CN217491887U - 超声波清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种超声波清洗机，包括：槽体，槽体包括腔体；至少两个超声发生件，设置于槽体，至少两个超声发生件分别位于腔体的底壁和侧壁；清洗组件，设置于腔体的上部，清洗组件用于向腔体内喷淋水；进水组件，与腔体相连通，用于进水。本申请通过将至少两个超声发生件分别设置在腔体的底壁和侧壁，可以向不同方向发射超声波，在不同方向的超声波的作用下，使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面及缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

Description

超声波清洗机

技术领域

本实用新型涉及超声波清洗技术领域，具体而言，涉及一种超声波清洗机。

背景技术

相关技术中，半自动超声波清洗机在晶片清洗过程中，超声波在底部发起振动，设备的拖架以及装载晶片的夹具，往往会挡住超声波振动所产生的微小气泡，导致清洗效果减弱，晶片的清洁度降低。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出了一种超声波清洗机。

有鉴于此，本实用新型提出了一种超声波清洗机，包括：槽体，槽体包括腔体；至少两个超声发生件，设置于槽体，至少两个超声发生件分别位于腔体的底壁和侧壁；清洗组件，设置于腔体的上部，清洗组件用于向腔体内喷淋水；进水组件，与腔体相连通，用于进水。

本申请提供的超声波清洗机包括：槽体、至少两个超声发生件、清洗组件和进水组件。具体地，槽体包括：腔体，待清洗件放置在腔体内清洗。至少两个超声发生件分别设置在腔体的底壁和侧壁，至少两个超声发生件可以向不同方向发射超声波，设置在腔体底壁的超声发生件可以向槽口方向发射超声波，设置在腔体侧壁的超声发生件可以向对侧发射超声波。通过将至少两个超声发生件分别设置在腔体的底壁和侧壁，可以从不同方向发出超声波，使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面和缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

进一步地，清洗组件，设置于腔体的上部，清洗组件用于向腔体内喷淋水，在进行超声波清洗之前，利用清洗组件，先对放置在腔体内的待清洗件进行冲洗，洗去表面的浮尘。

进一步地，进水组件，与腔体相连通，用于向腔体内进水。

本申请通过将至少两个超声发生件分别设置在腔体的底壁和侧壁，可以向不同方向发射超声波，在不同方向的超声波的作用下，使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面及缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的超声波清洗机还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，至少两个超声发生件包括：至少一个第一超声发生件，设置于腔体的底壁；至少一个第二超声发生件，设置于腔体的侧壁。

在该技术方案中，至少两个超声发生件包括：至少一个第一超声发生件和至少一个第二超声发生件。具体地，第一超声发生件设置于腔体的底壁，第二超声发生件设置于腔体的侧壁。通过分别将第一超声发生件和第而超声发生件设置在腔体的底壁和侧壁可以发出不同振动方向的超声波，实现超声波的多面振动，多面振动可以使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面和缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

在上述任一技术方案中，第二超声发生件的数量为多个，多个第二超声发生件中的至少两个超声发生件分别设置于腔体内相对的两个侧壁上。

在该技术方案中，第二超声发生件的数量为多个，可根据情况具体设定，多个第二超声发生件中的至少两个超声发生件分别设置于腔体内相对的两个侧壁上，设置在对侧的两个超声发生件可以生成相反方向的超声波，进一步扩展超声波的振动面，提升清洗效果。

在上述任一技术方案中，超声波清洗机，还包括：控制器，与至少两个超声发生件相连接，用于控制至少两个超声发生件工作。

在该技术方案中，超声波清洗机还包括：控制器，控制器与至少两个超声发生件连接，用于控制至少两个超声发生件工作。

具体地，至少两个超声发生件根据控制器发出的控制指令可以调节所发出的超声波的振动频率。实现对超声波振动强度的管控。

在上述任一技术方案中，清洗组件包括：喷头，设置于腔体的上部，喷头用于向腔体内喷淋水；水泵，与喷头连接，水泵用于向喷头泵送水。

在该技术方案中，清洗组件包括喷头和水泵。具体地，喷头设置于腔体的上部用于向腔体内喷淋水，可以洗去待清洗件表面的浮尘。水泵，与喷头连接，具体地，水泵通过水管与喷头连接，用于向喷头泵送水，以便于为喷头提供用于清洗的水源。

在上述任一技术方案中，进水组件包括：第一进水管，与腔体连通；第一进水阀，设置于第一进水管，第一进水阀用于开启或关闭第一进水管。

在该技术方案中，进水组件包括第一进水管和第一进水阀。其中，第一进水阀为电磁阀，具体地，第一进水管与腔体连通用于向腔体内加水。第一进水阀设置于第一进水管，用于开启或关闭第一进水管，当开启第一进水阀时，第一进水管向腔体内加水，当关闭第一进水阀时，第一进水管停止加水。

具体地，在洗去待清洗件表面的浮尘后，开启第一进水阀，通过第一进水管快速向腔体内加入预设水量的水，加完水后关闭第一进水阀。

在上述任一技术方案中，进水组件还包括：第二进水管，与腔体连通；第二进水阀，设置于第二进水管，第二进水阀用于开启或关闭第二进水管。

在该技术方案中，进水组件包括第二进水管和第二进水阀。其中，第二进水阀为电磁阀。具体地，第二进水管与腔体连通，用于向腔体内加水。第二进水阀设置于第二进水管，用于开启或关闭第二进水管，当开启第二进水阀时，第二进水管向腔体内加水，当关闭第二进水阀时，第二进水管停止加水。

具体的，第一进水管的进水速度大于第二进水管的进水速度。在利用超声波清洗待清洗件的过程中，开启第二进水阀，向腔体内慢速进水，使腔体内不断有流动的水，保持腔体内的洁净环境。

具体地，第一进水阀为快进水电磁阀，第二进水阀为慢进水电磁阀。第二进水阀包括流量计，流量计用于监测第二进水管的进水速度，一方面可以在进水速度过快时发出提示，减少水的浪费，另一方面也可以在进水过慢时发出提示，确保腔体内水的流动性符合流速要求。

在上述任一技术方案中，超声波清洗机，还包括：液位传感器，设置于腔体内，液位传感器用于监测腔体内的水位；溢流口，设置于腔体的侧壁，溢流口与腔体相连通。

在该技术方案中，超声波清洗机还包括液位传感器和溢流口。具体地，液位传感器设置于腔体内用于监测腔体内的水位，当水位低于第一预设水位时可以发出提醒，以确保超声波在水中，实现清洗效果的最大化。溢流口设置于腔体的侧壁，溢流口与腔体相连通，溢流口用于排出腔体内多余的水，确保水位不高于第二预设水位。其中，第二预设水位高于第一预设水位。

在上述任一技术方案中，超声波清洗机，还包括：机架，槽体设置于机架上，清洗组件设置于机架；机械手臂，设置于机架上，机械手臂用于移动待清洗件。

在该技术方案中，超声波清洗机还包括机架和机械手臂。具体地，槽体和清洗组件都设置在机架上，机架用于支承槽体及清洗组件。机械手臂设置于机架上用于移动待清洗件。具体地，机械手臂用于根据控制指令将待清洗件放置在腔体内，以及将清洗完成的待清洗件取出，实现超声波清洗机的自动化清洗。

通过在超声波清洗机中包括机械手臂，根据控制指令控制机械手臂移动待清洗件。可以理解的是，利用机械手臂能够将待清洗件更准确的放置在预定的位置，在清洗完成后，控制机械手臂将得到全面清洁的清洗件取出，保证清洗件的清洁效果不因取放而遭到破坏。

在上述任一技术方案中，超声波清洗机，还包括：放水管，与腔体相连通，用于放水；放水阀，设置于放水管，用于开启或关闭放水管。

在该技术方案中，超声波清洗机还包括放水管和放水阀。放水管与腔体相连通，放水管用于排出腔体内的水，放水阀，设置于放水管，用于开启或关闭放水管，当放水阀开启时，腔体开始放水，当放水阀关闭时，腔体停止放水。其中，放水阀为气动放水阀。

具体地，当用喷头对待清洗件进行冲洗时，打开气动放水阀，利用放水管将腔体内的冲洗后的水从放水管中排出。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了本实用新型的一个实施例的超声波清洗机的结构示意图。

其中，图1的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100超声波清洗机，110槽体，112腔体，120第一超声发生件，122第二超声发生件，130喷头，132水泵，134清洗组件，140第一进水管，142第一进水阀，144第二进水管，146第二进水阀，148手动阀，149进水组件，150液位传感器，160溢流口，170放水管，180放水阀。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的超声波清洗机100进行详细地说明。

实施例1：

本实用新型提出了一种超声波清洗机100，如图1所示，超声波清洗机100包括：槽体110，槽体110包括腔体112；至少两个超声发生件，设置于槽体110，至少两个超声发生件分别位于腔体112的底壁和侧壁；清洗组件134，设置于腔体112的上部，清洗组件134用于向腔体112内喷淋水；进水组件149，与腔体112相连通，用于进水。

本申请提供的超声波清洗机100包括：槽体110、至少两个超声发生件、清洗组件134和进水组件149。具体地，槽体110包括：腔体112，待清洗件放置在腔体112内清洗。至少两个超声发生件分别设置在腔体112的底壁和侧壁，至少两个超声发生件可以向不同方向发射超声波，设置在腔体112底壁的超声发生件可以向槽口方向发射超声波，设置在腔体112侧壁的超声发生件可以向对侧发射超声波。通过将至少两个超声发生件分别设置在腔体112的底壁和侧壁，可以从不同方向发出超声波，使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面和缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

进一步地，清洗组件134，设置于腔体112的上部，清洗组件134用于向腔体112内喷淋水，在进行超声波清洗之前，利用清洗组件134，先对放置在腔体112内的待清洗件进行冲洗，洗去表面的浮尘。

进一步地，进水组件149，与腔体112相连通，用于向腔体112内进水。

本申请通过将至少两个超声发生件分别设置在腔体112的底壁和侧壁，可以向不同方向发射超声波，在不同方向的超声波的作用下，使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面及缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

进一步地，如图1所示，至少两个超声发生件包括：至少一个第一超声发生件120，设置于腔体112的底壁；至少一个第二超声发生件122，设置于腔体112的侧壁。

在该实施例中，至少两个超声发生件包括：至少一个第一超声发生件120和至少一个第二超声发生件122。具体地，第一超声发生件120设置于腔体112的底壁，第二超声发生件122设置于腔体112的侧壁。通过分别将第一超声发生件120和第而超声发生件设置在腔体112的底壁和侧壁可以发出不同振动方向的超声波，实现超声波的多面振动，多面振动可以使超声波振动所产生的微小气泡能够到达待清洗件的各个表面和缝隙，将待清洗件表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到全面清洁的清洗效果。

进一步地，如图1所示，第二超声发生件的数量为多个，多个第二超声发生件122中的至少两个超声发生件分别设置于腔体112内相对的两个侧壁上。

在该实施例中，第二超声发生件的数量为多个，可根据情况具体设定，多个第二超声发生件122中的至少两个超声发生件分别设置于腔体112内相对的两个侧壁上，设置在对侧的两个超声发生件可以生成相反方向的超声波，进一步扩展超声波的振动面，提升清洗效果。

进一步地，超声波清洗机100，还包括：控制器，与至少两个超声发生件相连接，用于控制至少两个超声发生件工作。

在该实施例中，超声波清洗机100还包括：控制器，控制器与至少两个超声发生件连接，用于控制至少两个超声发生件工作。

具体地，至少两个超声发生件可根据控制器发出的控制指令可以调节所发出的超声波的振动频率。实现对超声波振动强度的管控。

进一步地，如图1所示，清洗组件134包括：喷头130，设置于腔体112的上部，喷头130用于向腔体112内喷淋水；水泵132，与喷头130连接，水泵132用于向喷头130泵送水。

在该实施例中，清洗组件134包括喷头130和水泵132。具体地，喷头130设置于腔体112的上部用于向腔体112内喷淋水，可以洗去待清洗件表面的浮尘。水泵132，与喷头130连接，具体地，水泵132通过水管与喷头130连接，用于向喷头130泵送水，以便于为喷头130提供用于清洗的水源。

在实际的应用中，在对待清洗件进行超声波清洗前，先利用水泵132向喷头130内泵送水，喷头130向腔体112内的待清洗件喷淋水，洗去待清洗件表面的浮尘和污垢。

实施例2：

如图1所示，在实施例1的基础上，实施例2提供了一种超声波清洗机100，其中，进水组件149包括：第一进水管140，与腔体112连通；第一进水阀142，设置于第一进水管140，第一进水阀142用于开启或关闭第一进水管140。

在该实施例中，进水组件149包括第一进水管140和第一进水阀142。其中，第一进水阀142为电磁阀，具体地，第一进水管140与腔体112连通用于向腔体112内加水。第一进水阀142设置于第一进水管140，用于开启或关闭第一进水管140，当开启第一进水阀142时，第一进水管140向腔体112内加水，当关闭第一进水阀142时，第一进水管140停止加水。

具体地，在洗去待清洗件表面的浮尘后，开启第一进水阀142，通过第一进水管140快速向腔体112内加入预设水量的水，加完水后关闭第一进水阀142。

进一步地，如图1所示，进水组件149还包括：第二进水管144，与腔体112连通；第二进水阀146，设置于第二进水管144，第二进水阀146用于开启或关闭第二进水管144。

在该实施例中，进水组件149包括第二进水管144和第二进水阀146。其中，第二进水阀146为电磁阀。具体地，第二进水管144与腔体112连通，用于向腔体112内加水。第二进水阀146设置于第二进水管144，用于开启或关闭第二进水管144，当开启第二进水阀146时，第二进水管144向腔体112内加水，当关闭第二进水阀146时，第二进水管144停止加水。

具体的，第一进水管140的进水速度大于第二进水管144的进水速度。在利用超声波清洗待清洗件的过程中，开启第二进水阀146，向腔体112内慢速进水，使腔体112内不断有流动的水，保持腔体112内的洁净环境。

在实际的应用中，第一进水阀142为快进水电磁阀，第二进水阀146为慢进水电磁阀。第二进水阀146包括流量计，流量计用于监测第二进水管144的进水速度，一方面可以在进水速度过快时发出提示，减少水的浪费，另一方面也可以在进水过慢时发出提示，确保腔体112内水的流动性符合流速要求。

在实际的应用中，进水组件149还包括：手动阀148，手动阀148的一端连接水源，另一端连接第一进水阀142和第二进水阀146，打开手动阀148时，才能向腔体112内加水。

进一步地，如图1所示，超声波清洗机100还包括：液位传感器150，设置于腔体112内，液位传感器150用于监测腔体112内的水位；溢流口160，设置于腔体112的侧壁，溢流口160与腔体112相连通。

在该实施例中，超声波清洗机100还包括液位传感器150和溢流口160。具体地，液位传感器150设置于腔体112内用于监测腔体112内的水位，当水位低于第一预设水位时可以发出提醒，以确保超声波在水中，实现清洗效果的最大化。溢流口160设置于腔体112的侧壁，溢流口160与腔体112相连通，溢流口160用于排出腔体112内多余的水，确保水位不高于第二预设水位。其中，第二预设水位高于第一预设水位。

实施例3：

如图1所示，在上述任一实施例的基础上，实施例3提供了一种超声波清洗机100，超声波清洗机100，还包括：机架，槽体110设置于机架上，清洗组件134设置于机架；机械手臂，设置于机架上，机械手臂用于移动待清洗件。

在该实施例中，超声波清洗机100还包括机架和机械手臂。具体地，槽体110和清洗组件134都设置在机架上，机架用于支承槽体110及清洗组件134。机械手臂设置于机架上用于移动待清洗件。具体地，机械手臂用于根据控制指令将待清洗件放置在腔体112内，以及将清洗完成的待清洗件取出，实现超声波清洗机100的自动化清洗。

通过在超声波清洗机100中包括机械手臂，根据控制指令控制机械手臂移动待清洗件。可以理解的是，利用机械手臂能够将待清洗件更准确的放置在预定的位置，在清洗完成后，控制机械手臂将得到全面清洁的清洗件取出，保证清洗件的清洁效果不因取放而遭到破坏。

进一步地，如图1所示，超声波清洗机100，还包括：放水管170，与腔体112相连通，用于放水；放水阀180，设置于放水管170，用于开启或关闭放水管170。

在该实施例中，超声波清洗机100还包括放水管170和放水阀180。放水管170与腔体112相连通，放水管170用于排出腔体112内的水，放水阀180，设置于放水管170，用于开启或关闭放水管170，当放水阀180开启时，腔体112开始放水，当放水阀180关闭时，腔体112停止放水。其中，放水阀180为气动放水阀。

在实际的应用中，待清洗件为石英晶体谐振器的晶片。当用喷头130对晶片进行冲洗时，打开放水阀180，利用放水管170将腔体112内的冲洗后的水从腔体112内排出。超声波清洗机100包括左超声发生件、下超声发生件、右超声发生件、喷头130、快进水电磁阀、慢进水电磁阀、水泵132及放水阀180。左超声发生件、下超声发生件和右超声发生件可单独工作，可同时工作，也可以轮流工作。有快速进水和慢速进水，快速进水采用电磁阀控制，慢速进水采用电磁阀控制，慢速进水时，通过流量计来监测进水速度。腔体112内还设有液位开关，用于保护超声波。槽体110上方带有喷头130，喷淋时，放水阀180打开，完毕后关闭，然后利用快进水电磁阀向腔体112内加水。

超声波清洗机100在工作时，由机械手臂把晶片放置到腔体112内。先由水泵132把水抽到上方喷头130对晶片单独冲洗，时间为二分钟。由放水阀180快速排水，时间一分钟。

然后，由快速进水电磁阀进水。水位达到预设时，快速进水电磁阀关闭，慢速进水电磁阀工作。之后超声发生件开始工作，分别单独工作，工作顺序：下超声发生件工作两分钟、左超声发生件工作两分钟和右超声发生件工作两分钟。

最后，由放水阀180快速排水，时间一分钟。机械手臂，把晶片脱架取出，放置另下一个槽内，完成晶片的清洗。

在本实用新型中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种超声波清洗机，其特征在于，包括：

槽体，所述槽体包括腔体；

至少两个超声发生件，设置于所述槽体，至少两个所述超声发生件分别位于所述腔体的底壁和侧壁；

清洗组件，设置于所述腔体的上部，所述清洗组件用于向所述腔体内喷淋水；

进水组件，与所述腔体相连通，用于进水。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗机，其特征在于，至少两个所述超声发生件包括：

至少一个第一超声发生件，设置于所述腔体的底壁；

至少一个第二超声发生件，设置于所述腔体的侧壁。

3.根据权利要求2所述的超声波清洗机，其特征在于：

所述第二超声发生件的数量为多个，多个所述第二超声发生件中的至少两个所述超声发生件分别设置于所述腔体内相对的两个侧壁上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，还包括：

控制器，与所述至少两个超声发生件相连接，用于控制所述至少两个超声发生件工作。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，所述清洗组件包括：

喷头，设置于所述腔体的上部，所述喷头用于向所述腔体内喷淋水；

水泵，与所述喷头连接，所述水泵用于向所述喷头泵送水。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，所述进水组件包括：

第一进水管，与所述腔体连通；

第一进水阀，设置于所述第一进水管，所述第一进水阀用于开启或关闭所述第一进水管。

7.根据权利要求6所述的超声波清洗机，其特征在于，所述进水组件还包括：

第二进水管，与所述腔体连通；

第二进水阀，设置于所述第二进水管，所述第二进水阀用于开启或关闭所述第二进水管。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，还包括：

液位传感器，设置于所述腔体内，所述液位传感器用于监测所述腔体内的水位；

溢流口，设置于所述腔体的侧壁，所述溢流口与所述腔体相连通。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，还包括：

机架，所述槽体设置于所述机架上，所述清洗组件设置于所述机架；

机械手臂，设置于所述机架上，所述机械手臂用于移动待清洗件。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波清洗机，其特征在于，还包括：

放水管，与所述腔体相连通，用于放水；

放水阀，设置于所述放水管，用于开启或关闭所述放水管。

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