CN217019035U - 双波长激光剥蚀系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了手环温度计技术领域,具体为双波长激光剥蚀系统,包括支撑板,所述支撑板设有两组,所述支撑板之间固定安装有放置板,所述支撑板下端侧壁上固定安装有支腿,所述放置板下端侧壁上连接有驱动部件,所述放置板上方设有吊架,所述吊架呈U型,所述吊架上端连接有移动部件,所述吊架和支撑板之间设有导向组件,还包括:位于移动部件下方的角度调节部件,所述角度调节部件包括电机三,所述电机三输出端固定安装有安装板,所述安装板下端转动安装有激光剥蚀器,所述激光剥蚀器一侧设有伸缩杆,所述伸缩杆上端固定安装在安装板下端侧壁上,本实用新型的有益效果是:可以让双波长激光剥蚀系统结构相对简单,降低制造成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光剥蚀器系统领域,具体涉及双波长激光剥蚀系统。
背景技术
激光剥蚀器系统主要由准分子激光器单元、光学与机械单元、观测单元和计算机控制和软件包单元组成,其中的准分子激光器是核心部分,该系统利用准分子激光器输出的高的光子能量及高的能量密度,对材料表面进行剥蚀,即当激光照射到固体材料时,使固体材料的表面物质瞬间被气化,气化后的物质被输送到后面的其它测试设备,如经质谱仪等,对物质的成分进行测试。
现有技术存在以下不足:双波长激光剥蚀系统可以同时对样品进行照射剥蚀,增加剥蚀的效率,现有的双波长激光剥蚀系统结构较为复杂,增加制造成本。
因此,发明双波长激光剥蚀系统很有必要。
实用新型内容
为此,本实用新型提供双波长激光剥蚀系统,通过在支撑板之间安装放置板,支撑板通过导向组件连接有吊架,在吊架上端连接有移动部件,在移动部件下端连接有角度调节部件,在放置板下端安装驱动部件,以解决双波长激光剥蚀系统结构较为复杂的问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:双波长激光剥蚀系统,包括支撑板,所述支撑板设有两组,所述支撑板之间固定安装有放置板,所述支撑板下端侧壁上固定安装有支腿,所述放置板下端侧壁上连接有驱动部件,所述放置板上方设有吊架,所述吊架呈U型,所述吊架上端连接有移动部件,所述吊架和支撑板之间设有导向组件,还包括:位于移动部件下方的角度调节部件。
优选的,所述角度调节部件包括电机三,所述电机三输出端固定安装有安装板,所述安装板下端转动安装有激光剥蚀器,所述激光剥蚀器一侧设有伸缩杆,所述伸缩杆上端固定安装在安装板下端侧壁上,所述伸缩杆输出端转动连接激光剥蚀器。
优选的,所述移动部件设有两组,所述移动部件包括移动板,所述移动板呈口字状,所述移动板套接在吊架上端侧壁上,所述移动板设有两组,所述移动板上端侧壁上开设有通槽。
优选的,所述移动板上端侧壁上固定安装有电机一,所述电机一输出端上固定安装有主动齿轮二,所述主动齿轮二通过通槽啮合连接有齿轮条,所述齿轮条固定安装在吊架上端侧壁上。
优选的,所述电机三固定安装在移动板下端侧壁上。
优选的,所述驱动部件包括固定安装在放置板下端侧壁上的电机二,所述电机二输出端上固定安装有主动链轮一,所述放置板下端远离电机二的一端转动连接有链轮一,所述链轮一和主动链轮一外壁上啮合连接有链条,所述链条侧壁上固定安装有卡扣。
优选的,所述链条一侧设有圆轴,所述圆轴两端连接有固定块,所述固定块固定安装在吊架下端内壁上,所述卡扣固定安装在圆轴外壁上。
优选的,所述导向组件为凸型滑槽和凸型滑块,所述凸型滑槽开设在支撑板外端侧壁上,所述凸型滑块插入凸型滑槽内,所述凸型滑块远离凸型滑槽的一端固定安装在吊架内壁上。
优选的,所述导向组件为方形滑槽和方形滑块,所述方形滑槽开设在支撑板外端侧壁上,所述方形滑块插入方形滑槽内,所述方形滑块远离方形滑槽的一端固定安装在吊架内壁上。
本实用新型的有益效果是:
1.通过电机二驱动吊架到合适的位置,再通过电机一分别驱动移动板,在吊架上端移动,将两组移动板分别移动到合适的位置,起到让激光剥蚀器靠近样品的作用;
2.再通过电机三和伸缩杆调整好两组激光剥蚀器照射的角度,让两组激光剥蚀器同时对样品照射,起到提高剥蚀的效率。
附图说明
图1为本实用新型提供的实施例1的整体结构侧视图;
图2为本实用新型提供的实施例1的部分结构主视图;
图3为本实用新型提供的实施例1的驱动部件侧视图;
图4为本实用新型提供的实施例1的图2中B区域结构放大图;
图5为本实用新型提供的实施例1的图1中A区域结构放大图;
图6为本实用新型提供的实施例2的部分结构主视图。
图中:1支腿、2支撑板、3凸型滑槽、4吊架、5移动板、6电机一、7链轮一、8卡扣、9主动链轮一、10电机二、11链条、12凸型滑块、13放置板、 14圆轴、15固定块、16主动齿轮二、17齿轮条、18电机三、19安装板、20激光剥蚀器、21伸缩杆、22方形滑槽、23方形滑块、101导向组件、201驱动部件、301移动部件、401角度调节部件。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例1:
参照附图1-5,本实用新型提供的双波长激光剥蚀系统,包括支撑板2;
进一步地,支撑板2设有两组,支撑板2之间固定安装有放置板13,支撑板2下端侧壁上固定安装有支腿1,放置板13下端侧壁上连接有驱动部件201,放置板13上方设有吊架4,吊架4呈U型,吊架4上端连接有移动部件301,吊架4和支撑板2之间设有导向组件101,还包括:位于移动部件301下方的角度调节部件401,具体的,吊架4起到带着移动部件301和角度调节部件401移动的作用,放置板13上端固定有待剥蚀的样品。
进一步地,角度调节部件401包括电机三18,电机三18固定安装在移动板 5下端侧壁上,电机三18输出端固定安装有安装板19,安装板19下端转动安装有激光剥蚀器20,激光剥蚀器20一侧设有伸缩杆21,伸缩杆21上端固定安装在安装板19下端侧壁上,伸缩杆21输出端转动连接激光剥蚀器20,具体的,激光剥蚀器20是利用准分子激光器输出的高的光子能量及高的能量密度,对材料表面进行剥蚀,即当激光照射到固体材料时,使固体材料的表面物质瞬间被气化,电机是指依据电磁感应定律实现电能转换或传递的一种电磁装置,电机三18起到让激光剥蚀器20旋转的作用,伸缩杆21起到让激光剥蚀器20上下转动的作用。
进一步地,移动部件301设有两组,移动部件301包括移动板5,移动板5 呈口字状,移动板5套接在吊架4上端侧壁上,移动板5设有两组,移动板5 上端侧壁上开设有通槽,移动板5上端侧壁上固定安装有电机一6,电机一6输出端上固定安装有主动齿轮二16,主动齿轮二16通过通槽啮合连接有齿轮条 17,齿轮条17固定安装在吊架4上端侧壁上,具体的,电机一6起到对主动齿轮二16提供动力的作用,让主动齿轮二16在齿轮条17上移动,两组移动部件301下方的激光剥蚀器20的波长不相同。
进一步地,驱动部件201包括固定安装在放置板13下端侧壁上的电机二10,电机二10输出端上固定安装有主动链轮一9,放置板13下端远离电机二10的一端转动连接有链轮一7,链轮一7和主动链轮一9外壁上啮合连接有链条11,链条11侧壁上固定安装有卡扣8,链条11一侧设有圆轴14,圆轴14两端连接有固定块15,固定块15固定安装在吊架4下端内壁上,卡扣8固定安装在圆轴 14外壁上,具体的,电机二10起到对主动链轮一9提供动力的作用,主动链轮一9起到让链条11在链轮一7和主动链轮一9上转动的作用,链条11在转动的时候会带动卡扣8移动,卡扣8带动吊架4移动。
进一步地,导向组件101为凸型滑槽3和凸型滑块12,凸型滑槽3开设在支撑板2外端侧壁上,凸型滑块12插入凸型滑槽3内,凸型滑块12远离凸型滑槽3的一端固定安装在吊架4内壁上,具体的,凸型滑槽3和凸型滑块12起到在吊架4移动的时候,对吊架4导向的作用。
本实用新型的使用过程如下:本领域技术人员通过在支撑板2之间安装放置板13,支撑板2通过导向组件101连接有吊架4,在吊架4上端连接有移动部件301,在移动部件301下端连接有角度调节部件401,在放置板13下端安装驱动部件201,通过将样品固定在放置板13上端,通过电机二10驱动吊架4 到合适的位置,再通过电机一6分别驱动移动板5,在吊架4上端移动,将两组移动板5分别移动到合适的位置,再通过电机三18和伸缩杆21调整好两组激光剥蚀器20照射的角度,让两组激光剥蚀器20同时对样品照射,起到提高剥蚀的效率。
实施例2:
参照附图6,本实用新型提供的双波长激光剥蚀系统,包括导向组件101;
进一步地,导向组件101为方形滑槽22和方形滑块23,方形滑槽22开设在支撑板2外端侧壁上,方形滑块23插入方形滑槽22内,方形滑块23远离方形滑槽22的一端固定安装在吊架4内壁上,具体的,方形滑槽22和方形滑块 23起到在吊架4移动的时候,对吊架4导向的作用。
本实用新型的使用过程如下:相比较实施例1,本实施例中的导向组件101 为方形滑槽22和方形滑块23,方形滑槽22开设在支撑板2外端侧壁上,方形滑块23插入方形滑槽22内,方形滑块23远离方形滑槽22的一端固定安装在吊架4内壁上,方形滑槽22和方形滑块23起到在吊架4移动的时候,对吊架4 导向的作用。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此,依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换,尽属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (9)
1.双波长激光剥蚀系统,包括支撑板(2),其特征在于,所述支撑板(2)设有两组,所述支撑板(2)之间固定安装有放置板(13),所述支撑板(2)下端侧壁上固定安装有支腿(1),所述放置板(13)下端侧壁上连接有驱动部件(201),所述放置板(13)上方设有吊架(4),所述吊架(4)呈U型,所述吊架(4)上端连接有移动部件(301),所述吊架(4)和支撑板(2)之间设有导向组件(101),还包括:位于移动部件(301)下方的角度调节部件(401)。
2.根据权利要求1所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述角度调节部件(401)包括电机三(18),所述电机三(18)输出端固定安装有安装板(19),所述安装板(19)下端转动安装有激光剥蚀器(20),所述激光剥蚀器(20)一侧设有伸缩杆(21),所述伸缩杆(21)上端固定安装在安装板(19)下端侧壁上,所述伸缩杆(21)输出端转动连接激光剥蚀器(20)。
3.根据权利要求1所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述移动部件(301)设有两组,所述移动部件(301)包括移动板(5),所述移动板(5)呈口字状,所述移动板(5)套接在吊架(4)上端侧壁上,所述移动板(5)设有两组,所述移动板(5)上端侧壁上开设有通槽。
4.根据权利要求3所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述移动板(5)上端侧壁上固定安装有电机一(6),所述电机一(6)输出端上固定安装有主动齿轮二(16),所述主动齿轮二(16)通过通槽啮合连接有齿轮条(17),所述齿轮条(17)固定安装在吊架(4)上端侧壁上。
5.根据权利要求2所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述电机三(18)固定安装在移动板(5)下端侧壁上。
6.根据权利要求1所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述驱动部件(201)包括固定安装在放置板(13)下端侧壁上的电机二(10),所述电机二(10)输出端上固定安装有主动链轮一(9),所述放置板(13)下端远离电机二(10)的一端转动连接有链轮一(7),所述链轮一(7)和主动链轮一(9)外壁上啮合连接有链条(11),所述链条(11)侧壁上固定安装有卡扣(8)。
7.根据权利要求6所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述链条(11)一侧设有圆轴(14),所述圆轴(14)两端连接有固定块(15),所述固定块(15)固定安装在吊架(4)下端内壁上,所述卡扣(8)固定安装在圆轴(14)外壁上。
8.根据权利要求1所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述导向组件(101)为凸型滑槽(3)和凸型滑块(12),所述凸型滑槽(3)开设在支撑板(2)外端侧壁上,所述凸型滑块(12)插入凸型滑槽(3)内,所述凸型滑块(12)远离凸型滑槽(3)的一端固定安装在吊架(4)内壁上。
9.根据权利要求1所述的双波长激光剥蚀系统,其特征在于:所述导向组件(101)为方形滑槽(22)和方形滑块(23),所述方形滑槽(22)开设在支撑板(2)外端侧壁上,所述方形滑块(23)插入方形滑槽(22)内,所述方形滑块(23)远离方形滑槽(22)的一端固定安装在吊架(4)内壁上。
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