CN217474232U - 一种晶圆测试用预清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种晶圆测试用预清洗装置，包括清洗箱、机箱、控制箱和提篮，所述提篮上设有提把，提篮内支柱的周侧开设的插接槽内均插设有晶圆本体，清洗箱一侧的下部设有排液管和旋盖，清洗箱内设有环形出水腔和喷嘴，控制箱外设有控制器，控制箱内泵体的一端通过抽液管与清洗箱贯通，泵体的另一端通过L形管与环形出水腔连通。本实用新型中，在伺服电机旋转轴上设置与提篮下的花键轴相互适配的花键套筒，可以带动提篮进行缓慢、匀速的转动，结合环形出水腔内壁设置的喷嘴，更好的对晶圆本体进行清洗，同时在提篮内设置了带有插接槽的支柱及限位块，可以间隔放置晶圆本体，大大提高了晶圆的清洗效率。

Description

一种晶圆测试用预清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种晶圆测试用预清洗装置。

背景技术

晶圆在进行生产加工时，为防止晶圆上的脏污对后续检测工艺造成影响，需要对其进行清洗，但现有的晶圆清洗装置结构及功能单一，操作不当还会造成晶圆产生磕碰，并且晶圆清洗时部位单一，大大降低了晶圆的清洗效率，为此，我们提出了一种晶圆测试用预清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆测试用预清洗装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆测试用预清洗装置，包括清洗箱、机箱、控制箱和提篮，所述提篮的顶端面设置有提把，提篮的中部设置有支柱，支柱的周侧间隔开设有若干个插接槽，并且每个插接槽内均插设有晶圆本体；

所述清洗箱一侧的下部设置有排液管，并且排液管的一端螺合固定有旋盖；

所述清洗箱内部的中部设置有环形出水腔，环形出水腔的内壁等距设置有若干个喷嘴；

所述控制箱的外侧设置有控制器，控制箱的内部设置有泵体，泵体的一端通过抽液管与清洗箱的内部贯通，泵体的另一端通过L形管与环形出水腔的内部连通；

此外，优选的结构是，所述插接槽倾斜开设在支柱的周侧，支柱的材质设置为橡胶材料。

此外，优选的结构是，所述提篮内设置有若干个限位块，限位块的顶端面与晶圆本体的底端面相互贴合，并且限位块的材质设置为橡胶材料。

此外，优选的结构是，所述机箱内设置有伺服电机，伺服电机的输出端通过联轴器安装固定有旋转轴，旋转轴的上部依次与机箱的顶端面及清洗箱的底端面贯穿，并且旋转轴的顶端面设置有花键套筒。

此外，优选的结构是，所述提篮底端面的中部设置有花键轴，并且花键轴与花键套筒之间相互适配。

此外，优选的结构是，所述控制器分别与泵体、伺服电机和环形出水腔之间通过电连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，通过在伺服电机旋转轴上设置与提篮下设置的花键轴相互适配的花键套筒，当伺服电机启动后，可以带动提篮进行缓慢、匀速的转动，并结合环形出水腔内壁设置的喷嘴，进而更好的对晶圆本体进行清洗，同时在提篮内设置了带有插接槽的支柱及限位块，可以更好的间隔放置晶圆本体，大大提高了晶圆的清洗效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆测试用预清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆测试用预清洗装置的俯视图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆测试用预清洗装置的结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆测试用预清洗装置中花键套筒及花键轴的剖视图。

图中：101清洗箱、102机箱、103控制箱、2控制器、3泵体、401抽液管、402L形管、403排液管、5旋盖、601环形出水腔、602喷嘴、701提篮、702提把、8支柱、9插接槽、10晶圆本体、11限位块、12伺服电机、13旋转轴、141花键套筒、142花键轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1-4，一种晶圆测试用预清洗装置，包括清洗箱101、机箱102、控制箱103和提篮701，提篮701的顶端面设置有提把702，提篮701的中部设置有支柱8，支柱8的周侧间隔开设有若干个插接槽9，并且每个插接槽9内均插设有晶圆本体10；

在其他实施例中，插接槽9倾斜开设在支柱8的周侧，支柱8的材质设置为橡胶材料；

通过该设计，将晶圆本体10插设在支柱8的周侧间隔开设的插接槽9内，并且支柱8采用橡胶材质制成，进而更好的对晶圆本体10进行限位，同时还能减少对晶圆本体10造成磨损；

在其他实施例中，提篮701内设置有若干个限位块11，限位块11的顶端面与晶圆本体10的底端面相互贴合，并且限位块11的材质设置为橡胶材料；

通过该设计，将限位块11设置在晶圆本体10的下方，橡胶材质的限位块11可以对其起到很好的限位作用；

清洗箱101一侧的下部设置有排液管403，并且排液管403的一端螺合固定有旋盖5；

通过该设计，将螺合有旋盖5的排液管403设置在清洗箱101一侧的下部，进而便于后期对清洗箱101内的清洗液进行排放；

清洗箱101内部的中部设置有环形出水腔601，环形出水腔601的内壁等距设置有若干个喷嘴602；

通过该设计，将喷嘴602均匀设置在环形出水腔601的内壁，进而更好的对环形出水腔601中部放置的提篮701内的晶圆本体10进行清洗；

控制箱103的外侧设置有控制器2；

在其他实施例中，控制器2分别与泵体3、伺服电机12和环形出水腔601之间通过电连接；

通过该设计，将泵体3、伺服电机12和环形出水腔601与控制器2之间通过电连接，当操作者对此晶圆测试用预清洗装置进行使用时，可以通过控制器2对其进行控制，大大提高了智能性；

控制箱103的内部设置有泵体3，泵体3的一端通过抽液管401与清洗箱101的内部贯通，泵体3的另一端通过L形管402与环形出水腔601的内部连通；

通过该设计，当泵体3开启时，泵体3通过抽液管401将清洗箱101内的清洗液从L形管402内提升至环形出水腔601的喷嘴602内均匀喷出，不仅提高了清洗效率，同时还起到了循环利用水资源的目的；

在其他实施例中，机箱102内设置有伺服电机12，伺服电机12的输出端通过联轴器安装固定有旋转轴13，旋转轴13的上部依次与机箱102的顶端面及清洗箱101的底端面贯穿，并且旋转轴13的顶端面设置有花键套筒141；

在其他实施例中，提篮701底端面的中部设置有花键轴142，并且花键轴142与花键套筒141之间相互适配；

通过该设计，在提篮701下设置花键轴142，在旋转轴13上设置花键套筒141，并且花键轴142与花键套筒141之间是相互适配的，进而便于操作者对提篮701进行拆装拿取；

本实施例中，通过在伺服电机旋转轴上设置与提篮下设置的花键轴相互适配的花键套筒，当伺服电机启动后，可以带动提篮进行缓慢、匀速的转动，并结合环形出水腔内壁设置的喷嘴，进而更好的对晶圆本体进行清洗，同时在提篮内设置了带有插接槽的支柱及限位块，可以更好的间隔放置晶圆本体，大大提高了晶圆的清洗效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆测试用预清洗装置，包括清洗箱(101)、机箱(102)、控制箱(103)和提篮(701)，其特征在于，所述提篮(701)的顶端面设置有提把(702)，提篮(701)的中部设置有支柱(8)，支柱(8)的周侧间隔开设有若干个插接槽(9)，并且每个插接槽(9)内均插设有晶圆本体(10)，所述清洗箱(101)一侧的下部设置有排液管(403)，并且排液管(403)的一端螺合固定有旋盖(5)，所述清洗箱(101)内部的中部设置有环形出水腔(601)，环形出水腔(601)的内壁等距设置有若干个喷嘴(602)，所述控制箱(103)的外侧设置有控制器(2)，控制箱(103)的内部设置有泵体(3)，泵体(3)的一端通过抽液管(401)与清洗箱(101)的内部贯通，泵体(3)的另一端通过L形管(402)与环形出水腔(601)的内部连通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于，所述插接槽(9)倾斜开设在支柱(8)的周侧，支柱(8)的材质设置为橡胶材料。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于，所述提篮(701)内设置有若干个限位块(11)，限位块(11)的顶端面与晶圆本体(10)的底端面相互贴合，并且限位块(11)的材质设置为橡胶材料。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于，所述机箱(102)内设置有伺服电机(12)，伺服电机(12)的输出端通过联轴器安装固定有旋转轴(13)，旋转轴(13)的上部依次与机箱(102)的顶端面及清洗箱(101)的底端面贯穿，并且旋转轴(13)的顶端面设置有花键套筒(141)。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于，所述提篮(701)底端面的中部设置有花键轴(142)，并且花键轴(142)与花键套筒(141)之间相互适配。

6.根据权利要求1或4所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于，所述控制器(2)分别与泵体(3)、伺服电机(12)和环形出水腔(601)之间通过电连接。

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