CN216633717U - 一种晶圆打磨除尘设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱与集尘箱，所述打磨箱内腔固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板下端固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有打磨盘，所述打磨箱内腔下端固定安装有支撑腿，所述支撑腿上端固定安装有支撑板，所述打磨箱内腔固定杆安装有第一风机，所述第一连接管另一端固定连接有吸盘，所述第一风机另一端固定连接有第二连接管，所述打磨箱一侧设有第二风机，所述第二风机一端固定连接有第三连接管，所述第二风机另一端固定连接有第四连接管，本实用新型便于将晶圆进行固定，且可以将打磨的废屑进行集中处理。

Description

一种晶圆打磨除尘设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆打磨除尘设备。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，圆晶精加工需要抛光，是对于圆晶进行打磨抛光，用于提高圆晶表面的光滑程度，抛光是使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，传统的圆晶精加工抛光设备在使用时，圆晶固定方式复杂，且不能将打磨的废屑进行收集。

参照现有公开号为CN110842676A的中国专利公开了一种半导体打磨设备，包括：机架；夹持组件装设于机架上，夹持组件上对称装设有可升降的弧形爪盘，弧形爪盘用以夹持半导体晶圆片；升降组件装设于机架上，升降组件上装设有转动盘，转动盘的轴中心与机架的轴中心重合；研磨组件偏心装设于转动盘上，研磨组件包括水平放置的研磨头。

上述的这种半导体打磨设备，夹持部位能够升降，确保能进一步调整夹持部位的高度，夹持部位能够旋转，确保进一步调整半导体晶圆片与研磨头贴合的角度，通过夹持组件和吸盘组件组合使用，实现翻转半导体晶圆片的打磨面。但是上述的这种半导体打磨设备依旧存在着一些缺点，固定晶圆不够便利，且不能将打磨的废屑进行集中处理。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆打磨除尘设备，便于将晶圆进行固定，且可以将打磨的废屑进行集中处理，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱与集尘箱，所述打磨箱内腔固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板下端固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有打磨盘，所述打磨箱内腔下端固定安装有支撑腿，所述支撑腿上端固定安装有支撑板，所述打磨箱内腔固定杆安装有第一风机，所述第一风机一端固定连接有第一连接管，所述第一连接管另一端贯穿所述支撑板，所述第一连接管另一端固定连接有吸盘，所述第一风机另一端固定连接有第二连接管，所述第二连接管贯穿所述打磨箱，所述打磨箱一侧设有第二风机，所述第二风机一端固定连接有第三连接管，所述第三连接管另一端贯穿所述打磨箱，所述第二风机另一端固定连接有第四连接管，所述第四连接管贯穿所述集尘箱。

优选的，所述打磨箱一侧开设有第一通风孔，所述第一通风孔处固定设有第一过滤网。

优选的，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有连接杆，所述连接杆另一端固定设有第一连接盘，所述打磨盘上固定设有第二连接盘，所述第一连接盘与所述第二连接盘通过若干锁紧螺栓连接。

优选的，所述第三连接管另一端设有吸尘罩。

优选的，所述打磨箱与所述集尘箱之间设有安装板，所述第二风机固定安装在所述安装板上。

优选的，所述集尘箱一侧开设有第二通风孔，所述第二通风孔处固定安装有第二过滤网。

优选的，所述打磨箱与所述集尘箱上均安装有箱门，所述箱门上均固定安装有把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型设有打磨箱与集尘箱，可将晶圆进行打磨，伺服电缸带动伺服电机进行移动，伺服电机带动打磨盘进行转动，对晶圆进行打磨，第二风机通过第三连接管与第四连接管，将打磨的废屑吸入集尘箱内进行集中处理；

2、本实用新型设有第一风机，第一风机通过第一连接管与吸盘，将晶圆进行固定，吸收的空气通过第二连接管进行排出，当需要取下晶圆时，打开电磁阀，即可将晶圆取下。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大图。

图中：1、打磨箱；2、集尘箱；3、伺服电缸；4、连接板；5、伺服电机；6、打磨盘；7、支撑腿；8、支撑板；9、第一风机；10、第一连接管；11、吸盘；12、电磁阀；13、第二连接管；14、第二风机；15、第三连接管；16、第四连接管；17、第一通风孔；18、第一过滤网；19、连接杆；20、第一连接盘；21、第二连接盘；22、锁紧螺栓；23、吸尘罩；24、安装板；25、第二通风孔；26、第二过滤网；27、箱门；28、把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱1与集尘箱2，打磨箱1内腔固定安装有伺服电缸3，伺服电缸3输出端固定连接有连接板4，连接板4下端固定安装有伺服电机5，伺服电机5输出端通过联轴器连接有打磨盘6，打磨箱1内腔下端固定安装有支撑腿7，支撑腿7上端固定安装有支撑板8，打磨箱1内腔固定杆安装有第一风机9，第一风机9一端固定连接有第一连接管10，第一连接管10另一端贯穿支撑板8，第一连接管10另一端固定连接有吸盘11，第一风机9另一端固定连接有第二连接管13，第二连接管13贯穿打磨箱1，打磨箱1一侧设有第二风机14，第二风机14一端固定连接有第三连接管15，第三连接管15另一端贯穿打磨箱1，第二风机14另一端固定连接有第四连接管16，第四连接管16贯穿集尘箱2。

参考图2，由于打磨箱1一侧开设有第一通风孔17，第一通风孔17处固定设有第一过滤网18，故第一通风孔17便于打磨箱1进行通风，第一过滤网18可避免有杂物进入打磨箱1内。

参考图3，由于伺服电机5输出端通过联轴器连接有连接杆19，连接杆19另一端固定设有第一连接盘20，打磨盘6上固定设有第二连接盘21，第一连接盘20与第二连接盘21通过若干锁紧螺栓22连接，故第一连接盘20与第二连接盘21通过若干锁紧螺栓22连接便于将打磨盘6进行拆卸更换。

参考图2，由于第三连接管15另一端设有吸尘罩23，吸尘罩23可增加吸尘范围，增加吸尘效果。

参考图2，由于打磨箱1与集尘箱2之间设有安装板24，第二风机14固定安装在安装板24上，故安装板24便于将第二风机14进行安装固定。

参考图2，由于集尘箱2一侧开设有第二通风孔25，第二通风孔25处固定安装有第二过滤网26，故第二通风孔25便于集尘箱2内进行通风，第二过滤网26避免杂物进入集尘箱2内。

参考图1，由于打磨箱1与集尘箱2上均安装有箱门27，箱门27上均固定安装有把手28，故便于将打磨箱1与集尘箱2进行打开，把手28便于将箱门27打开。

结构原理：本实用新型设有打磨箱1与集尘箱2，可将晶圆进行打磨，将晶圆放置吸盘11上，第一风机9通过第一连接管10与吸盘11，将晶圆进行固定，吸收的空气通过第二连接管13进行排出，伺服电缸3带动伺服电机5进行移动，伺服电机5带动打磨盘6进行转动，对晶圆进行打磨，第二风机14通过第三连接管15与第四连接管16，将打磨的废屑吸入集尘箱2内进行集中处理，当需要取下晶圆时，打开电磁阀12，即可将晶圆取下。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱(1)与集尘箱(2)，其特征在于：所述打磨箱(1)内腔固定安装有伺服电缸(3)，所述伺服电缸(3)输出端固定连接有连接板(4)，所述连接板(4)下端固定安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)输出端通过联轴器连接有打磨盘(6)，所述打磨箱(1)内腔下端固定安装有支撑腿(7)，所述支撑腿(7)上端固定安装有支撑板(8)，所述打磨箱(1)内腔固定杆安装有第一风机(9)，所述第一风机(9)一端固定连接有第一连接管(10)，所述第一连接管(10)另一端贯穿所述支撑板(8)，所述第一连接管(10)另一端固定连接有吸盘(11)，所述第一连接管(10)上固定安装有电磁阀(12)，所述第一风机(9)另一端固定连接有第二连接管(13)，所述第二连接管(13)贯穿所述打磨箱(1)，所述打磨箱(1)一侧设有第二风机(14)，所述第二风机(14)一端固定连接有第三连接管(15)，所述第三连接管(15)另一端贯穿所述打磨箱(1)，所述第二风机(14)另一端固定连接有第四连接管(16)，所述第四连接管(16)贯穿所述集尘箱(2)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)一侧开设有第一通风孔(17)，所述第一通风孔(17)处固定设有第一过滤网(18)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述伺服电机(5)输出端通过联轴器连接有连接杆(19)，所述连接杆(19)另一端固定设有第一连接盘(20)，所述打磨盘(6)上固定设有第二连接盘(21)，所述第一连接盘(20)与所述第二连接盘(21)通过若干锁紧螺栓(22)连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述第三连接管(15)另一端设有吸尘罩(23)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)与所述集尘箱(2)之间设有安装板(24)，所述第二风机(14)固定安装在所述安装板(24)上。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述集尘箱(2)一侧开设有第二通风孔(25)，所述第二通风孔(25)处固定安装有第二过滤网(26)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆打磨除尘设备，其特征在于：所述打磨箱(1)与所述集尘箱(2)上均安装有箱门(27)，所述箱门(27)上均固定安装有把手(28)。

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