CN216354142U - 一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，所述支撑装置包括支撑底座、设在支撑底座上的顶针，所述装配工装包括连接块，所述连接块的一侧设有限位块，所述连接块的另一侧设有用于连接支撑底座的中心座，所述中心座的外圈设有多个定位块，所述定位块和顶针孔的数量按顶针的个数设置，每两个定位块之间设有顶针孔，所述顶针孔穿过连接块向限位块延伸，且所述顶针孔为盲孔，所述顶针插设在顶针孔中。本实用新型结构简单实用，能够保护顶针不受损坏，装配效率高。

Description

一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装。

背景技术

在半导体制造工艺中，晶圆片的制造对工艺要求非常高，整个工艺过程可分为许多个制程，每个制程都会涉及到晶圆片升降及转移，通常是通过顶针支撑装置来满足要求。由于晶圆片和顶针属于点接触式，晶圆片背面光滑，在升降的过程中，如果三个顶针顶点不在同一水平面上，晶圆片在顶针上容易发生侧滑，一方面使得晶圆片受热不均匀，另一方面导致机械手不能正常夹持晶圆片，因此，在生产过程中，顶针支撑装置的装配尤为重要。

现有技术中，通常有两种安装方式：1)将顶针插入支撑底座内，使用耐高温环氧胶灌胶，再通过操作工手动调节顶针来保证高度一致性，不仅对操作者的技能要求较高，同时反复调整高度，耗费较多的装配时间；2)将支撑底座固定，通过平板推动顶针处于同一平面，但是顶针一般由陶瓷制成，顶针的端部易受损，若操作不当容易压断，以上两种方法均有明显的缺点，因此，亟需一种新的技术方案解决以上问题。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，专用装配工装可以使得装配效率更高，支撑装置中的顶针也不易受损。

为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，所述支撑装置包括支撑底座、设在支撑底座上的顶针，所述装配工装包括连接块，所述连接块的一侧设有限位块，所述连接块的另一侧设有用于连接支撑底座的中心座，所述中心座的外圈设有多个定位块，所述定位块和顶针孔的数量按顶针的数量设置，每两个定位块之间设有顶针孔，所述顶针孔穿过连接块向限位块延伸，且所述顶针孔为盲孔，所述顶针插设在顶针孔中。

作为优选的技术方案，所述定位块的高度大于中心座的高度。

作为优选的技术方案，所述中心座上设有定位销孔，所述中心座通过定位销与支撑底座连接。

作为优选的技术方案，所述中心座上设有螺纹孔，所述中心座通过螺钉与支撑底座紧固连接。

作为优选的技术方案，所述顶针的数量为3个，所述定位块的数量为3个，所述定位块与中心座连成一体。

作为优选的技术方案，所述定位块圆周均布设置，所述顶针孔圆周均布设置。

作为优选的技术方案，所述顶针孔中填充有耐高温环氧胶。

本实用新型的有益效果是：一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，与传统方案相比：

1)先将顶针插入顶针孔，由于顶针孔向限位块延伸，且顶针孔为盲孔，这样可以通过控制顶针孔的长度来使得顶针处于同一平面，且插入顶针孔中，顶针不易被划伤或损坏，限位块用来延伸顶针孔的长度，并且顶针孔的底面抵住顶针的端点形成限位，然后将支撑底座安装到中心座上，并且顶针插入到支撑底座上的安装孔中，等顶针固定好后，即可将整个顶针支撑装置取下，整个装配工装简单易操作，装配效率高，还能保护顶针不被损坏，优选的，定位块的高度大于中心座的高度，限位和定位效果更好；

2)优选的，中心座上的定位销孔与支撑底座配合，定位更加精准；

3)优选的，顶针孔中填充耐高温环氧胶能使得顶针固定，与支撑底座装配时效果更好。

附图说明

图1是支撑装置的结构图；

图2是本实用新型的主视图；

图3是本实用新型的后视图；

图4是装配工装与支撑装置的装配图；

在图1-4中，1、支撑装置；101、支撑底座；102、顶针；2、装配工装；201、连接块；202、定位块；203、中心座；2031、定位销孔；2032、螺纹孔；204、顶针孔；205、限位块；2051、中心部；2052、边部。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步描述。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，所述支撑装置1包括支撑底座101、设在支撑底座101上的顶针102，所述装配工装2包括连接块201，所述连接块201的一侧设有限位块205，所述连接块201的另一侧设有用于连接支撑底座101的中心座203，所述中心座203的外圈设有多个定位块202，所述定位块202和顶针孔204的数量按顶针102的数量设置，每两个定位块202之间设有顶针孔204，所述顶针孔204穿过连接块201向限位块205延伸，且所述顶针孔204为盲孔，所述顶针102插设在顶针孔204中；在其中一个实施例中，顶针102的数量为3个，支撑底座101的形状为三角形，3个顶针102分别安装在支撑底座101的三个顶角处，中心座203为与支撑底座101相匹配的三角形，中心座203用于安装支撑底座101，先将顶针102插入顶针孔204，由于顶针孔204向限位块205延伸，且顶针孔204为盲孔，这样可以通过设计顶针孔204的长度来使得顶针102的端点处于同一平面，且插入顶针孔204中，顶针102不易被划伤或损坏，限位块205用来延伸顶针孔204的长度，顶针孔204的底面抵住顶针102的端点形成限位，然后将支撑底座101安装到中心座203上，顶针102插入到支撑底座101上的三个顶角处的安装孔中，将顶针102固定好后，即可将整个支撑装置1取下，整个装配过程简单易操作，装配效率高，还能保护顶针102不被损坏。

如图1-4所示，所述定位块202的高度大于中心座203的高度，所述定位块202更好地对支撑底座101进行限位，也有更好的定位效果。

如图1-4所示，所述中心座203上设有定位销孔2031，所述支撑底座101上设有与定位销孔2031对应的孔，所述中心座203通过定位销与支撑底座101连接，定位效果好。

如图1-4所示，所述中心座203上设有螺纹孔2032，所述支撑底座101上设有与螺纹孔2032对应的孔，所述中心座203通过螺钉与支撑底座101紧固连接，螺钉与定位销搭配使用，实现中心座203和支撑底座101的快速定位，并有很好的紧固效果。

如图1-4所示，所述顶针102的数量为3个，所述顶针孔204的数量为3个，所述定位块202的数量为3个，所述定位块202与中心座203连成一体。

如图1-4所示，所述限位块205由中心部2051和若干个圆周均布的边部2052组成，所述中心部2051与边部2052连成一体，进一步的，边部2052的数量为3个。

如图1-4所示，所述定位块202圆周均布设置，所述顶针孔204圆周均布设置。

如图1-4所示，所述顶针孔204中填充有耐高温环氧胶，顶针孔204的最大直径大于顶针102的最大直径，使得顶针102与顶针孔204之间留有间隙，再灌入耐高温环氧胶，对顶针102形成固定，这样顶针102的安装效果更好，顶针孔204的内壁也不会划伤顶针。

如图1-4所示，所述顶针102为阶梯结构，所述顶针孔204为阶梯孔结构。

如图1-4所示，顶针102由陶瓷制成，对装配工装2进行本色阳极氧化处理，避免了装配过程中划伤和污染顶针102。

本实用新型的效果：

1)传统装配方法一套支撑装置1需要1小时，现使用本实用新型的装配工装2进行装配，支撑装置1的安装仅需要0.3小时，简化了传统人工装配方式，提高了装配工作效率；

2)装配工装2保证了顶针102的高度一致和垂直度，无需人工反复调整高度，提高了产品合格率和工作效率。

上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，所述支撑装置(1)包括支撑底座(101)、设在支撑底座(101)上的顶针(102)，其特征在于，所述装配工装(2)包括连接块(201)，所述连接块(201)的一侧设有限位块(205)，所述连接块(201)的另一侧设有用于连接支撑底座(101)的中心座(203)，所述中心座(203)的外圈设有多个定位块(202)，所述定位块(202)和顶针孔(204)的数量按顶针(102)的数量设置，每两个定位块(202)之间设有顶针孔(204)，所述顶针孔(204)穿过连接块(201)向限位块(205)延伸，且所述顶针孔(204)为盲孔，所述顶针(102)插设在顶针孔(204)中。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述定位块(202)的高度大于中心座(203)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述中心座(203)上设有定位销孔(2031)，所述中心座(203)通过定位销与支撑底座(101)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述中心座(203)上设有螺纹孔(2032)，所述中心座(203)通过螺钉与支撑底座(101)紧固连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述顶针(102)的数量为3个，所述定位块(202)的数量为3个，所述定位块(202)与中心座(203)连成一体。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述定位块(202)圆周均布设置，所述顶针孔(204)圆周均布设置。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆升降的支撑装置的装配工装，其特征在于，所述顶针孔(204)中填充有耐高温环氧胶。

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