CN217392959U - 硅粉筛分装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种硅粉筛分装置，包括第一筛体和第一筛板，第一筛体包括第一外壳和第一内衬，第一内衬设置于第一外壳的内部，第一内衬包括主体部和凸起部，主体部覆盖第一外壳的内壁，凸起部设置于主体部背离第一外壳的内壁的一面，第一筛板的边缘为台阶结构，第一筛板的边缘设置于凸起部上，凸起部与台阶结构形成的台阶面连接。通过在第一外壳的内部设置第一内衬，第一内衬的主体部覆盖第一外壳的内壁，使硅粉只与第一内衬接触，不会与第一筛体之间发生摩擦而产生污染硅粉的颗粒，保证了硅粉的高纯度。第一内衬的凸起部与台阶结构形成的台阶面连接，使第一筛板能更好地被定位，便于第一筛板的装卸，第一筛板也不易从第一内衬上脱离。

Description

硅粉筛分装置

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，尤其涉及一种硅粉筛分装置。

背景技术

硅粉筛分装置利用散粒物料与筛面的相对运动，使部分颗粒透过筛孔，将硅粉按大小分成不同级别。单晶硅粉的品质纯度要求非常高，在筛分过程中，现有的硅粉筛分装置与硅粉接触、摩擦，易产生杂质，如果杂质超标，会导致整炉产品报废，造成重大损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅粉筛分装置，能保证硅粉的高纯度。

上述技术问题通过以下技术方案进行解决：

提供一种硅粉筛分装置，包括第一筛体和第一筛板，所述第一筛体包括第一外壳和第一内衬，所述第一内衬设置于所述第一外壳的内部，所述第一内衬包括主体部和凸起部，所述主体部覆盖所述第一外壳的内壁，所述凸起部设置于所述主体部背离所述第一外壳的内壁的一面，所述第一筛板的边缘为台阶结构，所述第一筛板的边缘设置于所述凸起部上，所述凸起部与所述台阶结构形成的台阶面连接。

在其中一个实施例中，硅粉筛分装置还包括第二筛体和第二筛板，所述第二筛体包括第二外壳和第二内衬，所述第二内衬设置于所述第二外壳的内部，所述第二内衬为漏斗形，所述第二筛板设置于所述第二内衬中并位于所述第一筛板的下方。

在其中一个实施例中，所述第二筛板上的筛孔孔径小于所述第一筛板上的筛孔孔径。

在其中一个实施例中，硅粉筛分装置还包括支撑架，所述第一外壳设置于所述第二外壳上，所述第二外壳设置于所述支撑架上，所述支撑架上开设有下料孔，所述下料孔位于所述第二筛板的下方，所述下料孔的孔壁被所述第二内衬覆盖。

在其中一个实施例中，硅粉筛分装置还包括收料桶，所述支撑架包括支撑板和若干支撑腿，所述下料孔开设于所述支撑板上，所述支撑腿与所述支撑板的边缘连接，所述收料桶能放置于所述下料孔的下方。

在其中一个实施例中，所述支撑板的底面设有若干限位块，所述限位块能与所述收料桶的外壁抵接。

在其中一个实施例中，所述收料桶包括桶体和第三内衬，所述第三内衬覆盖所述桶体的内壁。

在其中一个实施例中，硅粉筛分装置还包括振动台，所述支撑架设置于所述振动台上，所述收料桶能放置于所述振动台上。

在其中一个实施例中，所述振动台的下方设有滚轮，所述振动台上还设有推拉杆。

在其中一个实施例中，所述第一内衬采用聚氨酯制作，所述第一筛板采用氮化硅制作。

本实用新型的有益效果是，通过在第一外壳的内部设置第一内衬，第一内衬的主体部覆盖第一外壳的内壁，使硅粉只与第一内衬接触，不会与第一筛体之间发生摩擦而产生污染硅粉的颗粒，保证了硅粉的高纯度。为了便于第一筛板的安装，第一内衬还包括凸起部，通过将第一筛板的边缘设置为台阶结构，并使凸起部与台阶结构形成的台阶面连接，使第一筛板能更好地被定位，便于第一筛板的装卸。在工作过程中，第一筛板也不易从第一内衬上脱离。

附图说明

图1为一实施例的硅粉筛分装置的结构示意图；

图2为图1中A处的放大图。

图中：

1、第一筛体；11、第一外壳；12、第一内衬；121、主体部；122、凸起部；2、第一筛板；3、第二筛体；31、第二外壳；32、第二内衬；4、第二筛板；5、支撑架；51、支撑板；52、支撑腿；53、限位块；6、收料桶；61、桶体；62、第三内衬；7、振动台；71、壳体；72、振动电机；8、滚轮；9、推拉杆；100、下料孔。

具体实施方式

如图1所示，一实施例的硅粉筛分装置包括第一筛体1和第一筛板2，第一筛体1包括第一外壳11和第一内衬12，第一内衬12设置于第一外壳11的内部，第一内衬12包括主体部121和凸起部122，主体部121覆盖第一外壳11的内壁，凸起部122设置于主体部121背离第一外壳11的内壁的一面。如图2所示，第一筛板2的边缘为台阶结构，第一筛板2的边缘设置于凸起部122上，凸起部122与台阶结构形成的台阶面连接。

本实施例的硅粉筛分装置在第一外壳11的内部设有第一内衬12，第一内衬12的主体部121覆盖第一外壳11的内壁，使硅粉只与第一内衬12接触，不会与第一筛体1之间发生摩擦而产生污染硅粉的颗粒，保证了硅粉的高纯度。为了便于第一筛板2的安装，第一内衬12还包括凸起部122，通过将第一筛板2的边缘设置为台阶结构，并使凸起部122与台阶结构形成的台阶面连接，使第一筛板2能更好地被定位，便于第一筛板2的装卸。在工作过程中，第一筛板2也不易从第一内衬12上脱离。

在一些实施例中，为了使第一筛板2与第一内衬12更稳固地连接，第一筛板2与第一内衬12胶接。由于第一筛板2的边缘为台阶结构，第一筛板2与第一内衬12的接触面积较大，能保证较好的胶接效果。

在本实施例中，第一内衬12采用聚氨酯制作，第一筛板2采用氮化硅制作。由聚氨酯制成的第一内衬12表面光滑，耐磨性好，硅粉与第一内衬12接触不易产生污染硅粉的颗粒，也不会附着在第一内衬12表面。即使有微量聚氨酯颗粒进入到硅粉中，在后续对硅粉的加温处理过程中，聚氨酯颗粒也会挥发出来，从而保证硅粉的高纯度。第一筛板2采用氮化硅制作，使第一筛板2的硬度和强度都很高，耐磨性好，不变形，不易破损，能保证硅粉品质。同时，氮化硅材质的第一筛板2的使用寿命长，能减少更换次数，提高工作效率，降低了生产成本。第一外壳11则采用常规的金属材料制作，以用较低的成本提供足够的强度。

当然，第一内衬12和第一筛板2的制作材料并不限于上述材料，和聚氨酯类似的其他材料也可以用于制作第一内衬12，和氮化硅类似的其他材料也可以用于制作第一筛板2。

如图1所示，进一步的，本实施例的硅粉筛分装置还包括第二筛体3和第二筛板4，第二筛体3包括第二外壳31和第二内衬32，第二内衬32设置于第二外壳31的内部，第二内衬32为漏斗形，第二筛板4设置于第二内衬32中并位于第一筛板2的下方。硅粉经过第一筛板2的筛选后会掉落到第二内衬32中，并经过第二筛板4的筛选，通过两道筛选能更好地筛选出所需要的硅粉，提高所获得的硅粉的品质。为了避免硅粉被污染，硅粉只会与第二内衬32接触，不会接触到第二外壳31。第二内衬32为漏斗形，可以对从第一筛板2掉落下来的硅粉起到聚集作用，同时能有效减小第二筛板4的尺寸，降低第二筛板4的制作成本。第二筛板4与第二内衬32的连接方式采用第一筛板2与第一内衬12的连接方式，在此不予赘述。本实施例中的第二内衬32也采用聚氨酯来制作，第二筛板4也采用氮化硅制作。

进一步的，第二筛板4上的筛孔孔径小于第一筛板2上的筛孔孔径，从而使从第二筛板4漏出的硅粉更为精细。

如图1所示，本实施例的硅粉筛分装置还包括支撑架5，第一外壳11设置于第二外壳31上，第二外壳31设置于支撑架5上，支撑架5上开设有下料孔100，下料孔100位于第二筛板4的下方，下料孔100的孔壁被第二内衬32覆盖。支撑架5能承载第二外壳31和第一外壳11，使第一筛板2和第二筛板4保持稳定。由于下料孔100的孔壁被第二内衬32覆盖，能避免硅粉被污染，下料孔100的孔壁则能对第二内衬32的下端起到支撑固定的作用，提高第二内衬32的稳定性，使第二内衬32不易变形。

进一步的，本实施例的硅粉筛分装置还包括收料桶6，支撑架5包括支撑板51和若干支撑腿52，下料孔100开设于支撑板51上，支撑腿52与支撑板51的边缘连接，收料桶6能放置于下料孔100的下方。从第二内衬32中掉落下来的硅粉会被收料桶6收集，为了便于收料桶6的放入和取出，支撑架5的结构简单，其内部具有较大的空间。

更进一步的，支撑板51的底面设有若干限位块53，限位块53能与收料桶6的外壁抵接。在进行硅粉的筛分工作时，收料桶6也会发生振动，如果收料桶6发生较大的位移，会导致从第二内衬32中掉落的硅粉未能进入到收料桶6中。因此，在支撑板51的底面设有若干限位块53，当振动的收料桶6的外壁接触到限位块53时便无法继续偏离，保证所有硅粉都掉落到收料桶6中。

如图1所示，本实施例的收料桶6包括桶体61和第三内衬62，第三内衬62覆盖桶体61的内壁。桶体61采用金属制作，使收料桶6具有较高的强度，不易变形。第三内衬62也采用聚氨酯制作，使收料桶6能保证硅粉的高纯度。

如图1所示，本实施例的硅粉筛分装置还包括振动台7，支撑架5设置于振动台7上，收料桶6能放置于振动台7上。振动台7包括壳体71和振动电机72，振动电机72设置于壳体71内部，当振动电机72启动后，壳体71也随之振动，从而带动支撑架5、第一筛体1、第一筛板2、第二筛体3及第二筛板4振动，对硅粉进行筛分。

进一步的，振动台7的下方设有滚轮8，振动台7上还设有推拉杆9。滚轮8和推拉杆9使硅粉筛分装置能方便地进行整体移动，改变布置位置。滚轮8选择带有锁定功能的种类，使硅粉筛分装置在工作时不会四处移动。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本申请的保护范围限于这些例子；在本申请的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本申请中一个或多个实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。

本申请中一个或多个实施例旨在涵盖落入本申请的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本申请中一个或多个实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅粉筛分装置，其特征在于，包括第一筛体(1)和第一筛板(2)，所述第一筛体(1)包括第一外壳(11)和第一内衬(12)，所述第一内衬(12)设置于所述第一外壳(11)的内部，所述第一内衬(12)包括主体部(121)和凸起部(122)，所述主体部(121)覆盖所述第一外壳(11)的内壁，所述凸起部(122)设置于所述主体部(121)背离所述第一外壳(11)的内壁的一面，所述第一筛板(2)的边缘为台阶结构，所述第一筛板(2)的边缘设置于所述凸起部(122)上，所述凸起部(122)与所述台阶结构形成的台阶面连接。

2.如权利要求1所述的硅粉筛分装置，其特征在于，还包括第二筛体(3)和第二筛板(4)，所述第二筛体(3)包括第二外壳(31)和第二内衬(32)，所述第二内衬(32)设置于所述第二外壳(31)的内部，所述第二内衬(32)为漏斗形，所述第二筛板(4)设置于所述第二内衬(32)中并位于所述第一筛板(2)的下方。

3.如权利要求2所述的硅粉筛分装置，其特征在于，所述第二筛板(4)上的筛孔孔径小于所述第一筛板(2)上的筛孔孔径。

4.如权利要求2所述的硅粉筛分装置，其特征在于，还包括支撑架(5)，所述第一外壳(11)设置于所述第二外壳(31)上，所述第二外壳(31)设置于所述支撑架(5)上，所述支撑架(5)上开设有下料孔(100)，所述下料孔(100)位于所述第二筛板(4)的下方，所述下料孔(100)的孔壁被所述第二内衬(32)覆盖。

5.如权利要求4所述的硅粉筛分装置，其特征在于，还包括收料桶(6)，所述支撑架(5)包括支撑板(51)和若干支撑腿(52)，所述下料孔(100)开设于所述支撑板(51)上，所述支撑腿(52)与所述支撑板(51)的边缘连接，所述收料桶(6)能放置于所述下料孔(100)的下方。

6.如权利要求5所述的硅粉筛分装置，其特征在于，所述支撑板(51)的底面设有若干限位块(53)，所述限位块(53)能与所述收料桶(6)的外壁抵接。

7.如权利要求5所述的硅粉筛分装置，其特征在于，所述收料桶(6)包括桶体(61)和第三内衬(62)，所述第三内衬(62)覆盖所述桶体(61)的内壁。

8.如权利要求5所述的硅粉筛分装置，其特征在于，还包括振动台(7)，所述支撑架(5)设置于所述振动台(7)上，所述收料桶(6)能放置于所述振动台(7)上。

9.如权利要求8所述的硅粉筛分装置，其特征在于，所述振动台(7)的下方设有滚轮(8)，所述振动台(7)上还设有推拉杆(9)。

10.如权利要求1所述的硅粉筛分装置，其特征在于，所述第一内衬(12)采用聚氨酯制作，所述第一筛板(2)采用氮化硅制作。

Images