CN217369582U - 半导体用大气等离子清洗设备 - Google Patents

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CN217369582U CN202221444930.2U CN202221444930U CN217369582U CN 217369582 U CN217369582 U CN 217369582U CN 202221444930 U CN202221444930 U CN 202221444930U CN 217369582 U CN217369582 U CN 217369582U
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Abstract

本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域,尤其涉及半导体用大气等离子清洗设备。其技术方案包括:包括等离子清洗设备本体和电机,等离子清洗设备本体的一侧固定连接有散热箱,散热箱的一侧通过对接杆对接安装有安装架,安装架的一侧滑动安装有安装板。本实用新型通过设置有安装板、清洁板、安装架与对接杆之间的相互配合,可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装,通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接,通过安装板顺着活动杆进行移动,使安装板能够同步带动清洁板对通风口内部的灰尘进行清洁,能够减小对散热的影响,增加了实用时,使散热效果更好。

Description

半导体用大气等离子清洗设备
技术领域
本实用新型涉及等离子清洗设备技术领域,具体为半导体用大气等离子清洗设备。
背景技术
等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果,等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态,对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。
经检索,专利公告号为CN214184399U公开了一种等离子清洗设备,该实用新型涉及等离子应用技术领域,具体是一种等离子清洗设备,所述外壳的内部顶端安装有电机箱,所述电机箱内安装有第二电机,所述第二电机的输出端贯穿电机箱并固定安装有转盘,所述转盘的下方等间距均匀安装有等离子发生器,所述外壳的内部底端一侧安装有真空泵,现有的技术中CN214184399U在使用的过程中,通风孔的内部会残留较多灰尘,内侧的灰尘不方便进行清理,影响散热效果,清理时较为麻烦,降低了实用性,同时在进行清洁后清洁板不方便进行更换,使在进行使用是不方便进行安装和拆卸,降低了实用性,鉴于此我们提出半导体用大气等离子清洗设备来解决现有的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供半导体用大气等离子清洗设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:半导体用大气等离子清洗设备,包括等离子清洗设备本体和电机,所述等离子清洗设备本体的一侧固定连接有散热箱,所述散热箱的一侧通过对接杆对接安装有安装架,所述安装架的一侧滑动安装有安装板,所述散热箱的顶部螺旋安装有与安装板配合的对接扣,所述散热箱的前端与后端皆滑动连接有卡合板。
可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装,通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接,通过安装板顺着活动杆进行移动,使安装板能够同步电动清洁板对通风口的内部进行清洁,使在进行清洁的过程中更加便捷,增加了实用时,使散热效果更好。
优选的,所述散热箱的一侧开设有通风口,安装板的内侧固定连接有与通风口对应的清洁板。通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接,使安装板能够同步电动清洁板对通风口的内部进行清洁。
优选的,所述散热箱与卡合板之间通过限位板滑动连接,且卡合板与散热箱之间通过螺杆螺纹安装。通过螺杆能够带动卡合板顺着限位板移动,使卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接,能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合。
优选的,所述卡合板的内侧焊接有延伸至散热箱内部的卡合杆,对接杆的外侧开设有与卡合杆配合的卡合孔。卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接,能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合,使在对安装架进行安装和拆卸时更加方便。
优选的,所述安装架与安装板之间通过活动杆滑动安装,且安装板与对接扣之间通过固定旋钮固定。通过固定旋钮能够方便豆浆安装板与对接扣之间进行固定,同时在对安装架进行拆卸的过程中,利用固定旋钮能够方便的进行分离,增加了实用性。
优选的,所述散热箱与对接扣之间通过往复丝杆螺旋安装,且散热箱的后端固定连接有与往复丝杆配合的电机。通过往复丝杆能够使卡合板顺着限位板进行移动,利用限位板能够方便的将卡合板进行限位,通过电机能够方便的带动往复丝杆旋转,使在进行清洁时更加方便。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、通过设置有安装板、清洁板、安装架与对接杆之间的相互配合,可以较为方便的通过对接杆与散热箱之间进行对接安装,通过清洁板的一侧与通风口之间进行对接,通过安装板顺着活动杆进行移动,使安装板能够同步带动清洁板对通风口内部的灰尘进行清洁,能够减小对散热的影响,增加了实用时,使散热效果更好。
2、通过设置有卡合板、卡合杆与卡合孔的相互配合,通过螺杆能够带动卡合板顺着限位板移动,使卡合杆与卡合孔之间能够方便的进行对接,能够方便的将安装架与散热箱之间进行卡合,使在对安装架进行安装和拆卸时更加方便,方便进行清洗维护,提高了便捷性。
附图说明
图1为本实用新型的外观立体示意图;
图2为本实用新型的散热箱主视图;
图3为本实用新型的安装架局部结构示意图;
图4为本实用新型的卡合板局部结构示意图。
图中:1、等离子清洗设备本体;101、散热箱;102、通风口;103、安装架;104、活动杆;105、安装板;106、对接杆;107、卡合孔;108、清洁板;2、电机;201、往复丝杆;202、对接扣;203、固定旋钮;204、限位板;205、卡合板;206、螺杆;207、卡合杆。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
实施例一
如图1、图2、图3和图4所示,本实用新型提出的半导体用大气等离子清洗设备,包括等离子清洗设备本体1和电机2,等离子清洗设备本体1的一侧固定连接有散热箱101,散热箱101的一侧通过对接杆106对接安装有安装架103,安装架103的一侧滑动安装有安装板105,散热箱101的顶部螺旋安装有与安装板105配合的对接扣202,散热箱101的前端与后端皆滑动连接有卡合板205,散热箱101的一侧开设有通风口102,安装板105的内侧固定连接有与通风口102对应的清洁板108,散热箱101与卡合板205之间通过限位板204滑动连接,且卡合板205与散热箱101之间通过螺杆206螺纹安装,卡合板205的内侧焊接有延伸至散热箱101内部的卡合杆207,对接杆106的外侧开设有与卡合杆207配合的卡合孔107。
基于实施例1的半导体用大气等离子清洗设备工作原理是:可以较为方便的通过对接杆106与散热箱101之间进行对接安装,通过对接扣202与安装板105之间进行安装,通过清洁板108的一侧与通风口102之间进行对接,通过固定旋钮203能够将安装板105与对接扣202进行连接,通过电机2带动往复丝杆201旋转,使对接扣202能够往复移动,通过安装板105顺着活动杆104进行移动,使安装板105能够同步电动清洁板108对通风口102的内部进行清洁,使在进行清洁的过程中更加便捷,增加了实用时,通过螺杆206能够带动卡合板205顺着限位板204移动,使卡合杆207与卡合孔107之间能够方便的进行对接,能够方便的将安装架103与散热箱101之间进行卡合,使在对安装架103进行安装和拆卸时更加方便,对通风口102更好的进行更换,操作方便快捷。
实施例二
如图2和图4所示,本实用新型提出的半导体用大气等离子清洗设备,相较于实施例一,本实施例还包括:安装架103与安装板105之间通过活动杆104滑动安装,且安装板105与对接扣202之间通过固定旋钮203固定,散热箱101与对接扣202之间通过往复丝杆201螺旋安装,且散热箱101的后端固定连接有与往复丝杆201配合的电机2。
本实施例中,如图2所示,通过活动杆104能够方便的带动安装板105顺着活动杆104移动,使在进行移动的过程中更加便捷,更好的进行清洁,通过固定旋钮203能够方便豆浆安装板105与对接扣202之间进行固定,同时在对安装架103进行拆卸的过程中,利用固定旋钮203能够方便的进行分离,增加了实用性;如图4所示,通过往复丝杆201能够使卡合板205顺着限位板204进行移动,利用限位板204能够方便的将卡合板205进行限位,通过电机2能够方便的带动往复丝杆201旋转,使在进行清洁时更加方便。
上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例,基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示,本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。

Claims (6)

1.半导体用大气等离子清洗设备,包括等离子清洗设备本体(1)和电机(2),其特征在于:所述等离子清洗设备本体(1)的一侧固定连接有散热箱(101),所述散热箱(101)的一侧通过对接杆(106)对接安装有安装架(103),所述安装架(103)的一侧滑动安装有安装板(105),所述散热箱(101)的顶部螺旋安装有与安装板(105)配合的对接扣(202),所述散热箱(101)的前端与后端皆滑动连接有卡合板(205)。
2.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备,其特征在于:所述散热箱(101)的一侧开设有通风口(102),安装板(105)的内侧固定连接有与通风口(102)对应的清洁板(108)。
3.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备,其特征在于:所述散热箱(101)与卡合板(205)之间通过限位板(204)滑动连接,且卡合板(205)与散热箱(101)之间通过螺杆(206)螺纹安装。
4.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备,其特征在于:所述卡合板(205)的内侧焊接有延伸至散热箱(101)内部的卡合杆(207),对接杆(106)的外侧开设有与卡合杆(207)配合的卡合孔(107)。
5.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备,其特征在于:所述安装架(103)与安装板(105)之间通过活动杆(104)滑动安装,且安装板(105)与对接扣(202)之间通过固定旋钮(203)固定。
6.根据权利要求1所述的半导体用大气等离子清洗设备,其特征在于:所述散热箱(101)与对接扣(202)之间通过往复丝杆(201)螺旋安装,且散热箱(101)的后端固定连接有与往复丝杆(201)配合的电机(2)。
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