端设置有朝向第1外部电极11凹陷的台阶13。

若在第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端设置有台阶13，则在由于周围的温度变化而产生了密封树脂的膨胀或者收缩时，集中于第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端的应力被分散，因此能够缓和施加于第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端的应力。其结果是，第1外部电极11或者第2外部电极12变得不易破损。

只要第1外部电极11以及第2外部电极12中的至少一个外部电极具有第1部分11a、12a以及第2部分11b、12b即可。即，只要在第1外部电极11以及第2外部电极12中的至少一个外部电极的外周端设置有台阶13即可。此外，台阶13优选设置在第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端的整周，但也可以设置在外周端的一部分。

台阶13的形状没有特别限定，如图3B所示，台阶13也可以具有圆角。台阶13的形状既可以在第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端是固定的，也可以按每个场所而不同。此外，台阶13的阶数也没有特别限定。

如图3A以及图3B所示，在第1外部电极11具有第1部分11a以及第2部分11b的情况下，优选在第1外部电极11侧的层叠体10的端面中，位于层叠体10的最外侧的薄膜的端部朝向第2外部电极12凹陷。此外，如图3A所示，在第2外部电极12具有第1部分12a以及第2部分12b的情况下，优选在第2外部电极12侧的层叠体10的端面中，位于层叠体10的最外侧的薄膜的端部朝向第1外部电极11凹陷。

在通过喷镀来形成第1外部电极11的情况下，通过在位于层叠体10的最外侧的薄膜的端部设置凹陷，从而能够形成具有第1部分11a以及第2部分11b的第1外部电极11，因此能够在第1外部电极11的外周端形成台阶13。同样地，在通过喷镀来形成第2外部电极12的情况下，通过在位于层叠体10的最外侧的薄膜的端部设置凹陷，从而能够形成具有第1部分12a以及第2部分12b的第2外部电极12，因此能够在第2外部电极12的外周端形成台阶13。

特别是，位于层叠体10的最外侧的薄膜优选为保护卷绕薄膜24。保护卷绕薄膜24的宽度既可以与第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的宽度相同，也可以比第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的宽度短。即使保护卷绕薄膜24的宽度与第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的宽度相同，由于第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32在宽度方向上错开进行层叠，因此也会在保护卷绕薄膜24的端部形成凹陷。因此，在通过喷镀来形成第1外部电极11以及第2外部电极12的情况下，能够在第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端形成台阶13。

在位于层叠体10的最外侧的薄膜为保护卷绕薄膜24的情况下，如图3A以及图3B所示，优选在第1电介质薄膜31的端部与第2电介质薄膜32的端部之间配置保护卷绕薄膜24的端部。

如图3A以及图3B所示，在第1外部电极11具有第1部分11a以及第2部分11b的情况下，也可以在第1外部电极11连接有金属部14。在宽度方向W上进行了投影的情况下，金属部14设置在与第1外部电极11的第1部分11a重叠的位置。即，金属部14设置为覆盖台阶13。此外，如图3A所示，在第2外部电极12具有第1部分12a以及第2部分12b的情况下，也可以在第2外部电极12连接有金属部14。在宽度方向W上进行了投影的情况下，金属部14设置在与第2外部电极12的第1部分12a重叠的位置。即，金属部14设置为覆盖台阶13。

金属部14通过锚固效应而与第1外部电极11或者第2外部电极12较弱地连接。金属部14优选与第1外部电极11或者第2外部电极12相比密度低。

若在第1外部电极11或者第2外部电极12连接有金属部14使得覆盖台阶13，则在将薄膜电容器1容纳于外装壳体内并通过密封树脂进行了密封的状态下，能够缓和施加于第1金属化薄膜21和第1外部电极11的接合部分、或者第2金属化薄膜22和第2外部电极12的接合部分的应力。参照以下的图6A以及图6B对其理由进行说明。

如图6A所示，首先，将薄膜电容器1容纳于外装壳体50。在第1外部电极11电连接有第1引线端子51，在第2外部电极12电连接有第2引线端子52。其次，如图6B所示，通过在外装壳体50的内部填充密封树脂53，从而用密封树脂53覆盖薄膜电容器1的周围，并且对外装壳体50的开口部进行密封。第1引线端子51以及第2引线端子52从外装壳体50的内部朝向外部突出。

一般地，若收纳于外装壳体并被密封树脂密封的薄膜电容器暴露在外部温度的急剧变化中，则与内部的层叠体以及外部电极相比较，外部的外装壳体以及密封树脂的温度会先行变化。因此，在外部温度变化了的情况下，外装壳体以及密封树脂先行产生膨胀或者收缩的变化。其结果是，外部电极从密封树脂受到压缩应力或者拉伸应力，金属化薄膜和外部电极的接合部分有可能剥离。与之相对，若在第1外部电极11或者第2外部电极12设置有金属部14使得覆盖台阶13，则金属部14取代第1外部电极11或者第2外部电极12从密封树脂53受到压缩应力或者拉伸应力而被破坏。因此，能够缓和施加于第1金属化薄膜21和第1外部电极11的接合部分、或者第2金属化薄膜22和第2外部电极12的接合部分的应力。其结果是，变得不易产生上述接合部分的剥离。

在薄膜电容器1具有扁平形状的情况下，金属部14优选存在于扁平面。在该情况下，金属部14既可以存在于扁平面的整体，也可以存在于扁平面的一部分。

金属部14的形状没有特别限定，既可以不从第1外部电极11或者第2外部电极12突出，也可以从第1外部电极11或者第2外部电极12突出。金属部14的形状既可以在第1外部电极11或者第2外部电极12的外周端是固定的，也可以按每个场所而不同。

如后所述，金属部14能够通过对构成第1外部电极11以及第2外部电极12的金属进行喷镀而形成。在该情况下，金属部14由与第1外部电极11以及第2外部电极12相同的金属构成。

构成第1金属化薄膜21的第1电介质薄膜31、以及构成第2金属化薄膜22的第2电介质薄膜32各自优选含有固化性树脂作为主要成分。在此，所谓主要成分，意味着重量百分比最大的成分，优选的是，意味着重量百分比大于50重量％的成分。

固化性树脂既可以为热固化性树脂，也可以为光固化性树脂。所谓热固化性树脂，意味着能够通过热而固化的树脂，并不限定固化方法。因此，只要是能够通过热而固化的树脂，则通过热以外的方法(例如，光、电子束等)而固化的树脂也包含于热固化性树脂。此外，根据材料而存在由于材料自身具有的反应性开始反应的情况，对于不一定从外部给予热或光等就进行固化的树脂也作为热固化性树脂。关于光固化性树脂也是同样的，只要是能够通过光而固化的树脂，则不限定固化方法。

固化性树脂可以具有氨基甲酸酯键以及脲键的至少一者，也可以不具有氨基甲酸酯键以及脲键这两者。另外，关于氨基甲酸酯键以及/或者脲键的存在，能够利用傅里叶变换红外分光光度计(FT-IR)来确认。

固化性树脂优选由第1有机材料和第2有机材料的固化物构成。作为这样的固化物，例如，可列举第1有机材料所具有的羟基(OH基)和第2有机材料所具有的异氰酸酯基(NCO基)发生反应而得到的固化物等。在通过这样的反应而得到固化物的情况下，有时起始材料的未固化部分残留在电介质薄膜中。例如，第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32也可以各自含有羟基以及异氰酸酯基的至少一者。在该情况下，第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32各自可以含有羟基以及异氰酸酯基的一者，也可以含有羟基以及异氰酸酯基这两者。另外，关于羟基以及/或者异氰酸酯基的存在，能够利用傅里叶变换红外分光光度计(FT-IR)来确认。

第1有机材料优选为在分子内具有多个羟基的多元醇。作为多元醇，例如，可列举聚乙烯醇缩乙醛等的聚乙烯醇缩醛、苯氧基树脂等的聚醚多元醇、聚酯多元醇等。作为第1有机材料，也可以同时使用多种有机材料。

第2有机材料优选为在分子内具有多个官能团的异氰酸酯化合物、环氧树脂、或者密胺树脂。作为第2有机材料，也可以同时使用多种有机材料。

作为异氰酸酯化合物，例如，可列举二苯基甲烷二异氰酸酯(MDI)、甲苯二异氰酸酯(TDI)等的芳香族多异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯(HDI)等的脂肪族多异氰酸酯等。作为异氰酸酯化合物，也可以是这些多异氰酸酯的改性体，例如，具有碳二亚胺或者氨基甲酸酯等的改性体。

作为环氧树脂，只要是具有环氧环的树脂就没有特别限定，例如，可列举双酚A型环氧树脂、联苯骨架环氧树脂、环戊二烯骨架环氧树脂、萘骨架环氧树脂等。

作为密胺树脂，只要是在构造的中心具有三嗪环且在其周边具有3个氨基的有机氮化合物就没有特别限定，例如，可列举烷基化密胺树脂等。作为密胺树脂，也可以是密胺的改性体。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32优选通过将包含第1有机材料以及第2有机材料的树脂溶液成型为薄膜状之后，进行热处理使其固化来制作。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32也可以各自含有蒸镀聚合膜作为主要成分。蒸镀聚合膜可以具有氨基甲酸酯键以及脲键的至少一者，也可以不具有氨基甲酸酯键以及脲键这两者。另外，蒸镀聚合膜是指通过蒸镀聚合法而成膜的膜，基本上包含于固化性树脂。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32也可以各自含有热塑性树脂作为主要成分。作为热塑性树脂，例如，可列举聚丙烯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚芳酯等。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32也可以各自含有例如硅酮树脂、第1有机材料以及第2有机材料等的起始材料的未固化部分等作为主要成分以外的成分。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32也可以各自含有用于附加各种功能的添加剂。作为添加剂，例如，可列举用于赋予平滑性的整平剂等。添加剂优选具有与羟基以及/或者异氰酸酯基发生反应的官能团且形成固化物的交联构造的一部分。作为这样的添加剂，例如，可列举具有从包括羟基、环氧基、硅烷醇基以及羧基的组中选择的至少1种官能团的树脂等。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的组成可以相互不同，但优选彼此相同。

第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的厚度各自优选为0.5μm以上且5μm以下。第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的厚度可以相互不同，但优选彼此相同。

关于第1电介质薄膜31以及第2电介质薄膜32的厚度，能够利用光学式膜厚计来测定。

作为构成第1金属化薄膜21的第1金属层41、以及构成第2金属化薄膜22的第2金属层42的构成材料，各自可列举例如铝、锌、钛、镁、锡、镍等的金属。

第1金属层41以及第2金属层42的组成可以相互不同，但优选彼此相同。

第1金属层41以及第2金属层42的厚度各自优选为5nm以上且40nm以下。

关于第1金属层41的厚度，能够通过利用透射电子显微镜(TEM)对第1金属化薄膜21的厚度方向上的切断面进行观察来确定。关于第2金属层42的厚度也能够同样地确定。

作为预卷绕薄膜23的构成材料，只要容易卷取第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22就没有特别限定，例如，可列举聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚萘二甲酸乙二醇酯等。

预卷绕薄膜23既可以由独立于第1电介质薄膜31或者第2电介质薄膜32的单独的薄膜构成，也可以由连续的一连串薄膜构成。在由连续的一连串薄膜构成的情况下，只要在相当于预卷绕薄膜23的部分不设置电极即可。

作为保护卷绕薄膜24的构成材料，只要能够保护第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22就没有特别限定，例如，可列举聚丙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、聚萘二甲酸乙二醇酯等。

保护卷绕薄膜24既可以由独立于第1电介质薄膜31或者第2电介质薄膜32的单独的薄膜构成，也可以由连续的一连串薄膜构成。在由连续的一连串薄膜构成的情况下，只要在相当于保护卷绕薄膜24的部分不设置电极即可。

层叠体10的结构也可以与如图3A以及图3B所示的结构不同。例如，也可以是，在第1金属化薄膜21中第1金属层41在宽度方向上被分断为2个金属层，并设置为一个金属层到达第1金属化薄膜21的一个侧缘且另一个金属层到达第1金属化薄膜21的另一个侧缘，在第2金属化薄膜22中设置为第2金属层42不到达一个侧缘也不到达另一个侧缘。像这样，即使设置为在第1金属层41中一个金属层与第1外部电极11连接并且另一个金属层与第2外部电极12连接，同时第2金属层42不与第1外部电极11以及第2外部电极12这两者连接的情况下，也能够在第1金属层41与第2金属层42之间构成电容器。

[薄膜电容器的制造方法]

本实用新型的薄膜电容器例如通过以下的方法来制造。

首先，如图4所示，制作第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22。其次，如图5所示，以预卷绕薄膜23为中心，在其周围将第1金属化薄膜21以及第2金属化薄膜22卷绕为卷筒状。然后，针对卷绕结束部分的外周面卷绕多圈保护卷绕薄膜24。

优选将这样得到的层叠体10从上下方向夹着，如图2A所示压制为扁平形状。

在层叠体10的一个端面上喷镀金属，由此形成第1外部电极11使得与第1金属层41连接。此外，在层叠体10的另一个端面上喷镀金属，由此形成第2外部电极12使得与第2金属层42连接。

图7是示意性地示出形成外部电极的方法的一例的立体图。

如图7所示，用喷镀夹具61以及62夹住层叠体10的扁平面，使得层叠体10的端面开放。喷镀夹具61以及62不与层叠体10的拐角面相接。在图7所示的状态下，从喷镀喷嘴63向层叠体10的端面喷射熔融金属。

在使喷镀喷嘴63向图8所示的双箭头的方向移动的情况下，在靠近喷镀夹具61的薄膜的端部不易附着熔融金属，此外，位于层叠体10的最外侧的保护卷绕薄膜24的端部凹陷，因此形成具有第1部分11a以及第2部分11b的第1外部电极11。其结果是，在第1外部电极11的外周端形成台阶13。在靠近喷镀夹具62的薄膜的端部也是同样的。

也可以根据需要，在与图8所示的状态相比使喷镀喷嘴63远离层叠体10的状态下，仅在层叠体的外侧喷射熔融金属。在该情况下，能够在台阶13上形成密度比第1外部电极11低的金属部14。另外，形成金属部14的方法并不限定于图9所示的方法。

关于第2外部电极12，也能够通过与上述同样的方法来形成台阶13以及金属部14。

通过以上，可制造图1所示的薄膜电容器1。

本实用新型的薄膜电容器并不限定于上述实施方式，关于薄膜电容器的结构、制造条件等，能够在本实用新型的范围内加以各种应用、变形。

附图标记说明

1 薄膜电容器；

10 层叠体；

11 第1外部电极；

11a 第1外部电极的第1部分；

11b 第1外部电极的第2部分；

12 第2外部电极；

12a 第2外部电极的第1部分；

12b 第2外部电极的第2部分；

13 台阶；

14 金属部；

21 第1金属化薄膜；

22 第2金属化薄膜；

23 预卷绕薄膜；

24 保护卷绕薄膜；

31 第1电介质薄膜；

32 第2电介质薄膜；

41 第1金属层；

42 第2金属层；

50 外装壳体；

51 第1引线端子；

52 第2引线端子；

53 密封树脂；

61、62 喷镀夹具；

63 喷镀喷嘴。

Claims

1.一种薄膜电容器，其特征在于，具备：

层叠体，在层叠方向上层叠了薄膜，该薄膜包含在电介质薄膜的至少一个主面上设置了金属层的金属化薄膜；和

第1外部电极以及第2外部电极，设置在与所述层叠方向正交的宽度方向上的所述层叠体的两端面上，

所述第1外部电极具有第1部分和被该第1部分包围的第2部分，

在所述层叠方向上进行了投影的情况下，所述第1外部电极的所述第1部分的表层处于比所述第1外部电极的所述第2部分的表层靠近所述第2外部电极的位置。

2.根据权利要求1所述的薄膜电容器，其特征在于，

还具备与所述第1外部电极连接的金属部，

在所述宽度方向上进行了投影的情况下，所述金属部设置在与所述第1外部电极的所述第1部分重叠的位置。

3.根据权利要求2所述的薄膜电容器，其特征在于，

所述金属部与所述第1外部电极相比密度低。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，

在所述第1外部电极侧的所述层叠体的端面，位于所述层叠体的最外侧的薄膜的端部朝向所述第2外部电极凹陷。

5.根据权利要求4所述的薄膜电容器，其特征在于，

位于所述层叠体的最外侧的薄膜是用于保护所述金属化薄膜的保护卷绕薄膜。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，

所述第1外部电极的至少与所述金属层连接的部分由锌-铝合金构成。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的薄膜电容器，其特征在于，

所述第2外部电极具有第1部分和被该第1部分包围的第2部分，

在所述层叠方向上进行了投影的情况下，所述第2外部电极的所述第1部分的表层处于比所述第2外部电极的所述第2部分的表层靠近所述第1外部电极的位置。