CN216935616U - 一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置 - Google Patents

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蔡璐
朱杨杨
李智
殷晓飞
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Abstract

本实用新型公开了一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,包括底板,所述底板的顶端靠近四角分别固定连接在支撑柱的底端,所述支撑柱的顶端分别固定连接在放置板的底端四角,所述放置板的中部固定连接在搅拌釜的外周中部,所述搅拌釜的顶端固定连接在电机的底端,所述电机的传动轴底端贯穿搅拌釜的顶盖并固定连接在搅拌桨的顶端,所述搅拌釜的底端中部固定连接在下料管的顶端。本实用新型中,通过水泵将提前将加注在储液箱中的不同溶剂经过第一连接管和第二连接管抽入储液桶中待搅拌,再利用流量控制阀控制流入搅拌釜中液体的比例,即提高了效率还节省了成本,值得大力推广。

Description

一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置
技术领域
本实用新型涉及搅拌装置技术领域,尤其涉及一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置。
背景技术
起皱的光致抗蚀剂简称光刻胶或抗蚀剂,指光照后能改变抗蚀能力的高分子化合物,光蚀剂分为两大类:正性光致抗蚀剂和负性光致抗蚀剂。
现有的光致抗蚀剂在搅拌之前需要对其进行比例分配,之后再倒入搅拌装置中搅拌作业,在分配的过程中需要单独安排配制室,比较费时费力费资源。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,包括底板,所述底板的顶端靠近四角分别固定连接在支撑柱的底端,所述支撑柱的顶端分别固定连接在放置板的底端四角,所述放置板的中部固定连接在搅拌釜的外周中部,所述搅拌釜的顶端固定连接在电机的底端,所述电机的传动轴底端贯穿搅拌釜的顶盖并固定连接在搅拌桨的顶端,所述搅拌釜的底端中部固定连接在下料管的顶端,所述搅拌釜的两侧顶端分别固定连接有进料管,所述进料管的中部均设置有流量控制阀,所述进料管的顶端分别固定连接在储液桶的底端,所述储液桶的顶端中部分别固定连接在第二连接管的一端,所述第二连接管的另一端分别固定连接在水泵的顶端中部,所述水泵的相对一侧分别固定连接在第一连接管的一端,所述第一连接管的另一端分别固定连接在储液箱的底端中部,所述放置板的顶端两侧分别固定连接在水泵的底端,所述底板的顶端两侧分别固定连接在储液箱的底端。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述下料管的外周设置有阀门。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述底板底端四角均固定连接有减震垫。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述底板的顶端中部固定连接在若干滑动板的底端。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述搅拌釜的后端顶部固定连接在备用管的前端,所述备用管的中部设置有流量控制阀。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述储液桶的前端中部设置有透明玻璃窗。
作为上述技术方案的进一步描述:
所述储液箱的顶端中部靠前均设置有加注口。
本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型中,通过水泵将提前将加注在储液箱中的不同溶剂经过第一连接管和第二连接管抽入储液桶中待搅拌,再利用流量控制阀控制流入搅拌釜中液体的比例,即提高了效率还节省了成本,使用效果很好,值得大力推广。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置的正面立体图;
图2为本实用新型提出的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置的背面立体图。
图例说明:
1、底板;2、减震垫;3、储液箱;4、加注口;5、第一连接管;6、搅拌釜;7、流量控制阀;8、搅拌桨;9、电机;10、放置板;11、透明玻璃窗;12、储液桶;13、进料管;14、第二连接管;15、水泵;16、阀门;17、下料管;18、滑动板;19、支撑柱;20、备用管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1-2,本实用新型提供的一种实施例:一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,包括底板1,底板1的顶端靠近四角分别固定连接在支撑柱19的底端,支撑柱19的顶端分别固定连接在放置板10的底端四角,放置板10的中部固定连接在搅拌釜6的外周中部,搅拌釜6的顶端固定连接在电机9的底端,电机9的传动轴底端贯穿搅拌釜6的顶盖并固定连接在搅拌桨8的顶端,搅拌釜6的底端中部固定连接在下料管17的顶端,搅拌釜6的两侧顶端分别固定连接有进料管13,进料管13的中部均设置有流量控制阀7,进料管13的顶端分别固定连接在储液桶12的底端,储液桶12的顶端中部分别固定连接在第二连接管14的一端,第二连接管14的另一端分别固定连接在水泵15的顶端中部,水泵15的相对一侧分别固定连接在第一连接管5的一端,第一连接管5的另一端分别固定连接在储液箱3的底端中部,放置板10的顶端两侧分别固定连接在水泵15的底端,底板1的顶端两侧分别固定连接在储液箱3的底端,首先将不同的溶液分别从加注口4加入储液箱3中,再启动水泵15,通过第一连接管5将储液箱3中的溶液抽出,并从第二连接管14中注入到储液桶12中存储,当需要配比一定比例的当前溶液时,需先启动电机9,使搅拌桨8在搅拌釜6中转动,在控制流量控制阀7使不同储液桶12中的溶液按照设定的比例流入搅拌釜6中,在搅拌桨8的搅拌下充分混合,将收料桶从滑动板18顶端向后滑动,使其口部对准下料管17的底端,打开阀门16,便可以将混合溶液排出以供后续使用不需要在另外安排配制场所,提高配制效率。
下料管17的外周设置有阀门16,底板1底端四角均固定连接有减震垫2,可以减轻搅拌过程中机体抖动,导致支撑结构疲劳,延长其使用寿命,底板1的顶端中部固定连接在若干滑动板18的底端,使收料桶拿取更加便捷,搅拌釜6的后端顶部固定连接在备用管20的前端,在溶液含量达到三种时可以另外增设储液桶12进行加注,备用管20的中部设置有流量控制阀7,储液桶12的前端中部设置有透明玻璃窗11,可以实时观察储液桶12中溶液含量,储液箱3的顶端中部靠前均设置有加注口4。
工作原理:首先将不同的溶液分别从加注口4加入储液箱3中,再启动水泵15,通过第一连接管5将储液箱3中的溶液抽出,并从第二连接管14中注入到储液桶12中存储,当需要配比一定比例的当前溶液时,需先启动电机9,使搅拌桨8在搅拌釜6中转动,在控制流量控制阀7使不同储液桶12中的溶液按照设定的比例流入搅拌釜6中,在搅拌桨8的搅拌下充分混合,将收料桶从滑动板18顶端向后滑动,使其口部对准下料管17的底端,打开阀门16,便可以将混合溶液排出以供后续使用不需要在另外安排配制场所,提高配制效率。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶端靠近四角分别固定连接在支撑柱(19)的底端,所述支撑柱(19)的顶端分别固定连接在放置板(10)的底端四角,所述放置板(10)的中部固定连接在搅拌釜(6)的外周中部,所述搅拌釜(6)的顶端固定连接在电机(9)的底端,所述电机(9)的传动轴底端贯穿搅拌釜(6)的顶盖并固定连接在搅拌桨(8)的顶端,所述搅拌釜(6)的底端中部固定连接在下料管(17)的顶端,所述搅拌釜(6)的两侧顶端分别固定连接有进料管(13),所述进料管(13)的中部均设置有流量控制阀(7),所述进料管(13)的顶端分别固定连接在储液桶(12)的底端,所述储液桶(12)的顶端中部分别固定连接在第二连接管(14)的一端,所述第二连接管(14)的另一端分别固定连接在水泵(15)的顶端中部,所述水泵(15)的相对一侧分别固定连接在第一连接管(5)的一端,所述第一连接管(5)的另一端分别固定连接在储液箱(3)的底端中部,所述放置板(10)的顶端两侧分别固定连接在水泵(15)的底端,所述底板(1)的顶端两侧分别固定连接在储液箱(3)的底端。
2.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述下料管(17)的外周设置有阀门(16)。
3.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述底板(1)底端四角均固定连接有减震垫(2)。
4.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述底板(1)的顶端中部固定连接在若干滑动板(18)的底端。
5.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述搅拌釜(6)的后端顶部固定连接在备用管(20)的前端,所述备用管(20)的中部设置有流量控制阀(7)。
6.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述储液桶(12)的前端中部设置有透明玻璃窗(11)。
7.根据权利要求1所述的一种基于干膜光致抗蚀剂再利用加工搅拌装置,其特征在于:所述储液箱(3)的顶端中部靠前均设置有加注口(4)。
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