CN217212242U

CN217212242U - 一种立式半导体晶圆干涉测试装置

Info

Publication number: CN217212242U
Application number: CN202220328086.0U
Authority: CN
Inventors: 程玉学; 杨雪梅
Original assignee: Sanhe Zhixin Technology Co ltd
Current assignee: Sanhe Zhixin Technology Co ltd
Priority date: 2022-02-11
Filing date: 2022-02-11
Publication date: 2022-08-16
Anticipated expiration: 2032-02-11

Abstract

本实用新型提供一种立式半导体晶圆干涉测试装置，属于晶圆检测技术领域，以解决现有的晶圆干涉测试装置在使用时不便于根据不同尺寸的晶圆进行有效固定，且不便于对测试角度和位置进行调节的问题；包括装置主体；所述装置主体顶部安装有控制装置，且控制装置顶部安装有第一夹持机构；所述装置主体顶部安装有调节机构，且调节机构外侧安装有第二夹持机构；所述第二夹持机构内侧设置有晶圆主体；通过设置有两组定位杆和弹簧件，实现了增强螺纹筒稳定性的效果，达到了使调节杆带动螺纹筒前后移动的目的，使得螺纹筒带动连接杆A和连接杆B同时转动；利用阵列式连接杆A配合连接杆B，达到了使多组夹持杆同时向内收缩或向外扩张的目的。

Description

一种立式半导体晶圆干涉测试装置

技术领域

本实用新型属于晶圆检测技术领域，更具体地说，特别涉及一种立式半导体晶圆干涉测试装置。

背景技术

随着整个半导体行业的快速发展，国内半导体行业近几年的发展势头也越来越火热；半导体行业的发展离不开晶圆，晶圆是制作芯片的基础；目前，晶圆基片的全参数测试装置采用的测试方式有如下两种：第一种是干涉测量，第二种则是扫描测量。

基于上述，现有的晶圆干涉测试装置在使用时不便于根据不同尺寸的晶圆进行有效固定，导致晶圆在测试时易出现移位的现象，降低了检测数据的精准性；且现有的测试装置不便于对测试角度和位置进行调节，降低了测试装置的实用性。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种立式半导体晶圆干涉测试装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种立式半导体晶圆干涉测试装置，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆干涉测试装置在使用时不便于根据不同尺寸的晶圆进行有效固定，且不便于对测试角度和位置进行调节的问题。

本实用新型一种立式半导体晶圆干涉测试装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种立式半导体晶圆干涉测试装置，包括装置主体；所述装置主体包括：操作台，操作台主体设置为方形结构；螺纹杆，螺纹杆安装于操作台内部，且螺纹杆顶端安装有手轮；连接架，连接架通过燕尾槽滑动设置于操作台顶部，且连接架底侧内部通过螺纹连接设置有螺纹杆；转动轴，转动轴安装于连接架内部，且转动轴顶端安装有手轮；连接齿轮，连接齿轮固定设置于转动轴外侧，且连接齿轮数量设置为两组，并且连接齿轮两组之间呈对称设置；所述装置主体顶部安装有控制装置，且控制装置顶部安装有第一夹持机构；所述装置主体顶部安装有调节机构，且调节机构外侧安装有第二夹持机构；所述第二夹持机构内侧设置有晶圆主体。

进一步的，所述控制装置包括：控制架，控制架通过燕尾槽滑动设置于连接架顶部；齿条，齿条固定设置于控制架两侧，且齿条与连接齿轮相啮合；控制轴，控制轴安装于控制架内部；自锁块A，自锁块A固定设置于控制轴外侧，且自锁块A顶部设置有轮齿结构。

进一步的，所述控制装置还包括：竖杆，竖杆固定设置于控制架顶部；自锁块B，自锁块B滑动设置于控制轴外侧，且自锁块B两侧内部滑动设置有竖杆，并且自锁块B顶部与竖杆顶端之间设置有弹簧件；自锁块B底部设置有轮齿结构，且自锁块B底部轮齿结构与自锁块A顶部轮齿结构相啮合。

进一步的，所述第一夹持机构包括：固定架，固定架固定设置于控制轴顶部；滑动杆，滑动杆滑动设置于固定架两侧内部，且滑动杆后端与固定架外侧之间设置有弹簧件；夹持板，夹持板固定设置于滑动杆顶端，且夹持板数量设置有两组，并且夹持板两组之间呈对称设置；干涉测试仪，干涉测试仪安装于两组夹持板之间。

进一步的，所述调节机构包括：调节架，调节架固定设置于操作台顶部；调节杆，调节杆安装于调节架内部；圆盘，圆盘固定设置于调节杆顶端；定位杆，定位杆滑动设置于调节架内部，且定位杆后端与调节架外侧之间设置有弹簧件；连接槽，连接槽开设于圆盘内部，且连接槽呈环形阵列开设。

进一步的，所述第二夹持机构包括；螺纹筒，螺纹筒通过螺纹连接设置于调节杆外侧，且螺纹筒后侧固定设置有定位杆；连接杆A，连接杆A转动设置于螺纹筒外侧；连接杆B，连接杆B转动设置于螺纹筒外侧，且连接杆B与连接杆A呈平行设置；夹持杆，夹持杆转动设置于连接杆A顶端，且夹持杆外侧转动设置有连接杆B；夹持杆呈环形阵列设置，且夹持杆滑动设置于连接槽内侧；固定板，固定板固定设置于夹持杆前端内侧，且固定板主体设置为圆弧形结构；固定板呈环形阵列设置，且固定板之间设置有晶圆主体。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、在本实用新型中，通过设置有两组定位杆和弹簧件，实现了增强螺纹筒稳定性的效果，达到了使调节杆带动螺纹筒前后移动的目的，使得螺纹筒带动连接杆A和连接杆B同时转动；利用阵列式连接杆A配合连接杆B，达到了使多组夹持杆同时向内收缩或向外扩张的目的，起到了根据晶圆主体的实际尺寸对其进行有效固定的作用；能够更加简便的实现避免晶圆在测试时出现移位的现象。

2、在本实用新型中，通过设置有螺纹杆，实现了使连接架带动控制架以及干涉测试仪前后移动的效果，起到了根据测试需求对晶圆主体与干涉测试仪之间距离进行调节的作用；利用连接齿轮配合齿条，实现了使控制架带动干涉测试仪左右移动的效果，起到了根据测试需求对干涉测试仪位置进行调节的作用。

3、在本实用新型中，利用自锁块A配合自锁块B以及竖杆和弹簧件，达到了在控制轴带动自锁块A转动时，自锁块A带动自锁块B向上滑动的效果；实现了在控制轴停止转动时，自锁块B通过弹簧件向下移动与自锁块A相啮合的目的，起到了简单快捷对控制轴转动角度进行控制的作用；能够更简便的实现根据测试需求对干涉测试仪角度进行调节的作用；增强了测试数据的全面性。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的调节机构结构示意图。

图3是本实用新型的第二夹持机构结构示意图。

图4是本实用新型的控制装置结构示意图。

图5是本实用新型的第一夹持机构结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、装置主体；101、操作台；102、螺纹杆；103、连接架；104、转动轴；105、连接齿轮；

2、控制装置；201、控制架；202、齿条；203、控制轴；204、自锁块A；205、竖杆；206、自锁块B；

3、第一夹持机构；301、固定架；302、滑动杆；303、夹持板；304、干涉测试仪；

4、调节机构；401、调节架；402、调节杆；403、圆盘；404、定位杆；405、连接槽；

5、第二夹持机构；501、螺纹筒；502、连接杆A；503、连接杆B；504、夹持杆；505、固定板；

6、晶圆主体。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图5所示：

本实用新型提供一种立式半导体晶圆干涉测试装置，包括装置主体1；装置主体1包括：操作台101、螺纹杆102、连接架103、转动轴104与连接齿轮105，操作台101主体设置为方形结构；螺纹杆102外侧配合安装有轴承，且轴承配合安装于操作台101内部；螺纹杆102顶端安装有手轮；连接架103通过燕尾槽滑动设置于操作台101顶部，且连接架103底侧内部通过螺纹连接设置有螺纹杆102；转动轴104外侧配合安装有轴承，且轴承配合安装于连接架103内部，并且转动轴104顶端安装有手轮；连接齿轮105固定设置于转动轴104外侧，且连接齿轮105数量设置为两组，并且连接齿轮105两组之间呈对称设置；其具体作用为：通过设置有螺纹杆102，实现了使连接架103带动控制架201以及干涉测试仪304前后移动的效果，起到了根据测试需求对晶圆主体6与干涉测试仪304之间距离进行调节的作用；利用连接齿轮105配合齿条202，实现了使控制架201带动干涉测试仪304左右移动的效果，起到了根据测试需求对干涉测试仪304位置进行调节的作用；装置主体1顶部安装有控制装置2，且控制装置2顶部安装有第一夹持机构3；控制装置2包括：控制架201、齿条202、控制轴203、自锁块A204、竖杆205与自锁块B206，控制架201通过燕尾槽滑动设置于连接架103顶部；齿条202固定设置于控制架201两侧，且齿条202与连接齿轮105相啮合；齿条202数量设置为两组；控制轴203外侧配合安装有轴承，且轴承配合安装于控制架201内部；自锁块A204固定设置于控制轴203外侧，且自锁块A204顶部设置有轮齿结构；竖杆205固定设置于控制架201顶部，且竖杆205数量设置有两组；自锁块B206滑动设置于控制轴203外侧，且自锁块B206两侧内部滑动设置有竖杆205，并且自锁块B206顶部与竖杆205顶端之间设置有弹簧件；自锁块B206底部设置有轮齿结构，且自锁块B206底部轮齿结构与自锁块A204顶部轮齿结构相啮合；其具体作用为：利用连接齿轮105配合齿条202，实现了使控制架201带动干涉测试仪304左右移动的效果，起到了根据测试需求对干涉测试仪304位置进行调节的作用；利用自锁块A204配合自锁块B206以及竖杆205和弹簧件，达到了在控制轴203带动自锁块A204转动时，自锁块A204带动自锁块B206向上滑动的效果；实现了在控制轴203停止转动时，自锁块B206通过弹簧件向下移动与自锁块A204相啮合的目的，起到了简单快捷对控制轴203转动角度进行控制的作用；能够更简便的实现根据测试需求对干涉测试仪304角度进行调节的作用；装置主体1顶部安装有调节机构4，且调节机构4外侧安装有第二夹持机构5；第二夹持机构5内侧设置有晶圆主体6。

如图4、图5所示，第一夹持机构3包括：固定架301、滑动杆302、夹持板303与干涉测试仪304，固定架301固定设置于控制轴203顶部，且固定架301主体设置为U形结构；滑动杆302滑动设置于固定架301两侧内部，且滑动杆302后端与固定架301外侧之间设置有弹簧件；滑动杆302数量设置有四组，且滑动杆302两组之间呈对称设置；夹持板303固定设置于滑动杆302顶端，且夹持板303数量设置有两组，并且夹持板303两组之间呈对称设置；干涉测试仪304安装于两组夹持板303之间，且干涉测试仪304与显示屏通过电性连接；其具体作用为：通过设置有滑动杆302和弹簧件以及夹持板303，实现了轻松便捷对干涉测试仪304进行固定的效果。

如图2、图3所示，调节机构4包括：调节架401、调节杆402、圆盘403、定位杆404与连接槽405，调节架401固定设置于操作台101顶部；调节杆402外侧配合安装有轴承，且轴承配合安装于调节架401内部；圆盘403固定设置于调节杆402顶端；定位杆404滑动设置于调节架401内部，且定位杆404数量设置为两组，并且定位杆404后端与调节架401外侧之间设置有弹簧件；连接槽405开设于圆盘403内部，且连接槽405呈环形阵列开设；其具体作用为：通过设置有两组定位杆404和弹簧件，实现了增强螺纹筒501稳定性的效果，达到了使调节杆402带动螺纹筒501前后移动的目的，使得螺纹筒501带动连接杆A502和连接杆B503同时转动；利用阵列式连接杆A502配合连接杆B503，达到了使多组夹持杆504同时向内收缩或向外扩张的目的，起到了根据晶圆主体6的实际尺寸对其进行有效固定的作用；能够更加简便的实现避免晶圆在测试时出现移位的现象。

如图2、图3所示，第二夹持机构5包括；螺纹筒501、连接杆A502、连接杆B503、夹持杆504与固定板505，螺纹筒501通过螺纹连接设置于调节杆402外侧，且螺纹筒501后侧固定设置有定位杆404；连接杆A502转动设置于螺纹筒501外侧，且连接杆A502呈环形阵列设置；连接杆B503转动设置于螺纹筒501外侧，且连接杆B503呈环形阵列设置，并且连接杆B503与连接杆A502呈平行设置；夹持杆504转动设置于连接杆A502顶端，且夹持杆504外侧转动设置有连接杆B503；夹持杆504呈环形阵列设置，且夹持杆504滑动设置于连接槽405内侧；固定板505固定设置于夹持杆504前端内侧，且固定板505主体设置为圆弧形结构；固定板505呈环形阵列设置，且固定板505之间设置有晶圆主体6；其具体作用为：通过设置有两组定位杆404和弹簧件，实现了增强螺纹筒501稳定性的效果，达到了使调节杆402带动螺纹筒501前后移动的目的，使得螺纹筒501带动连接杆A502和连接杆B503同时转动；利用阵列式连接杆A502配合连接杆B503，达到了使多组夹持杆504同时向内收缩或向外扩张的目的，起到了根据晶圆主体6的实际尺寸对其进行有效固定的作用；能够更加简便的实现避免晶圆在测试时出现移位的现象。

在另一实施例中，如图4所示，滑动杆302后端与固定架301外侧之间设置有弹性橡胶件，在弹性橡胶件的作用下，实现了轻松便捷对干涉测试仪304进行拆卸和安装的效果。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，使用时通过操作台101对装置进行支撑；利用定位杆404配合弹簧件，实现了增强螺纹筒501稳定性的效果，达到了防止螺纹筒501跟随调节杆402转动的目的；转动调节杆402，调节杆402带动螺纹筒501前后移动，使得螺纹筒501通过连接杆A502和连接杆B503带动夹持杆504向内收缩或向外扩张，使得固定板505内侧与晶圆主体6外侧相贴合，使得晶圆主体6有效固定；起到了根据晶圆主体6的实际尺寸对其进行有效固定的作用；能够更加简便的实现避免晶圆在测试时出现移位的现象；将干涉测试仪304放置于两组夹持板303之间，夹持板303通过弹簧件配合滑动杆302向内滑动，使得夹持板303内侧与干涉测试仪304外侧相贴合，使得干涉测试仪304有效固定；转动螺纹杆102，使螺纹杆102带动控制架201前后移动；起到了根据测试需求对晶圆主体6与干涉测试仪304之间距离进行调节的作用；使转动轴104转动，转动轴104带动两组连接齿轮105转动，连接齿轮105通过齿条202带动控制架201左右移动；起到了根据测试需求对干涉测试仪304位置进行调节的作用；转动固定架301，固定架301带动控制轴203以及自锁块A204转动，自锁块A204通过其顶部轮齿结构配合自锁块B206底部轮齿结构带动自锁块B206向上滑动；当控制轴203停止转动时，自锁块B206通过竖杆205配合弹簧件向下滑动，使得自锁块B206底部轮齿结构与自锁块A204顶部轮齿结构相啮合；从而时控制轴203与固定架301固定；起到了简单快捷对控制轴203转动角度进行控制的作用；能够更简便的实现根据测试需求对干涉测试仪304角度进行调节的作用；增强了测试数据的全面性。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims

1.一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于，包括：装置主体(1)；所述装置主体(1)包括：操作台(101)，操作台(101)主体设置为方形结构；螺纹杆(102)，螺纹杆(102)安装于操作台(101)内部，且螺纹杆(102)顶端安装有手轮；连接架(103)，连接架(103)通过燕尾槽滑动设置于操作台(101)顶部，且连接架(103)底侧内部通过螺纹连接设置有螺纹杆(102)；转动轴(104)，转动轴(104)安装于连接架(103)内部，且转动轴(104)顶端安装有手轮；连接齿轮(105)，连接齿轮(105)固定设置于转动轴(104)外侧，且连接齿轮(105)数量设置为两组，并且连接齿轮(105)两组之间呈对称设置；所述装置主体(1)顶部安装有控制装置(2)，且控制装置(2)顶部安装有第一夹持机构(3)；所述装置主体(1)顶部安装有调节机构(4)，且调节机构(4)外侧安装有第二夹持机构(5)；所述第二夹持机构(5)内侧设置有晶圆主体(6)。

2.如权利要求1所述一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于：所述控制装置(2)包括：控制架(201)，控制架(201)通过燕尾槽滑动设置于连接架(103)顶部；齿条(202)，齿条(202)固定设置于控制架(201)两侧，且齿条(202)与连接齿轮(105)相啮合；控制轴(203)，控制轴(203)安装于控制架(201)内部；自锁块A(204)，自锁块A(204)固定设置于控制轴(203)外侧，且自锁块A(204)顶部设置有轮齿结构。

3.如权利要求2所述一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于：所述控制装置(2)还包括：竖杆(205)，竖杆(205)固定设置于控制架(201)顶部；自锁块B(206)，自锁块B(206)滑动设置于控制轴(203)外侧，且自锁块B(206)两侧内部滑动设置有竖杆(205)，并且自锁块B(206)顶部与竖杆(205)顶端之间设置有弹簧件；自锁块B(206)底部设置有轮齿结构，且自锁块B(206)底部轮齿结构与自锁块A(204)顶部轮齿结构相啮合。

4.如权利要求1所述一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于：所述第一夹持机构(3)包括：固定架(301)，固定架(301)固定设置于控制轴(203)顶部；滑动杆(302)，滑动杆(302)滑动设置于固定架(301)两侧内部，且滑动杆(302)后端与固定架(301)外侧之间设置有弹簧件；夹持板(303)，夹持板(303)固定设置于滑动杆(302)顶端，且夹持板(303)数量设置有两组，并且夹持板(303)两组之间呈对称设置；干涉测试仪(304)，干涉测试仪(304)安装于两组夹持板(303)之间。

5.如权利要求1所述一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于：所述调节机构(4)包括：调节架(401)，调节架(401)固定设置于操作台(101)顶部；调节杆(402)，调节杆(402)安装于调节架(401)内部；圆盘(403)，圆盘(403)固定设置于调节杆(402)顶端；定位杆(404)，定位杆(404)滑动设置于调节架(401)内部，且定位杆(404)后端与调节架(401)外侧之间设置有弹簧件；连接槽(405)，连接槽(405)开设于圆盘(403)内部，且连接槽(405)呈环形阵列开设。

6.如权利要求1所述一种立式半导体晶圆干涉测试装置，其特征在于：所述第二夹持机构(5)包括；螺纹筒(501)，螺纹筒(501)通过螺纹连接设置于调节杆(402)外侧，且螺纹筒(501)后侧固定设置有定位杆(404)；连接杆A(502)，连接杆A(502)转动设置于螺纹筒(501)外侧；连接杆B(503)，连接杆B(503)转动设置于螺纹筒(501)外侧，且连接杆B(503)与连接杆A(502)呈平行设置；夹持杆(504)，夹持杆(504)转动设置于连接杆A(502)顶端，且夹持杆(504)外侧转动设置有连接杆B(503)；夹持杆(504)呈环形阵列设置，且夹持杆(504)滑动设置于连接槽(405)内侧；固定板(505)，固定板(505)固定设置于夹持杆(504)前端内侧，且固定板(505)主体设置为圆弧形结构；固定板(505)呈环形阵列设置，且固定板(505)之间设置有晶圆主体(6)。