CN217194964U

CN217194964U - 一种基板固定装置

Info

Publication number: CN217194964U
Application number: CN202221019239.XU
Authority: CN
Inventors: 于阳; 张尚飞; 张永银; 穆云飞
Original assignee: Nanjing Microbonding Semiconductor Co ltd
Current assignee: Nanjing Microbonding Semiconductor Co ltd
Priority date: 2022-04-29
Filing date: 2022-04-29
Publication date: 2022-08-16
Anticipated expiration: 2032-04-29

Abstract

本实用新型公开了一种基板固定装置，包括托盘和压盘，托盘包括托盘主体，托盘主体的顶面设有用于放置基板的基板槽，托盘主体的顶面还设有定位柱；压板包括压板主体，压板主体上设有贯通压板主体的工作区，工作区的面积小于基板槽的面积，压板主体上设有和定位柱相适配的定位孔；压板和托盘可拆卸连接，当压板和托盘连接时，工作区的中心和基板槽的中心重合。本申请的固定装置设置有用于放置基板的基板槽，可对基板进行放置，由于基板工作区的面积小于基板槽的面积，当压板连接到托盘上后，压板能够对基板进行压合，有效的对翘曲的基板进行矫正，使基板区域平整，保证了后续对基板的作业效果。

Description

一种基板固定装置

技术领域

本实用新型涉及基板技术领域，具体涉及一种基板固定装置。

背景技术

在生产过程中，基板从订购，运输，检验，生产各个方面因为环境以及其他工艺的影响，对于基板本身的特性都会造成不同程度的影响。所以在生产过程中会经常遇到基板翘曲的问题，通过机台真空吸附，压条压合，并不能很好的解决翘曲问题，易影响产品品质。

如何设计一种固定治具，可以适用于大部分的翘曲基板，并且能减少不必要的品质异常。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种基板固定装置，以解决现有技术中基板翘曲的问题。

为达到上述目的，本实用新型是采用下述技术方案实现的：

一种基板固定装置，包括：

托盘，包括托盘主体，所述托盘主体的顶面设有用于放置基板的基板槽，所述托盘主体的顶面还设有定位柱；

压板，包括压板主体，所述压板主体上设有贯通所述压板主体的工作区，所述工作区的面积小于所述基板槽的面积，所述压板主体上设有和定位柱相适配的定位孔；

所述压板和所述托盘可拆卸连接，当所述压板和所述托盘连接时，所述工作区的中心和所述基板槽的中心重合。

进一步地，所述工作区和所述基板槽的形状均为长方形，所述工作区长度方向的侧边和所述基板槽侧边的距离b为3-8mm；所述工作区宽度方向的侧边和所述基板槽侧边的距离a为3-8mm。

进一步地，所述定位柱的数量有四个，四个所述定位柱两两对称设置在所述托盘主体上。

进一步地，所述托盘主体上还设有贯穿所述托盘主体的取放槽，所述取放槽连通至所述基板槽内。

进一步地，所述取放槽有两个，两个所述取放槽对称设置在所述基板槽长度方向的两端。

进一步地，所述压板主体的外侧连接有把手。

进一步地，所述压板主体上还连接有至少一个位于所述工作区内的连接压条。

进一步地，所述压板为金属材质制成的压板；

所述托盘主体上设有用于吸合压板的磁铁。

进一步地，所述磁铁均布在所述托盘主体的长度方向。

进一步地，所述托盘主体的长度方向和宽度方向上均设有磁铁。

根据上述技术方案，本实用新型的实施例至少具有以下效果：

1、本申请的固定装置设置有用于放置基板的基板槽，可对基板进行放置，由于基板工作区的面积小于基板槽的面积，当压板连接到托盘上后，压板能够对基板进行压合，有效的对翘曲的基板进行矫正，使基板区域平整，保证了后续对基板的作业效果；

2、通过定位柱和定位孔的设计，能够便于压板和托盘的连接，并且能够使两者连接时，工作区的中心和基板槽的中心重合，保证对基板的压合效果。

附图说明

图1为本实用新型具体实施方式固定装置使用时的安装示意图；

图2为本实用新型具体实施方式中托盘的示意图；

图3为本实用新型具体实施方式中压板的示意图；

图4为本实用新型具体实施方式中托盘和压板的连接示意图。

其中：1、托盘；11、托盘主体；12、基板槽；13、取放槽；14、定位柱；15、磁铁；2、压板；21、压板主体；22、连接压条；23、定位孔；24、把手；25、工作区；3、基板。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

需要说明的是，在本实用新型的描述中，术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图中所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。本实用新型描述中使用的术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”指的是附图中的方向，术语“内”、“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

本实用新型提供的固定装置，解决基板固定作业过程中遇到的翘曲问题，方便生产过程中各种不同产品的使用，以便于达到产品生产品质需求。

如图1至图4所示，一种基板固定装置，包括托盘1和压盘2，托盘1包括托盘主体11，托盘主体11的顶面设有用于放置基板3的基板槽12，托盘主体11的顶面还设有定位柱14；压板2包括压板主体21，压板主体21上设有贯通压板主体21的工作区25，工作区25的面积小于基板槽12的面积，压板主体21上设有和定位柱14相适配的定位孔23；压板2和托盘1可拆卸连接，当压板2和托盘1连接时，工作区25的中心和基板槽12的中心重合。

本申请的固定装置设置有用于放置基板的基板槽，可对基板进行放置，由于基板工作区的面积小于基板槽的面积，当压板连接到托盘上后，压板能够对基板进行压合，有效的对翘曲的基板进行矫正，使基板区域平整，保证了后续对基板的作业效果。

具体的，本申请为了适应的基板3的形状，托盘1和压板2均采用长方形的形状设计，以保证基板3安放的同时，不造成托盘1和压板2材料的浪费。在其它实施例中托盘1和压板2的形状可以根据基板3的形状进行调整。

在一些进一步地实施例中，为了保证压板2对基板3的压合效果，且不妨碍对基板的操作，设置操作区25和基板槽12之间的距离较小。具体的，工作区25和基板槽12的形状均设计为长方形状，工作区25长度方向的侧边和基板槽12长度方向的侧边的距离b为3-8mm；工作区25宽度方向的侧边和基板槽12宽度方向的侧边的距离a为3-8mm。

在本申请中，基板槽12的深度比基板3的厚度小1-2mm，保证压板2放置后能够对基板3进行有效的压合。在一些进一步的实施例中，为了方便基板3的取出，在托盘主体11上设置取放槽13，取放槽13连通至基板槽12内。压平后的基板3在基板槽12内比较难取出，操作者可通过从左右两端的取放槽进行操作，方便顺利的将基板3取出。

在本申请中，定位柱14和定位孔23为成对存在，两者配合能够便于压板2的定位安装。在某一实施例中，设计有四个定位柱，在基板槽12的左右两侧均设计两个定位柱14，两侧的定位柱14对称设置。定位柱14的顶端为圆弧状，能够便于压板2插入至定位柱14上。同样的，压板2上设计四个定位孔23，连接时，将压板上的定位孔23对准至定位柱14上，即可实现压板2的连接。

在本申请中，可通过压板2的重力对基板3进行压合，此种能够保证对基板一定的压合效果。在一些实施例中，为了更好的压合基板3，保证翘曲基板的压平，还在托盘主体11上设计磁铁15，通过磁铁15和铁质材质的压板2吸合，能够保证压板2对基板3的压合效果。

磁铁15的设计形式，可以为多种形式，如在某一实施例中，设计两个长条状的磁铁15，磁铁15设计在托盘主体11的上下两侧，通过两个磁铁对压板2进行吸合。在另外一个实施例中，可设计多个圆形的小磁铁，小磁铁均不在托盘主体11的上下两侧，并沿长度方向设计，以实现对压板2的吸合。在另外一些实施例中，还可在托盘主体11的高度方向设计磁铁15，以实现对压板2的吸合。

为了防止基板3中间处的翘曲变形，还在压板主体21上设计连接压条22，连接压条22的数量根据基板3的长度进行设计，一般在中间处设计一个即可。

在某些实施例中，为了便于压板2的取放，在压板主体21的外侧还连接把手。

本申请中，托盘1为普通耐磨损材料，经济适用。本申请具有以下优点：适用于大部分基板产品，部分框架类也使用适用。通过基板槽的设置，用于固定基板防止偏移掉落，压板的设计可防止基板偏移。

由技术常识可知，本实用新型可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方案来实现。因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本实用新型范围内或在等同于本实用新型的范围内的改变均被本实用新型包含。

Claims

1.一种基板固定装置，其特征在于，包括：

托盘（1），包括托盘主体（11），所述托盘主体（11）的顶面设有用于放置基板（3）的基板槽（12），所述托盘主体（11）的顶面还设有定位柱（14）；

压板（2），包括压板主体（21），所述压板主体（21）上设有贯通所述压板主体（21）的工作区（25），所述工作区（25）的面积小于所述基板槽（12）的面积，所述压板主体（21）上设有和定位柱（14）相适配的定位孔（23）；

所述压板（2）和所述托盘（1）可拆卸连接，当所述压板（2）和所述托盘（1）连接时，所述工作区（25）的中心和所述基板槽（12）的中心重合。

2.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述工作区（25）和所述基板槽（12）的形状均为长方形，所述工作区（25）长度方向的侧边和所述基板槽（12）侧边的距离b为3-8mm；所述工作区（25）宽度方向的侧边和所述基板槽（12）侧边的距离a为3-8mm。

3.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述定位柱（14）的数量有四个，四个所述定位柱（14）两两对称设置在所述托盘主体（11）上。

4.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述托盘主体（11）上还设有贯穿所述托盘主体（11）的取放槽（13），所述取放槽（13）连通至所述基板槽（12）内。

5.根据权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，所述取放槽（13）有两个，两个所述取放槽（13）对称设置在所述基板槽（12）长度方向的两端。

6.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述压板主体（21）的外侧连接有把手（24）。

7.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述压板主体（21）上还连接有至少一个位于所述工作区（25）内的连接压条（22）。

8.根据权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述压板（2）为金属材质制成的压板；

所述托盘主体（11）上设有用于吸合压板（2）的磁铁（15）。

9.根据权利要求8所述的基板固定装置，其特征在于，所述磁铁（15）均布在所述托盘主体（11）的长度方向。

10.根据权利要求8所述的基板固定装置，其特征在于，所述托盘主体（11）的长度方向和宽度方向上均设有磁铁（15）。