CN216585177U - 一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，包括：腔室、以及设置于腔室内的蒸镀机构，蒸镀机构包括竖直地设置于腔室内的蒸镀架，以及设置在蒸镀架的前侧的第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元，第一蒸镀单元包括从下至上依次设置的第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源和第四蒸镀源；第一转向单元包括设置于第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊和第三转向辊，以及设置于第一蒸镀单元的右侧的第二转向辊；第一收放卷单元包括在竖直方向上间隔设置的第一放卷辊和第一收卷辊，第二转向辊位于第一放卷辊和第一收卷辊之间；本实用新型实施例通过在蒸镀架上设置蒸镀单元，能够充分的利用腔室的空间，提高腔室空间的利用率。

Description

一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备。

背景技术

蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的蒸镀，效率低下。

基于此，本实用新型设计了一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，以解决现有技术中真空空间利用率低且每次只能生产一卷薄膜的技术问题。

为达上述目的，第一方面，本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，包括：腔室、以及设置于所述腔室内的蒸镀机构，所述蒸镀机构包括：

竖直地设置于所述腔室的内部的蒸镀架，以及设置在所述蒸镀架的前侧的第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元；其中，

所述第一蒸镀单元包括：从下至上依次设置的第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源和第四蒸镀源；

所述第一转向单元，包括：设置于所述第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊和第三转向辊，以及设置于所述第一蒸镀单元的右侧的第二转向辊，且所述第一转向辊、所述第二转向辊和所述第三转向辊在竖直方向的高度依次递增；

所述第一收放卷单元包括：在竖直方向上间隔设置的第一放卷辊和第一收卷辊，均位于所述第一蒸镀单元的右侧，且所述第二转向辊位于所述第一放卷辊和所述第一收卷辊之间。

在一些可能的实施方式中，所述第一放卷辊的顶部的切线与所述第一转向辊底部的切线在第一水平面上；所述第一转向辊的顶部的切线与所述第二转向辊底部的切线在第二水平面上；所述第二转向辊的顶部的切线与所述第三转向辊底部的切线在第三水平面上；所述第一收卷辊顶部的切线与所述第三转向辊的顶部的切线在第四水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊、所述第一放卷辊和所述第一收卷辊相互平行且垂直于竖直方向；所述第一转向辊、所述第二转向辊和所述第三转向辊具有第一直径，所述第一放卷辊和所述第一收卷辊具有第二直径，所述第一直径大于所述第二直径。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀机构还包括：设置于所述蒸镀架后侧第二收放卷单元、第二蒸镀单元和第二转向单元，其中，所述第二收放卷单元、所述第二蒸镀单元和所述第二转向单元分别与所述第一收放卷单元、所述第一蒸镀单元和所述第一转向单元具有相同结构。

在一些可能的实施方式中，所述第二收放卷单元、所述第二蒸镀单元和所述第二转向单元分别与所述第一收放卷单元、所述第一蒸镀单元和所述第一转向单元在所述蒸镀架上成对称设置。

第二方面，本实用新型提供了另一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，包括腔室，以及设置在所述腔室内部的蒸镀机构，所述蒸镀机构包括：

竖直地设置在所述腔室的内部的蒸镀架，以及设置在所述蒸镀架的前侧的第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元；其中，

所述第一蒸镀单元包括：从下至上依次设置的第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源和第四蒸镀源；

所述第一转向单元包括：设置于所述第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊、第二转向辊、第五转向辊和第六转向辊，设置于所述第一蒸镀单元的右侧的第三转向辊和第四转向辊，且所述第一转向辊、所述第二转向辊、所述第三转向辊、所述第四转向辊、所述第五转向辊和所述第六转向辊在竖直方向的高度依次递增；

第一收放卷单元，位于所述蒸镀单元的右侧，包括第一放卷辊和第一收卷辊，且在竖直方向上的安装高度分别低于所述第三转向辊和高于所述第四转向辊。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀机构还包括：

冷却单元，其包括转动连接在所述腔室的内壁上的第一冷却辊、第二冷却辊和第三冷却辊，其中，所述第一冷却辊和所述第三冷却辊位于所述蒸镀架的左侧，所述第二冷却辊位于所述蒸镀架的右侧。

在一些可能的实施方式中，所述第一放卷辊的顶部切线与所述第一转向辊的底部切线在第一水平面上；所述第二转向辊的顶部切线与所述第三转向辊的底部切线在第二水平面上；所述第四转向辊的顶部切线与所述第五转向辊的底部切线在第三水平面上；所述第一收卷辊的顶部切线与所述第六转向辊的顶部切线在第四水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀机构还包括：设置于所述蒸镀架的后侧第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元，其中，所述第二蒸镀单元、所述第二转向单元和所述第二收放卷单元分别与所述第一蒸镀单元、所述第一转向单元和所述第一收放卷单元具有相同的结构。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀单元、所述第二转向单元和所述第二收放卷单元分别与所述第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元在所述蒸镀架上成对称设置。

上述技术方案的有益效果如下：

本实用新型实施例提供一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，包括：腔室、以及设置于腔室内的蒸镀机构，蒸镀机构包括竖直地设置于腔室内的蒸镀架，以及设置在蒸镀架的前侧的第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元，第一蒸镀单元包括从下至上依次设置的第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源和第四蒸镀源；第一转向单元包括设置于第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊和第三转向辊，以及设置于第一蒸镀单元的右侧的第二转向辊；第一收放卷单元包括在竖直方向上间隔设置的第一放卷辊和第一收卷辊，第二转向辊位于第一放卷辊和第一收卷辊之间。本实用新型实施例通过在蒸镀架上设置蒸镀单元，能够充分的利用腔室的空间，提高腔室空间的利用率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的一种高空间利用率的薄膜蒸镀机的主视图；

图2是本实用新型实施例的蒸镀机构的整体结构示意图；

图3是本实用新型实施例的另一种蒸镀机构的整体结构示意图；

图4是本实用新型实施例的另一种高空间利用率的薄膜蒸镀机的主视图；

图5是本实用新型实施例的另一种蒸镀机构的整体结构示意图；

图6是本实用新型实施例的另一种蒸镀机构的整体结构示意图。

附图标号说明：

10、蒸镀架；

201、第一蒸镀源；202、第二蒸镀源；203、第三蒸镀源；204、第四蒸镀源；205、第五蒸镀源；206、第六蒸镀源；207、第七蒸镀源；208、第八蒸镀源；

301、第一转向辊；302、第二转向辊；303、第三转向辊；304、第四转向辊；305、第五转向辊；306、第六转向辊；307、第七转向辊；308、第八转向辊；309、第九转向辊；310、第十转向辊；311、第十一转向辊；312、第十二转向辊；

401、第一放卷辊；402、第一收卷辊；403、第二放卷辊；404、第二收卷辊；

501、第一冷却辊；502、第二冷却辊；503、第三冷却辊。

具体实施方式

下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

实施例一

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，该薄膜蒸镀设备包括腔室、以及设置于腔室内的蒸镀机构，蒸镀机构包括蒸镀架10，竖直的设置于腔室的内部，以及设置在蒸镀架10前侧的第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元；其中，第一蒸镀单元包括从下至上依次设置的第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204；第一转向单元包括设置于第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊301和第三转向辊303，以及设置于第一蒸镀单元的右侧的第二转向辊302，第一转向辊301、第二转向辊302和第三转向辊303在竖直方向的高度依次递增；作为一个举例说明，第一转向辊301位于第一蒸镀源201和第三蒸镀源203之间，第三转向辊303的顶部在竖直方向的高度高于第四蒸镀源204；第二转向辊302位于第二蒸镀源202和第四蒸镀源204之间。第一收放卷单元包括第一放卷辊401和第一收卷辊402，分别位于第一蒸镀单元的右侧，且第二转向辊302位于第一放卷辊401和第一收卷辊402之间。

本实用新型实施例仅通过一个蒸镀架10，以及在蒸镀架10上设置的多个蒸镀源和转向辊，能够在一个相对较小的腔室既可以进行薄膜的双面多次蒸镀，大大提高了空间的利用率。

在一些实施例中，第一放卷辊401的顶部的切线与第一转向辊301底部的切线在同一个水平面上，第一收卷辊402顶部的切线与第三转向辊303的顶部的切线在同一个水平面上，使得薄膜在第一蒸镀源201和第四蒸镀源204的上方成水平走带，便于将蒸镀材料均匀的蒸镀到薄膜上。

在一些实施例中，第一转向辊301的顶部的切线与第二转向辊302底部的切线在同一个水平面上，第二转向辊302的顶部的切线与第三转向辊303底部的切线在同一个水平面上，使得薄膜在第二蒸镀源202和第三蒸镀源203的上方成水平走带，便于将蒸镀材料均匀蒸镀到薄膜上。

在一些实施例中，蒸镀机构还包括设置于蒸镀架10后侧的与第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元分别对称设置的第二收放卷单元、第二蒸镀单元和第二转向单元，且第一收放卷单元与第二收放卷单元具有相同的结构，第一蒸镀单元和第二蒸镀单元具有相同的结构，第一转向单元和第二转向单元具有相同的结构，具体的，第二蒸镀单元包括第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208，第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208分别与第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204成镜像对称；第一转向单元包括第四转向辊304、第五转向辊305和第六转向辊306，第四转向辊304、第五转向辊305和第六转向辊306分别与第一转向辊301、第二转向辊302和第三转向辊303成镜像对称；第一收放卷机构包括第二放卷辊403和第二收卷辊404，第二放卷辊403和第二收卷辊404分别与第一放卷辊401和第二放卷辊403成镜像对称。通过在蒸镀架10的后侧，也就是与前侧相对的一侧在设置第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元，这样不仅可以同时蒸镀两卷薄膜，另外，第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元分别与第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元对称地设置，还可以增加蒸镀架10前侧和后侧的平衡，提高蒸镀架10的稳定性。

实施例二

如图3和图4所示，本实用新型实施例提供了另一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，包括腔室，以及设置在腔室内部的蒸镀机构，蒸镀机构包括蒸镀架10，竖直设置在腔室的内部，以及设置在蒸镀架10的前侧的第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元；其中，第一蒸镀单元包括从下至上依次设置的第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204；第一转向单元包括设置于第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊301、第二转向辊302、第五转向辊305和第六转向辊306，设置于第一蒸镀单元的右侧的第三转向辊303和第四转向辊304，且第一转向辊301、第二转向辊302、第三转向辊303、第四转向辊304、第五转向辊305和第六转向辊306在竖直方向的高度依次递增；作为一个举例说明，第一转向辊301位于第一蒸镀源201和第二蒸镀源202之间，第二转向辊302位于第三蒸镀源203和第四蒸镀源204之间，第三转向辊303位于第二蒸镀源202和第三蒸镀源203之间，第四转向辊304位于第三蒸镀源203和第四蒸镀源204，第五转向辊305位于第三蒸镀源203和第四蒸镀源204之间，第六转向辊306的顶部在竖直方向的安装高度高于第四蒸镀源204。第一收放卷机构包括第一放卷辊401和第一收卷辊402，第一放卷辊401在竖直方向上的安装高度低于第三转向辊303，第一收卷辊402在竖直方向上的安装高度高于第四转向辊304。

本实用新型实施例仅通过一个蒸镀架10，以及在蒸镀架10上设置的多个蒸镀源和转向辊，在一个相对较小的腔室既可以进行薄膜的双面多次蒸镀，大大的提高了空间的利用率；另外，通过设置多个转向辊，便于调节薄膜在蒸镀源上方的距离，能使薄膜在蒸镀源的上方处于一个较佳的蒸镀距离，便于薄膜的蒸镀。

在一些实施例中，蒸镀机构还包括冷却单元，其包括转动连接在腔室的内壁上的第一冷却辊501、第二冷却辊502和第三冷却辊503，其中，第一冷却辊501和第三冷却辊503位于蒸镀架10的左侧，第二冷却辊502位于蒸镀架10的右侧；第一冷却辊501位于第一转向辊301和第二转向辊302之间；第二冷却辊502位于第三转向辊303和第四转向辊304之间；第三冷却辊503位于第五转向辊305和第六转向辊306之间。在蒸镀过程中，薄膜位于蒸镀源的上方，待蒸镀材料在高温作用下，融化成气态原子或者原子团，沉积在路过的薄膜上，由于气态原子或者原子团具有高温，通过冷却辊对薄膜进行降温，防止薄膜被原子烧穿成孔洞。另外，通过在每两个转向辊之间设置一个冷却辊，可以使得薄膜在走带过程中成一定的角度，便于控制薄膜的张力，不易褶皱或变形。

在一些实施例中，第一放卷辊401的顶部切线与第一转向辊301的底部切线在第一个水平面上；第一收卷辊402的顶部切线与第六转向辊306的顶部切线在第二个水平面上；第二转向辊302的顶部切线与第三转向辊303的底部切线在第三个水平面上；第四转向辊304的顶部切线与第五转向辊305的底部切线在第四个水平面上，且第一个水平面、第二个水平面、第三个水平面和第四个水平面在竖直方向上的高度依次递增。使得薄膜在第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204的上方成水平走带，便于将蒸镀材料均匀的蒸镀到薄膜上。

在一些实施例中，蒸镀机构还包括设置于蒸镀架10后侧的第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元，其中，第二蒸镀单元包括第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208，第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208分别与第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204成镜像对称；第二转向单元包括第七转向辊307、第八转向辊308、第九转向辊309、第十转向辊310、第十一转向辊311和第十二转向辊312，第七转向辊307、第八转向辊308、第九转向辊309、第十转向辊310、第十一转向辊311和第十二转向辊312分别与第一转向辊301、第二转向辊302、第三转向辊303、第四转向辊304、第五转向辊305和第六转向辊306成镜像对称；第一收放卷机构包括第二放卷辊403和第二收卷辊404，第二放卷辊403和第二收卷辊404分别与第一放卷辊401和第二放卷辊403成镜像对称。通过在蒸镀架10的后侧，也就是与前侧相对的一侧在设置第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元，这样不仅可以同时蒸镀两卷薄膜且可以对两卷薄膜的双面进行二次蒸镀，在有限的空间内提高薄膜蒸镀厚度，另外，第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元分别与第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元对称的设置，还可以增加蒸镀架10前侧和后侧的平衡，提高蒸镀架10的稳定性。

本实用新型实施例提供的第一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备的工作原理如下：

将待蒸镀的第一卷薄膜安装在第一放卷辊401上，将待蒸镀的第二卷薄膜安装在第二放卷辊403上；通过第一转向辊301、第二转向辊302和第三转向辊303对待蒸镀的第一卷薄膜进行导向，使得所述第一卷薄膜依次经过第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204的上方进行双面蒸镀；通过所述第四转向辊304、所述第五转向辊305和所述第六转向辊306对待蒸镀的第二卷薄膜进行导向，使得所述第二卷薄膜依次经过第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208的上方进行双面蒸镀；通过第一收卷辊402对蒸镀后的第一卷薄膜进行收卷，通过第二收卷辊404对蒸镀后的第二卷薄膜进行收卷。

本实施例提供的薄膜蒸镀设备，不仅提高了腔室空间的利用率，还能提高蒸镀质量和蒸镀效率。

本实用新型实施例提供的另一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备的工作原理如下：

将待蒸镀的第一卷薄膜安装在第一放卷辊401上，将待蒸镀的第二卷薄膜安装在第二放卷辊403上；通过所述第一转向辊301、第二转向辊302、第三转向辊303、第四转向辊304、第五转向辊305和第六转向辊306对待蒸镀的第一卷薄膜进行导向，使得所述第一卷薄膜依次经过第一蒸镀源201、第二蒸镀源202、第三蒸镀源203和第四蒸镀源204的上方进行双面蒸镀，通过第七转向辊307、第八转向辊308、第九转向辊309、第十转向辊310、第十一转向辊311和第十二转向辊312对待蒸镀的第二卷薄膜进行导向，使得所述第二卷薄膜依次经过第五蒸镀源205、第六蒸镀源206、第七蒸镀源207和第八蒸镀源208的上方进行双面蒸镀；通过第一收卷辊402对蒸镀后的第一卷薄膜进行收卷，通过第二收卷辊404对蒸镀后的第二卷薄膜进行收卷。

本实用新型实施例提供的薄膜蒸镀设备，不仅提高了腔室空间的利用率，而且可以调节转向辊的安装位置来调节薄膜与蒸镀源之间的距离，还可以对薄膜进行多次蒸镀，提高薄膜蒸镀质量和蒸镀效率。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，包括：腔室、以及设置于所述腔室内的蒸镀机构，所述蒸镀机构包括：

竖直地设置于所述腔室的内部的蒸镀架(10)，以及设置在所述蒸镀架(10)的前侧的第一收放卷单元、第一蒸镀单元和第一转向单元；其中，

所述第一蒸镀单元包括：从下至上依次设置的第一蒸镀源(201)、第二蒸镀源(202)、第三蒸镀源(203)和第四蒸镀源(204)；

所述第一转向单元，包括：设置于所述第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊(301)和第三转向辊(303)，以及设置于所述第一蒸镀单元的右侧的第二转向辊(302)，且所述第一转向辊(301)、所述第二转向辊(302)和所述第三转向辊(303)在竖直方向的高度依次递增；

所述第一收放卷单元包括：在竖直方向上间隔设置的第一放卷辊(401)和第一收卷辊(402)，均位于所述第一蒸镀单元的右侧，且所述第二转向辊(302)位于所述第一放卷辊(401)和所述第一收卷辊(402)之间。

2.根据权利要求1所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，

所述第一放卷辊(401)的顶部的切线与所述第一转向辊(301)底部的切线在第一水平面上；所述第一转向辊(301)的顶部的切线与所述第二转向辊(302)底部的切线在第二水平面上；所述第二转向辊(302)的顶部的切线与所述第三转向辊(303)底部的切线在第三水平面上；所述第一收卷辊(402)顶部的切线与所述第三转向辊(303)的顶部的切线在第四水平面上。

3.根据权利要求2所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述第一转向辊(301)、所述第二转向辊(302)、所述第三转向辊(303)、所述第一放卷辊(401)和所述第一收卷辊(402)相互平行且垂直于竖直方向；所述第一转向辊(301)、所述第二转向辊(302)和所述第三转向辊(303)具有第一直径，所述第一放卷辊(401)和所述第一收卷辊(402)具有第二直径，所述第一直径大于所述第二直径。

4.根据权利要求3所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括：设置于所述蒸镀架(10)后侧第二收放卷单元、第二蒸镀单元和第二转向单元，其中，所述第二收放卷单元、所述第二蒸镀单元和所述第二转向单元分别与所述第一收放卷单元、所述第一蒸镀单元和所述第一转向单元具有相同结构。

5.根据权利要求4所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述第二收放卷单元、所述第二蒸镀单元和所述第二转向单元分别与所述第一收放卷单元、所述第一蒸镀单元和所述第一转向单元在所述蒸镀架(10)上成对称设置。

6.一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，包括腔室，以及设置在所述腔室内部的蒸镀机构，所述蒸镀机构包括：

竖直地设置在所述腔室的内部的蒸镀架(10)，以及设置在所述蒸镀架(10)的前侧的第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元；其中，

所述第一蒸镀单元包括：从下至上依次设置的第一蒸镀源(201)、第二蒸镀源(202)、第三蒸镀源(203)和第四蒸镀源(204)；

所述第一转向单元包括：设置于所述第一蒸镀单元的左侧的第一转向辊(301)、第二转向辊(302)、第五转向辊(305)和第六转向辊(306)，设置于所述第一蒸镀单元的右侧的第三转向辊(303)和第四转向辊(304)，且所述第一转向辊(301)、所述第二转向辊(302)、所述第三转向辊(303)、所述第四转向辊(304)、所述第五转向辊(305)和所述第六转向辊(306)在竖直方向的高度依次递增；

第一收放卷单元，位于所述蒸镀单元的右侧，包括第一放卷辊(401)和第一收卷辊(402)，且在竖直方向上的安装高度分别低于所述第三转向辊(303)和高于所述第四转向辊(304)。

7.根据权利要求6所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀机构还包括：

冷却单元，其包括转动连接在所述腔室的内壁上的第一冷却辊(501)、第二冷却辊(502)和第三冷却辊(503)，其中，所述第一冷却辊(501)和所述第三冷却辊(503)位于所述蒸镀架(10)的左侧，所述第二冷却辊(502)位于所述蒸镀架(10)的右侧。

8.根据权利要求7所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述第一放卷辊(401)的顶部切线与所述第一转向辊(301)的底部切线在第一水平面上；所述第二转向辊(302)的顶部切线与所述第三转向辊(303)的底部切线在第二水平面上；所述第四转向辊(304)的顶部切线与所述第五转向辊(305)的底部切线在第三水平面上；所述第一收卷辊(402)的顶部切线与所述第六转向辊(306)的顶部切线在第四水平面上。

9.根据权利要求8所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，

所述蒸镀机构还包括：设置于所述蒸镀架(10)的后侧第二蒸镀单元、第二转向单元和第二收放卷单元，其中，所述第二蒸镀单元、所述第二转向单元和所述第二收放卷单元分别与所述第一蒸镀单元、所述第一转向单元和所述第一收放卷单元具有相同的结构。

10.根据权利要求9所述的一种高空间利用率的薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述第二蒸镀单元、所述第二转向单元和所述第二收放卷单元分别与所述第一蒸镀单元、第一转向单元和第一收放卷单元在所述蒸镀架(10)上成对称设置。

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