CN217176913U - 一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备 - Google Patents

Abstract

一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备，包括与待处理装置相连的第一分子泵和辅助所述第一分子泵的第二分子泵，其特征在于，所述第一分子泵与所述第二分子泵通过串联装置连接，让真空设备在更大范围的极限真空度要求下都能发挥作用。

Description

一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备

技术领域

本实用新型涉及真空设备领域，特别是一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备。

背景技术

随着现代科学技术的快速发展，高能加速器、热核反应、空间探索、半导体研究、表面科学等的发展越来越离不开真空应用技术的参与，随着对试验器件(也叫“真空器件”)越来越高的要求，对真空设备的极限真空度要求也是越来越高，在相关试验器件的研究过程中，真空设备发挥了重要的作用。在真空设备技术指标中，极限真空度是一个首要的技术指标，也是真空设备区别于其它设备的一个重要特征。而设备的极限真空度除了受被抽容器的放气量影响外，另外一个决定真空设备最终极限真空度的因素就是真空泵。而分子泵作为一种相对洁净的高真空泵，操作简单，安装方便，工作效率高，在真空行业得到了广泛的应用，但是由于分子泵自身的结构及加工的原因，限制了分子泵自身的极限真空度。但是在实际使用中，经常会碰到设备所需求的极限真空度略高于单个分子泵所能达到的极限真空，如何在成本可控的情况下增加对各种极限真空度要求有变化时能够增强真空设备的适应性，让真空设备在更大范围的极限真空度要求下都能发挥作用，这是本领域亟需解决的问题。

实用新型内容

经过多次的试验，我们发现，把两个分子泵串联后可以提高主分子泵的极限真空度，进而提高单个主腔室的极限真空度，从而满足真空设备最终的极限真空度要求。在此基础上本实用新型申请人提出了如下解决上述技术问题的技术方案：

一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备，包括与待处理装置相连的第一分子泵和辅助所述第一分子泵的第二分子泵，其特征在于，所述第一分子泵与所述第二分子泵通过串联装置连接。因此让真空设备在更大范围的极限真空度要求下都能发挥作用。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述串联装置连接有在所述第一分子泵能够达到要求的极限真空度时断开串联装置的选择装置。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述串联装置为将第一分子泵出来的气体直接引导到所述第二分子泵的第一管道。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述选择装置包括在断开串联装置时不经过所述第二分子泵的第二管道。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述第二分子泵的抽速小于所述第一分子泵。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括分别控制所述第一分子泵启动的第一电开关和控制所述第二分子泵的第二电开关，从而在选择仅仅所述第一分子泵工作时，不启动所述第二电开关。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括在与所述待处理装置相连的允许被抽气体只向下游运动的第一单向阀。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括与后续处理设备连接的防止被抽气体回流的第二单向阀。

根据本实用新型的一个优选实施例，还包括选择装置为换向阀。

根据本实用新型的一个优选实施例，所述真空设备为集成化的一体装置。

附图说明

图1示出了本实用新型的增加对极限真空度要求适应性的真空设备的组成简示图。

其中，100为增加对极限真空度要求适应性的真空设备，1为待处理的装置(真空腔室)，21为第一分子泵；22为第二分子泵；31为第一单向阀；32为第二单向阀；41为换向阀；42为第一管道；43为第二管道。

具体实施方式

如图1所示，可以看到本实用新型的真空设备100，其对烘箱1进行处理，所述烘箱仅仅示范性表示了真空器件的一种情况，在实际中该附图标记也指代真空腔室或者真空容器，本实用新型的真空设备用于所述真空容易以达到期望的真空度。

与所述真空器件1通过管道连接有第一分子泵，该第一分子泵也称为主真空泵21，该第一分子泵21根据真空器件对于极限真空度的要求而选择，在达到极限时，通过与该第一分子泵借助第一管道42连接的第二分子泵22实现增加适应性，对所述第二分子泵22的要求并不高，通常其抽速可选取最小型号的分子泵.因为增加了辅助的第二分子泵22因此不用更换第一分子泵21，而以所配的低成本的第二分子泵22解决较高的极限真空度要求。这为使用方降低了成本。增加了第二分子泵就可以提高第一分子泵的极限真空度一个数量级的指标，从而能够突破分子泵的极限，不用采取其它类型的真空泵，其它高性能的真空泵通常有体积大，操作流程复杂或者成本高等因素。

在本实用新型的一个变形中，在所述串联装置(第一管道)42处还设置有选选择装置41，通过所述选择装置可以选择所述第一分子泵21和第二分子泵串联也可以选择直接让所述第一分子泵21通过第二管道43直接与下游设备相连.从而提高了所述第二分子泵22的使用寿命，增加了本实用新型的真空设备的使用寿命。

在本实用新型的另一个变形中，在本装置的上游与待处理的装置1相连接处设置第一单向阀31，在靠近后处理设备，即本实用新型设备的下游处设置第二单向阀，从而保证所抽的气体不会返回。

另外，在具体应用场景中，根据分子泵的抽气原理，分子泵压缩比越高，那么分子泵的极限真空度就越高，而压缩比通常是指排气口和进气口的压力比，所以为了提高分子泵入口处的极限真空度，我们可以在真空泵P1和第一分子泵之间增加一个分子泵，从而降低分子泵排气口处的压力。因此在本设备中在主抽泵的前级串联了一个小抽速的分子泵，就可以降低主抽分子泵的排气口压力，从而实现提高主抽分子泵入口处的极限真空度的目的，实现提高单个腔室极限真空度的目的。本设备的真空系统的主抽分子泵选用质量好，性能稳定的国产分子泵，中科科仪FF200-1200C分子泵作为主抽泵，同时选取中科科仪的FF-63/80分子泵作为和主抽泵串联的前级分子泵，低真空泵选用质量好，性能稳定的进口干泵。

本实用新型的两个分子泵串联后可提高主抽分子泵入口处的极限真空度约一个数量级，可以替代极限真空度指标相近的进口分子泵，可以降低设备成本。当然如果使用性能最优良的分子泵，在其前级串联一个小分子泵，则可以突破分子泵的极限约一个数量级，在此范围内仍旧可以使用分子泵就不用更换为其它类型的高极限真空泵,其它类型的高极限真空泵往往体积更大，或者成本更高，或者操作和维护更麻烦等。

另外附图中没有示出本实用新型的另一种变形，还包括分别控制所述第一分子泵启动的第一电开关和控制所述第二分子泵的第二电开关，从而在选择仅仅所述第一分子泵工作时，不启动所述第二电开关。本领域技术人员根据本实用新型的原理容易实现，就不再赘述。

上述各实施例仅是本实用新型的优选实施方式，在本技术领域内，凡是基于本实用新型技术方案上的变化和改进，只要不超出权利要求书的保护范围，不应排除在本实用新型的保护范围之外。

Claims (10)

1.一种增加对极限真空度要求适应性的真空设备，包括与待处理装置相连的第一分子泵和辅助所述第一分子泵的第二分子泵，其特征在于，所述第一分子泵与所述第二分子泵通过串联装置连接。

2.根据权利要求1所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，所述串联装置连接有在所述第一分子泵能够达到要求的极限真空度时断开串联装置的选择装置。

3.根据权利要求2所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，所述串联装置为将第一分子泵出来的气体直接引导到所述第二分子泵的第一管道。

4.根据权利要求3所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，所述选择装置包括在断开串联装置时不经过所述第二分子泵的第二管道。

5.根据权利要求4所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，所述第二分子泵的抽速小于所述第一分子泵。

6.根据权利要求5所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，还包括分别控制所述第一分子泵启动的第一电开关和控制所述第二分子泵的第二电开关，从而在选择仅仅所述第一分子泵工作时，不启动所述第二电开关。

7.根据权利要求6所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，还包括在与所述待处理装置相连的允许被抽气体只向下游运动的第一单向阀。

8.根据权利要求7所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，还包括与后续处理设备连接的防止被抽气体回流的第二单向阀。

9.根据权利要求8所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，还包括选择装置为换向阀。

10.根据权利要求9所述的增加对极限真空度要求适应性的真空设备，其特征在于，所述真空设备为集成化的一体装置。

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