CN216434204U - 一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，属于电子技术领域，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，所述伸缩机构一端安装有防反光板，所述密封室底部设置有底座，所述密封室外部安装有万能表，所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。本实用新型该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。

Description

一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，尤其涉及一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置。

背景技术

在高分辨率扫描电子显微镜的相关应用中，扫描电子显微镜电子束的参数指标对于表征扫描电子显微镜的工作性能具有重要意义，特别是电子束的电流大小和束斑尺寸。电子束的电流值将影响电子束的亮度，电子束的束斑尺寸将决定扫描电镜的成像分辨率。因此准确测量电子束电流值是十分有必要的。测量电子束电流可以使用内外壁绝缘的法拉第杯作为收集电子注的装置，再用一个数字万用表连接法拉第杯，就可以测得电子束的电流。而要测量扫描电镜的电子束电流就比较困难，这里需要解决几个问题，其一，需要制作一个用于扫描电子显微镜电子束的收集装置，即法拉第杯；其二，由于扫描电镜成像分辨率较高，电子束的电流很小，因此需要一个灵敏度极高的数字万用表作为测量电流的工具；其三，由于扫描电镜是工作在真空环境下的，因此法拉第杯与数字万用表的连线问题也是一个难点。目前用于收集电子束的法拉第杯结构简单，但大多都没有考虑到电子束打在法拉第杯底产生的二次电子发射等问题，这将会造成一定的测量误差。

专利号201920699593.3的公布了一种扫描电子显微镜载物台，其包括：平台，所述平台中央区域设置有调节孔，在所述调节孔的周围设置有多个载物孔，所述载物孔和所述调节孔之间通过通孔连通，所述通孔内设置有推杆，所述推杆通向所述载物孔的一端设置有压板，所述压板为平板状；压块，所述压块设置于所述调节孔中，所述压块的外周面为锥面，该锥面约趋向于下侧约趋向中央收缩，使得所述压块能够压抵所述推杆，使推杆具有由调节孔向载物孔运动的趋势。通过采用上述技术方案本实用新型所述的一种扫描电子显微镜载物台可以通过压块带动压板夹紧样品来一次装载多个样品，提高装载效率。

上述技术的扫描电子显微镜载物台有以下缺点：该装置在使用过程中，无法进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据不准确，易造成实验时的数据产生偏差，无法正常投入使用。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。

本实用新型提供的具体技术方案如下：

本实用新型提供的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，所述伸缩机构一端安装有防反光板，所述密封室底部设置有底座，所述密封室外部安装有万能表，所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。

可选的，所述伸缩机构包括电机、传动轴、螺旋杆和推杆，所述电机的动力输出端与传动轴的动力输入端相连接，所述传动轴一端安装有螺旋杆，所述螺旋杆一端配合连接有推杆。

可选的，所述透镜与消像散器保持同一水平位置。

可选的，所述底座内部采用绝缘材质制成。

可选的，所述电机通过导线与外界电源电性连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型实施例提供一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置：

在进行操作时，通过在整体的装置外部设置有密封室，在密封环境内部进行操作时，能够避免灰尘的进入，避免对实验时造成误差，通过在密封室的上方安装有密封盖，密封盖与密封室之间通过门阀进行固定，门阀的使用能够保持两者之间的密封性，使得密封效果更好，更加方便工作人员的操作，且在密封盖的上方设置有透镜，能够方便光束的聚焦与打入，且在透镜的下方同一水平位置设置有消像散器，用于校正轴向像散，能够方便光束的聚焦，且在使用时，测量物件通过放置于底座的上方，底座采用绝缘材质制成，能够避免导电造成电子束电流无法正常的进行打光，且在进行对测量物品放置时，需要进行固定，通过在密封室的两侧设置有伸缩机构，通过在内部设置有电机，通过导线与外界电源电性连接，使得电机的动力输出端与传动轴的动力输入端相连接，使得传动轴带动螺旋杆的转动，使得螺旋杆的一侧防反光板向中间夹取固体避免其产生松动，且在使用和测量时，通过底座与万能表之间通过陶瓷导线的连接，能够对电子束的电流进行精准的测量，且陶瓷导线能够避免产生误差，该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置的伸缩机构的结构示意图。

图中：1、密封室；2、密封盖；3、透镜；4、消像散器；5、门阀；6、伸缩机构；7、防反光板；8、底座；9、陶瓷导线；10、万能表；11、电机；12、传动轴；13、螺旋杆；14、推杆。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面将结合图1～图2对本实用新型实施例的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置进行详细的说明。

参考图1～图2所示，本实用新型实施例提供的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，包括密封室1，所述密封室1上方配合连接有密封盖2，所述密封室1与密封盖2之间设置有门阀5，所述密封盖2顶部设置有透镜3，所述透镜3下方设置有消像散器4，所述密封室1两侧安装有伸缩机构6，所述伸缩机构6一端安装有防反光板7，所述密封室1底部设置有底座8，所述密封室1外部安装有万能表10，所述万能表10与底座8之间设置有陶瓷导线9。

示例的，在进行操作时，通过在整体的装置外部设置有密封室1，在密封环境内部进行操作时，能够避免灰尘的进入，避免对实验时造成误差，通过在密封室1的上方安装有密封盖2，密封盖2与密封室1之间通过门阀5进行固定，门阀5的使用能够保持两者之间的密封性，使得密封效果更好，更加方便工作人员的操作，且在密封盖2的上方设置有透镜3，能够方便光束的聚焦与打入，且在使用时，测量物件通过放置于底座8的上方，且在进行对测量物品放置时，需要进行固定，且在使用和测量时，通过底座8与万能表10之间通过陶瓷导线 9的连接，能够对电子束的电流进行精准的测量，且陶瓷导线9能够避免产生误差。

参考图2所示，所述伸缩机构6包括电机11、传动轴12、螺旋杆13和推杆14，所述电机11的动力输出端与传动轴12的动力输入端相连接，所述传动轴12一端安装有螺旋杆13，所述螺旋杆13一端配合连接有推杆14。

示例的，通过在密封室1的两侧设置有伸缩机构6，通过在内部设置有电机 11，通过导线与外界电源电性连接，使得电机11的动力输出端与传动轴12的动力输入端相连接，使得传动轴12带动螺旋杆13的转动，使得螺旋杆13的一侧防反光板7向中间夹取固体避免其产生松动。

参考图1所示，所述透镜3与消像散器4保持同一水平位置。

示例的，在透镜3的下方同一水平位置设置有消像散器4，用于校正轴向像散，能够方便光束的聚焦。

参考图1所示，所述底座8内部采用绝缘材质制成。

示例的，底座8采用绝缘材质制成，能够避免导电造成电子束电流无法正常的进行打光。

参考图2所示，所述电机11通过导线与外界电源电性连接。

示例的，电机11通过导线与外界电源电性连接，能够方便对物体的固定。

使用时，在进行操作时，通过在整体的装置外部设置有密封室1，在密封环境内部进行操作时，能够避免灰尘的进入，避免对实验时造成误差，通过在密封室1的上方安装有密封盖2，密封盖2与密封室1之间通过门阀5进行固定，门阀5的使用能够保持两者之间的密封性，使得密封效果更好，更加方便工作人员的操作，且在密封盖2的上方设置有透镜3，能够方便光束的聚焦与打入，且在透镜3的下方同一水平位置设置有消像散器4，用于校正轴向像散，能够方便光束的聚焦，且在使用时，测量物件通过放置于底座8的上方，底座8采用绝缘材质制成，能够避免导电造成电子束电流无法正常的进行打光，且在进行对测量物品放置时，需要进行固定，通过在密封室1的两侧设置有伸缩机构6，通过在内部设置有电机11，通过导线与外界电源电性连接，使得电机11的动力输出端与传动轴12的动力输入端相连接，使得传动轴12带动螺旋杆13的转动，使得螺旋杆13的一侧防反光板7向中间夹取固体避免其产生松动，且在使用和测量时，通过底座8与万能表10之间通过陶瓷导线9的连接，能够对电子束的电流进行精准的测量，且陶瓷导线9能够避免产生误差。

需要说明的是，本实用新型为一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，包括1、密封室；2、密封盖；3、透镜；4、消像散器；5、门阀；6、伸缩机构；7、防反光板；8、底座；9、陶瓷导线；10、万能表；11、电机；12、传动轴；13、螺旋杆；14、推杆，电机的具体型号为Y2，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (5)

1.一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，包括密封室(1)，其特征在于，所述密封室(1)上方配合连接有密封盖(2)，所述密封室(1)与密封盖(2)之间设置有门阀(5)，所述密封盖(2)顶部设置有透镜(3)，所述透镜(3)下方设置有消像散器(4)，所述密封室(1)两侧安装有伸缩机构(6)，所述伸缩机构(6)一端安装有防反光板(7)，所述密封室(1)底部设置有底座(8)，所述密封室(1)外部安装有万能表(10)，所述万能表(10)与底座(8)之间设置有陶瓷导线(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于，所述伸缩机构(6)包括电机(11)、传动轴(12)、螺旋杆(13)和推杆(14)，所述电机(11)的动力输出端与传动轴(12)的动力输入端相连接，所述传动轴(12)一端安装有螺旋杆(13)，所述螺旋杆(13)一端配合连接有推杆(14)。

3.根据权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于，所述透镜(3)与消像散器(4)保持同一水平位置。

4.根据权利要求1所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于，所述底座(8)内部采用绝缘材质制成。

5.根据权利要求2所述的一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于，所述电机(11)通过导线与外界电源电性连接。

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