CN216286147U - 去除膜框装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种去除膜框装置，包括：底座；承载部，设置在底座上，承载部用于承载产品，产品包括基板和连接在基板上的膜框；限位部，限位部包括框架以及设置在框架上的压紧件，其中，框架和底座可连接或分离地设置；框架和底座连接的情况下，压紧件压紧位于承载部上的基板边沿；分离部，分离部包括基座和设置在基座上的分离件；基座可滑动地设置在框架上，以带动分离件插入膜框侧面的定位孔内；分离件可靠近或远离承载部，分离件在远离承载部移动的过程中带动膜框移动，以将膜框和基板分离。通过本实用新型提供的技术方案，能够优化现有技术中的去除膜框装置依靠人工去除膜框时的不准确性。

Description

去除膜框装置

技术领域

本实用新型涉及掩模版技术领域，具体而言，涉及一种去除膜框装置。

背景技术

掩模版保护膜(膜框)用于保护基板(掩模版)，防止在使用过程中颗粒掉落到基板版面上，影响曝光图形的精确性，同时减少划伤版面的风险，延长基板的使用寿命。

掩模版保护膜一般由硝化纤维组成，将该透明保护膜粘附在基板上，由基板来支承。当贴完保护膜的基板出现异常情况时，则需要去除膜框重新处理。现有技术中，去除膜框的一般方式是人工直接撬膜，在操作过程中，由于胶的粘附力极大，利用人工直接去除膜框时操作不准确性较大，容易把掩模版的铬层粘起，形成缺陷导致掩模版的报废。

实用新型内容

本实用新型提供了一种去除膜框装置，以优化现有技术中的去除膜框装置依靠人工去除膜框时的不准确性。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种去除膜框装置，包括：底座；承载部，设置在底座上，承载部用于承载产品，产品包括基板和连接在基板上的膜框；限位部，限位部包括框架以及设置在框架上的压紧件，其中，框架和底座可连接或分离地设置；框架和底座连接的情况下，压紧件压紧位于承载部上的基板边沿；分离部，分离部包括基座和设置在基座上的分离件；基座可滑动地设置在框架上，以带动分离件插入膜框侧面的定位孔内；分离件可靠近或远离承载部，分离件在远离承载部移动的过程中带动膜框移动，以将膜框和基板分离。

进一步地，分离部还包括转动件、第一限位块和第二限位块，转动件可转动地设置在基座上，转动件和分离件连接，以驱动分离件升降，第一限位块和第二限位块间隔设置在基座上，分离件夹设在第一限位块和第二限位块之间。

进一步地，转动件包括相互连接的旋钮和螺杆，分离件包括相互连接的连接块和销轴，连接块和螺杆螺纹连接，销轴用于插入定位孔内。

进一步地，框架包括架体和导轨，导轨的两端和架体连接，基座可滑动地设置在导轨上。

进一步地，基座包括连接板、滑块和锁紧件，分离件和滑块均设置在连接板上，滑块套设在导轨上，锁紧件可移动地设置在滑块上，锁紧件用于将滑块锁定在导轨上。

进一步地，导轨具有多个预定位槽，多个预定位槽间隔设置在导轨上；基座还包括弹性件，弹性件可伸缩地设置在滑块内，弹性件用于卡入预定位槽。

进一步地，架体包括两个主板、两个侧板和支撑板，侧板的两端分别和两个主板连接，导轨的两端分别和两个主板连接，支撑板的两端分别和两个侧板连接，压紧件设置在支撑板上。

进一步地，压紧件的上侧具有避让槽，压紧件的下侧具有压紧面，避让槽用于避让分离件，压紧面相对于水平面倾斜设置，压紧面用于压紧基板。

进一步地，基座为两个，两个基座平行设置在框架上，两个基座用于分别对应膜框相对的两侧，每个基座上均间隔设置有两个分离件。

进一步地，承载部包括承载板和多个承载块，多个承载块间隔设置在承载板上，多个承载块用于一一对应地支撑基板的多个边角。

进一步地，承载块具有承载槽，承载槽具有第一侧面、第二侧面和相对于水平面倾斜设置的底面，第一侧面和第二侧面用于和基板的相邻侧面限位配合，底面用于支撑基板。

进一步地，限位部还包括定位柱，底座包括底板和设置在底板上的定位块，定位块具有装配孔，定位柱可拔出地插入装配孔中，以连接底座和限位部。

进一步地，去除膜框装置还包括锁紧部，锁紧部用于锁紧底座和限位部。

进一步地，限位部还包括安装块，安装块和框架连接，定位柱设置在安装块上；锁紧部包括弹性卡扣和卡钩，卡钩设置在安装块上，弹性卡扣设置在定位块上，定位柱插入装配孔中的情况下，弹性卡扣和卡钩卡接。

应用本实用新型的技术方案，提供了一种去除膜框装置，包括：底座；承载部，设置在底座上，承载部用于承载产品，产品包括基板和连接在基板上的膜框；限位部，限位部包括框架以及设置在框架上的压紧件，其中，框架和底座可连接或分离地设置；框架和底座连接的情况下，压紧件压紧位于承载部上的基板边沿；分离部，分离部包括基座和设置在基座上的分离件；基座可滑动地设置在框架上，以带动分离件插入膜框侧面的定位孔内；分离件可靠近或远离承载部，分离件在远离承载部移动的过程中带动膜框移动，以将膜框和基板分离。采用该方案，在使用时，把产品放置在承载部上，然后将框架和底座连接，压紧件压紧承载部上的基板边沿，从而能够固定基板，随后滑动基座，带动分离件插入设置在膜框侧面的定位孔内，分离件向远离承载部的方向移动，带动膜框移动，从而使膜框和基板分离。通过承载部、限位部和分离部三者的配合，避免了利用人工直接去除膜框，从而减小了在操作时的不准确性，进而提高了产品的良率。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型的实施例提供的去除膜框装置的结构示意图；

图2示出了图1中去除膜框装置的侧视图；

图3示出了图1中分离部的示意图；

图4示出了图3中分离部的局部放大图；

图5示出了图1中底座和承载部的示意图；

图6示出了图1中限位部和分离部的示意图；

图7示出了图1中承载块的结构示意图；

图8示出了图7中承载块的侧视图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、底座；11、底板；12、定位块；121、装配孔；

20、承载部；21、承载板；22、承载块；221、承载槽；2211、第一侧面；2212、第二侧面；2213、底面；

30、限位部；31、框架；311、架体；3111、主板；3112、侧板；3113、支撑板；312、导轨；3121、预定位槽；32、压紧件；321、避让槽；322、压紧面；33、定位柱；34、安装块；

40、分离部；41、基座；411、连接板；412、滑块；413、锁紧件；42、分离件；421、连接块；422、销轴；43、转动件；44、第一限位块；45、第二限位块；

50、锁紧部；51、弹性卡扣；52、卡钩；

60、产品；61、基板；62、膜框。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图8所示，本实用新型的实施例提供了一种去除膜框装置，包括：底座10；承载部20，设置在底座10上，承载部20用于承载产品60，产品60包括基板61和连接在基板61上的膜框62；限位部30，限位部30包括框架31以及设置在框架31上的压紧件32，其中，框架31和底座10可连接或分离地设置；框架31和底座10连接的情况下，压紧件32压紧位于承载部20上的基板61边沿；分离部40，分离部40包括基座41和设置在基座41上的分离件42；基座41可滑动地设置在框架31上，以带动分离件42插入膜框62侧面的定位孔内；分离件42可靠近或远离承载部20，分离件42在远离承载部20移动的过程中带动膜框62移动，以将膜框62和基板61分离。

采用该方案，在使用时，把产品60放置在承载部20上，然后将框架31和底座10连接，压紧件32压紧承载部20上的基板61边沿，从而能够固定基板61，随后滑动基座41，带动分离件42插入设置在膜框62侧面的定位孔内，分离件42向远离承载部20的方向移动，带动膜框62移动，从而使膜框62和基板61分离。通过承载部20、限位部30和分离部40三者的配合，避免了利用人工直接去除膜框62，从而减小了在操作时的不准确性，进而提高了产品的良率。

其中，分离部40还包括转动件43、第一限位块44和第二限位块45，转动件43可转动地设置在基座41上，转动件43和分离件42连接，以驱动分离件42升降，第一限位块44和第二限位块45间隔设置在基座41上，分离件42夹设在第一限位块44和第二限位块45之间。通过设置转动件43，用于驱动分离件42的升降，从而能够使分离件42顺利将基板61和膜框62分离；将分离件42设置在第一限位块44和第二限位块45之间，能够限制分离件42的周向运动。

进一步地，转动件43包括相互连接的旋钮和螺杆，分离件42包括相互连接的连接块421和销轴422，连接块421和螺杆螺纹连接，销轴422用于插入定位孔内。在进行基板61和膜框62的分离时，将销轴422插入定位孔内，通过旋转旋钮，从而带动销轴422上升，实现基板61和膜框62的分离。其中，连接块421和螺杆通过螺纹的方式连接，传动更加平稳。

具体地，框架31包括架体311和导轨312，导轨312的两端和架体311连接，基座41可滑动地设置在导轨312上。设置架体311，便于固定导轨312；通过设置导轨312，使基座41能够在水平方向上移动，从而实现分离件42插入膜框62侧面的定位孔内。

其中，基座41包括连接板411、滑块412和锁紧件413，分离件42和滑块412均设置在连接板411上，滑块412套设在导轨312上，锁紧件413可移动地设置在滑块412上，锁紧件413用于将滑块412锁定在导轨312上。通过设置连接板411，便于将分离件42和滑块412固定；通过设置锁紧件413，用于松开或锁紧滑块412。其中，锁紧件413可通过螺纹连接的方式实现轴向移动，这样转动锁紧件413使锁紧件413轴向移动，从而可松开或锁紧滑块412，操作简便。

在本实施例中，导轨312具有多个预定位槽3121，多个预定位槽3121间隔设置在导轨312上；基座41还包括弹性件，弹性件可伸缩地设置在滑块412内，弹性件用于卡入预定位槽3121。通过设置弹性件，当滑块412在导轨312上滑动时，弹性件始终和导轨312接触，弹性件处于被压缩状态；当弹性件卡入预定位槽3121时，滑块412停止滑动，从而实现基座41的快速定位。弹性件具体可设置为弹簧以及设置在弹簧一端的滚珠。

在本实施例中，架体311包括两个主板3111、两个侧板3112和支撑板3113，侧板3112的两端分别和两个主板3111连接，导轨312的两端分别和两个主板3111连接，支撑板3113的两端分别和两个侧板3112连接，压紧件32设置在支撑板3113上。通过设置支撑板3113，能够连接压紧件32，从而实现压紧件32压紧基板61的边沿。

具体地，压紧件32的上侧具有避让槽321，压紧件32的下侧具有压紧面322，避让槽321用于避让分离件42，压紧面322相对于水平面倾斜设置，压紧面322用于压紧基板61。通过在压紧件32的上侧设置避让槽321，能够对分离件42在周向上起到限位作用；将压紧面322相对于水平面倾斜设置，在保证能够压紧基板61的同时，减小了和基板61的接触面，从而避免了对基板61的划伤和损坏。

具体地，基座41为两个，两个基座41平行设置在框架31上，两个基座41用于分别对应膜框62相对的两侧，每个基座41上均间隔设置有两个分离件42。采用上述设置，多个分离件42可对膜框62的不同位置进行分离操作，提高了对基板61和膜框62分离的可靠性和稳定性。

在本实施例中，承载部20包括承载板21和多个承载块22，多个承载块22间隔设置在承载板21上，多个承载块22用于一一对应地支撑基板61的多个边角。通过设置多个承载块22一一对应地支撑基板61的多个边角，提高了基板61的稳定性和可靠性。

其中，承载块22具有承载槽221，承载槽221具有第一侧面2211、第二侧面2212和相对于水平面倾斜设置的底面2213，第一侧面2211和第二侧面2212用于和基板61的相邻侧面限位配合，底面2213用于支撑基板61。将底面2213相对于水平面倾斜设置，这样能够减小和基板61的接触面，从而避免了划伤和损坏基板61；设置第一侧面2211和第二侧面2212，能够对基板61的相邻侧面起到限位作用。并且，承载块22可设置为在承载板21上的安装位置可调，这样能够适应不同尺寸的产品。

具体地，限位部30还包括定位柱33，底座10包括底板11和设置在底板11上的定位块12，定位块12具有装配孔121，定位柱33可拔出地插入装配孔121中，以连接底座10和限位部30。通过设置定位柱33和装配孔121，当底座10和限位部30进行连接时，便于快速定位。并且，连接之后准确地限定了限位部30和承载部20上的产品的位置，保证压紧件32准确对基板61进行固定。

其中，去除膜框装置还包括锁紧部50，锁紧部50用于锁紧底座10和限位部30。设置锁紧部50，便于锁紧底座10和限位部30，保证连接可靠性。

进一步地，限位部30还包括安装块34，安装块34和框架31连接，定位柱33设置在安装块34上；锁紧部50包括弹性卡扣51和卡钩52，卡钩52设置在安装块34上，弹性卡扣51设置在定位块12上，定位柱33插入装配孔121中的情况下，弹性卡扣51和卡钩52卡接。通过将弹性卡扣51设置在定位块12上，将卡钩52设置在安装块34上，便于底座10和限位部30的安装和拆卸。其中，在定位柱33插入装配孔121中的情况下，随后将弹性卡扣51和卡钩52卡接，这样设置，便于快速锁紧底座10和限位部30，提高了安装效率。

在本实施例中，安装块34、定位块12和锁紧部50均为多个，设置多个安装块34、定位块12和锁紧部50，提高了底座10和限位部30连接的稳定性和可靠性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种去除膜框装置，其特征在于，包括：

底座(10)；

承载部(20)，设置在所述底座(10)上，所述承载部(20)用于承载产品(60)，所述产品(60)包括基板(61)和连接在所述基板(61)上的膜框(62)；

限位部(30)，所述限位部(30)包括框架(31)以及设置在所述框架(31)上的压紧件(32)，其中，所述框架(31)和所述底座(10)可连接或分离地设置；所述框架(31)和所述底座(10)连接的情况下，所述压紧件(32)压紧位于所述承载部(20)上的基板(61)边沿；

分离部(40)，所述分离部(40)包括基座(41)和设置在所述基座(41)上的分离件(42)；所述基座(41)可滑动地设置在所述框架(31)上，以带动所述分离件(42)插入所述膜框(62)侧面的定位孔内；所述分离件(42)可靠近或远离所述承载部(20)，所述分离件(42)在远离所述承载部(20)移动的过程中带动所述膜框(62)移动，以将所述膜框(62)和所述基板(61)分离。

2.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述分离部(40)还包括转动件(43)、第一限位块(44)和第二限位块(45)，所述转动件(43)可转动地设置在所述基座(41)上，所述转动件(43)和所述分离件(42)连接，以驱动所述分离件(42)升降，所述第一限位块(44)和第二限位块(45)间隔设置在所述基座(41)上，所述分离件(42)夹设在所述第一限位块(44)和所述第二限位块(45)之间。

3.根据权利要求2所述的去除膜框装置，其特征在于，所述转动件(43)包括相互连接的旋钮和螺杆，所述分离件(42)包括相互连接的连接块(421)和销轴(422)，所述连接块(421)和所述螺杆螺纹连接，所述销轴(422)用于插入所述定位孔内。

4.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述框架(31)包括架体(311)和导轨(312)，所述导轨(312)的两端和所述架体(311)连接，所述基座(41)可滑动地设置在所述导轨(312)上。

5.根据权利要求4所述的去除膜框装置，其特征在于，所述基座(41)包括连接板(411)、滑块(412)和锁紧件(413)，所述分离件(42)和所述滑块(412)均设置在所述连接板(411)上，所述滑块(412)套设在所述导轨(312)上，所述锁紧件(413)可移动地设置在所述滑块(412)上，所述锁紧件(413)用于将所述滑块(412)锁定在所述导轨(312)上。

6.根据权利要求5所述的去除膜框装置，其特征在于，所述导轨(312)具有多个预定位槽(3121)，多个所述预定位槽(3121)间隔设置在所述导轨(312)上；所述基座(41)还包括弹性件，所述弹性件可伸缩地设置在所述滑块(412)内，所述弹性件用于卡入所述预定位槽(3121)。

7.根据权利要求4所述的去除膜框装置，其特征在于，所述架体(311)包括两个主板(3111)、两个侧板(3112)和支撑板(3113)，所述侧板(3112)的两端分别和两个所述主板(3111)连接，所述导轨(312)的两端分别和两个所述主板(3111)连接，所述支撑板(3113)的两端分别和两个所述侧板(3112)连接，所述压紧件(32)设置在所述支撑板(3113)上。

8.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述压紧件(32)的上侧具有避让槽(321)，所述压紧件(32)的下侧具有压紧面(322)，所述避让槽(321)用于避让所述分离件(42)，所述压紧面(322)相对于水平面倾斜设置，所述压紧面(322)用于压紧所述基板(61)。

9.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述基座(41)为两个，两个所述基座(41)平行设置在所述框架(31)上，两个所述基座(41)用于分别对应所述膜框(62)相对的两侧，每个所述基座(41)上均间隔设置有两个所述分离件(42)。

10.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述承载部(20)包括承载板(21)和多个承载块(22)，多个所述承载块(22)间隔设置在所述承载板(21)上，多个所述承载块(22)用于一一对应地支撑所述基板(61)的多个边角。

11.根据权利要求10所述的去除膜框装置，其特征在于，所述承载块(22)具有承载槽(221)，所述承载槽(221)具有第一侧面(2211)、第二侧面(2212)和相对于水平面倾斜设置的底面(2213)，所述第一侧面(2211)和所述第二侧面(2212)用于和所述基板(61)的相邻侧面限位配合，所述底面(2213)用于支撑所述基板(61)。

12.根据权利要求1所述的去除膜框装置，其特征在于，所述限位部(30)还包括定位柱(33)，所述底座(10)包括底板(11)和设置在所述底板(11)上的定位块(12)，所述定位块(12)具有装配孔(121)，所述定位柱(33)可拔出地插入所述装配孔(121)中，以连接所述底座(10)和所述限位部(30)。

13.根据权利要求12所述的去除膜框装置，其特征在于，所述去除膜框装置还包括锁紧部(50)，所述锁紧部(50)用于锁紧所述底座(10)和所述限位部(30)。

14.根据权利要求13所述的去除膜框装置，其特征在于，

所述限位部(30)还包括安装块(34)，所述安装块(34)和所述框架(31)连接，所述定位柱(33)设置在所述安装块(34)上；

所述锁紧部(50)包括弹性卡扣(51)和卡钩(52)，所述卡钩(52)设置在所述安装块(34)上，所述弹性卡扣(51)设置在所述定位块(12)上，所述定位柱(33)插入所述装配孔(121)中的情况下，所述弹性卡扣(51)和所述卡钩(52)卡接。

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