CN217134320U - 一种硅片掰片辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片掰片辅助装置，属于硅片掰片技术领域，其技术方案要点包括安装架，所述安装架的下端面安装有螺杆，所述安装架的右侧安装有第三电机，所述第三电机的输出端贯穿安装架的右侧且与螺杆的右侧固定连接，所述螺杆的外壁套接有滑架，所述滑架的下端面安装有刻划钢尺，使第二电机带动刻划装置转动，促使刻划装置转动对夹持固定好的硅片进行掰片，具体使第三电机带动螺杆转动，促使螺杆带动滑架左右移动，且因滑架的上端面与安装架的下端面之间滑动连接有连接块，可实现对滑架的限位，因此当滑架受力左右移动时可带动刻划钢尺左右移动，实现对硅片掰片的效果，从而通过第二电机和第三电机可实现对硅片不同角度的掰片。

Description

一种硅片掰片辅助装置

技术领域

本实用新型涉及硅片掰片技术领域，特别涉及一种硅片掰片辅助装置。

背景技术

4英寸及以下硅片在微纳米实验室中起到举足轻重的作用，微纳米结构图形通过一定工艺方式转移到硅片表面，是一种良好的基底材料。为观察所做图案在硅片表面及其断面形貌结构。

但是现有的硅片掰片辅助装置大多采用人工掰片的方式将微结构图形分离出来，而这种方式不仅效率低，同时因无法对硅片进行夹持固定，导致在掰片时硅片发生移动影响掰片质量。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提出一种硅片掰片辅助装置来解决上述问题。

本实用新型是这样实现的，一种硅片掰片辅助装置，包括：工作台，所述工作台的上方设置有支撑板，所述支撑板的下端面安装有刻划装置，所述支撑板的上端面安装有第二电机，所述第二电机的输出端贯穿支撑板并延伸至支撑板的下方且与刻划装置固定连接；

所述刻划装置包括安装架，所述安装架的下端面安装有螺杆，所述安装架的右侧安装有第三电机，所述第三电机的输出端贯穿安装架的右侧且与螺杆的右侧固定连接，所述螺杆的外壁套接有滑架，所述滑架的下端面安装有刻划钢尺；

所述工作台的上端面安装有夹持装置用于对硅片的夹持固定。

为了对硅片进行夹持固定，本实用新型的一种硅片掰片辅助装置优选的，所述夹持装置包括固定板，所述固定板的内部安装有反向丝杆，所述固定板的右侧安装有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿固定板并延伸至固定板的内部且与反向丝杆的右侧固定连接，所述反向丝杆的外壁套接有两个滑块，两个所述滑块的上端面均固定连接有夹持件。

为了使滑块带动夹持件顺利移动，本实用新型的一种硅片掰片辅助装置优选的，所述固定板的上端面开设有滑槽，两个所述滑块的上端面均贯穿滑槽，两个所述夹持件均位于固定板的上端面。

为了实现刻划装置对硅片进行掰片，本实用新型的一种硅片掰片辅助装置优选的，所述工作台上端面的左右两侧均固定连接有立板，两个所述立板相对的一端均开设有通槽，所述支撑板的左右两侧均与通槽滑动连接，两个所述立板的上端面均安装有电推杆，两个所述电推杆的输出端均延伸至通槽的内部且与支撑板的上端面固定连接。

为了便于对硅片进行夹持，本实用新型的一种硅片掰片辅助装置优选的，两个所述夹持件呈C形状，两个所述夹持件相对的一端均固定连接有防护垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该种硅片掰片辅助装置，通过启动第二电机，使第二电机带动刻划装置转动，促使刻划装置转动对夹持固定好的硅片进行掰片，具体可通过启动第三电机，使第三电机带动螺杆转动，促使螺杆带动滑架左右移动，且因滑架的上端面与安装架的下端面之间滑动连接有连接块，可实现对滑架的限位，因此当滑架受力左右移动时可带动刻划钢尺左右移动，实现对硅片掰片的效果，从而通过第二电机和第三电机可实现对硅片不同角度的掰片；

2、该种硅片掰片辅助装置，将需要掰片的硅片放置在固定板的上端面，接着启动第一电机，使第一电机带动反向丝杆转动，促使两个滑块带动两个夹持件向相对或相反的方向移动，直至两个夹持件靠近硅片且对硅片进行夹持固定，进而实现了对硅片的夹持，从而提高了对硅片掰片的效率，避免在掰片的过程中硅片发生移动，影响其掰片质量。

附图说明

图1为本实用新型的一种硅片掰片辅助装置结构图；

图2为本实用新型的硅片掰片辅助装置剖面图；

图中，1、工作台；2、夹持装置；201、固定板；202、滑槽；203、第一电机；204、反向丝杆；205、滑块；206、夹持件；3、立板；301、通槽；302、电推杆；303、支撑板；304、第二电机；4、刻划装置；401、安装架；402、第三电机；403、螺杆；404、滑架；405、刻划钢尺。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1-2，一种硅片掰片辅助装置，包括：工作台1，工作台1的上方设置有支撑板303，支撑板303的下端面安装有刻划装置4，支撑板303的上端面安装有第二电机304，第二电机304的输出端贯穿支撑板303并延伸至支撑板303的下方且与刻划装置4固定连接；

刻划装置4包括安装架401，安装架401的下端面安装有螺杆403，安装架401的右侧安装有第三电机402，第三电机402的输出端贯穿安装架401的右侧且与螺杆403的右侧固定连接，螺杆403的外壁套接有滑架404，滑架404的下端面安装有刻划钢尺405；

工作台1的上端面安装有夹持装置2用于对硅片的夹持固定。

本实施例中：通过启动第二电机304，使第二电机304带动刻划装置4转动，促使刻划装置4转动对夹持固定好的硅片进行掰片，具体可通过启动第三电机402，使第三电机402带动螺杆403转动，促使螺杆403带动滑架404左右移动，且因滑架404的上端面与安装架401的下端面之间滑动连接有连接块，可实现对滑架404的限位，因此当滑架404受力左右移动时可带动刻划钢尺405左右移动，实现对硅片掰片的效果，从而通过第二电机304和第三电机402可实现对硅片不同角度的掰片。

作为本实用新型的一种技术优化方案，夹持装置2包括固定板201，固定板201的内部安装有反向丝杆204，固定板201的右侧安装有第一电机203，第一电机203的输出端贯穿固定板201并延伸至固定板201的内部且与反向丝杆204的右侧固定连接，反向丝杆204的外壁套接有两个滑块205，两个滑块205的上端面均固定连接有夹持件206。

本实施例中：将需要掰片的硅片放置在固定板201的上端面，接着启动第一电机203，使第一电机203带动反向丝杆204转动，促使两个滑块205带动两个夹持件206向相对或相反的方向移动，直至两个夹持件206靠近硅片且对硅片进行夹持固定，进而实现了对硅片的夹持，从而提高了对硅片掰片的效率，避免在掰片的过程中硅片发生移动，影响其掰片质量。

作为本实用新型的一种技术优化方案，固定板201的上端面开设有滑槽202，两个滑块205的上端面均贯穿滑槽202，两个夹持件206均位于固定板201的上端面。

本实施例中：通过滑槽202可使滑块205带动夹持件206顺利移动，同时可对滑块205进行限位，避免滑块205随着反向丝杆204的转动而转动。

作为本实用新型的一种技术优化方案，工作台1上端面的左右两侧均固定连接有立板3，两个立板3相对的一端均开设有通槽301，支撑板303的左右两侧均与通槽301滑动连接，两个立板3的上端面均安装有电推杆302，两个电推杆302的输出端均延伸至通槽301的内部且与支撑板303的上端面固定连接。

本实施例中：通过启动电推杆302，可使两个电推杆302推动支撑板303在通槽301内下移，促使支撑板303带动刻划装置4下移，从而可实现刻划装置4对硅片进行掰片。

作为本实用新型的一种技术优化方案，两个夹持件206呈C形状，两个夹持件206相对的一端均固定连接有防护垫。

本实施例中：通过两个夹持件206呈C形状以便于对硅片进行夹持，通过防护垫可夹持的硅片进行保护。

本实用新型的工作原理及使用流程：首先将需要掰片的硅片放置在固定板201的上端面，接着启动第一电机203，使第一电机203带动反向丝杆204转动，促使两个滑块205带动两个夹持件206向相对或相反的方向移动，直至两个夹持件206靠近硅片且对硅片进行夹持固定，其次启动电推杆302，可使两个电推杆302推动支撑板303在通槽301内下移，促使支撑板303带动刻划装置4下移，紧接着启动第二电机304，使第二电机304带动刻划装置4转动，促使刻划装置4转动对夹持固定好的硅片进行掰片，最后启动第三电机402，使第三电机402带动螺杆403转动，促使螺杆403带动滑架404左右移动，且因滑架404的上端面与安装架401的下端面之间滑动连接有连接块，可实现对滑架404的限位，因此当滑架404受力左右移动时可带动刻划钢尺405左右移动，实现对硅片掰片的效果。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种硅片掰片辅助装置，其特征在于，包括：工作台(1)，所述工作台(1)的上方设置有支撑板(303)，所述支撑板(303)的下端面安装有刻划装置(4)，所述支撑板(303)的上端面安装有第二电机(304)，所述第二电机(304)的输出端贯穿支撑板(303)并延伸至支撑板(303)的下方且与刻划装置(4)固定连接；

所述刻划装置(4)包括安装架(401)，所述安装架(401)的下端面安装有螺杆(403)，所述安装架(401)的右侧安装有第三电机(402)，所述第三电机(402)的输出端贯穿安装架(401)的右侧且与螺杆(403)的右侧固定连接，所述螺杆(403)的外壁套接有滑架(404)，所述滑架(404)的下端面安装有刻划钢尺(405)；

所述工作台(1)的上端面安装有夹持装置(2)用于对硅片的夹持固定。

2.根据权利要求1所述的一种硅片掰片辅助装置，其特征在于：所述夹持装置(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)的内部安装有反向丝杆(204)，所述固定板(201)的右侧安装有第一电机(203)，所述第一电机(203)的输出端贯穿固定板(201)并延伸至固定板(201)的内部且与反向丝杆(204)的右侧固定连接，所述反向丝杆(204)的外壁套接有两个滑块(205)，两个所述滑块(205)的上端面均固定连接有夹持件(206)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片掰片辅助装置，其特征在于：所述固定板(201)的上端面开设有滑槽(202)，两个所述滑块(205)的上端面均贯穿滑槽(202)，两个所述夹持件(206)均位于固定板(201)的上端面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片掰片辅助装置，其特征在于：所述工作台(1)上端面的左右两侧均固定连接有立板(3)，两个所述立板(3)相对的一端均开设有通槽(301)，所述支撑板(303)的左右两侧均与通槽(301)滑动连接，两个所述立板(3)的上端面均安装有电推杆(302)，两个所述电推杆(302)的输出端均延伸至通槽(301)的内部且与支撑板(303)的上端面固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种硅片掰片辅助装置，其特征在于：两个所述夹持件(206)呈C形状，两个所述夹持件(206)相对的一端均固定连接有防护垫。

Images