CN114481033A - 一种复合集流体的制备设备和制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种复合集流体的制备设备和制备方法，所述复合集流体的制备设备，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。其可以解决现有镀膜空间利用率低和镀膜效率低的问题。

Description

一种复合集流体的制备设备和制备方法

技术领域

本发明涉及薄膜蒸镀技术领域，具体涉及一种复合集流体的制备设备和制备方法。

背景技术

蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。其中，坩埚是实验室中使用的一种杯状器皿，用来对固体进行高温加热。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。

在实现本发明过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

现有的蒸镀机为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。另外，当前的蒸镀设备需要完成一卷镀膜后，需要打开真空腔体，继续放卷，镀膜效率低下。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种复合集流体的制备设备和制备方法，以解决现有镀膜空间利用率低和镀膜效率低的问题。

为达上述目的，第一方面，本发明实施例提供了一种复合集流体的制备设备，其特征在于，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀架和所述第二蒸镀架间隔设置；

所述第一蒸镀架包括：第一支撑柱、第二支撑柱、放卷辊、第一蒸发源、第一组蒸镀辊、第二蒸发源、第二组蒸镀辊和转向辊；所述放卷辊、第一蒸发源、第一组蒸镀辊、第二蒸发源、第二组蒸镀辊和转向辊从下到上依次设置在所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的相对表面；所述第一组蒸镀辊包括第一蒸镀辊和第二蒸镀辊，所述第二组蒸镀辊包括第三蒸镀辊和第四蒸镀辊；

所述第二蒸镀架包括：第三支撑柱、第四支撑柱、第三组蒸镀辊、第三蒸发源、第四组蒸镀辊、第四蒸发源和收卷辊；所述第三组蒸镀辊、所述第三蒸发源、所述第四组蒸镀辊、所述第四蒸发源和所述收卷辊从上到下依次设置在所述第三支撑柱和所述第四支撑柱的相对表面；所述第三组蒸镀辊包括第五蒸镀辊和第六蒸镀辊，所述第四组蒸镀辊包括第七蒸镀辊和第八蒸镀辊。

在一些可能的实施方式中，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱和所述第四支撑柱的沿垂直于其长度方向的横截面的形状为方形、圆形或椭圆形；和/或，所述第一支撑柱和所述第三支撑柱沿水平方向对齐设置，所述第二支撑柱和所述第四支撑柱沿水平方向对齐设置。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀辊和所述第二蒸镀辊分别设置在所述第一蒸发源的宽度方向的两侧；所述第三蒸镀辊和所述第四蒸镀辊分别设置在所述第二蒸发源的宽度方向的两侧；所述第五蒸镀辊和所述第六蒸镀辊分别设置在所述第三蒸发源的宽度方向的两侧；所述第七蒸镀辊和所述第八蒸镀辊分别设置在所述第四蒸发源的宽度方向的两侧。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀辊的左侧竖直切线与所述放卷辊的左侧竖直切线重合；所述第二蒸镀辊的右侧竖直切线与所述第四蒸镀辊的右侧竖直切线重合；所述第三蒸镀辊的左侧竖直切线与所述转向辊的左侧竖直切线重合；所述第五蒸镀辊的右侧竖直切线与所述第八蒸镀辊的右侧竖直切线重合；所述第七蒸镀辊的左侧竖直切线与所述收卷辊的左侧竖直切线重合。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀辊和所述第二蒸镀辊的竖直方向安装高度相同，所述第三蒸镀辊和所述第四蒸镀辊的竖直方向安装高度相同；所述转向辊、所述第五蒸镀辊和所述第六蒸镀辊的竖直方向安装高度相同，所述第七蒸镀辊和所述第八蒸镀辊的竖直方向安装高度相同；所述放卷辊、所述第一组蒸镀辊、所述第二组蒸镀辊、所述转向辊、所述第三组蒸镀辊、所述第四组蒸镀辊和所述收卷辊相互平行。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸发源和所述第二蒸发源相对于所述第一蒸镀辊和所述第二蒸镀辊各自的中心线所在的平面对称设置，所述第三蒸发源和所述第四蒸发源相对于所述第七蒸镀辊和所述第八蒸镀辊各自的中心线所在的平面对称设置。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀辊的竖直方向安装高度低于所述第二蒸镀辊；所述第三蒸镀辊的竖直方向安装高度高于所述第四蒸镀辊；所述转向辊、所述第五蒸镀辊和所述第六蒸镀辊的竖直方向安装高度相同；所述第七蒸镀辊的竖直方向安装高度低于所述第八蒸镀辊；所述放卷辊、所述第一组蒸镀辊、所述第二组蒸镀辊、所述转向辊、所述第三组蒸镀辊、所述第四组蒸镀辊和所述收卷辊相互平行；所述第一蒸发源和所述第二蒸发源相对于所述第一蒸镀辊的顶部切面或者所述第二蒸镀辊的底部切面对称设置；所述第三蒸发源和所述第四蒸发源相对于所述第七蒸镀辊的顶部切面或者所述第八蒸镀辊的底部切面对称设置。

在一些可能的实施方式中，所述第一组蒸镀辊、所述第二组蒸镀辊、所述第三组蒸镀辊、所述第四组蒸镀辊、所述转向辊中的任意一个或多个辊为冷却辊，所述冷却辊的内部内置冷却介质。

在一些可能的实施方式中，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱、所述第四支撑柱均内部具有空腔，用于敷设供电线路和/或冷却管路。

在一些可能的实施方式中，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱、所述第四支撑柱均与所述真空腔体的内部底壁可拆卸连接。

在一些可能的实施方式中，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱、所述第四支撑柱均内部具有空腔，并且与所述真空腔体的内部底壁可拆卸连接。

在一些可能的实施方式中，所述水镀设备包括：依序排列的电镀槽、导电槽、清洗槽和烘干槽；

所述电镀槽，其包括：第一槽体、放料辊、第一过辊和第二过辊；所述放料辊设置在第一槽体的入液端，所述第一过辊设置在所述第一槽体的内部，所述第二过辊设置在所述第一槽体的出液端，所述第一槽体内容纳有镀液；

所述导电槽，其包括：第二槽体、第一导电辊和第二导电辊；所述第一导电辊设置在所述第二槽体的内部，所述第二导电辊设置在所述第二槽体的出液端；

所述清洗槽，其包括：第三槽体、第三过辊和第四过辊；所述第三过辊设置在所述第三槽体内部，所述第四过辊设置在所述第三槽体的出液端顶部，所述第三槽体中容纳有清洗液，用于清洗掉薄膜表面上的镀液；

所述烘干槽，其包括：第四槽体、烘干设备、第五过辊和收料辊；所述烘干设备和所述第五过辊设置在所述第四槽体内部，所述收料辊用于将烘干好的薄膜进行收卷。

第二方面，本发明实施例提供了一种复合集流体的制备方法，所述复合集流体的制备方法基于第一方面的任意一种所述的复合集流体的制备设备，所述方法包括如下步骤：

放卷辊释放待镀膜的薄膜；

第一组蒸镀辊引导所述待镀膜的薄膜通过第一蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第一面朝向所述第一蒸发源；

所述第一蒸发源对上方的所述待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

第二组蒸镀辊引导所述待镀膜的薄膜通过第二蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第二面朝向所述第二蒸发源；

所述第二蒸发源对上方的所述待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

转向辊将所述待镀膜的薄膜引导至第三组蒸镀辊；

所述第三组蒸镀辊将待镀膜的薄膜通过第三蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第一面朝向所述第三蒸发源；

所述第三蒸发源对所述待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

第四组蒸镀辊将待镀膜的薄膜通过第四蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第二面朝向所述第四蒸发源；

所述第四蒸发源对所述待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

收卷辊将经过两次双面镀膜的薄膜进行收卷；

将收卷后的薄膜送入到水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

上述技术方案具有如下有益效果：

上述技术方案通过多个蒸发源沿竖直方向间隔设置，有利于增加场地利用率，通过多个蒸发源对待蒸镀薄膜的A面和B面分别进行一次双面镀膜或者两次双面镀膜，提高了薄膜蒸镀的生产效率，克服了现有技术中的空间利用率低和生产效率低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例一的复合集流体的制备设备的功能框图；

图2是本发明实施例一的一种真空蒸镀设备的结构示意图；

图3是本发明实施例一的一种复合集流体的制备方法的流程图；

图4是本发明实施例二的另一种真空蒸镀设备的侧视结构示意图；

图5是本发明实施例二的又一种真空蒸镀设备的侧视结构示意图；

图6是本发明实施例二的另一种真空蒸镀设备的立体结构示意图；

图7是本发明实施例二的另一种复合集流体的制备方法的流程图；

图8是本发明实施例三的一种水镀设备的结构示意图。

附图标号说明：

100、真空蒸镀设备；200、水镀设备；

10、第一蒸镀架；11、第一支撑柱；12、第二支撑柱；13、放卷辊；14、第一蒸发源；15、第一组蒸镀辊；15a、第一蒸镀辊；15b、第二蒸镀辊；16、第二蒸发源；17、第二组蒸镀辊；17a、第三蒸镀辊；17b、第四蒸镀辊；18、转向辊；18’、收卷辊；

20、第二蒸镀架；21、第三支撑柱；22、第四支撑柱；23、第三组蒸镀辊；23a、第五蒸镀辊；23b、第六蒸镀辊；24、第三蒸发源；25、第四组蒸镀辊；25a、第七蒸镀辊；25b、第八蒸镀辊；26、第四蒸发源；27、收卷辊；

30、真空腔体；

210、电镀槽；211、第一槽体；212、放料辊；213、第一过辊；214、第二过辊；215、第一组钛蓝；216、第二组钛蓝；

220、导电槽；221、第二槽体；222、第一导电辊；223、第二导电辊；

230、清洗槽；231、第三槽体；232、第三过辊；233、第四过辊；

240、烘干槽；241、第四槽体；242、烘干设备；243、第五过辊；244、收料辊。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本发明的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本发明造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

实施例一

图1是本发明实施例一的复合集流体的制备设备的功能框图。如图1所示，复合集流体的制备设备，包括真空蒸镀设备100，在真空蒸镀设备100的后方设置有水镀设备200，真空蒸镀设备100包括真空腔体30，真空腔体30内部设置有第一蒸镀架10和第二蒸镀架29，基材（例如薄膜）经过第一蒸镀架10和第二蒸镀架20进行真空蒸镀后，再进入水镀设备200进行水电镀，得到复合集流体。复合集流体包括金属薄膜，这种金属薄膜不是纯金属，而是中间有一层高分子材料，表面是金属层。生产工艺的第一步首先在高分子薄膜上面（两侧表面）通过蒸镀镀上金属层，然后进行第二步的水镀工艺，用镀好的膜进行水镀，以得到最后成品是复合集流体。

图2是本发明实施例一的一种真空蒸镀设备100的结构示意图。如图2所示，该真空蒸镀设备100包括第一蒸镀架10，该第一蒸镀架10包括：第一支撑柱11、第二支撑柱12、放卷辊13、第一蒸发源14、第一组蒸镀辊15、第二蒸发源16、第二组蒸镀辊17和收卷辊18’；放卷辊13、第一蒸发源14、第一组蒸镀辊15、第二蒸发源16、第二组蒸镀辊17和收卷辊18’从下到上依次设置在第一支撑柱11和第二支撑柱12的相对表面；第一组蒸镀辊15包括第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b，第二组蒸镀辊17包括第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b。上述蒸镀辊可以是过辊、弧形辊或附辊。

在本实施例中，各部件的功能如下：放卷辊13用于释放待镀膜的薄膜；第一组蒸镀辊15，用于引导待镀膜的薄膜通过第一蒸发源14的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第一蒸发源14；第一蒸发源14，用于对上方的待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；第二组蒸镀辊17，用于引导待镀膜的薄膜通过第二蒸发源16的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第二蒸发源16；第二蒸发源16，用于对上方的待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；收卷辊18’，用于将经过一次双面镀膜的薄膜进行收卷。上述蒸发源可以包括：承载本体，其内部具有开口向上暴露于承载本体上表面的凹槽，凹槽中用于容纳待蒸镀材料；加热部，设置在承载本体的内部空间中，并且与该凹槽直接紧密接触或者通过导热桥（其是一种导热介质或导热材料）间接地导热接触，用于产生热量，并传递热量给凹槽中的待蒸镀材料，使其气体而沉积在薄膜的第一面或第二面上。其中，加热部的能量来源是电能，加热部采用电加热元件；或者加热部的能量来源是由高温的液体产生的热能。在承载本体的内腔中设置有液体容器，用于容纳用于加热的液体；相应地，各支撑柱可以为中空状态，具有内部空腔用于敷设电源线，其与电加热元件电连接；或者敷设液体管道，通过液体管道将热水或热油输送至承载本体的内腔中设置的液体容器中，对凹槽中的待蒸镀材料进行加热。各蒸发源与两侧的支撑柱可拆卸地固定连接。在可替换的实施例中，上述供电线路和液体管道可采用外部敷设方式，即敷设在相应支撑柱的外部，而非内部，此时支撑柱可采用实心结构体。

本实施例通过将在第一蒸镀架10沿竖直方向间隔设置第一蒸发源14和第二蒸发源16，从而有利于增加场地利用率，通过两组蒸镀辊改变薄膜的膜面朝向以及通过两个蒸发源对待蒸镀薄膜的A面和B面分别进行一次双面镀膜，提高了薄膜蒸镀的生产效率，克服了现有技术中的空间利用率低和生产效率低的问题。

在一些实施例中，第一支撑柱11和第二支撑柱12的沿垂直于其长度方向的横截面的形状为方形、圆形或椭圆形。支撑柱可以为板状结构、圆柱状结构和椭圆形结构，本实施例中的支撑柱较佳地为椭圆形，原因在于相对于板状结构，椭圆形占地空间小，相对于圆柱形，椭圆形的表面积大，可以在表面设置多个辊子和蒸发源，从而可以进一步地减少蒸镀的占地空间，提高空间利用率，并且使得镀膜效率大大提升。

在一些实施例中，第一蒸镀辊15a的竖直方向安装高度低于第二蒸镀辊15b的竖直方向安装高度，第三蒸镀辊17a的竖直方向安装高度高于第四蒸镀辊17b的竖直方向安装高度，第一蒸镀辊15a的顶部最高点与第二蒸镀辊15b的底部最低点的连线平行于水平方向，第三蒸镀辊17a的底部最低点与第四蒸镀辊17b的顶部最高点的连线平行于水平方向；从而可使得在第一蒸发源14和第二蒸发源16上方的薄膜平整；放卷辊13、第一组蒸镀辊15、第二组蒸镀辊17和收卷辊18’相互平行，从而有利于对薄膜的张力进行控制和使得支撑柱受力平衡。

在一些实施例中，第一蒸发源14和第二蒸发源16相对于第一蒸镀辊15a的顶部切面或者第二蒸镀辊15b的底部切面对称设置。在其他实施例中，在第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b的上部、与第一蒸发源14在一条竖直方向上设置有第二蒸发源16，并且第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b的中心线之间的连线为第一蒸发源14和第二蒸发源16的对称线，这样设置可以使得第一支撑柱11、第二支撑柱12受力平衡。

第一组蒸镀辊15和第二组蒸镀辊17中的任意一个或多个蒸镀辊为冷却辊，冷却辊的内部内置冷却介质。第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b可以为冷却辊，这样可以给薄膜在蒸镀前和蒸镀后进行降温，防止薄膜被高温粒子烫穿，从而使薄膜出现孔洞，影响产品质量。

第一蒸镀辊15a设置在第一蒸发源14的宽度方向的第一侧，第二蒸镀辊15b设置在第一蒸发源14的宽度方向的第二侧；第三蒸镀辊17a设置在第二蒸发源16的宽度方向的第一侧，第四蒸镀辊17b设置在第二蒸发源16的宽度方向的第二侧；第一蒸镀辊15a的左侧竖直向下的切线与放卷辊13的左侧竖直向下切线重合，第二蒸镀辊15b的右侧竖直向下切线与放卷辊13的右侧竖直向下切线重合。

本实施例的第一支撑柱11和第二支撑柱12相对设置，在第一支撑柱11和第二支撑柱12的相对表面，从下到上依次设置有放卷辊13，第一蒸发源14，第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b、第二蒸发源16和收卷辊18’。第一蒸镀辊15a设置在第一蒸发源14的左上角，第二蒸镀辊15b设置在第一蒸发源14的右上角，第一蒸镀辊15a的左部竖直向下的切线与放卷辊13的左边竖直向下切线重合，第二蒸镀辊15b的右部竖直向下切线方向与放卷辊13的右侧切线重合这样的优点在于可以使得薄膜从放卷辊13到第一蒸镀辊15a或者第二蒸镀辊15b时薄膜不会发生褶皱。

在本实施例中，在第二蒸发源16上部还设置有第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b，设置第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b的目的在于，对薄膜的B面进行镀膜，然后在第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b的上部设置收卷辊18’。第三蒸镀辊17a、第四蒸镀辊17b也是与两侧的第一支撑柱11、第二支撑柱12转动连接。第三蒸镀辊17a的竖直方向的安装高度高于第四蒸镀辊17b，从而可使得在蒸发源上方薄膜平整。第一蒸镀辊15a、第二蒸镀辊15b、第三蒸镀辊17a、第四蒸镀辊17b平行设置，平行设置的优点在于一方面有利于张力控制，因为每个部分的薄膜相等；另一方面可以使得支撑柱上受力平衡。

进一步地，该真空蒸镀设备100，还可以包括真空腔体，在真空腔体内，设置有上述的第一蒸镀架10。该腔体在工作状态时可处于真空状态。其薄膜的走膜路径：薄膜从第一蒸镀架10底部的放卷辊13开始往上走，依次经过第一组蒸镀辊15、第二组蒸镀辊17，最后到达第一蒸镀架10顶部的收卷辊18’，以对蒸镀后的薄膜进行收卷。

图3是本发明实施例一的一种复合集流体的制备方法的流程图。该方法基于本实施例一中的复合集流体的制备设备，该方法包括如下步骤：

S101：放卷辊13释放待镀膜的薄膜；

S102：第一组蒸镀辊15引导待镀膜的薄膜通过第一蒸发源14的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第一蒸发源14；

S103：第一蒸发源14对上方的待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

S104：第二组蒸镀辊17引导待镀膜的薄膜通过第二蒸发源16的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第二蒸发源16；

S105：第二蒸发源16对上方的待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

S106：收卷辊18’将经过一次双面镀膜的薄膜进行收卷；

S107：将收卷后的薄膜传送到水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

可替换地，在只进行一次双面镀膜的实施例中，可以将收卷辊18’和放卷辊13对调，这样可以将薄膜从上方放卷，在下方收卷，方便工人取成品。

实施例二

图4是本发明实施例二的另一种真空蒸镀设备的侧视结构示意图；图5是本发明实施例二的又一种真空蒸镀设备的侧视结构示意图；图6是本发明实施例二的另一种真空蒸镀设备的立体结构示意图。在图4中绘制出了薄膜的走膜路径，如图4、图5和图6所示，该真空蒸镀设备100包括间隔设置的第一蒸镀架10和第二蒸镀架20；

第一蒸镀架10包括：第一支撑柱11、第二支撑柱12、放卷辊13、第一蒸发源14、第一组蒸镀辊15、第二蒸发源16、第二组蒸镀辊17和转向辊18；放卷辊13、第一蒸发源14、第一组蒸镀辊15、第二蒸发源16、第二组蒸镀辊17和转向辊18依次从下到上设置在第一支撑柱11和第二支撑柱12的相对表面；第一组蒸镀辊15包括第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b，第二组蒸镀辊17包括第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b；

第二蒸镀架20包括：第三支撑柱21、第四支撑柱22、第三组蒸镀辊23、第三蒸发源24、第四组蒸镀辊25、第四蒸发源26和收卷辊27；第三组蒸镀辊23、第三蒸发源24、第四组蒸镀辊25、第四蒸发源26和收卷辊27依次从上到下设置在第三支撑柱21和第四支撑柱22的相对表面；第三组蒸镀辊23包括第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b，第四组蒸镀辊25包括第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b。

在本实施例中，各部件的功能如下：放卷辊13，用于释放待镀膜的薄膜；第一组蒸镀辊15，用于引导待镀膜的薄膜通过第一蒸发源14的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第一蒸发源14；第一蒸发源14，用于对上方的待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；第二组蒸镀辊17，用于引导待镀膜的薄膜通过第二蒸发源16的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第二蒸发源16；第二蒸发源16，用于对上方的待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；转向辊18，用于将待镀膜的薄膜引导至第三组蒸镀辊23；第三组蒸镀辊23，用于将待镀膜的薄膜通过第三蒸发源24的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第三蒸发源24；第三蒸发源24，用于对待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；第四组蒸镀辊25，用于将待镀膜的薄膜通过第四蒸发源26的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第四蒸发源26；第四蒸发源26，用于对待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；收卷辊27，用于将经过两次双面镀膜的薄膜进行收卷。

本实施例通过将在第一蒸镀架10沿竖直方向间隔设置第一和第二蒸发源16，并且在在第一蒸镀架10沿竖直方向间隔设置第三和第四蒸发源26，从而有利于增加场地利用率，通过多个蒸发源对待蒸镀薄膜的A面和B面分别进行两次双面镀膜，提高了薄膜蒸镀的生产效率，克服了现有技术中的空间利用率低和生产效率低的问题。

为了多次对薄膜的两个表面（A面和B面）进行镀膜，本实施例二在实施例一的基础上沿走膜方向还可以设置第二蒸镀架20，其包括第三支撑柱21和第四支撑柱22，第三支撑柱21和第四支撑柱22分别与第一支撑柱11和第二支撑柱12设置在一条直线上，这样方便镀膜，不会使得薄膜出现褶皱。与实施例一相比，在原来收卷辊18’的位置上更换为转向辊18，在第三支撑柱21和第四支撑柱22上设置有与该转向辊18相同高度设置的第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b，在第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b的下部设置有第三蒸发源24，在第三蒸发源24的左右下角分别设置有第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b，在第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b的下部设置有第四蒸发源26，在第四蒸发源26的下部设置有收卷辊27，利用收卷辊27对薄膜进行收卷，这样就对待蒸镀的薄膜进行了两次双面镀膜。

在一些实施例中，第一支撑柱11、第二支撑柱12、第三支撑柱21和第四支撑柱22的沿垂直于其长度方向的横截面的形状为方形、圆形或椭圆形；本实施例中的支撑柱较佳地为椭圆形，原因在于相对于板状结构，椭圆形占地空间小，相对于圆柱形，椭圆形的表面积大，可以在表面设置多个辊子和蒸发源，从而可以进一步地减少蒸镀的占地空间，提高空间利用率，并且使得镀膜效率大大提升。第一支撑柱11和第三支撑柱21沿水平方向对齐设置，第二支撑柱12和第四支撑柱22沿水平方向对齐设置。

在一些实施例中，第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b分别设置在第一蒸发源14的宽度方向的两侧；第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b分别设置在第二蒸发源16的宽度方向的两侧；第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b分别设置在第三蒸发源24的宽度方向的两侧；第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b分别设置在第四蒸发源26的宽度方向的两侧。第一蒸镀辊15a的左侧竖直切线与放卷辊13的左侧竖直切线重合；第二蒸镀辊15b的右侧竖直切线与第四蒸镀辊17b的右侧竖直切线重合；第三蒸镀辊17a的左侧竖直切线与转向辊18的左侧竖直切线重合；第五蒸镀辊23a的右侧竖直切线与第八蒸镀辊25b的右侧竖直切线重合；25a第七蒸镀辊的左侧竖直切线与收卷辊27的左侧竖直切线重合。

在一些实施例中，如图5所示，第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b的竖直方向安装高度相同，第三蒸镀辊17a和第四蒸镀辊17b的竖直方向安装高度相同；转向辊18、第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b的竖直方向安装高度相同，第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b的竖直方向安装高度相同；放卷辊13、第一组蒸镀辊15、第二组蒸镀辊17、转向辊18、第三组蒸镀辊23、第四组蒸镀辊25和收卷辊27相互平行，从而有利于对薄膜的张力进行控制和使得各个支撑柱受力平衡。

在可替换的实施例中，如图4所示，第一蒸镀辊15a的竖直方向安装高度低于第二蒸镀辊15b；第三蒸镀辊17a的竖直方向安装高度高于第四蒸镀辊17b；转向辊18、第五蒸镀辊23a和第六蒸镀辊23b的竖直方向安装高度相同；第七蒸镀辊25a的竖直方向安装高度低于第八蒸镀辊25b；放卷辊13、第一组蒸镀辊15、第二组蒸镀辊17、转向辊18、第三组蒸镀辊23、第四组蒸镀辊25和收卷辊27相互平行；第一蒸发源14和第二蒸发源16相对于第一蒸镀辊15a的顶部切面或者第二蒸镀辊15b的底部切面对称设置；第三蒸发源24和第四蒸发源26相对于第七蒸镀辊25a的顶部切面或者第八蒸镀辊25b的底部切面对称设置。

在一些实施例中，如图5所示，第一蒸发源14和第二蒸发源16相对于第一蒸镀辊15a和第二蒸镀辊15b各自的中心线所在的平面对称设置，第三蒸发源24和第四蒸发源26相对于第七蒸镀辊25a和第八蒸镀辊25b各自的中心线所在的平面对称设置；和/或，第一组蒸镀辊15、第二组蒸镀辊17、第三组蒸镀辊23、第四组蒸镀辊25、转向辊18中的任意一个或多个辊为冷却辊，冷却辊的内部内置冷却介质，这样可以给薄膜在蒸镀前和蒸镀后进行降温，防止薄膜被高温粒子烫穿，从而使薄膜出现孔洞，影响产品质量。

图7是本发明实施例二的另一种复合集流体的制备方法的流程图。该双面连续镀膜方法基于本实施例二中的复合集流体的制备设备，该方法包括如下步骤：

S201：放卷辊13释放待镀膜的薄膜；

S202：第一组蒸镀辊15引导待镀膜的薄膜通过第一蒸发源14的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第一蒸发源14；

S203：第一蒸发源14对上方的待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

S204：第二组蒸镀辊17引导待镀膜的薄膜通过第二蒸发源16的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第二蒸发源16；

S205：第二蒸发源16对上方的待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

S206：转向辊18将待镀膜的薄膜引导至第三组蒸镀辊23；

S207：第三组蒸镀辊23将待镀膜的薄膜通过第三蒸发源24的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第一面朝向第三蒸发源24；

S208：第三蒸发源24对待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

S209：第四组蒸镀辊25将待镀膜的薄膜通过第四蒸发源26的上方，并且使得待镀膜的薄膜的第二面朝向第四蒸发源26；

S210：第四蒸发源26对待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

S211：收卷辊27将经过两次双面镀膜的薄膜进行收卷；

S212：将收卷后的薄膜送入到水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

实施例三

图8是本发明实施例三的一种水镀设备的结构示意图。其可应用于上述实施例一或实施例二中。如图8所示，该水镀设备包括：依序排列的电镀槽210、导电槽220、清洗槽230和烘干槽240。

电镀槽210，其包括：第一槽体211、放料辊212、第一过辊213和第二过辊214；放料辊212设置在第一槽体211的入液端，第一过辊213设置在第一槽体211内部并且与第一槽体211的内侧壁转动连接，第二过辊214设置在第一槽体211的出液端，第一槽体211内容纳有镀液。在进一步的实施例中，电镀槽210还包括：第一组钛蓝215和第二组钛蓝216；第一组钛蓝215在走带的方向上平行设置于第一过辊213的第一侧，且与第一槽体211固定连接，第一组钛蓝215包括两个平行设置的钛蓝，两个钛蓝之间具有供导电薄膜穿过的空隙；第二组钛蓝216在走带的方向上平行设置于第一过辊213的第二侧，且与第一槽体211固定连接，第二组钛蓝216包括两个平行设置的钛蓝，两个钛蓝之间具有供导电薄膜穿过的空隙。控制导电薄膜从第一组钛蓝215之间的空隙中穿过，通过第一组钛蓝215为薄膜提供阳极电，电镀槽210中的镀液、第一组钛蓝215和薄膜形成电镀循环回路，实现薄膜的电镀。

导电槽220，其包括：第二槽体221、第一导电辊222和第二导电辊223；第一导电辊222设置在第二槽体221的内部并且与第二槽体221的内侧壁转动连接，第二导电辊223可转动地设置在第二槽体221后部的出液端，并且较佳地设置在第二槽体221的出液端的顶部，第一导电辊222用于给薄膜导电，为薄膜提供电能，对薄膜的第一表面进行镀膜，第二导电辊223用于给薄膜导电，为薄膜提供电能，对薄膜的第二表面进行镀膜。进一步地，导电槽220中还包括：导电性液体，其容纳于第二槽体221中，第一导电辊222可以设置于导电性液体的内部。

清洗槽230，其包括：第三槽体231、第三过辊232和第四过辊233；第三过辊232设置在第三槽体231内部并且与第三槽体231的侧壁转动连接，第四过辊233转动连接在第三槽体231的出液端（后端）顶部，在第三槽体231中还容纳有清洗液用于清洗掉薄膜表面上的镀液。

烘干槽240，其包括：第四槽体241、一个或多个烘干设备242、第五过辊243和收料辊244；至少一个烘干设备242和第五过辊243设置在第四槽体241内部，第五过辊243与第四槽体241的内部侧壁转动连接，一个烘干设备242设置在第四过辊233和第五过辊243之间，另一个烘干设备242设置在第五过辊243和收料辊244之间，用于对薄膜进行烘干处理；收料辊244用于将烘干好的薄膜进行收卷。

其工作原理包括：蒸镀好的薄膜，由放料辊212出发，到达电镀槽210内部，电镀槽210中的辊是过辊，然后到达导电槽220，导电槽220内的辊是导电辊，两个导电辊对薄膜的AB两面进行镀膜，然后薄膜到达清洗槽230，清洗槽230主要是对薄膜进行清洗，清洗槽230中有水，主要用于洗掉镀液，然后进入烘干槽240，烘干槽240中设置有立起来的烘干设备242，对薄膜进行烘干处理，相对于传统的烘箱，烘干效果更好，因为其使得薄膜呈现了一定角度，烘干面积大，时间长，然后将烘干好的薄膜在收料辊244进行收卷。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本发明中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种复合集流体的制备设备，其特征在于，包括真空蒸镀设备，在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备，所述真空蒸镀设备包括真空腔体，所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架，基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架进行真空蒸镀后，再进入所述水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

2.根据权利要求1所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一蒸镀架和所述第二蒸镀架间隔设置；

所述第一蒸镀架包括：第一支撑柱、第二支撑柱、放卷辊、第一蒸发源、第一组蒸镀辊、第二蒸发源、第二组蒸镀辊和转向辊；所述放卷辊、第一蒸发源、第一组蒸镀辊、第二蒸发源、第二组蒸镀辊和转向辊从下到上依次设置在所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的相对表面；所述第一组蒸镀辊包括第一蒸镀辊和第二蒸镀辊，所述第二组蒸镀辊包括第三蒸镀辊和第四蒸镀辊；

所述第二蒸镀架包括：第三支撑柱、第四支撑柱、第三组蒸镀辊、第三蒸发源、第四组蒸镀辊、第四蒸发源和收卷辊；所述第三组蒸镀辊、所述第三蒸发源、所述第四组蒸镀辊、所述第四蒸发源和所述收卷辊从上到下依次设置在所述第三支撑柱和所述第四支撑柱的相对表面；所述第三组蒸镀辊包括第五蒸镀辊和第六蒸镀辊，所述第四组蒸镀辊包括第七蒸镀辊和第八蒸镀辊。

3.根据权利要求2所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱和所述第四支撑柱的沿垂直于其长度方向的横截面的形状为方形、圆形或椭圆形；和/或，所述第一支撑柱和所述第三支撑柱沿水平方向对齐设置，所述第二支撑柱和所述第四支撑柱沿水平方向对齐设置。

4.根据权利要求2所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一蒸镀辊和所述第二蒸镀辊分别设置在所述第一蒸发源的宽度方向的两侧；所述第三蒸镀辊和所述第四蒸镀辊分别设置在所述第二蒸发源的宽度方向的两侧。

5.根据权利要求4所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，

所述第一蒸镀辊的左侧竖直切线与所述放卷辊的左侧竖直切线重合；

所述第二蒸镀辊的右侧竖直切线与所述第四蒸镀辊的右侧竖直切线重合。

6.根据权利要求2所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一蒸镀辊的竖直方向安装高度低于所述第二蒸镀辊；所述第三蒸镀辊的竖直方向安装高度高于所述第四蒸镀辊；

所述转向辊、所述第五蒸镀辊和所述第六蒸镀辊的竖直方向安装高度相同；所述第七蒸镀辊的竖直方向安装高度低于所述第八蒸镀辊；

所述放卷辊、所述第一组蒸镀辊、所述第二组蒸镀辊、所述转向辊、所述第三组蒸镀辊、所述第四组蒸镀辊和所述收卷辊相互平行；

所述第一蒸发源和所述第二蒸发源相对于所述第一蒸镀辊的顶部切面或者所述第二蒸镀辊的底部切面对称设置；

所述第三蒸发源和所述第四蒸发源相对于所述第七蒸镀辊的顶部切面或者所述第八蒸镀辊的底部切面对称设置。

7.根据权利要求2所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一组蒸镀辊、所述第二组蒸镀辊、所述第三组蒸镀辊、所述第四组蒸镀辊、所述转向辊中的任意一个或多个辊为冷却辊，所述冷却辊的内部内置冷却介质。

8.根据权利要求2所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱、所述第四支撑柱均内部具有空腔，用于敷设供电线路和/或冷却管路；和/或，所述第一支撑柱、所述第二支撑柱、所述第三支撑柱、所述第四支撑柱均与所述真空腔体的内部底壁可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的复合集流体的制备设备，其特征在于，所述水镀设备包括：依序排列的电镀槽、导电槽、清洗槽和烘干槽；

所述电镀槽，其包括：第一槽体、放料辊、第一过辊和第二过辊；所述放料辊设置在第一槽体的入液端，所述第一过辊设置在所述第一槽体的内部，所述第二过辊设置在所述第一槽体的出液端，所述第一槽体内容纳有镀液；

所述导电槽，其包括：第二槽体、第一导电辊和第二导电辊；所述第一导电辊设置在所述第二槽体的内部，所述第二导电辊设置在所述第二槽体的出液端；

所述清洗槽，其包括：第三槽体、第三过辊和第四过辊；所述第三过辊设置在所述第三槽体内部，所述第四过辊设置在所述第三槽体的出液端顶部，所述第三槽体中容纳有清洗液，用于清洗掉薄膜表面上的镀液；

所述烘干槽，其包括：第四槽体、烘干设备、第五过辊和收料辊；所述烘干设备和所述第五过辊设置在所述第四槽体内部，所述收料辊用于将烘干好的薄膜进行收卷。

10.一种复合集流体的制备方法，其特征在于，所述复合集流体的制备方法基于权利要求2-9中任一项所述的复合集流体的制备设备，所述方法包括如下步骤：

放卷辊释放待镀膜的薄膜；

第一组蒸镀辊引导所述待镀膜的薄膜通过第一蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第一面朝向所述第一蒸发源；

所述第一蒸发源对上方的所述待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

第二组蒸镀辊引导所述待镀膜的薄膜通过第二蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第二面朝向所述第二蒸发源；

所述第二蒸发源对上方的所述待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

转向辊将所述待镀膜的薄膜引导至第三组蒸镀辊；

所述第三组蒸镀辊将待镀膜的薄膜通过第三蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第一面朝向所述第三蒸发源；

所述第三蒸发源对所述待镀膜的薄膜的第一面进行蒸镀；

第四组蒸镀辊将待镀膜的薄膜通过第四蒸发源的上方，并且使得所述待镀膜的薄膜的第二面朝向所述第四蒸发源；

所述第四蒸发源对所述待镀膜的薄膜的第二面进行蒸镀；

收卷辊将经过两次双面镀膜的薄膜进行收卷；

将收卷后的薄膜送入到水镀设备进行水电镀，得到复合集流体。

Images