CN217405373U - 一种多级真空管路系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了：一种多级真空管路系统，包括真空泵，所述真空泵管路连接一级真空罐，所述真空泵与所述一级真空罐之间设有第一通断阀，所述一级真空罐管路连接氮气充入装置，所述一级真空罐与所述排废装置之间设有第三通断阀，所述一级真空罐与所述二级真空罐之间设有第四通断阀，所述一级真空罐管路连接间歇真空单元，所述一级真空罐与所述间歇真空单元之间设有第六通断阀，所述二级真空罐管路连接持续真空单元，所述二级真空罐与所述持续真空单元之间设有第五通断阀，本实用新型可以在只使用一只真空泵的情况下完成不同单元在各种复杂条件下对真空的需求，一种多级真空管路系统具有成本低，功能全，应用场景广泛等优点。

Description

一种多级真空管路系统

技术领域

本实用新型应用于半导体行业晶片湿法处理技术领域，具体为一种多级真空管路系统。

背景技术

目前，半导体湿法处理设备内部一般都设有多个工艺单元，用于晶片加工的不同需要，有些单元或元件需要持续的厂务真空供给，有些单元需要在真空和大气直接交替供给，传统的方式是对不同单元分别提供厂务真空，增加了机台的真空泵的使用量和成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种多级真空管路系统，本旨在现有由于统的方式是对不同单元分别提供厂务真空，增加了机台的真空泵的使用量和成本。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多级真空管路系统，包括真空泵，所述真空泵管路连接一级真空罐，所述真空泵与所述一级真空罐之间设有第一通断阀，所述一级真空罐管路连接氮气充入装置，所述一级真空罐与所述氮气充入装置之间设有第二通断阀，所述一级真空罐管路连接排废装置，所述一级真空罐与所述排废装置之间设有第三通断阀，所述一级真空罐管路连接二级真空罐，所述一级真空罐与所述二级真空罐之间设有第四通断阀，所述一级真空罐管路连接间歇真空单元，所述一级真空罐与所述间歇真空单元之间设有第六通断阀，所述二级真空罐管路连接持续真空单元，所述二级真空罐与所述持续真空单元之间设有第五通断阀。

优选的，所述一级真空罐与所述二级真空罐上分别设有压力表。

优选的，所述一级真空罐内部设有液位传感器。

优选的，所述一级真空罐与所述氮气充入装置之间设有节流阀。

优选的，所述压力表电路连接报警装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型可以在只使用一只真空泵的情况下完成不同单元在各种复杂条件下对真空的需求，一种多级真空管路系统具有成本低，功能全，应用场景广泛等优点。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种多级真空管路系统主视图。

附图标记

其中；1、真空泵；2、一级真空罐；3、第一通断阀；4、氮气充入装置；5、第二通断阀；6、排废装置；7、第三通断阀；8、二级真空罐；9、第四通断阀；10、间歇真空单元；11、第六通断阀；12、持续真空单元；13、第五通断阀；14、压力表；15、液位传感器；16、节流阀；17、报警装置。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

实施例1：

根据附图1所示，本实用新型提供一种技术方案：一种多级真空管路系统，包括真空泵1，所述真空泵1管路连接一级真空罐2，所述真空泵1与所述一级真空罐2之间设有第一通断阀3，所述一级真空罐2管路连接氮气充入装置4，所述一级真空罐2与所述氮气充入装置4之间设有第二通断阀5，所述一级真空罐2管路连接排废装置6，所述一级真空罐2与所述排废装置6之间设有第三通断阀7，所述一级真空罐2管路连接二级真空罐8，所述一级真空罐2与所述二级真空罐8之间设有第四通断阀9，所述一级真空罐2管路连接间歇真空单元10，所述一级真空罐2与所述间歇真空单元10之间设有第六通断阀11，所述二级真空罐8管路连接持续真空单元12，所述二级真空罐8与所述持续真空单元12之间设有第五通断阀13。

具体而言，所述一级真空罐2与所述二级真空罐8上分别设有压力表14。

监测所述一级真空罐2与所述二级真空罐8内部的压力情况。

具体而言，所述一级真空罐2内部设有液位传感器15。

监测所述一级真空罐2内部液位情况。

具体而言，所述一级真空罐2与所述氮气充入装置4之间设有节流阀16。

控制氮气充入的流量与速度。

具体而言，所述压力表14电路连接报警装置17。

所述一级真空罐2与所述二级真空罐8内部压力异常时，起到自动报警的功能，防止发生管路破裂或爆炸事故的发生。

工作原理；具体使用时，所述真空泵1开启，所述真空泵1与所述一级真空罐2之间的所述第一通断阀3打开，所述一级真空罐2与所述二级真空罐8之间的所述第四通断阀9打开，所述二级真空罐8与所述持续真空单元12之间的所述第五通断阀13打开，所述氮气充入装置4与所述一级真空罐2之间的所述第二通断阀5打开，通过调节所述节流阀16控制进入所述一级真空罐2的氮气流量，可以控制所述二级真空罐8的压力稳定在设定的压力值。当所述间歇真空单元10需要使用真空时，将所述第四通断阀9关闭，所述第六通断阀11打开，所述第二通断阀5关闭，这样可以将所述真空泵1所有的抽气能力都用于所述间歇真空单元10的抽真空，达到快速完成单元抽真空的目的，同时所述持续真空单元12由于所述二级真空罐8的存在其真空值不会随着所述一级真空罐2的压力值的升高而变化。当所述间歇真空单元10的真空值达到预设值后，关闭所述第六通断阀11，打开所述第二通断阀5，待所述一级真空罐2压力恢复到初始值后，将所述第四通断阀9打开，系统恢复到默认状态。考虑到所述间歇真空单元10的可能有工艺处理时喷洒的液体沿真空管路回流到所述一级真空罐2，故在所述一级真空罐2侧壁上固定有液位传感器，当检测到罐内液位到达高位后，将所述第一通断阀3、所述第四通断阀9，所述第六通断阀11关闭，所述第三通断阀7打开，罐内液体即可通过所述第三通断阀7排走。当排空后恢复系统初始状态。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种多级真空管路系统，包括真空泵（1），其特征在于；所述真空泵（1）管路连接一级真空罐（2），所述真空泵（1）与所述一级真空罐（2）之间设有第一通断阀（3），所述一级真空罐（2）管路连接氮气充入装置（4），所述一级真空罐（2）与所述氮气充入装置（4）之间设有第二通断阀（5），所述一级真空罐（2）管路连接排废装置（6），所述一级真空罐（2）与所述排废装置（6）之间设有第三通断阀（7），所述一级真空罐（2）管路连接二级真空罐（8），所述一级真空罐（2）与所述二级真空罐（8）之间设有第四通断阀（9），所述一级真空罐（2）管路连接间歇真空单元（10），所述一级真空罐（2）与所述间歇真空单元（10）之间设有第六通断阀（11），所述二级真空罐（8）管路连接持续真空单元（12），所述二级真空罐（8）与所述持续真空单元（12）之间设有第五通断阀（13）。

2.根据权利要求1所述的一种多级真空管路系统，其特征在于；所述一级真空罐（2）与所述二级真空罐（8）上分别设有压力表（14）。

3.根据权利要求1所述的一种多级真空管路系统，其特征在于；所述一级真空罐（2）内部设有液位传感器（15）。

4.根据权利要求1所述的一种多级真空管路系统，其特征在于；所述一级真空罐（2）与所述氮气充入装置（4）之间设有节流阀（16）。

5.根据权利要求2所述的一种多级真空管路系统，其特征在于；所述压力表（14）电路连接报警装置（17）。

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