CN217212318U - 一种芯片双面检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种芯片双面检测设备，属于芯片检测结构领域。本实用新型包括下机架、设置下机架顶面的正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件和机械手取料组件，所述机械手取料组件为双臂机械手，所述双臂机械手包括分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料的两个机械手组件，所述正面检测平台、背面检测平台通过双臂机械手的上下料对芯片的正面和背面同步检测。本实用新型的有益效果为：不需要翻转物料的前提下，能够同步进行产品的正面和背面检测。

Description

一种芯片双面检测设备

技术领域

本实用新型涉及一种芯片检测装置，尤其涉及一种芯片双面检测设备。

背景技术

目前，已经有四、六寸芯片单面检测设备，但是，不能做到一台设备同时完成芯片正反面质量的检测。目前采用的通常做法是：是将产品正面检测完，然后通过翻转治具将产品翻转，然后，在正面检测装置上进行背面检测，在一套设备上进行正面和背面检测，上料、正面检测、背面检测和下料都在一个平台上完成，通常一个工序完成才能进行下一道工序，检测效率比较低。

此外，如果翻转产品的话，需要在背面检测完，翻转一次，然后硬接触检测台，等背面检测完，还需要翻转到正面输送到下一工序，多次翻转，容易造成产品的接触摩擦，甚至损坏，从而影响芯片的外观和质量。

实用新型内容

为解决现有技术中的检测效率低问题，本实用新型提供一种芯片双面检测设备。

本实用新型包括下机架、设置下机架顶面的正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件和机械手取料组件，所述机械手取料组件为双臂机械手，所述双臂机械手包括分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料的两个机械手组件，所述正面检测平台、背面检测平台通过双臂机械手的上下料对芯片的正面和背面同步检测。

本实用新型作进一步改进，所述机械手取料组件为双臂机械手，所述双臂机械手包括分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料的两个机械手组件，所述双臂机械手还包括手臂安装板、设置在手臂安装板下方的控制结构，机械手组件并列设置在手臂安装板上方，所述机械手组件包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件，所述手指组件设有一对与物料外周形状相同的仿形夹指。

本实用新型作进一步改进，还包括设置在下机架上方、用于保护工作平台的上机罩，所述上机罩顶端设有工作状态指示结构。

本实用新型作进一步改进，还包括设置在下机架内的控制组件，所述上机罩外侧设有人机交互组件，所述人机交互组件与控制组件相连。

本实用新型作进一步改进，所述正面检测平台包括正面检测工作台，设置在正面检测工作台上的第一平面运动模组、设置在第一平面运动模组上方的定位台，还包括设置在所述定位台上方的正面检测组件，及垂直运动模组，所述垂直运动模组驱动正面检测组件或定位台垂直运动。

本实用新型作进一步改进，还包括由所述第一平面运动模组驱动的安装板，所述安装板上设有第一旋转组件，所述定位台由所述第一旋转组件驱动旋转，所述垂直运动模组通过支架设置在正面检测工作台上，驱动所述正面检测组件垂直运动。

本实用新型作进一步改进，所述背面检测平台包括背面检测工作台、设置在背面检测工作台上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板，所述固定板下方设有旋转组件，所述旋转组件下方设有、由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件，还包括Z轴运动模组，由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件，所述检测组件设置在所述吸附组件下方，朝向所述吸附组件设置。

本实用新型作进一步改进，所述二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上，由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运动，所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导轨，所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上，所述旋转组件通过固定板设置在所述Y轴导轨中间。

本实用新型作进一步改进，所述X轴导轨上设有调整架，所述调整架上设有若干组用于固定Y轴导轨的固定孔，远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通过固定孔调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定。

本实用新型作进一步改进，所述正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件在下机架上围合设置，所述机械手取料组件分别设置在所述正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件中间，所述料框上料组件包括沿弧形设置的若干个料框放置板，所述机械手取料组件设置在弧形结构的原点位置，所述料框放置板上设有用于堆叠物料芯片的料框。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：不需要翻转物料的前提下，能够同步进行产品的正面和背面检测，减少了设备的接触摩擦损坏概率；本实用新型在正面检测完，通过双臂机械手将物料转运至本实用新型的背面检测平台上，能够在一台设备上同步进行正反面检测，大大提高了检测效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型工作组件结构示意图；

图3为正面检测平台结构示意图；

图4-图5为背面检测平台结构示意图；

图6为机械手取料组件结构示意图；

图7为料框上料组件结构示意图。

图2为本实用新型侧面结构示意图；

图3为本实用新型双臂机械手结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型包括下机架200和设置在下机架200上方的上机罩100，工作组件设置在上机罩100内，控制组件设置在下机架200内部的控制仓中。本例在上机罩100外侧还设置了显示屏、操作台等人机交互组件，用于对设备进行设置和操作。

如图2所示，本例的工作组件包括正面检测平台600、背面检测平台300、料框上料组件500和机械手取料组件400，所述正面检测平台600、背面检测平台300、料框上料组件500在下机架200上表面围合设置，所述机械手取料组件400分别设置在所述正面检测平台600、背面检测平台300、料框上料组件500围合的中间。与三者距离接近，从而使机械手取料组件400不需要移动太大的距离，即可完成取料、正面检测上料、正面检测下料背面检测上料、最后下料到料框的整个过程，节约了一整套运动控制组件，此外集成度高，空间利用率高，效率更高，成本更低。

如图3所示，本例的正面检测平台包600括正面检测工作台，设置在正面检测工作台下方的气浮减震垫604、设置在正面检测工作台上方的第一X轴直线电机组件605、设置在第一X轴直线电机组件605上方的Y轴直线电机组件603，由所述Y轴直线电机组件603驱动的正面马达组件602、设置在正面马达组件602上方，由其驱动旋转的定位台，所述定位台606通过吸附定位，还包括设置在所述定位台606上方的正面镜头检测组件601，及垂直运动模组607，所述垂直运动模组607通过支架设置在正面检测工作台上，驱动所述正面镜头检测组件601垂直运动。

如图4-5所示，本实用新型包括大理石背面检测工作台302、设置在大理石背面检测工作台302上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板311，所述固定板311下方设有马达旋转组件304，所述马达旋转组件304下方设有、由所述马达旋转组件304驱动旋转的吸附组件306。

本例的大理石背面检测工作台302为中空的U型大理石平台，所述马达旋转组件304、吸附组件306设置在中空区域317。在中空区域的中部、吸附组件306下方还设有Z轴气缸组件307，用于检测芯片物料背面的相机检测组件308设置在所述Z轴气缸组件307的驱动轴上，相机镜头朝向所述吸附组件306设置。

为了使平台运行更加稳固，本例在大理石背面检测工作台302下方还设有若干个支撑大理石背面检测工作台302的气源减震垫303。

优选的，本例二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线电机组件305，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨313，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨313上，由所述X轴直线电机组件305驱动沿X向导轨313运动。

在本例的X向导轨313两端还设有限位固定板314，在所述限位固定板314内侧还设有缓冲块。

本例的Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件301及由Y轴直线电机组件301驱动的两条Y轴导轨312，所述固定板311的两端分别设置在两条Y轴导轨312上，并通过转接板与Y轴直线电机组件301上的滑块固定连接，所述马达旋转组件304通过固定板311设置在两条Y轴导轨312中间。

本例的Y轴导轨两端同样设有缓冲块310，此外，在缓冲块310的外侧还设有到位检测结构309，使二维运动模组的运动更加平稳和可靠。

作为本实用新型的一个优选实施例，所述X轴导轨313上设有调整架315，所述调整架315上设有若干组用于固定Y轴导轨312的固定孔316，远离Y轴直线电机组件301的Y轴导轨312通过固定孔316调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定。从而适应不同行程和不同物料的大小。

每组固定孔316包括若干个Y向排列的固定孔，从而对Y向的安装位置微调。本例的两组固定孔之间设有减重孔，保证运动稳定性的基础上，进一步降低物料所需，减重的同时降低设备成本。

如图6所示，本例的双臂机械手包括分别用于同步上料和下料的两个机械手组件401。所述双臂机械手还包括手臂安装板402、设置在手臂安装板402下方的控制结构403，机械手组件401并列设置在手臂安装板402上方，所述机械手组件401包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件404，所述手指组件404设有一对与物料外周形状相同的仿形夹指。本例的芯片物料为圆形，因此，本例的两个仿形夹指404组合成半圆形的结构，对芯片物料的侧面进行夹取。

如图7所示，本例的料框上料组件500包括沿弧形设置的若干个料框放置板502，所述机械手取料组件400设置在弧形结构的原点位置，所述料框放置板502上设有用于堆叠物料芯片的料框501。

本例的工作过程为：

机械手组件401从料框501中将物料取出来，然后运输到正面定位台606上方，吸盘将物料吸附在定位台600上，第一X轴直线电机组件605和第一Y轴直线电机组件603将平台运输到正面镜头检测组件601下方，同时正面马达组件602将物料角度转正，正面镜头检测组件601在Z轴直线电机组件607的作用下向下移动，对物料进行正面检测。检测的时候，第一X轴直线电机组件605和第一Y轴直线电机组件603负责将物料待检测部位移动至正面镜头检测组件601下方。

当物料完成正面检测后，其中一个机械手组件401将物料取出并运输到背面检测平台上，同时另外一个机械手组件401将待检的物料放到正面检测平台上。正面检测平台重复以上的动作对物料进行正面检测。

双臂机械手401将物料放到背面检测平台的吸盘组件306上，背部吸盘组件306吸附住物料之后，在X轴直线电机组件305和Y轴直线电机组件301移动下，将物料运输到下方相机镜头检测组件308上方，同时马达旋转组件304将物料方向调整正确，相机镜头检测组件308在Z轴电缸组件307的移动下，对物料背面进行检测。在检测的时候，X轴直线电机组件305和Y轴直线电机组件301负责将物料背面待检部位运输到背部相机镜头检测组件308上方。

当物料背部检测完成后，机械手组件401将物料取出，运输回料框，并将正面检测完成的物料取出再放入背面检测平台，如此反复工作，对料框的物料正反两面进行检测。

通过上述过程可知，本实用新型可以满足同时检测正反两面缺陷的芯片物料，不需要翻转物料，减少了设备的接触摩擦损坏概率；本实用新型在正面检测完，通过双臂机械手将物料转运至本实用新型的背面检测平台上，能够在一台设备上同时进行正面和反面检测，大大提高了检测效率。

以上所述之具体实施方式为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本实用新型所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种芯片双面检测设备，其特征在于：包括下机架、设置下机架顶面的正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件和机械手取料组件，所述机械手取料组件为双臂机械手，所述双臂机械手包括分别用于同步正面检测和背面检测上料和下料的两个机械手组件，所述正面检测平台、背面检测平台通过双臂机械手的上下料对芯片的正面和背面同步检测。

2.根据权利要求1所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述双臂机械手还包括手臂安装板、设置在手臂安装板下方的控制结构，机械手组件并列设置在手臂安装板上方，所述机械手组件包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件，所述手指组件设有一对与物料外周形状相同的仿形夹指。

3.根据权利要求1所述的芯片双面检测设备，其特征在于：还包括设置在下机架上方、用于保护工作平台的上机罩，所述上机罩顶端设有工作状态指示结构。

4.根据权利要求3所述的芯片双面检测设备，其特征在于：还包括设置在下机架内的控制组件，所述上机罩外侧设有人机交互组件，所述人机交互组件与控制组件相连。

5.根据权利要求1-4任一项所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述正面检测平台包括正面检测工作台，设置在正面检测工作台上的第一平面运动模组、设置在第一平面运动模组上方的定位台，还包括设置在所述定位台上方的正面检测组件，及垂直运动模组，所述垂直运动模组驱动正面检测组件或定位台垂直运动。

6.根据权利要求5所述的芯片双面检测设备，其特征在于：还包括由所述第一平面运动模组驱动的安装板，所述安装板上设有第一旋转组件，所述定位台由所述第一旋转组件驱动旋转，所述垂直运动模组通过支架设置在正面检测工作台上，驱动所述正面检测组件垂直运动。

7.根据权利要求1-4任一项所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述背面检测平台包括背面检测工作台、设置在背面检测工作台上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板，所述固定板下方设有旋转组件，所述旋转组件下方设有、由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件，还包括Z轴运动模组，由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件，所述检测组件设置在所述吸附组件下方，朝向所述吸附组件设置。

8.根据权利要求7所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上，由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运动，所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导轨，所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上，所述旋转组件通过固定板设置在所述Y轴导轨中间。

9.根据权利要求8所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述X轴导轨上设有调整架，所述调整架上设有若干组用于固定Y轴导轨的固定孔，远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通过固定孔调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定。

10.根据权利要求1-4任一项所述的芯片双面检测设备，其特征在于：所述正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件在下机架上围合设置，所述机械手取料组件分别设置在所述正面检测平台、背面检测平台、料框上料组件中间，所述料框上料组件包括沿弧形设置的若干个料框放置板，所述机械手取料组件设置在弧形结构的原点位置，所述料框放置板上设有用于堆叠物料芯片的料框。

Images