CN216884682U - 一种加工n型单晶硅片的多槽距多r角导轮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，涉及金钢线切片领域。金钢线导轮的辊体表面开设有多个环型槽，多个环型槽为一个槽组，每个槽组用于安装直径不同的金钢线，环型槽沿辊体的轴向截面为U型，同一个槽组中的环型槽规格相同，U型槽底部弧线的直径与该槽组的金钢线直径相同。辊体表面设置有聚氨酯包覆层，用于更好的保护辊体不受磨损。环型槽沿辊体的轴向界面为U型，突破开槽槽底R角的技术能够降低细线在切割过程中因磨损导致的断线及导轮涂层受伤等问题。

Description

一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮

技术领域

本实用新型涉及金钢线切片领域，特别是一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮。

背景技术

在硅片生产过程中，需要将硅棒通过硅棒切片机切出一片片晶片，而硅棒切片机中就是将金钢线缠绕在硅棒金钢线导轮上对硅棒进行切割。现目前普遍的金钢线导轮的环型槽沿辊体的轴向截面多为V型。目前金钢线导轮在大尺寸、超薄、细线化的技术推进下，现有的金钢线导轮还存在如下缺陷：

1.超薄的硅片对成本的降低起到关键的作用，在切割不同的片厚更换不同槽距的导轮，会造成切割耗时的浪费。

2. 细线化对导轮槽型要求同步提高，从线径规格50----43经历了漫长的研发实验过程，由于细线化的推进，现需槽底由V型改成U型，突破开槽槽底R角的技术能够降低细线在切割过程中因磨损导致的断线及导轮涂层受伤等问题。

3. 槽底型态若为V型，钢线的R角在布线过程中不能完全落底局部受力，导致切割过程中出现偏磨、TTV、槽型受力不均斜拉受损情况，在多种考量后对钢线R角进行测量，同时对槽底加工出相应的R角来配合钢线在槽底的整体受力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，该金钢线导轮可以在导轮表面开N种槽型，其中槽型、角度、R角、深度均可调整，在同副导轮切割中可得到不同的片厚的硅片。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，辊体表面开设有多个环型槽，多个环型槽为一个槽组，每个槽组用于安装直径不同的金钢线，环型槽沿辊体的轴向截面为U型，同一个槽组中的环型槽规格相同，环型槽底部弧线的直径与该槽组的金钢线直径相同。

作为本实用新型进一步优选，辊体表面设置有聚氨酯包覆层。

作为本实用新型进一步优选，同一槽组中的环型槽的槽距相同。

作为本实用新型进一步优选，每个槽组中有5个环型槽。

作为本实用新型进一步优选，一组U型槽的槽距为0.210mm。

作为本实用新型进一步优选，一组U型槽的槽距为0.230mm。

作为本实用新型进一步优选，一组U型槽的槽距为0.180mm。

本实用新型具有如下有益效果：

1.在同副导轮切割中可得到不同的片厚的硅片。

2.槽底R角与金刚线R角配合，降低因偏磨导致断线，整体断线率降低11%。

3.切割过程中钢线以最佳状态在槽底高速切割，同时钢线整体受力水平优于前者。

4.钢线在切割过程中TTV率较前者下降3%。

5.可以更高效率的加工N型单晶硅片。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型安装金钢线的结构示意图。

其中有：1.环型槽；2.金钢线。

具体实施方式

下面结合附图和具体较佳实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“左侧”、“右侧”、“上部”、“下部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，“第一”、“第二”等并不表示零部件的重要程度，因此不能理解为对本实用新型的限制。本实施例中采用的具体尺寸只是为了举例说明技术方案，并不限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，辊体表面开设有多个环型槽1，多个环型槽1为一个槽组，每个槽组用于安装直径不同的金钢线2，环型槽1沿辊体的轴向截面为U型，同一个槽组中的环型槽1规格相同，环型槽1底部弧线的直径与该槽组的金钢线2直径相同。环形槽1沿辊体的轴向截面也可以是V型，但V型槽的尖部为圆弧。现有的金钢线2导轮为V型，金钢线2与金钢线2导轮仅为两点接触。金钢线2夹持于U型槽底部圆弧中，增大了金钢线2与金钢线2导轮的接触面积，够降低细线在切割过程中因磨损导致的断线及导轮涂层受伤等问题。

辊体表面设置有聚氨酯包覆层。聚氨酯为一种具有高强度、抗撕裂、耐磨等特性的高分子材料。聚氨酯包覆层可以进一步防止金钢线2磨损辊体。

需求硅片厚度不同情况下，可利用在1副导轮表面开N槽距来对应布线要求。其中槽型、角度、R角、深度均可调整。同一槽组中的环型槽1的槽距相同。同一槽组可以安装线径相同的金钢线2；用于切割硅棒。每个槽组中优选为5个环型槽1，既满足切割的需求，又不会造成浪费。 硅片厚度为相邻两个环型槽1的槽距分别减去相邻两根金钢线2的半径。

例如：一组U型槽的槽距为0.210mm，在相应的环型槽1中安装金钢线2，就可以切一种厚度的硅片。一组U型槽的槽距为0.230mm，在相应的环型槽1中安装金钢线2，又可以切一种厚度的金钢线2。一组U型槽的槽距为0.180mm，且在相应的环型槽1中安装金钢线2，还可以切出另一种厚度的金钢线2。需求硅片厚度不同情况下，可利用在1副导轮表面开N槽距来对应布线要求。开槽刀具参数为：R角：0.020mm，刀具角度为30°。开槽逻辑由平移、直插，改为平移、下降、底部平移、上升、底部停留0.5s。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，辊体表面开设有多个环型槽（1），其特征在于：多个环型槽（1）为一个槽组，每个槽组用于安装直径不同的金钢线（2），环型槽（1）沿辊体的轴向截面为U型，同一个槽组中的环型槽（1）规格相同，环型槽（1）底部弧线的直径与该槽组的金钢线（2）直径相同。

2.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：辊体表面设置有聚氨酯包覆层。

3.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：同一槽组中的环型槽（1）的槽距相同。

4.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：每个槽组中有5个环型槽（1）。

5.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：一组U型槽的槽距为0.210mm。

6.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：一组U型槽的槽距为0.230mm。

7.根据权利要求1所述的一种加工N型单晶硅片的多槽距多R角导轮，其特征在于：一组U型槽的槽距为0.180mm。

Images