CN216563072U - 一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,包括安装架,安装架的一侧滑动连接有连接座,连接座的内部通过销轴转动连接有角度杆,角度杆远离连接座的一端固定安装有抓取气缸,抓取气缸的中部套设有抓取壳,抓取壳的内部开设有滑行槽,滑行槽的内部滑动连接有两个夹板,两个夹板相对的一侧均开设有夹取槽,抓取气缸的活动端固定安装有位于抓取壳内部的推动杆,本实用新型一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,通过设置防护机构,当两个夹板对半导体晶体进行夹取时防护机构对产生的夹持力进行缓冲,避免半导体晶片出现损坏的现象,降低半导体晶片的加工成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及固晶机技术领域,具体为一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构。
背景技术
固晶是半导体器件制造中最为关键的流程之一,因此,对固晶机的产能效率要求也越来越高,固晶机在进行固晶加工时需要使用抓取结构对半导体晶片进行抓取,然而,现有的抓取结构存在以下缺陷:因为半导体晶片是一种薄且脆的材料,抓取结构直接抓取容易损坏半导体晶片,增加不必要的经济损失。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,以解决上述背景技术中提出的因为半导体晶片是一种薄且脆的材料,抓取结构直接抓取容易损坏半导体晶片,增加不必要的经济损失的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,包括安装架,所述安装架的一侧滑动连接有连接座,所述连接座的内部通过销轴转动连接有角度杆,所述角度杆远离连接座的一端固定安装有抓取气缸,所述抓取气缸的中部套设有抓取壳,所述抓取壳的内部开设有滑行槽,所述滑行槽的内部滑动连接有两个夹板,两个所述夹板相对的一侧均开设有夹取槽,两个所述夹取槽的内部均固定安装有防护机构,所述抓取气缸的活动端固定安装有位于抓取壳内部的推动杆,工作人员将抓取气缸通电,抓取气缸启动,抓取气缸带动推动杆滑动。
优选的,两个所述防护机构均包括两个限位座、限位板、两个折叠缓冲杆,两个安装座和防护板,所述限位板顶端的两侧均固定安装有限位座,两个所述限位座的内部均通过销轴转动连接有折叠缓冲杆,两个所述折叠缓冲杆远离限位座的一端均转动连接有安装座,两个所述安装座的顶端分别与防护板底端的两侧固定连接,两个夹板夹取时,半导体晶体向内挤压防护板,防护板与限位板之间的距离发生改变,折叠缓冲杆的角度发生偏转。
优选的,四个所述折叠缓冲杆的中部均通过销轴转动连接有复位杆,每两个正对的复位杆之间均固定安装有复位弹簧,两个折叠缓冲杆带动两个复位杆发生相对运动,两个复位杆之间的距离发生改变,两个复位杆从两侧对复位弹簧进行拉扯,复位弹簧具有弹性,复位弹簧发生弹性形变对拉扯力进行缓冲,使得折叠缓冲杆复位。
优选的,两个所述限位板的底端分别与两个夹取槽固定连接,防护机构通过限位板安装在夹取槽内。
优选的,所述推动杆的两端均通过销轴转动连接有连接杆,两个所述连接杆远离推动杆的一端分别与两个调节齿轮的一侧转动连接,两个所述调节齿轮的外侧分别与两个夹板一侧固定设置的若干个卡齿啮合连接,推动杆从一侧推动两个连接杆,两个连接杆受力后发生角度偏转,连接杆带动调节齿轮转动,调节齿轮转动时与夹板接触,两个夹板进行相对滑动,两个夹板从半导体晶体的两侧进行夹持。
优选的,所述安装架顶端的中部转动连接有螺纹柱,所述螺纹柱的顶端穿过角度杆固定安装有把手,且所述角度杆的中部与螺纹柱的中部螺纹连接,工作人员转动把手,把手带动螺纹柱转动,螺纹柱表面的螺纹与角度杆内壁的螺纹相互匹配,角度杆受到安装座的限位,所以角度杆相对于螺纹柱进行升降滑动,因为角度杆转动连接在连接座上,角度杆的角度发生偏转。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过设置防护机构,当两个夹板对半导体晶体进行夹取时防护机构对产生的夹持力进行缓冲,避免半导体晶片出现损坏的现象,降低半导体晶片的加工成本。
附图说明
图1为本实用新型的侧视图;
图2为本实用新型抓取壳的剖视图;
图3为本实用新型防护机构的侧视图;
图4为本实用新型安装座与角度杆的连接图。
图中:1、安装架;2、连接座;3、角度杆;4、抓取气缸;5、抓取壳;6、防护机构;61、防护板;62、安装座;63、折叠缓冲杆;64、限位座;65、限位板;66、复位弹簧;67、复位杆;7、调节齿轮;8、夹板;9、夹取槽;10、滑行槽;11、连接杆;12、推动杆;13、螺纹柱;14、把手。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-4,本实用新型提供了一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,包括安装架1,安装架1的一侧滑动连接有连接座2,连接座2的内部通过销轴转动连接有角度杆3,角度杆3远离连接座2的一端固定安装有抓取气缸4,抓取气缸4的中部套设有抓取壳5,抓取壳5的内部开设有滑行槽10,滑行槽10的内部滑动连接有两个夹板8,两个夹板8相对的一侧均开设有夹取槽9,两个夹取槽9的内部均固定安装有防护机构6,抓取气缸4的活动端固定安装有位于抓取壳5内部的推动杆12,工作人员将抓取气缸4通电,抓取气缸4启动,抓取气缸4带动推动杆12滑动。
两个防护机构6均包括两个限位座64、限位板65、两个折叠缓冲杆63,两个安装座62和防护板61,限位板65顶端的两侧均固定安装有限位座64,两个限位座64的内部均通过销轴转动连接有折叠缓冲杆63,两个折叠缓冲杆63远离限位座64的一端均转动连接有安装座62,两个安装座62的顶端分别与防护板61底端的两侧固定连接,两个夹板8夹取时,半导体晶体向内挤压防护板61,防护板61与限位板65之间的距离发生改变,折叠缓冲杆63的角度发生偏转。
四个折叠缓冲杆63的中部均通过销轴转动连接有复位杆67,每两个正对的复位杆67之间均固定安装有复位弹簧66,两个折叠缓冲杆63带动两个复位杆67发生相对运动,两个复位杆67之间的距离发生改变,两个复位杆67从两侧对复位弹簧66进行拉扯,复位弹簧66具有弹性,复位弹簧66发生弹性形变对拉扯力进行缓冲,使得折叠缓冲杆63复位。
两个限位板65的底端分别与两个夹取槽9固定连接,防护机构6通过限位板65安装在夹取槽9内。
推动杆12的两端均通过销轴转动连接有连接杆11,两个连接杆11远离推动杆12的一端分别与两个调节齿轮7的一侧转动连接,两个调节齿轮7的外侧分别与两个夹板8一侧固定设置的若干个卡齿啮合连接,推动杆12从一侧推动两个连接杆11,两个连接杆11受力后发生角度偏转,连接杆11带动调节齿轮7转动,调节齿轮7转动时与夹板8接触,两个夹板8进行相对滑动,两个夹板8从半导体晶体的两侧进行夹持。
安装架1顶端的中部转动连接有螺纹柱13,螺纹柱13的顶端穿过角度杆3固定安装有把手14,且角度杆3的中部与螺纹柱13的中部螺纹连接,工作人员转动把手14,把手14带动螺纹柱13转动,螺纹柱13表面的螺纹与角度杆3内壁的螺纹相互匹配,角度杆3受到连接座2的限位,所以角度杆3相对于螺纹柱13进行升降滑动,因为角度杆3转动连接在连接座2上,角度杆3的角度发生偏转。
本申请实施例在使用时:工作人员转动把手14,把手14带动螺纹柱13转动,螺纹柱13表面的螺纹与角度杆3内壁的螺纹相互匹配,角度杆3受到连接座2的限位,所以角度杆3相对于螺纹柱13进行升降滑动,因为角度杆3转动连接在连接座2上,角度杆3的角度发生偏转,抓取壳5的抓取角度发生偏转,工作人员将抓取气缸4通电,抓取气缸4启动,抓取气缸4带动推动杆12滑动,推动杆12从一侧推动两个连接杆11,两个连接杆11受力后发生角度偏转,连接杆11带动调节齿轮7转动,调节齿轮7转动时与夹板8接触,两个夹板8进行相对滑动,两个夹板8从半导体晶体的两侧进行夹持,两个夹板8夹取时,半导体晶体向内挤压防护板61,防护板61与限位板65之间的距离发生改变,折叠缓冲杆63的角度发生偏转,两个折叠缓冲杆63带动两个复位杆67发生相对运动,两个复位杆67之间的距离发生改变,两个复位杆67从两侧对复位弹簧66进行拉扯,复位弹簧66具有弹性,复位弹簧66发生弹性形变对拉扯力进行缓冲,使得折叠缓冲杆63复位,两个防护板61均由橡胶材料制成,防护机构6的安装,减小夹板8对半导体晶体的损伤。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,包括安装架(1),其特征在于:所述安装架(1)的一侧滑动连接有连接座(2),所述连接座(2)的内部通过销轴转动连接有角度杆(3),所述角度杆(3)远离连接座(2)的一端固定安装有抓取气缸(4),所述抓取气缸(4)的中部套设有抓取壳(5),所述抓取壳(5)的内部开设有滑行槽(10),所述滑行槽(10)的内部滑动连接有两个夹板(8),两个所述夹板(8)相对的一侧均开设有夹取槽(9),两个所述夹取槽(9)的内部均固定安装有防护机构(6),所述抓取气缸(4)的活动端固定安装有位于抓取壳(5)内部的推动杆(12)。
2.根据权利要求1所述的一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,其特征在于:两个所述防护机构(6)均包括两个限位座(64)、限位板(65)、两个折叠缓冲杆(63),两个安装座(62)和防护板(61),所述限位板(65)顶端的两侧均固定安装有限位座(64),两个所述限位座(64)的内部均通过销轴转动连接有折叠缓冲杆(63),两个所述折叠缓冲杆(63)远离限位座(64)的一端均转动连接有安装座(62),两个所述安装座(62)的顶端分别与防护板(61)底端的两侧固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,其特征在于:四个所述折叠缓冲杆(63)的中部均通过销轴转动连接有复位杆(67),每两个正对的复位杆(67)之间均固定安装有复位弹簧(66)。
4.根据权利要求2所述的一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,其特征在于:两个所述限位板(65)的底端分别与两个夹取槽(9)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,其特征在于:所述推动杆(12)的两端均通过销轴转动连接有连接杆(11),两个所述连接杆(11)远离推动杆(12)的一端分别与两个调节齿轮(7)的一侧转动连接,两个所述调节齿轮(7)的外侧分别与两个夹板(8)一侧固定设置的若干个卡齿啮合连接。
6.根据权利要求1所述的一种具有防护结构的固晶机用半导体器件抓取结构,其特征在于:所述安装架(1)顶端的中部转动连接有螺纹柱(13),所述螺纹柱(13)的顶端穿过角度杆(3)固定安装有把手(14),且所述角度杆(3)的中部与螺纹柱(13)的中部螺纹连接。
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CN114921838A (zh) * | 2022-06-10 | 2022-08-19 | 嘉善锦翔自动化机械有限公司 | 一种全自动电镀抓取装置及其使用方法 |
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