CN216759492U - 一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，涉及芯片技术领域，包括研磨盘、收集槽、过滤器，研磨盘上设有均匀排列的研磨槽，研磨槽下端固定设有阻挡槽，阻挡槽设有废液通孔，收集槽上端与研磨盘下端密闭接触，研磨盘固定设有移动柱，收集槽内设有研磨垫板，收集槽下端固定设有渗液槽，渗液槽下端设有倾斜弧面，渗液槽底端固定连接有排液管，排液管固定连接有过滤器，渗液槽上端设有过滤层，过滤层一侧通过卡槽与收集槽可拆卸相连，过滤层上端固定连接有支撑架，支撑架顶端固定设有提拉板。本实用新型可实现研磨液的循环利用，在同时对多个芯片研磨时防止产生的粉末对管道堵塞，防止研磨时研磨液飞溅，方便清理，适合推广。

Description

一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置

技术领域

本实用新型属于芯片技术领域，具体涉及一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置。

背景技术

在对宝石芯片、衬底片进行研磨时，在研磨的过程中，加入研磨液进行研磨，研磨液的加入可以与产品发生化学作用，达到软化作用，同时还可以对产品起到润滑、洗涤、缓冲等作用，可以使产品表面达到无损伤、美观，现有的研磨剖光装置研磨液不宜回收，研磨过程中产生的粉末容易对管路在成堵塞，故此，本实例提出一种可实现研磨液的循环利用，在同时对多个芯片研磨时防止产生的粉末对管道堵塞，防止研磨时研磨液飞溅的宝石芯片、衬底片研磨液回收装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，可实现研磨液的循环利用，在同时对多个芯片研磨时防止产生的粉末对管道堵塞，防止研磨时研磨液飞溅，方便清理，适合推广。

本实用新型提供了如下的技术方案：一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，包括研磨盘、收集槽、过滤器，所述研磨盘上设有均匀排列的研磨槽，所述研磨槽下端固定设有阻挡槽，所述阻挡槽上均匀的设有废液通孔，所述收集槽上端与研磨盘下端密闭接触，所述研磨盘固定设有移动柱，所述收集槽内对应阻挡槽处固定设有研磨垫板，所述收集槽下端固定设有渗液槽，所述渗液槽下端设有倾斜弧面，所述渗液槽底端固定连接有排液管，所述排液管固定连接有过滤器，所述渗液槽上端设有过滤层，所述过滤层一侧通过卡槽与收集槽可拆卸相连，所述过滤层上端固定连接有支撑架，所述支撑架顶端固定设有提拉板。

优选地，研磨槽上端固定设有阻挡环，所述阻挡环与研磨液排放管固定相连。

优选地，移动柱连接有气缸。

优选地，过滤器固定连接有输送管，所述输送管固定连接有通液管，所述通液管固定连接有研磨液囊，所述研磨液囊与研磨液排放管固定相连。

优选地，收集槽在打磨仪器上固定，所述研磨垫板的侧表面与阻挡槽滑动相连。

本实用新型的有益效果：可实现研磨液的循环利用，在同时对多个芯片研磨时防止产生的粉末对管道堵塞，防止研磨时研磨液飞溅，方便清理，具体如下：

(1)、本实用新型设有收集槽，在宝石芯片、衬底片放入到研磨槽中，置于研磨垫板上，在研磨时研磨液囊向研磨槽中注入研磨液，研磨液的废液通过阻挡槽上的废液通孔漏入收集槽，在通过收集槽底部的过滤层时过滤掉固体粉末，进入渗液槽中，并沿倾斜弧面滑落到渗液槽的底部，再通过排液管进入过滤器进行深度过滤，过滤后通过输送管再次进入研磨液囊，实现研磨液循环利用。

(2)、本实用新型设有提拉板，在研磨的过程中，宝石芯片、衬底片置于研磨槽的底部，且上方设有阻挡环，防止研磨液从研磨槽中飞出，在使用一段时间后，对收集槽内的堆积物进行清理，移动柱对研磨盘升起，对收集槽内的堆积物进行清理，在通过提拉板将过滤层拿出进行清洗。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的整体示意图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是本实用新型的A处放大图；

图中标记为：1研磨盘、2研磨槽、3阻挡环、4阻挡槽、5收集槽、6通液管、7输送管、8研磨液囊、9过滤器、10研磨垫板、11移动柱、12废液通孔、13卡槽、14支撑架、15渗液槽、16倾斜弧面、17排液管、18过滤层、19提拉板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。现结合说明书附图，详细说明本实用新型的结构特点。

参见图1-3，一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，包括研磨盘1、收集槽5、过滤器9，所述研磨盘1上设有均匀排列的研磨槽2，所述研磨槽2下端固定设有阻挡槽4，通过阻挡槽4对打磨的宝石芯片、衬底片进行阻挡，所述阻挡槽4上均匀的设有废液通孔12，所述收集槽5上端与研磨盘1下端密闭接触，收集槽5在打磨仪器上固定，所述研磨盘1固定设有移动柱11，移动柱11连接有气缸，通过移动柱11将研磨盘1上升，所述收集槽5内对应阻挡槽4处固定设有研磨垫板10，所述研磨垫板10的侧表面与阻挡槽4滑动相连，通过研磨垫板10放置需要打磨的宝石芯片、衬底片，所述收集槽5下端固定设有渗液槽15，通过渗液槽15渗入研磨废液，所述渗液槽15下端设有倾斜弧面16，所述渗液槽15底端固定连接有排液管17，所述排液管17固定连接有过滤器9，所述渗液槽15上端设有过滤层18，所述过滤层18一侧通过卡槽13与收集槽5可拆卸相连，所述过滤层18上端固定连接有支撑架14，所述支撑架14顶端固定设有提拉板19，通过提拉板19将过滤层18取出。

参见图1，研磨槽2上端固定设有阻挡环3，所述阻挡环3与研磨液排放管固定相连，阻挡环3加深研磨槽12的深度防止研磨液溅出。

参见图1，过滤器9固定连接有输送管7，所述输送管7固定连接有通液管6，所述通液管6固定连接有研磨液囊8，所述研磨液囊8与研磨液排放管固定相连,实现研磨液的循环利用。

本实用新型的宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，可实现研磨液的循环利用，在同时对多个芯片研磨时防止产生的粉末对管道堵塞，防止研磨时研磨液飞溅，方便清理，适合推广。

具体地使用时，参照图1-3，在宝石芯片、衬底片放入到研磨槽2中，置于研磨垫板10上，在研磨时研磨液囊8向研磨槽2中注入研磨液，研磨液的废液通过阻挡槽4上的废液通孔12漏入收集槽5，在通过收集槽5底部的过滤层18时过滤掉固体粉末，进入渗液槽15中，并沿倾斜弧面16滑落到渗液槽15的底部，再通过排液管17进入过滤器9进行深度过滤，过滤后通过输送管7再次进入研磨液囊8，将研磨液循环利用；

在使用一段时间后，对收集槽5内的堆积物进行清理，移动柱11对研磨盘1升起，对收集槽5内的堆积物进行清理，在通过提拉板19将过滤层18拿出进行清洗。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，包括研磨盘(1)、收集槽(5)、过滤器(9)，其特征在于，所述研磨盘(1)上设有均匀排列的研磨槽(2)，所述研磨槽(2)下端固定设有阻挡槽(4)，所述阻挡槽(4)上均匀的设有废液通孔(12)，所述收集槽(5)上端与研磨盘(1)下端密闭接触，所述研磨盘(1)固定设有移动柱(11)，所述收集槽(5)内对应阻挡槽(4)处固定设有研磨垫板(10)，所述收集槽(5)下端固定设有渗液槽(15)，所述渗液槽(15)下端设有倾斜弧面(16)，所述渗液槽(15)底端固定连接有排液管(17)，所述排液管(17)固定连接有过滤器(9)，所述渗液槽(15)上端设有过滤层(18)，所述过滤层(18)一侧通过卡槽(13)与收集槽(5)可拆卸相连，所述过滤层(18)上端固定连接有支撑架(14)，所述支撑架(14)顶端固定设有提拉板(19)。

2.根据权利要求1所述的一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，其特征在于，所述研磨槽(2)上端固定设有阻挡环(3)，所述阻挡环(3)与研磨液排放管固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，其特征在于，所述移动柱(11)连接有气缸。

4.根据权利要求1所述的一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，其特征在于，所述过滤器(9)固定连接有输送管(7)，所述输送管(7)固定连接有通液管(6)，所述通液管(6)固定连接有研磨液囊(8)，所述研磨液囊(8)与研磨液排放管固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种宝石芯片、衬底片研磨液回收装置，其特征在于，所述收集槽(5)在打磨仪器上固定，所述研磨垫板(10)的侧表面与阻挡槽(4)滑动相连。

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