CN216624221U - 一种退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体顶部的左侧固定连接有抽风机，所述抽风机的输入端连通有废气管，所述废气管远离抽风机的一端与退火炉本体的顶部连通，所述抽风机的输出端连通有连接管，所述连接管的右端连通有净化箱，所述净化箱的底部与退火炉本体顶部的右侧固定连接，所述净化箱顶部的右侧设置有滤芯，滤芯的底部贯穿至净化箱的内部并与净化箱内壁的底部接触，滤芯左侧的顶部开设有卡槽，净化箱的顶部固定连接有卡箱。本实用新型解决了现有的退火炉不具有烟气净化过滤功能的问题，该退火炉，具备烟气净化过滤的优点，不会污染周围的自然环境，提高了退火炉的环保性。

Description

一种退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，工厂生产离不开退火炉，退火炉在生产时需要产生大量烟气，为了提高环保性，需要对退火炉排出的烟气进行净化处理，但是，现有的退火炉不具有烟气净化过滤功能，污染了周围的自然环境，降低了退火炉的环保性。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供一种退火炉，具备烟气净化过滤的优点，解决了现有的退火炉不具有烟气净化过滤功能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉，包括退火炉本体，所述退火炉本体顶部的左侧固定连接有抽风机，所述抽风机的输入端连通有废气管，所述废气管远离抽风机的一端与退火炉本体的顶部连通，所述抽风机的输出端连通有连接管，所述连接管的右端连通有净化箱，所述净化箱的底部与退火炉本体顶部的右侧固定连接，所述净化箱顶部的右侧设置有滤芯，所述滤芯的底部贯穿至净化箱的内部并与净化箱内壁的底部接触，所述滤芯左侧的顶部开设有卡槽，所述净化箱的顶部固定连接有卡箱，所述卡箱内壁顶部的左侧固定连接有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑环，所述滑环的左侧固定连接有压杆，所述滑环的右侧固定连接有升降板，所述升降板正面的右侧固定连接有传动杆，所述卡箱内壁顶部的右侧固定连接有固定块，所述固定块的正面活动连接有旋转板，所述旋转板的右侧固定连接有与传动杆配合使用的三角板，所述旋转板的左侧的底部固定连接有弹簧，所述弹簧的左端与卡箱内壁左侧的底部固定连接，所述旋转板正面的底部活动连接有连板，所述连板背面的右侧活动连接有竖板，所述竖板的底部固定连接有滑块，所述卡箱内壁底部的右侧开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接，所述竖板的右侧固定连接有卡杆，所述卡杆的右端贯穿卡箱并延伸至卡槽的内部，所述净化箱的右侧连通有排气管。

作为本实用新型优选的，所述退火炉本体正面和背面顶部的两侧均固定连接有挂板，所述挂板与退火炉本体配合使用。

作为本实用新型优选的，所述压杆的左端贯穿至卡箱的外部固定连接有压盘，所述压盘的表面设置有防滑纹。

作为本实用新型优选的，所述滑杆的底部固定连接有加强板，所述加强板的左侧与卡箱内壁的左侧固定连接。

作为本实用新型优选的，所述升降板位于三角板的后侧，所述传动杆的表面与三角板右侧的顶部接触。

作为本实用新型优选的，所述滑槽的槽型为梯形，所述滑块的横截面为梯形，所述滑块与滑槽配合使用。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置退火炉本体、抽风机、废气管、连接管、净化箱、滤芯和排气管的配合使用，解决了现有的退火炉不具有烟气净化过滤功能的问题，该退火炉，具备烟气净化过滤的优点，不会污染周围的自然环境，提高了退火炉的环保性。

2、本实用新型通过设置挂板，能够配合外设吊装设备对退火炉本体进行移动，提高了挂板的实用性。

3、本实用新型通过设置压盘，能够增加使用者手部与压杆的接触面积，便于使用者通过压盘下压压杆，提高了压盘的实用性。

4、本实用新型通过设置加强板，能够防止滑杆倾斜与卡箱的内壁分离，增加了滑杆与卡箱的稳固性。

5、本实用新型通过设置传动杆，能够配合升降板带动三角板以固定块为中心转动，提高了传动杆的实用性。

6、本实用新型通过设置滑块和滑槽，能够增加竖板移动的稳定性，防止竖板移动时倾斜。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处结构放大图；

图3为本实用新型图2中三角板的结构立体图。

图中：1、退火炉本体；2、抽风机；3、废气管；4、连接管；5、净化箱；6、滤芯；7、卡槽；8、卡箱；9、滑杆；10、滑环；11、压杆；12、升降板；13、传动杆；14、固定块；15、旋转板；16、三角板；17、弹簧；18、连板；19、竖板；20、滑块；21、滑槽；22、卡杆；23、排气管；24、挂板；25、压盘；26、加强板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图3所示，本实用新型提供的一种退火炉，包括退火炉本体1，退火炉本体1顶部的左侧固定连接有抽风机2，抽风机2的输入端连通有废气管3，废气管3远离抽风机2的一端与退火炉本体1的顶部连通，抽风机2的输出端连通有连接管4，连接管4的右端连通有净化箱5，净化箱5的底部与退火炉本体1顶部的右侧固定连接，净化箱5顶部的右侧设置有滤芯6，滤芯6的底部贯穿至净化箱5的内部并与净化箱5内壁的底部接触，滤芯6左侧的顶部开设有卡槽7，净化箱5的顶部固定连接有卡箱8，卡箱8内壁顶部的左侧固定连接有滑杆9，滑杆9的表面滑动连接有滑环10，滑环10的左侧固定连接有压杆11，滑环10的右侧固定连接有升降板12，升降板12正面的右侧固定连接有传动杆13，卡箱8内壁顶部的右侧固定连接有固定块14，固定块14的正面活动连接有旋转板15，旋转板15的右侧固定连接有与传动杆13配合使用的三角板16，旋转板15的左侧的底部固定连接有弹簧17，弹簧17的左端与卡箱8内壁左侧的底部固定连接，旋转板15正面的底部活动连接有连板18，连板18背面的右侧活动连接有竖板19，竖板19的底部固定连接有滑块20，卡箱8内壁底部的右侧开设有滑槽21，滑块20与滑槽21滑动连接，竖板19的右侧固定连接有卡杆22，卡杆22的右端贯穿卡箱8并延伸至卡槽7的内部，净化箱5的右侧连通有排气管23。

参考图1，退火炉本体1正面和背面顶部的两侧均固定连接有挂板24，挂板24与退火炉本体1配合使用。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置挂板24，能够配合外设吊装设备对退火炉本体1进行移动，提高了挂板24的实用性。

参考图2，压杆11的左端贯穿至卡箱8的外部固定连接有压盘25，压盘25的表面设置有防滑纹。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置压盘25，能够增加使用者手部与压杆11的接触面积，便于使用者通过压盘25下压压杆11，提高了压盘25的实用性。

参考图2，滑杆9的底部固定连接有加强板26，加强板26的左侧与卡箱8内壁的左侧固定连接。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置加强板26，能够防止滑杆9倾斜与卡箱8的内壁分离，增加了滑杆9与卡箱8的稳固性。

参考图2，升降板12位于三角板16的后侧，传动杆13的表面与三角板16右侧的顶部接触。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置传动杆13，能够配合升降板12带动三角板16以固定块14为中心转动，提高了传动杆13的实用性。

参考图2，滑槽21的槽型为梯形，滑块20的横截面为梯形，滑块20与滑槽21配合使用。

作为本实用新型的一种技术优化方案，通过设置滑块20和滑槽21，能够增加竖板19移动的稳定性，防止竖板19移动时倾斜。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，退火炉本体1工作产生烟气，抽风机2工作通过废气管3和连接管4将烟气抽送至净化箱5的内部，烟气通过滤芯6过滤后，再经过排气管23排至净化箱5的外部，滤芯6长时间使用后，需要对滤芯6进行更换，操作员通过压盘25下压压杆11，压杆11下降带动滑环10在滑杆9的表面滑动下降，滑环10下降带动升降板12下降，升降板12下降带动传动杆13在三角板16的右侧滑动下降，且同时带动三角板16和旋转板15以固定块14为中心顺时针转动，旋转板15顺时针转动与卡箱8配合压缩弹簧17，旋转板15顺时针转动通过连板18带动竖板19向左移动，竖板19向左移动带动滑块20在滑槽21的内部向左滑动，竖板19向左移动带动卡杆22向左移动与卡槽7分离，将滤芯6抽出，达到更换的目的，操作相反时，达到安装的目的，从而达到具有烟气过滤功能的目的。

综上所述：该退火炉，通过设置退火炉本体1、抽风机2、废气管3、连接管4、净化箱5、滤芯6和排气管23的配合使用，解决了现有的退火炉不具有烟气净化过滤功能的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种退火炉，包括退火炉本体(1)，其特征在于：所述退火炉本体(1)顶部的左侧固定连接有抽风机(2)，所述抽风机(2)的输入端连通有废气管(3)，所述废气管(3)远离抽风机(2)的一端与退火炉本体(1)的顶部连通，所述抽风机(2)的输出端连通有连接管(4)，所述连接管(4)的右端连通有净化箱(5)，所述净化箱(5)的底部与退火炉本体(1)顶部的右侧固定连接，所述净化箱(5)顶部的右侧设置有滤芯(6)，所述滤芯(6)的底部贯穿至净化箱(5)的内部并与净化箱(5)内壁的底部接触，所述滤芯(6)左侧的顶部开设有卡槽(7)，所述净化箱(5)的顶部固定连接有卡箱(8)，所述卡箱(8)内壁顶部的左侧固定连接有滑杆(9)，所述滑杆(9)的表面滑动连接有滑环(10)，所述滑环(10)的左侧固定连接有压杆(11)，所述滑环(10)的右侧固定连接有升降板(12)，所述升降板(12)正面的右侧固定连接有传动杆(13)，所述卡箱(8)内壁顶部的右侧固定连接有固定块(14)，所述固定块(14)的正面活动连接有旋转板(15)，所述旋转板(15)的右侧固定连接有与传动杆(13)配合使用的三角板(16)，所述旋转板(15)的左侧的底部固定连接有弹簧(17)，所述弹簧(17)的左端与卡箱(8)内壁左侧的底部固定连接，所述旋转板(15)正面的底部活动连接有连板(18)，所述连板(18)背面的右侧活动连接有竖板(19)，所述竖板(19)的底部固定连接有滑块(20)，所述卡箱(8)内壁底部的右侧开设有滑槽(21)，所述滑块(20)与滑槽(21)滑动连接，所述竖板(19)的右侧固定连接有卡杆(22)，所述卡杆(22)的右端贯穿卡箱(8)并延伸至卡槽(7)的内部，所述净化箱(5)的右侧连通有排气管(23)。

2.根据权利要求1所述的一种退火炉，其特征在于：所述退火炉本体(1)正面和背面顶部的两侧均固定连接有挂板(24)，所述挂板(24)与退火炉本体(1)配合使用。

3.根据权利要求1所述的一种退火炉，其特征在于：所述压杆(11)的左端贯穿至卡箱(8)的外部固定连接有压盘(25)，所述压盘(25)的表面设置有防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种退火炉，其特征在于：所述滑杆(9)的底部固定连接有加强板(26)，所述加强板(26)的左侧与卡箱(8)内壁的左侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种退火炉，其特征在于：所述升降板(12)位于三角板(16)的后侧，所述传动杆(13)的表面与三角板(16)右侧的顶部接触。

6.根据权利要求1所述的一种退火炉，其特征在于：所述滑槽(21)的槽型为梯形，所述滑块(20)的横截面为梯形，所述滑块(20)与滑槽(21)配合使用。

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