CN217490339U - 一种过滤型强酸烟雾的处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种过滤型强酸烟雾的处理装置，所述处理装置包括设置于酸洗系统顶部的导风结构，所述导风结构的出口端依次连接有净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔，所述净化装置上设置有支路出口端，所述支路出口端连接至二级喷淋塔，且所述净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔均外接有废水处理装置。在本实用新型中，提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加的净化装置，可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染，适合推广。

Description

一种过滤型强酸烟雾的处理装置

技术领域

本实用新型属于半导体溅射靶材处理技术领域，涉及一种过滤型强酸烟雾的处理装置。

背景技术

高纯度钽半导体溅射靶材在生产加工制造时，钽锭和钽板会经过一系列压力加工如开坯锻造、轧制等，金属钽表层会产生一层氧化物，严重影响溅射靶材的使用性能，需要通过强酸酸洗清洁金属钽表面，去除表层氧化物，得到表面光滑的钽锭和钽板，酸洗溶液为硫酸、硝酸以及氢氟酸的混合溶液。当金属钽放入酸洗溶液时会产生大量黄色烟雾，其主要化学成分为硝酸产生的氮氧化物，在氮氧化物中除了二氧化氮气体比较稳定，其他氮氧化物遇光，湿，或热易变成二氧化氮，二氧化氮直接排到空气中会造成现场环境恶劣以及对环境造成极大污染，且影响工人身体健康，烟雾需通过处理达标才能排出。目前现有酸洗烟雾处理方法有静电除雾法、机械式酸雾净化法、酸雾净化液吸收法、酸雾净化过滤法以及酸雾净化固体吸附法。

CN212188558U公开了一种酸雾处理塔，所述塔体的底部设有贮液槽，所述贮液槽的上方由下往上依次设有第一填料层、第一喷淋管、第二填料层和第二喷淋管，所述第二喷淋管的上方设有排气口，所述第一喷淋管和第二喷淋管均十字形设置，所述第一喷淋管和第二喷淋管均通过供液管道与贮液槽连接，所述供液管道上设有循环水泵，所述塔体上连接有酸雾接入管，所述酸雾接入管与风机连接，所述酸雾接入管朝向贮液槽设有若干位于液面以下的出气管，所述出气管上设有若干出气孔。该酸雾处理塔有效的提高了反应中和的时间，使反应更加的充分，能完全的吸收掉有毒物质，十字形设置的喷淋管有效的提高了喷淋的面积，使药剂与酸雾的接触更加的充分。

CN206688490U公开了一种用于金属清洗剂生产线的废气处理装置，包括生产罐，所述生产罐右侧设有酸雾处理罐，酸雾处理罐内设有碱性溶液，酸雾处理罐右侧设有碱雾处理罐，碱雾处理罐内设有酸性溶液，酸雾处理罐内设有第一管道，碱雾处理罐内设有第二管道，第一管道和第二管道均通过出雾管与生产罐相连通；所述碱雾处理罐右侧设有净化罐，净化罐内设有水，净化罐内设有进气管，进气管通过第三管道和第四管道分别与酸雾处理罐和碱雾处理罐的顶部相连通。该装置对酸性气体或碱性进行分别中和处理，以保证产生的废气得到有效的处理，随后排入净化罐内，再对废气进行处理，使排出的废气无毒无害。

CN215996183U公开了一种用于处理废旧电池电解液酸雾的喷淋塔，包括有喷淋塔本体、第一酸雾输入管道、第二酸雾输入管道、隔板，在所述喷淋塔本体的顶部设有酸雾输出管口，所述隔板位于喷淋塔本体的内部，在所述第一酸雾输入管道上设有第一酸雾吸入泵，在所述第二酸雾输入管道上设有第二酸雾吸入泵；在所述第一酸雾输入管道的一端设有酸雾收集罩体，其另外一端延伸至喷淋塔本体的内部，且在该端设有若干个酸雾出口管，在若干个酸雾出口管的底部均设有酸雾输出罩体，所述酸雾输出罩体位于隔板的上方。

常用的方法是酸雾净化液吸收法以及酸雾净化固体吸附法，其他方法设备原理复杂，以及造价成本高多用于专业环保处理厂。酸雾净化液吸收法缺点是当金属与酸洗溶液接触时，瞬间会产生大量烟雾，喷淋塔无法及时中和，仍有一部分酸雾会排到空气中。酸雾净化固体吸附法的缺点是由于吸附剂的吸附容量有限，造成设备庞大，吸附剂需要频繁定时更换，不够经济实惠仅适用于净化处理酸雾浓度较低的废气。因此，亟需设计开发一种处理装置可以克服现有技术的缺陷，以满足实际生产生活的需求。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种过滤型强酸烟雾的处理装置，在本实用新型中，提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加的净化装置，可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染，适合推广。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种过滤型强酸烟雾的处理装置，所述处理装置包括设置于酸洗系统顶部的导风结构，所述导风结构的出口端依次连接有净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔，所述净化装置上设置有支路出口端，所述支路出口端连接至二级喷淋塔，且所述净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔均外接有废水处理装置。

在本实用新型中，提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加的净化装置，可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染，适合推广。

需要说明的是，本实用新型中的处理装置是通过净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔以及废水处理装置的配合形成的，其中各部件的存在至关重要，缺一不可，否则无法达到本实用新型中可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染的目的。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述导风结构包括引风槽以及电性连接引风槽的风机。

需要说明的是，本实用新型对引风槽的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，引风槽在本实用新型中的作用是对酸洗系统排除的酸雾进行导流至净化装置内，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的引风槽均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对引风槽的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述风机为耐酸风机。

需要说明的是，本实用新型对耐酸风机的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，耐酸风机在本实用新型中的作用是对酸洗系统排除的酸雾进行导流至净化装置内，和引风槽电性连接可以吸引酸雾的排放，由于酸雾的性质，所以采用耐酸的风机，提高设备的使用年限，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的耐酸风机均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对耐酸风机的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述净化装置为净化罐。

需要说明的是，本实用新型对净化罐的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，净化罐在本实用新型中的作用是针对导风结构引入的酸雾先一步进行净化，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的净化罐均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对净化罐的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述导风结构的出口端连接至净化装置的底部。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述净化装置的底部设置有进气管道，所述进气管道的一端为封闭端，另一端为开口端，所述导风结构的出口端连接所述进气管道的开口端。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述进气管道的表面均匀开设有进气孔。

需要说明的是，本实用新型对进气孔的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，进气孔在本实用新型中的作用是使得导风结构引入的酸雾均匀喷入净化装置中，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的进气孔均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对进气孔的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述净化装置内部有水溶液。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述净化装置连接所述一级喷淋塔的一端设置有控制阀门，所述控制阀门用于调节气体的流速和流量。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述一级喷淋塔和二级喷淋塔的结构相同或不同。

需要说明的是，本实用新型对一级喷淋塔和二级喷淋塔的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，一级喷淋塔和二级喷淋塔在本实用新型中的作用是对净化装置处理后的酸雾进一步处理，二者的具体结构和填充物质可以根据实际情况做出调整，可以相同也可以不同，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的一级喷淋塔和二级喷淋塔均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对一级喷淋塔和二级喷淋塔的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

需要说明的是，本实用新型提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加净化装置，整体形成配合处理，缺一不可，解决了酸洗时瞬间产生大量烟雾的问题，现有的一级，二级喷淋塔处理烟雾的能力有限，如果投入原料多，会有大量黄烟产生，不能随时满足排放标准，生产中只能控制酸洗时钽原料的投放量控制大量黄烟的产生；且酸洗时间不宜控制，酸洗时间长钽原料损耗大，同时喷淋塔产生的废水量大，增加了废水处理工作量。该装置采用了喷淋塔的逆向思维，将烟雾通过强抽风分离成无数细小气泡释放在添加了硝酸黄烟处理剂的水中隔离并过滤后再导入一级喷淋塔和二级喷淋塔，使用该装置的好处是加大了酸洗时钽原料的投放量，更加精准的控制酸洗时间，减少了钽原料在酸洗时的损耗，降低了喷淋塔产生的废水和处理废水的时间，并且有效的处理了酸雾，达到排放标准，极大减少了废水、废气对环境的污染。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

在本实用新型中，提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加的净化装置，可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染，适合推广。

附图说明

图1为本实用新型一个具体实施方式提供的过滤型强酸烟雾的处理装置的处理流程示意图；

图2为本实用新型一个具体实施方式提供的过滤型强酸烟雾的处理装置中净化装置的结构示意图；

其中：1-导风结构；2-净化装置；3-一级喷淋塔；4-二级喷淋塔；5-废水处理装置；6-进气孔；7-控制阀门。

具体实施方式

需要理解的是，在本实用新型的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在一个具体实施方式中，本实用新型提供了一种过滤型强酸烟雾的处理装置，如图1和图2所示，所述处理装置包括设置于酸洗系统顶部的导风结构1，导风结构1的出口端依次连接有净化装置2、一级喷淋塔3和二级喷淋塔4，净化装置2上设置有支路出口端，支路出口端连接至二级喷淋塔4，且净化装置2、一级喷淋塔3和二级喷淋塔4均外接有废水处理装置5。

在本实用新型中，提供的处理装置通过在酸洗系统和喷淋装置之间增加的净化装置2，可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染，适合推广。

需要说明的是，本实用新型中的处理装置是通过净化装置2、一级喷淋塔3和二级喷淋塔4以及废水处理装置5的配合形成的，其中各部件的存在至关重要，缺一不可，否则无法达到本实用新型中可以先一步收集好产生的酸雾，再通过逐步释放酸雾到喷淋装置，使得喷淋装置有缓冲时间处理酸雾，可有效处理酸雾，达到排放标准，极大减少了环境污染的目的。

导风结构1包括引风槽以及电性连接引风槽的风机。需要说明的是，本实用新型对引风槽的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，引风槽在本实用新型中的作用是对酸洗系统排除的酸雾进行导流至净化装置2内，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的引风槽均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对引风槽的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

风机为耐酸风机。需要说明的是，本实用新型对耐酸风机的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，耐酸风机在本实用新型中的作用是对酸洗系统排除的酸雾进行导流至净化装置2内，和引风槽电性连接可以吸引酸雾的排放，由于酸雾的性质，所以采用耐酸的风机，提高设备的使用年限，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的耐酸风机均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对耐酸风机的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

净化装置2为净化罐。需要说明的是，本实用新型对净化罐的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，净化罐在本实用新型中的作用是针对导风结构1引入的酸雾先一步进行净化，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的净化罐均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对净化罐的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

导风结构1的出口端连接至净化装置2的底部，净化装置2的底部设置有进气管道，进气管道的一端为封闭端，另一端为开口端，导风结构1的出口端连接进气管道的开口端。

进气管道的表面均匀开设有进气孔6。需要说明的是，本实用新型对进气孔6的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，进气孔6在本实用新型中的作用是使得导风结构1引入的酸雾均匀喷入净化装置2中，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的进气孔6均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对进气孔6的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

净化装置2内部有水溶液，净化装置2连接一级喷淋塔3的一端设置有控制阀门7，控制阀门7用于调节气体的流速和流量，一级喷淋塔3和二级喷淋塔4的结构相同或不同。需要说明的是，本实用新型对一级喷淋塔3和二级喷淋塔4的尺寸、形状和材质等结构特征不作具体要求和特殊限定，一级喷淋塔3和二级喷淋塔4在本实用新型中的作用是对净化装置2处理后的酸雾进一步处理，二者的具体结构和填充物质可以根据实际情况做出调整，可以相同也可以不同，因此可以理解的是，其他能实现此类功能的一级喷淋塔3和二级喷淋塔4均可用于本实用新型中，本领域技术人员可以根据使用场景和测试条件对一级喷淋塔3和二级喷淋塔4的尺寸、形状和材质进行适应性调整。

申请人声明，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本实用新型的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述处理装置包括设置于酸洗系统顶部的导风结构，所述导风结构的出口端依次连接有净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔，所述净化装置上设置有支路出口端，所述支路出口端连接至二级喷淋塔，且所述净化装置、一级喷淋塔和二级喷淋塔均外接有废水处理装置。

2.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述导风结构包括引风槽以及电性连接引风槽的风机。

3.根据权利要求2所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述风机为耐酸风机。

4.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述净化装置为净化罐。

5.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述导风结构的出口端连接至净化装置的底部。

6.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述净化装置的底部设置有进气管道。

7.根据权利要求6所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述进气管道的表面均匀开设有进气孔。

8.根据权利要求6所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述进气管道的一端为封闭端，另一端为开口端，所述导风结构的出口端连接所述进气管道的开口端。

9.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述净化装置连接所述一级喷淋塔的一端设置有控制阀门，所述控制阀门用于调节气体的流速和流量。

10.根据权利要求1所述的过滤型强酸烟雾的处理装置，其特征在于，所述一级喷淋塔的结构和所述二级喷淋塔的结构相同或不同。

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